JP2009014116A - 磁性流体軸受の製造方法および磁性流体軸受 - Google Patents

Abstract

【課題】容易に製造することができ、かつ軸受の品質を向上することのできる磁性流体軸受の製造方法および磁性流体軸受を提供する。
【解決手段】磁性流体軸受１の製造方法は、以下の工程を備えている。円筒形状の軸本体２とフランジ部６とを有する固定軸１０を準備する。中空部分を有する円筒形状の外輪スリーブ４を準備する。軸本体２の外周面に磁極形成部３を形成する。磁極形成部３を形成する工程の後で、外輪スリーブ４の中空部分に軸本体２を配置する。軸本体２が中空部分に配置された状態で、フランジ部６は外輪スリーブ４の軸方向下端面と対向している。軸本体２を配置する工程の後で、外輪スリーブ４の軸方向上端面と対向するスラスト板５を軸本体２に接着する。スラスト板５を接着する工程の後に、軸本体２と外輪スリーブ４との間の軸受隙間に磁性流体７を注入する。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁性流体軸受の製造方法および磁性流体軸受に関し、より特定的には、ハードディスクのスイングアームの支点軸受として使用される磁性流体軸受の製造方法および磁性流体軸受に関する。

磁性流体軸受は、磁性流体を軸受の潤滑剤として用いた軸受である。磁性流体軸受の作動原理は流体潤滑理論によらず磁力によるため、軸と外輪とが相対的に静止している場合、あるいは軸と外輪との相対速度が極めて小さな場合でも、外部からの加圧なしで軸と外輪とを非接触で支持することができる。また、磁性流体は粘性をも有するために軸受に高減衰性を付与することができる。

図１５（ａ）は、代表的な磁性流体軸受の構成を示す断面図である。図１５（ｂ）は図１５（ａ）のＣ部拡大図である。図１５（ａ）、（ｂ）を参照して、磁性流体軸受１０１は、軸受外輪１０２と、軸１０３と、磁性流体１０５とを主に備えている。軸受外輪１０２は円筒状であり、軸１０３は軸受外輪１０２内に軸受隙間ｇ１０１を隔てて配置されている。磁性流体１０５は軸受隙間ｇ１０１に注入されており、軸受外輪１０２は軸１０３に対して相対的に回転可能である。軸１０３は、中空軸体１０６と、永久磁石材料１０７と、磁石支持部材１０８を有している。永久磁石材料１０７は中空軸体１０６の外周面１０６ａに嵌め込まれている。磁石支持部材１０８は中空軸体１０６の上端部の外周面に配置されており、外径方向に延在している。軸受外輪１０２の内周面１０２ａと軸１０３の外周面１０３ａとは軸受隙間ｇ１０１を隔てて互いに対向している。軸受外輪１０２の内周面１０２ａと、軸１０３の外周面１０３ａと、軸受隙間ｇ１０１内の磁性流体１０５とによってラジアル軸受１０１ａが構成されている。

軸受外輪１０２の上端部の内周面１０２ｂおよび下端部の内周面１０２ｃは、軸受外輪１０２の中央部の内周面１０２ａよりも外径方向に窪んでいる。そして、内周面１０２ｂおよび１０２ｃの各々には、リング状の磁石１１１ａおよび１１１ｂの各々が配置されている。磁石１１１ａおよび１１１ｂの各々の磁極は軸方向を向いている。

一方、軸１０３の上端部１０３ｂおよび下端部１０３ｃの各々には、リング状の磁石１１２ａおよび１１２ｂの各々が配置されている。磁石１１２ａおよび１１２ｂの各々の磁極は軸方向を向いており、磁石１１１ａおよび１１１ｂの各々と互いに対向している。磁石１１１ａと磁石１１２ａとによって磁性流体軸受１０１の上部にスラスト軸受１０１ｂが構成されており、磁石１１１ｂと磁石１１２ｂとによって磁性流体軸受１０１の下部にスラスト軸受１０１ｃが構成されている。

以上のように磁性流体軸受１０１は、ラジアル軸受１０１ａによってラジアル方向に支持され、かつスラスト軸受１０１ｂおよび１０１ｃによってスラスト方向に支持されている。

