JP2009014740A - 微粒子検出装置及び微粒子検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査光の照射領域中の検出領域を横切る微粒子による検出光の遮光、回折又は干渉効果により発生する検出光強度の変動を検出して被検査体中の微粒子を検出する微粒子検出装置であって、被検査体に検査光を照射する発光素子12と、被検査体を透過して入射する検査光を受光する受光素子14と、被検査体と受光素子14の間に設けられ上記検出領域を絞る光透過孔17−1を有する細孔板17と、受光素子14からの信号を基に検出領域を移動する微粒子による検査光の遮光、回折又は干渉効果により発生する検出光強度の変動を検出して被検査体中の微粒子を検出する信号処理装置16とを備える。
【選択図】図8
Description
1−1 発光素子
1−2 受光素子
1−3 保持板
1−4 保持板
1−6,6’,6” 光透過孔
1−7,7’,7” 光透過孔
4 信号処理回路
4−1 バンドパスフィルタ
1−10 導光路
12 発光素子
14,14A 受光素子
15−5 波形メモリ
16,16A 信号処理装置
16−6 演算器
17 細孔板
17−1 光透過孔
30 反射防止部
31,32 検査光選別手段
L 検査光
P 微粒子
Claims (9)
- 検査光の照射領域中の検出領域を横切る微粒子による検出光の遮光、回折又は干渉効果により発生する検出光強度の変動を検出して被検査体中の微粒子を検出する微粒子検出装置であって、
被検査体に検査光を照射する発光手段と、
被検査体を透過して入射する前記発光手段からの検査光を受光する受光手段と、
前記被検査体と前記受光手段の間に設けられ、前記検査光の照射領域中の前記検出領域を絞る光透過孔を有する遮光手段と、
前記受光手段からの信号を基に、前記検出領域を移動する微粒子による検査光の遮光、回折又は干渉効果により発生する検出光強度の変動を検出して被検査体中の微粒子を検出する信号処理装置と
を備えたことを特徴とする微粒子検出装置。 - 請求項1の微粒子検出装置において、前記信号処理装置は、
前記受光手段で検出された検出光の変動を記録する波形メモリと、
前記波形メモリに記録された検出波形が時間的に光軸を中心に対称であるか否かで検出した微粒子が球状か否かを判断する演算器と
を備えていることを特徴とする微粒子検出装置。 - 請求項1の微粒子検出装置において、前記光透過孔の口径は、前記受光手段から当該光透過孔を通して観測される領域に前記発光手段を観測でき、かつ、この観測領域を微粒子が横切るとき、前記発光手段から直接入射する直接光と微粒子で反射した反射光との干渉を検出することができる大きさであることを特徴とする微粒子検出装置。
- 請求項1の微粒子検出装置において、被検査体の通路の内面のうち検査光の光路以外の部分に検査光の反射を抑制する手段又は検査光を散乱させる手段を設け、前記発光手段に戻る光量を抑制したことを特徴とする微粒子検出装置。
- 請求項1の微粒子検出装置において、前記発光手段は半導体レーザ素子であることを特徴とする微粒子検出装置。
- 請求項5の微粒子検出装置において、前記発光手段の駆動電流を供給する電流源に半導体レーザの発光スペクトルを広げる高周波重畳回路を組み込んだことを特徴とする微粒子検出装置。
- 請求項6の微粒子検出装置において、半導体レーザ光の偏波面を変化させる偏波面変更手段を設けたことを特徴とする微粒子検出装置。
- 請求項1の微粒子検出装置において、前記発光手段は発光ダイオード素子であることを特徴とする微粒子検出装置。
- 検査光の照射領域中の検出領域を横切る微粒子による検出光の遮光、回折又は干渉効果により発生する検出光強度の変動を検出して被検査体中の微粒子を検出する微粒子検出方法であって、
発光手段から被検査体を透過させて受光手段に検査光を照射し、
遮光手段に設けた光透過孔を前記被検査体と前記受光手段の間に設けることにより、前記発光手段から前記受光手段に入射する検査光の前記検出領域を制限し、
前記受光手段からの信号を基に、前記検出領域を移動する微粒子による検査光の遮光、回折又は干渉効果により発生する検出光強度の変動を検出して被検査体中の微粒子を検出する
ことを特徴とする微粒子検出方法。
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