JP2008536395A - 電気的応答デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ある1つの特徴では、空間的に変調された構造特性を有するデバイスに関する。このデバイスの励起及び/又は感知手段は、変調された構造特性と実質的に相関している。構造特性(例えば、剛性や質量特性)の選択的な変調の結果として、好適な共鳴モード形状が生じる。例えば、励起手段を構造変調と相関させることによって、好適な共鳴が選択的に励起され、結果的に好適な通過帯域が生じる。感知手段を構造変調と相関させることによって、好適な共鳴の選択的な感知が可能になり、また、結果的に、好適な通過帯域が得られる。
本発明は、別の側面では、電気応答デバイス(例えば、共鳴デバイス)を製造する方法であって、電極材料を電気応答材料の表面の少なくとも一部に適用するステップを含む。この方法は、更に、前記電極材料の少なくとも1つの領域を選択的に除去して前記電気応答材料を露出させるステップを含む。この方法は、更に、前記電極材料の前記少なくとも1つの領域に対応する領域において前記電気応答材料の少なくとも一部を選択的に除去して前記デバイスの少なくとも1つの共鳴モードを実質的に修正するステップを含む。
欠いた位置を有する電気応答デバイスは、また、デバイスと関連する信号の動的増幅を改善する。これは、電気応答材料が位置244に配置されている場合には生じるである材料の減衰が減少することに起因する。
Claims (58)
- 電気応答デバイスを製造する方法であって、
電気応答材料を基板材料の表面の少なくとも一部に適用するステップと、
前記電気応答材料の表面の少なくとも一部に電極材料を適用するステップと、
前記電極材料の少なくとも1つの領域を選択的に除去して前記電気応答材料を露出させるステップと、
前記電極材料の前記少なくとも1つの領域に対応する領域において、前記電気応答材料の少なくとも一部を選択的に除去するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、前記電気応答材料は電気活性又は電気光材料であることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料の除去と前記電気応答材料の除去とは、前記デバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを実質的に修正することを特徴とする方法。
- 請求項3記載の方法において、前記少なくとも1つの共鳴モードは前記デバイスの第1のモードよりも大きいなモードであることを特徴とする方法。
- 請求項3記載の方法において、前記1又は複数の共鳴モードを修正する前記ステップは前記デバイスの応答の前記少なくとも1つの共鳴モードを実行するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項5記載の方法において、前記デバイスの応答の前記少なくとも1つの共鳴モードを実行する前記ステップは、前記電極材料の特定のパターンと関連する前記デバイスの王との前記少なくとも1つの共鳴モードを実行するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電気応答材料の除去は、前記デバイスの他の共鳴モードと関連するモード・オーバラップ及びスピルオーバを減少させることによって前記デバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを実質的に修正するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料の前記少なくとも1つの領域に対応する領域において前記基板材料の少なくとも一部を選択的に除去するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料の除去と前記電気応答材料の除去とはエッチング・プロセスを含むことを特徴とする方法。
- 請求項9記載の方法において、前記エッチング・プロセスは、ウェット・エッチング、ドライ・エッチング、プラズマ・エッチング、レーザ支援エッチング、レーザ・アブレーション、イオンビーム・ミリング及び電子ビーム・エッチングによるエッチング・プロセスから構成されるグループから選択されることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料の除去と前記電気応答材料の除去とは単一の除去ステップを用いて実行されることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電気応答材料を前記基板材料の表面に適用する前記ステップは、前記電気応答材料を前記電極材料の表面の上に適用するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項12記載の方法において、前記電気応答材料は前記電気応答材料の反応性スパッタリングによって適用されることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料を前記電気応答材料の表面に適用する前記ステップは、前記電極材料を前記電気応答材料の表面の上に適用するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項14記載の方法において、前記電極材料は物理的蒸着法によって適用されることを特徴とする方法。