コンピュータのハードディスク（ＨＤＤ）のスイングアームの支点軸受は静止・揺動を繰り返すため、流体動圧軸受を適用することは困難であり、従来ミニチュア転がり軸受が用いられていた。しかし、上記の磁性流体軸受を用いれば、転がり軸受のように転動体と軌道面とが直接固体接触するのを避けることができるため、転がり軸受よりも滑らかな摺動特性を得ることができる。加えて、磁性流体の粘性によって軸受に高減衰性を付与することもできる。このため、磁性流体軸受はＨＤＤのスイングアームの支点軸受として好適であり、また揺動運動の支点軸受として広く使用され得る。

なお、図１５（ａ）、（ｂ）に示す磁性流体軸受は、たとえば特開２００７−５６９７８号公報（特許文献１）に開示されている。
特開２００７−５６９７８号公報

図１５（ａ）、（ｂ）に示す磁性流体軸受は、従来、以下の方法によって製造されて（組立てられて）いた。始めに、磁石１１２ｂおよび永久磁石材料１０７を中空軸体１０６に接着する。次に、永久磁石材料１０７（軸１０３）の外周面１０３ａに磁性流体１０５を塗布する。続いて、軸受外輪１０２に磁石１１１ａおよび１１１ｂを接着し、この軸受外輪１０２を軸１０３に挿入する。続いて、磁石支持部材１０８に磁石１１２ａを接着する。その後、中空軸体１０６および永久磁石材料１０７に磁石支持部材１０８を接着する。

しかし、上記の製造方法においては、軸受隙間ｇ１０１から中空軸体１０６および永久磁石材料１０７における接着部分に磁性流体１０５が溢れ出し、磁石支持部材１０８の接着が困難になることがあった。このため、容易に磁性流体軸受を製造することができなかった。また、磁石支持部材１０８を接着する際の接着剤が磁性流体１０５内に混入し、製造される磁性流体軸受の品質低下を招くことがあった。

したがって、本発明の目的は、容易に製造することができ、かつ軸受の品質を向上することのできる磁性流体軸受の製造方法および磁性流体軸受を提供することである。

本発明の磁性流体軸受の製造方法は、以下の工程を備えている。円筒形状の軸本体と第１スラスト部とを有する軸を準備する。中空部分を有する外輪を準備する。軸本体の外周面または外輪の内周面に複数の磁極を形成する。複数の磁極を形成する工程の後で、外輪の中空部分に軸本体を配置する。軸本体が中空部分に配置された状態で、第１スラスト部は外輪の一方の軸方向端面と対向している。軸本体を配置する工程の後で、外輪の他方の軸方向端面と対向する第２スラスト部を軸本体に接着する。第２スラスト部を接着する工程の後に、軸本体と外輪との間の軸受隙間に磁性流体を注入する。

本発明の磁性流体軸受の製造方法によれば、磁性流体が軸受隙間にない状態で第２スラスト部を接着するので、軸本体における接着部分に磁性流体が付着することがなくなり、第２スラスト部を容易に接着することができる。その結果、磁性流体軸受を容易に製造することができる。また、磁性流体が軸受隙間にない状態で第２スラスト部を接着するので、第２スラスト部を接着する際の接着剤が磁性流体内に混入することがなくなり、製造される磁性流体軸受の品質を向上することができる。

上記製造方法において好ましくは、磁性流体を注入する工程は、軸受隙間を減圧する工程を含んでいる。これにより、大気圧との圧力差により磁性流体が軸受隙間に入り込むので、磁性流体を軸受隙間へ容易に注入することができる。

上記製造方法において好ましくは、磁性流体を注入する工程は、減圧雰囲気において軸受隙間を磁性流体内に浸漬する工程を含んでいる。これにより、軸受隙間に存在している大気圧の空気が減圧雰囲気中に放出され、磁性流体が軸受隙間に入り込むので、磁性流体を軸受隙間へ容易に注入することができる。

