JP2009000732A - ネオジム磁石の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ光Lを照射してネオジム磁石Nを切断加工又は溝加工する加工方法であって、レーザ光Lが、波長1000〜1100nmの基本波を有する固体レーザの前記基本波又はその高調波である。これにより、加工部位周辺の粒界相の破壊を最小限に留めて保磁力を維持することができると共に、加工ロスを大幅に低減して高精度な加工を実現することができる。
【選択図】 図1
Description
従来、ネオジム磁石の切断加工は、例えば特許文献1に記載されているように、電鋳ダイヤモンド工具プレートやワイヤーソー等の工具を使用して行うことが主であった。
また、ネオジム磁石の切断加工方法として、上記工具を用いる方法以外に、例えば特許文献2に記載されているように、レーザ光を用いる方法も知られている。
工具を用いたネオジム磁石の切断方法は、これら工具が高価なダイヤモンド砥粒を用いて製造されるために工具自体が高コストであると共に、切断する際にブレードの刃厚分の加工ロス(切断幅分又は溝幅分のロス)が生じていた。また、上記工具によるメカニカルな加工の場合、加工部位周囲の組織にダメージを与えて、保磁力を低下させてしまう問題があった。また、ネオジム磁石をレーザ光で加工する場合、従来、CO2レーザ(波長10.6μm)等の長波長レーザ光を用いて加工しているが、ネオジム磁石での熱拡散が大きく、この場合も熱影響によって磁石組織にダメージを与えてしまう不都合があった。
すなわち、ネオジム磁石は、図3の(a)に示すように、粒界相Dに包まれた主相Mがそれぞれ磁区を形成しており、この磁区が多いほど保磁力が高くなるが、上記工具を用いたメカニカルな加工や従来のレーザ光による加工の場合、図3の(b)に示すように、熱影響等により加工部位の周囲組織にダメージを与えて粒界相Dを破壊してしまう問題がある。この粒界相破壊により、ネオジム磁石の保磁力が低下してしまう不都合があった。特に、小さなネオジム磁石を得ようと上記従来の加工を行うと、加工による保磁力低下が顕著に生じてしまっていた。
特に、上記固体レーザの高調波を用いてレーザ加工することで、より短波長化された高エネルギーのレーザ光により、基本波よりも高い吸収率が得られ、より高い加工速度で加工を行うことが可能になり、スループットを向上させることができる。
すなわち、本発明のネオジム磁石の加工方法によれば、波長1000〜1100nmの基本波を有する固体レーザの前記基本波又はその高調波でネオジム磁石を切断加工又は溝加工するので、加工部位周辺の粒界相の破壊を最小限に留めて保磁力を維持することができると共に、加工ロスを大幅に低減して高精度な加工を実現することができる。したがって、保磁力が維持されていると共に高い加工品質で加工されたネオジム磁石を得ることができる。
このガス噴射機構4は、窒素(N2)又はアルゴン(Ar)の非酸化性ガスの供給源4aと、該供給源4aに接続され供給源4aからの非酸化性ガスをネオジム磁石Nへ噴きつけるノズル4bと、を備えている。
上記XYステージ2は、ネオジム磁石Nを保持する保持部(図示略)を備え、ステッピングモータ等により水平平面(XY平面)上の垂直2方向(X方向及びY方向)にそれぞれ移動可能で、水平平面の任意の方向に移動できる構成を有している。また、上記回転ステージ3は、XYステージ2上に保持したネオジム磁石2を通る中心軸を軸回りとしてステッピングモータ等によりXY平面内で回転可能な構成とされている。
まず、加工対象であるネオジム磁石NをXYステージ2上の保持部に固定する。この際、制御部CによりXYステージ2及び回転ステージ3を駆動してネオジム磁石Nをレーザ光Lが照射される所定位置に配置する。そして、レーザ光源1を駆動し、例えばGreenレーザ光を出射し、集光光学系5を介して保持状態のネオジム磁石Nの所定部位にGreenレーザ光を集光して照射する。
例えば、出力20WのGreenレーザ光をレーザ光Lとして照射した場合、50μm以下の溝幅で、かつ1mm/sec以下の加工速度で、2mm以上の溝深さが得られる。
また、Nd:YAGレーザ、Nd:YLFレーザ又はNd:YVO4レーザの基本波又はその高調波をレーザ光Lとして照射するので、いずれもネオジム(Nd)を含む固定レーザからのレーザ光であり、ネオジム磁石Nに含まれるネオジムの遷移エネルギーと同レベル以上のエネルギーが得られ、高い吸収効果を得ることができる。
例えば、上記実施形態では、制御部CによりXYステージ2や回転ステージ3を駆動してネオジム磁石Nを移動させて加工を行うが、ネオジム磁石Nを固定し、集光光学系5を制御してレーザ光Lを走査しても構わない。
Claims (4)
- レーザ光を照射してネオジム磁石を切断加工又は溝加工する加工方法であって、
前記レーザ光が、波長1000〜1100nmの基本波を有する固体レーザの前記基本波又はその高調波であることを特徴とするネオジム磁石の加工方法。 - 請求項1に記載のネオジム磁石の加工方法において、
前記固体レーザが、Nd:YAGレーザ、Nd:YLFレーザ又はNd:YVO4レーザであることを特徴とするネオジム磁石の加工方法。 - 請求項1又は2に記載のネオジム磁石の加工方法において、
前記切断加工又は溝加工を非酸化性雰囲気中で行うことを特徴とするネオジム磁石の加工方法。 - 請求項3に記載のネオジム磁石の加工方法において、
前記切断加工又は溝加工の加工部分に非酸化性ガスを吹き付けながら前記レーザ光を照射することを特徴とするネオジム磁石の加工方法。
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