- 請求項15記載の方法において、物理的蒸着法は、eビーム蒸着プレーティング及びスパッタリングから構成されるグループから選択されるプロセスを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記基板材料と前記電気応答材料との間に電極材料を適用するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料の前記少なくとも1つの領域に対応する領域において前記電気応答材料を選択的に除去する前記ステップは、前記電極材料の前記少なくとも1つの領域に対応する領域において前記電気応答材料をすべて除去するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記基板材料の一部を選択的に除去するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項19記載の方法において、前記基板材料の一部を選択的に除去する前記ステップは、結果的に、前記基板に支持されない少なくとも1つの領域を有する電気応答材料を生じさせることを特徴とする方法。
- 請求項20記載の方法において、前記支持されない電気応答材料はカンチレバー式の電気活性要素を生じることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電気応答材料は、圧電材料、ピエゾセラミック材料、電気セラミック材料及び単結晶電気活性材料から構成されるグループから選択されることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電極材料の除去は前記電極において櫛形パターンを生じさせることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記基板、電気応答材料、電極材料の組合せを集積回路パッケージの中に組み入れるステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記デバイスはフィルタ又はセンサであることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、選択的に除去された前記電気応答材料の前記領域に充填材料を適用するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項26記載の方法において、前記充填材料は前記電気応答材料の剛性とは異なる剛性を有していることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記電気応答デバイスは流体との物理的相互作用によってロードされる音響波デバイスであることを特徴とする方法。
- 電気応答デバイスを製造する方法であって、
電極材料を電気応答材料の表面の少なくとも一部に適用するステップと、
前記電極材料の少なくとも1つの領域を選択的に除去して前記電気応答材料を露出させるステップと、
前記電極材料の前記少なくとも1つの領域に対応する領域において前記電気応答材料の少なくとも一部を選択的に除去して前記デバイスの少なくとも1つの共鳴モードを実質的に修正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 電気応答デバイスを製造する方法であって、
電気応答材料を基板材料の表面に選択的に適用するステップと、
電極材料を前記電気応答材料の表面に選択的に適用して前記デバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを実質的に修正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 電気応答デバイスであって、
基板材料と、
前記基板の上にある少なくとも1つの電気応答要素と、
前記少なくとも1つの電気応答要素の表面の上にある電極材料と、
を備えており、前記電気応答要素と前記電極材料とはこのデバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを修正するように構成されていることを特徴とする電気応答デバイス。 - 電気応答デバイスであって、
基板材料と、
前記基板の上にある少なくとも1つの電気応答要素と、
前記少なくとも1つの電気応答要素の表面の上にある電極材料と、
を備えており、前記電気応答要素と前記電極材料とは、このデバイスの他の共鳴モードと関連するモード・オーバラップ及びスピルオーバを減少させることによって、このデバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを修正するように、前記基板層においてパターニングされていることを特徴とする電気応答デバイス。 - 請求項32記載のデバイスにおいて、前記電気応答材料は電気活性材料であり、前記電気応答材料と前記電極材料とは少なくとも1つの付勢要素と少なくとも1つの感知要素とを生じるようにパターニングされていることを特徴とするデバイス。
- 請求項32記載のデバイスにおいて、前記電気応答材料と電極材料とは、少なくとも1つの開始(launch)要素と少なくとも1つの受取(receiver)要素とを生じるようにパターニングされていることを特徴とするデバイス。
- 請求項32記載のデバイスにおいて、前記電気応答材料と前記基板材料との間に導電材料を備えていることを特徴とするデバイス。
- 電気応答デバイスであって、
表面を有し平面を定義する基板材料と、
前記基板材料の前記表面の少なくとも一部の上にあり、前記基板材料の前記平面の厚さによって変動する電気応答材料と、
前記電気応答材料の前記表面の上にあり櫛形パターンを有する電極材料と、
を備えていることを特徴とする電気応答デバイス。 - 請求項36記載のデバイスにおいて、前記電極材料の領域は前記電気応答材料のより厚い領域の上にあることを特徴とするデバイス。
- 請求項36記載のデバイスにおいて、前記電極材料の領域は前記電気応答材料のより薄い領域の上にあることを特徴とするデバイス。
- 電気応答デバイスであって、
表面を有する基板材料であって、前記基板材料の平面において厚さが変動する基板材料と、
前記基板材料の前記表面の少なくとも一部の上にある電気応答材料と、
前記電気応答材料の前記表面の上にあり櫛形パターンを有する電極材料と、
を備えていることを特徴とする電気応答デバイス。 - 電気応答デバイスを製造する方法であって、