上記製造方法において好ましくは、軸受隙間の減圧または減圧雰囲気の実現に真空ポンプを用いる。これにより、軸受隙間または雰囲気を容易に減圧することができる。

上記製造方法において好ましくは、磁性流体を注入する工程は、磁石の磁力を用いて磁性流体を軸受隙間へ誘導する工程を含んでいる。これにより、磁性流体を軸受隙間へ容易に注入することができる。磁石は永久磁石または電磁石であることが好ましい。

本発明の磁性流体軸受は、上記製造方法によって製造されている。

本発明の磁性流体軸受の製造方法および磁性流体軸受によれば、容易に製造することができ、かつ軸受の品質を向上することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における磁性流体軸受の構成を示す断面図である。図１を参照して、本実施の形態における磁性流体軸受１は、軸としての固定軸１０と、外輪としての外輪スリーブ４と、第２スラスト部としてのスラスト板５と、磁性流体７とを主に備えている。固定軸１０の外周には、ラジアル軸受隙間を隔てて外輪スリーブ４が配置されている。固定軸１０の外周面と外輪スリーブ４の内周面と軸受隙間には磁性流体７が注入されている。固定軸１０の上端部には円盤状のスラスト板５が固定されている。

固定軸１０は、軸本体２と、第１スラスト部としてのフランジ部６とを有している。軸本体２の外周面には磁極形成部３が形成されている。軸本体２は中空部分８を有しており、中空部分８の内周面には雌ネジが形成されている。フランジ部６は円盤状であり、円筒形状の軸本体２の下端部に軸本体２と一体的に形成されている。スラスト板５およびフランジ部６の各々は軸本体２に対して垂直な方向（図中横方向）に延在している。スラスト板５、軸本体２、およびフランジ部６によって凹部１１が形成されている。凹部１１は内径方向に窪んだ部分である。

外輪スリーブ４は中空部分を有する円筒形状を有しており、固定軸１０を中心として回転可能に配置されている。外輪スリーブ４の中央部の内周面は内径方向に突出しており、凸部１２を構成している。外輪スリーブ４の凸部１２と固定軸１０の凹部１１とは互いに対向している。

図２（ａ）は図１のＡ部拡大図であり、図２（ｂ）は図１のＢ部拡大図である。図１および図２（ａ）、（ｂ）を参照して、スラスト板５の下面５ａと、外輪スリーブ４の凸部１２の軸方向上端面４ａとは互いに対向している。また、磁極形成部３の（軸本体２の）外周面２ｂと、外輪スリーブ４の内周面４ｂとは互いに対向している。さらに、フランジ部６の上面６ａと、外輪スリーブ４の凸部１２の軸方向下端面４ｃとは互いに対向している。軸本体２の外周面２ｂと外輪スリーブ４の内周面４ｂとの隙間には磁性流体７が注入されており、軸本体２の外周面２ｂと、外輪スリーブ４の内周面４ｂと、磁性流体７とによってラジアル軸受１ａが構成されている。また、外輪スリーブ４の軸方向上端面４ａと、スラスト板５の下面５ａとによってスラスト軸受１ｂが構成されている。さらに、外輪スリーブ４の軸方向下端面４ｃと、フランジ部６の上面６ａとによってスラスト軸受１ｃが構成されている。

なお、外輪スリーブ４、軸本体２、スラスト板５、およびフランジ部６の各々は、たとえばオーステナイト系ステンレス鋼や黄銅などの非磁性体よりなっている。磁極形成部３はたとえばフェライトなどの磁性体よりなっている。また、磁性流体７は、たとえば磁性粒子をコロイド状に分散させた液体によって構成されている。また、たとえば脂肪酸、アルコール、脂肪族アミド、エステル、または硫化油脂などの材料またはこれらの材料の誘導体（以下、潤滑材料と記すこともある）が０．１質量％〜３質量％の範囲で上記液体中にさらに添加されてもよい。これらの潤滑材料は金属表面への吸着性の高い極性物質であり、高い潤滑能力を有しているので、磁性流体７の潤滑性を向上することができる。

