JP2009007210A - 遮光体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板13上に0.2〜500μmの厚さを有する純度99.0%以上のMgO膜12が形成され、MgO膜12が厚さ0.1〜10μmの保護膜11で被覆され、波長280〜380nmの範囲の紫外線を含む光を受けると、この光を受ける前と比べて、光の透過率が0.5%以上減少する遮光体である。また透明基板の内部に電熱線が配線され、電熱線の加熱により、減少した光の透過率を紫外線を照射する前の透過率までほぼ回復することができる。
【選択図】図1
Description
先ずターゲット材としてMgO純度が99.9%であり、C濃度50ppm、遷移金属元素として、Fe、Mn及びZnをそれぞれ10ppm、Siを20ppm含有するMgO粉末を、溶媒としてのアルコールに分散させて分散液を調製した。この分散液にはMgO粉末の分散性向上のための分散剤を適宜添加した。この分散液に、バインダとしてポリエステル、有機溶媒としてアルコールを添加した混合溶液をマグネチックスターラーで攪拌してMgO塗料を得た。また透明基板としては、厚さ3mmのガラス基材を用意した。次いで、このガラス基材上にドクターブレード法により、上記MgO塗料を塗布した後、この透明基材13を乾燥し、150℃で焼成して塗膜を固定することにより透明基材13上に厚さ100μmのMgO膜を形成した。次にSiO2の濃度が1質量%となるようにテトラメトキシシランをエタノールに溶解した溶液に、触媒として硝酸を0.005質量%添加した。この溶液を60℃で60分間加熱した後、冷却して保護膜形成用液を調製した。次いで、スピンコートティング法を用いて、この保護膜形成用液をMgO膜上に塗膜した後、200℃の温度で30分間大気中で加熱してMgO膜表面に厚さ0.5μmのSiO2膜を成膜し、以下の表1に示す、本発明の遮光体を形成した。
以下の表1に示すように、透明基板として厚さ3mmのガラス基材を使用し、またMgO膜の厚さを250μm及び保護膜の厚さを0.5μmとしたこと以外は実施例1と同じ条件で本発明の遮光体を形成した。
以下の表1に示すように、透明基板として厚さ3mmのガラス基材を使用し、またMgO膜の厚さを400μm及び保護膜の厚さを0.5μmとしたこと以外は実施例1と同じ条件で本発明の遮光体を形成した。
透明基板として厚さ3mmのガラス基材を使用し、またMgO膜の厚さを500μm及び保護膜の厚さを0.5μmとしたこと以外は実施例1と同じ条件で本発明の遮光体を形成した。
透明基板として厚さ3mmのガラス基材を使用し、またMgO膜の厚さを0.8μm及び保護膜の厚さを0.5μmとしたこと以外は実施例1と同じ条件で本発明の遮光体を形成した。
以下の表1に示すように、MgO膜の厚さを0.1μmとしたこと以外は実施例1と同じ条件で遮光体を形成した。
以下の表1に示すように、MgO膜の厚さを2000μmとしたこと以外は実施例1と同じ条件で遮光体を形成した。
MgO膜を純度99.0%未満の98.5%であるMgO蒸着材によりMgO膜を形成させたこと以外は実施例1と同じ条件で、以下の表1に示す遮光体を形成した。
特定波長域の紫外線を含む光として模擬的に高圧水銀ランプ(波長200〜600nm:ウシオ電機社製)を用いて、このランプの光を実施例1〜5及び比較例1〜3で形成した遮光体に照射した。これら遮光体の可視光透過率を分光光度計(日立製作所社製:U−4000)を用いて測定した。測定は紫外線を照射する前と照射した後行った。上記高圧水銀ランプの照射条件は照射強度86mW/cm2及び照射量500mJ/cm2であった。その結果を表2に示す。
実施例1における紫外線照射後のMgO膜を、透明基板の内部に配線された電熱線により、以下の表3に示す温度及び時間で加熱した後、可視光透過率を測定した。
まず膜厚100μm、初期透過率92.5%のMgO膜に、照射強度1000mJ/cm2及び照射量120mJ/cm2で紫外線を照射して透過率を減少させた。次にMgO膜をヒーターにより150℃で30分間加熱してMgO膜の透過率を上昇させた後、室温で冷却した。この工程を1サイクルとし、この1サイクルを複数回繰り返して行う再現試験を行った。20、30及び50サイクル後の結果を以下の表4に示す。
12 MgO膜
13 基板
14 ヒーター
Claims (2)
- 透明基板上に0.2〜500μmの厚さを有する純度99.0%以上のMgO膜が形成され、前記MgO膜が厚さ0.1〜10μmの保護膜で被覆された遮光体であって、
波長280〜380nmの範囲の紫外線を含む光を受けると、この光を受ける前と比べて、光の透過率が0.5%以上減少することを特徴とする遮光体。 - 透明基板の内部に電熱線が配線された請求項1記載の遮光体。
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