図３は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面における磁極形成部の磁極分布を示す図であり、図４は磁極形成部の展開図における磁極分布を示す図である。図３および図４を参照して、磁極形成部３には複数の磁極が形成されており、円周方向（図４中横方向）に複数の磁極が並ぶように着磁されている。円周方向で隣り合う磁極同士は互いに異極となっており、複数の磁極の各々は軸方向（図４中縦方向）に延びている。

なお、磁極形成部３の着磁状態は自由であり、図３および図４に示す着磁状態の他、たとえば図５または図６に示すような着磁状態であってもよい。図５を参照して、磁極形成部３は軸方向に複数の磁極が並ぶように着磁されている。軸方向で隣り合う磁極同士は互いに異極となっており、複数の磁極の各々は円周方向に延びている。図６を参照して、磁極形成部３は軸方向および円周方向に複数の磁極が並ぶように着磁されている。軸方向および円周方向の各々で隣り合う磁極同士は互いに異極となっている。

なお、上記においては磁極形成部３が着磁されている場合について示したが、軸本体２の外周面２ｂに複数の孔を形成され、複数の孔の各々の内部に永久磁石を埋め込むことによって磁極形成部３が形成されてもよい。少なくとも軸本体２の外周面２ｂに複数の磁極が形成されていればよい。

続いて、本実施の形態における磁性流体軸受１の製造方法について、図７〜図１２を用いて説明する。

始めに図７を参照して、磁極形成部３を除く軸本体２の部分２ａと、フランジ部６とを一体的に形成する。そして、複数の磁極を形成した磁極形成部３を図中矢印で示す方向に部分２ａに嵌め込み、部分２ａの外周面に固定（たとえば接着）する。これにより、固定軸１０が準備され、また軸本体２の外周面２ｂに複数の磁極が形成される。

なお、固定軸１０全体を磁性体で形成し、軸本体２とフランジ部６とを一体的に形成した後、軸本体２の外周面を着磁してもよい。

次に図８を参照して、中空部分１３を有する外輪スリーブ４を準備する。中空部分１３は外輪スリーブ４の内部を図中縦方向に貫通するように形成されている。そして、外輪スリーブ４を図中矢印で示す方向に軸本体２に挿入する。その結果、外輪スリーブ４の中空部分１３に軸本体２が配置される。この状態では、軸本体２の外周面２ｂが外輪スリーブ４の内周面４ｂと対向しており、フランジ部６の上面６ａが外輪スリーブ４の軸方向下端面４ｃと対向している。

次に図９を参照して、スラスト板５を図中矢印で示す方向に軸本体２に嵌め込み、固定軸１０の軸方向上端面１０ａにスラスト板５を接着する。その結果、スラスト板５の下面５ａが外輪スリーブ４の軸方向上端面４ａと対向する。

続いて、接着剤が固化した後で、軸本体２の外周面２ｂと外輪スリーブ４の内周面４ｂとの間の軸受隙間ｇ１に磁性流体を注入する。磁性流体の注入の際には、軸受隙間ｇ１の上部の開口部（スラスト板５と外輪スリーブ４との隙間）または下部の開口部（フランジ部６と外輪スリーブ４との隙間）から磁性流体を流し込んでもよいが、以下に説明する３つの方法のいずれかを採用することにより、効率的に磁性流体を注入することができる。

図１０は、本発明の実施の形態１における磁性流体の第１の注入方法を模式的に示す図である。図１０を参照して、始めに、図９に示す形状に組立てられた固定軸１０、外輪スリーブ４、およびスラスト板５を基台３２上に配置する。このとき、基台３２と外輪スリーブ４との間にＯリング３３を挟む。また、たとえば軸本体２の中空部分８に雄ネジ３１を螺合することにより、中空部分８を密閉する。次に、フランジ部６と外輪スリーブ４との隙間を完全に覆うように磁性流体７をフランジ部６の外周に塗布する。フランジ部６と外輪スリーブ４との隙間は狭いので、この状態では磁性流体７は軸受隙間ｇ１内に入り込みにくい。続いて、図示しない真空ポンプを用いて、基台３２の吸気通路３２ａを図中下方向から吸気する。これにより、スラスト板５と外輪スリーブ４との隙間を通じて軸受隙間ｇ１が減圧され、大気圧との圧力差により磁性流体７が軸受隙間ｇ１に入り込む。軸受隙間ｇ１内に入り込んだ磁性流体７は、磁極形成部３の磁力によって軸本体２の外周面に吸着するので、圧力差が適切に設定されていれば、スラスト板５と外輪スリーブ４との隙間から磁性流体７が図中下側へ流れ出ることはない。

また図１１は、本発明の実施の形態１における磁性流体の第２の注入方法を模式的に示す図である。図１１を参照して、図９に示す形状に組立てられた固定軸１０、外輪スリーブ４、およびスラスト板５を、磁性流体７を充填した容器３４内に浸漬し、この容器３４をチャンバ３６内に配置する。なお、図９に示す構造全体が磁性流体７内に浸漬される必要はなく、少なくとも軸受隙間ｇ１が磁性流体７内に浸漬されればよい。そして、真空ポンプを用いてチャンバ３６内を減圧雰囲気とする。これにより、軸受隙間ｇ１に存在している大気圧の空気がチャンバ３６中に放出され、磁性流体７が軸受隙間ｇ１に入り込む。

さらに図１２は、本発明の実施の形態１における磁性流体の第３の注入方法を模式的に示す図である。図１２を参照して、始めに、たとえばフランジ部６と外輪スリーブ４との隙間を完全に覆うように磁性流体７をフランジ部６の外周に塗布する。次に、外輪スリーブ４の外周面に沿って、磁石３７を図中上端部から図中下端部へ向かって移動させる。これにより、磁石３７の磁力に引かれて、磁性流体７が軸受隙間ｇ１内へ誘導される。磁石３７は永久磁石であってもよいし、電磁石であってもよい。また、磁石３７の磁力が磁極形成部３の磁力よりも大きいことが好ましい。

磁性流体７の注入が完了したら、磁石３７が電磁石である場合には電源を落とし、磁石３７が永久磁石である場合には図中左方に磁石３７を外輪スリーブ４から離す。これにより、スラスト板５と外輪スリーブ４との隙間から磁性流体７が図中下側へ流れ出ることはない。

以上の工程により、図１に示す磁性流体軸受１が完成する。
本実施の形態における磁性流体軸受１の製造方法は、以下の工程を備えている。円筒形状の軸本体２とフランジ部６とを有する固定軸１０を準備する。中空部分１３を有する外輪スリーブ４を準備する。軸本体２の外周面２ｂに磁極形成部３を形成する。磁極形成部３を形成する工程の後で、外輪スリーブ４の中空部分１３に軸本体２を配置する。軸本体２が中空部分１３に配置された状態で、フランジ部６は外輪スリーブ４の軸方向下端面４ｃと対向している。軸本体２を配置する工程の後で、外輪スリーブ４の軸方向上端面４ａと対向するスラスト板５を軸本体２に接着する。スラスト板５を接着する工程の後に、軸本体２と外輪スリーブ４との間の軸受隙間ｇ１に磁性流体７を注入する。

本実施の形態における磁性流体軸受１の製造方法によれば、磁性流体７が軸受隙間ｇ１にない状態でスラスト板５を接着するので、軸本体２における接着部分に磁性流体７が付着することがなくなり、スラスト板５を容易に接着することができる。その結果、磁性流体軸受１を容易に製造することができる。また、磁性流体７が軸受隙間ｇ１にない状態でスラスト板５を接着するので、スラスト板５を接着する際の接着剤が磁性流体７内に混入することがなくなり、製造される磁性流体軸受１の品質を向上することができる。

（実施の形態２）
図１３は、本発明の実施の形態２における磁性流体軸受の構成を示す断面図である。図１３を参照して、本実施の形態における磁性流体軸受１は、磁極形成部３が軸本体２の外周面２ｂに配置される代わりに、外輪スリーブ４の内周面４ｂに配置されている点において、実施の形態１の磁性流体軸受とは異なっている。

磁極形成部３は、外輪スリーブ４と別体で形成されてもよいし、外輪スリーブ４と一体的に形成されてもよい。外輪スリーブ４と別体で形成する場合、着磁された磁極形成部３が外輪スリーブ４の内周面４ｄに接着されてもよいし、外輪スリーブ４の内周面４ｄに嵌合されてもよい。外輪スリーブ４と一体的に形成する場合、磁性体よりなる外輪スリーブ４の内周面が着磁されてもよいし、外輪スリーブ４の内周面に複数の孔が形成され、複数の孔の各々の内部に永久磁石が埋め込まれてもよい。

本実施の形態における磁性流体軸受１の製造方法においては、図７に示す工程の代わりに、外輪スリーブ４の内周面４ｂに磁極形成部３を形成する。

なお、これ以外の磁性流体軸受１の構成および製造方法は、実施の形態１における磁性流体軸受の構成および製造方法と同様であるので、同一の部材には同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

本実施の形態における磁性流体軸受１の製造方法によれば、実施の形態１における製造方法と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態３）
図１４は、本発明の実施の形態３におけるＨＤＤのスイングアーム装置の構成を示す断面図である。図１４を参照して、スイングアーム装置２１は、磁性流体軸受１と、スイングアーム２２とを備えている。磁性流体軸受１としては実施の形態１または２に記載のものが用いられる。基台２３と、磁性流体軸受１の固定軸１０の中空部分８とに雄ネジ２７を螺合させることによって、基台２３に固定軸１０が固定されている。磁性流体軸受１の外輪スリーブ４にはスイングアーム２２が取り付けられている。これにより、スイングアーム２２は固定軸１０（雄ネジ２７）を支点として揺動可能となっている。スイングアーム２２の図中左端には、磁気ディスク２５に情報を記録するための磁気ヘッド２４が設けられており、磁気ヘッド２４は磁気ディスク２５の情報記録面に対向している。スイングアーム２２の図中右端にはヘッド位置決め機構２６のロータ２６ａが設けられている。基台２３にはロータ２６ａに対向するようにヘッド位置決め機構２６のステータ２６ｂが設けられている。ロータ２６ａはコイルにより構成されており、ステータ２６ｂは永久磁石により構成されている。スイングアーム装置２１においては、ロータ２６ａに電流を流すことによって、スイングアーム２２を揺動させる力を発生させ、磁気ヘッド２４を所望の位置へ移動させる。つまり、アクチュエータであるボイスコイルモータとしてのヘッド位置決め機構２６により、スイングアーム２２の揺動運動がサーボ制御され、磁気ヘッド２４の位置決めがなされる。

スイングアーム２２の揺動運動において回転方向が切り替わる際には必ず回転速度がゼロになり、死点が存在する。さらに、スイングアーム装置２１では頻繁にスイングアーム２２の起動および停止がなされるため、起動および停止の度にスイングアーム２２の回転速度がゼロになる。磁性流体軸受１は、固定軸１０の外周面と外輪スリーブ４の内周面との間に満たされる磁性流体によって、固定軸１０と外輪スリーブ４とが常に非接触で支持されるので、ＨＤＤのスイングアーム装置のスイングアームの支持構造として好適である。

なお、実施の形態１および２においては、図１に示す磁性流体軸受１の製造方法について説明したが、本発明の製造方法は図１以外の構造の磁性流体軸受にも適用することができ、たとえば図１５（ａ）、（ｂ）に示す磁性流体軸受にも適用することができる。

以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。

本発明の磁性流体軸受は、ＨＤＤのスイングアームの支点軸受として使用される磁性流体軸受として適している。

本発明の実施の形態１における磁性流体軸受の構成を示す断面図である。 （ａ）は図１のＡ部拡大図であり、（ｂ）は図１のＢ部拡大図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面における磁極形成部の磁極分布を示す図である。 磁極形成部の展開図における磁極分布を示す図である。 磁極形成部の展開図における磁極分布の他の例を示す図である。 磁極形成部の展開図における磁極分布のさらに他の例を示す図である。 本発明の実施の形態１における磁性流体軸受の製造方法の第１工程を示す断面図である。 本発明の実施の形態１における磁性流体軸受の製造方法の第２工程を示す断面図である。 本発明の実施の形態１における磁性流体軸受の製造方法の第３工程を示す断面図である。 本発明の実施の形態１における磁性流体の第１の注入方法を模式的に示す図である。 本発明の実施の形態１における磁性流体の第２の注入方法を模式的に示す図である。 本発明の実施の形態１における磁性流体の第３の注入方法を模式的に示す図である。 本発明の実施の形態２における磁性流体軸受の構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態３におけるＨＤＤのスイングアーム装置の構成を示す断面図である。 （ａ）は、代表的な磁性流体軸受の構成を示す断面図である。（ｂ）は（ａ）のＣ部拡大図である。

符号の説明

１，１０１ 磁性流体軸受、１ａ，１０１ａ ラジアル軸受、１ｂ，１ｃ，１０１ｂ，１０１ｃ スラスト軸受、２ 軸本体、２ａ 軸本体の部分、２ｂ 軸本体の外周面、３ 磁極形成部、４ 外輪スリーブ、４ａ 外輪スリーブの軸方向上端面、４ｂ，４ｄ 外輪スリーブの内周面、４ｃ 外輪スリーブの軸方向下端面、５ スラスト板、５ａ スラスト板の下面、６ フランジ部、６ａ フランジ部の上面、７，１０５ 磁性流体、８，１３ 中空部分、１０ 固定軸、１０ａ 固定軸の軸方向上端面、１１ 凹部、１２ 凸部、２１ スイングアーム装置、２２ スイングアーム、２３，３２ 基台、２４ 磁気ヘッド、２５ 磁気ディスク、２６ ヘッド位置決め機構、２６ａ ロータ、２６ｂ ステータ、２７，３１ 雄ネジ、３２ａ 吸気通路、３３ Ｏリング、３４ 容器、３６ チャンバ、３７，１１１ａ，１１１ｂ，１１２ａ，１１２ｂ 磁石、１０２ 軸受外輪、１０３ 軸、１０２ａ〜１０２ｃ 軸受外輪の内周面、１０３ａ 軸の外周面、１０３ｂ 軸受外輪の上端部、１０３ｃ 軸受外輪の下端部、１０６ 中空軸体、１０６ａ 中空軸体の外周面、１０７ 永久磁石材料、１０８ 磁石支持部材、ｇ１，ｇ１０１ 軸受隙間。

Claims (8)

1. 円筒形状の軸本体と第１スラスト部とを有する軸を準備する工程と、
   中空部分を有する外輪を準備する工程と、
   前記軸本体の外周面または前記外輪の内周面に複数の磁極を形成する工程と、
   前記複数の磁極を形成する工程の後で、前記外輪の前記中空部分に前記軸本体を配置する工程とを備え、
   前記軸本体が前記中空部分に配置された状態で、前記第１スラスト部は前記外輪の一方の軸方向端面と対向し、
   前記軸本体を配置する工程の後で、前記外輪の他方の軸方向端面と対向する第２スラスト部を前記軸本体に接着する工程と、
   前記第２スラスト部を接着する工程の後に、前記軸本体と前記外輪との間の軸受隙間に磁性流体を注入する工程とをさらに備える、磁性流体軸受の製造方法。
2. 前記磁性流体を注入する工程は、前記軸受隙間を減圧する工程を含む、請求項１に記載の磁性流体軸受の製造方法。
3. 前記磁性流体を注入する工程は、減圧雰囲気において前記軸受隙間を磁性流体内に浸漬する工程を含む、請求項１に記載の磁性流体軸受の製造方法。
4. 前記軸受隙間の減圧または前記減圧雰囲気の実現に真空ポンプを用いる、請求項２または３に記載の磁性流体軸受の製造方法。
5. 前記磁性流体を注入する工程は、磁石の磁力を用いて前記磁性流体を前記軸受隙間へ誘導する工程を含む、請求項１に記載の磁性流体軸受の製造方法。
6. 前記磁石は永久磁石である、請求項５に記載の磁性流体軸受の製造方法。
7. 前記磁石は電磁石である、請求項５に記載の磁性流体軸受の製造方法。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載の製造方法によって製造された磁性流体軸受。

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