基板材料の表面の少なくとも一部の上に電気応答材料を適用するステップと、
前記電気応答材料の少なくとも一部を選択的に除去するステップと、
前記電気応答材料の表面の少なくとも一部に電極材料を適用するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項40記載の方法において、前記電極材料を適用する前記ステップは、櫛形の電極パターンを生じるステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項40記載の方法において、前記電極材料を適用する前記ステップは、環状の形状の電極パターンを生じるステップを含むことを特徴とする方法。
- 電気応答デバイスを製造する方法であって、
基板材料の表面の一部に第1の電極材料を適用するステップと、
前記第1の電極材料の表面の少なくとも一部に電気応答材料を適用するステップと、
前記電気応答材料の表面の少なくとも一部に第2の電極材料を適用するステップと、
前記電気応答材料又は前記基板材料の少なくとも一方の一部を選択的に除去して前記デバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを修正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 被検物質を検出する装置であって、
流体チャネルと、
前記流体チャネルの少なくとも1つの表面の少なくとも一部を定義する電気応答デバイスであって、
表面を有し平面を定義する基板材料と、
前記基板材料の前記表面の少なくとも一部の上にあり、前記基板材料の前記平面の厚さによって変動する電気応答材料と、
前記電気応答材料の前記表面の上にあり櫛形パターンを有する電極材料と、
を備えている電気応答デバイスと、
前記デバイスによって出力される少なくとも1つの信号をモニタするモニタリング・デバイスと、
を備えていることを特徴とする装置。 - 被検物質を検出するカートリッジであって、
流体チャネルと、
前記流体チャネルの内部に配置される又は前記流体チャネルの少なくとも1つの表面の少なくとも一部を定義する電気応答デバイスであって、
表面を有し平面を定義する基板材料と、
前記基板材料の前記表面の少なくとも一部の上にあり、前記基板材料の前記平面の厚さによって変動する電気応答材料と、
前記電気応答材料の前記表面の上にあり櫛形パターンを有する電極材料と、
を備えている電気応答デバイスと、
を備えていることを特徴とするカートリッジ。 - 被検物質を検出するキットであって、
流体チャネルと、
前記流体チャネルの少なくとも1つの表面の少なくとも一部を定義する電気応答デバイスであって、前記デバイスの表面に前記被検物質を特異的に結合する第1のコンポーネントと、表面を有し平面を定義する基板材料と、前記基板材料の前記表面の少なくとも一部の上にあり、前記基板材料の前記平面の厚さによって変動する電気応答材料と、前記電気応答材料の前記表面の上にあり櫛形パターンを有する電極材料と、を有する電気応答デバイスと、
前記被検物質と特異的に結合する第2のコンポーネントを含む粒子と、
を備えていることを特徴とするキット。 - 電気応答デバイスを製造する方法であって、
基板材料の少なくとも一部の上に電気応答材料を提供するステップと、
前記電気応答材料又は前記基板材料の少なくとも一方の特性を変化させて狭くかつ低損失の通過帯域を生じさせるステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項47記載の方法において、前記特性は構造的特性であることを特徴とする方法。
- 請求項47記載の方法において、特性を変更させる前記ステップは、前記電気応答材料又は前記基板材料の一部の上の剛性を変化させるステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項47記載の方法において、特性を変更させる前記ステップは、前記電気応答材料又は前記基板材料の一部の上の質量の分配を変化させるステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項47記載の方法において、特性を変更させる前記ステップは、前記電気応答材料の一部を前記電気応答材料の表面の上の電極パターンと実質的に対応するように除去するステップを含むことを特徴とする方法。
- 電気応答デバイスであって、
基板材料と、
前記基板の少なくとも一部の上の電気応答材料と、
を備えており、前記基板材料又は前記電気応答材料の少なくとも一方の特性は、このデバイスの剛性を変化させることによって、このデバイスの共鳴モードを孤立させることを特徴とする電気応答デバイス。 - 電気応答デバイスを製造する方法であって、
基板材料の表面の少なくとも一部の上に電気応答材料を適用するステップと、
前記電気応答材料の表面の少なくとも一部の上に電極材料を適用するステップと、
前記デバイスの前記表面の少なくとも一部の上に材料を適用して、前記デバイスの上の質量分配を変化させ前記デバイスの応答の少なくとも1つの共鳴モードを実質的に修正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 電気応答デバイスであって、
空間的に変調された構造特性を有する複合構造と、
前記空間的に変調された特性と実質的に相関する構造の運動を励起及び感知して狭く低損失の通過帯域を生じる手段と、
を備えていることを特徴とする電気応答デバイス。 - 請求項54記載のデバイスにおいて、前記複合構造は電気活性材料を含むことを特徴とするデバイス。
- 請求項54記載のデバイスにおいて、前記空間的に変調された構造特性は前記構造の表面に沿って周期的であることを特徴とするデバイス。
- 請求項54記載のデバイスにおいて、前記複合構造は、生物的又は化学的物質と結合することができるコンポーネントを含むことを特徴とするデバイス。
- 請求項55記載のデバイスにおいて、約1500オングストロームの材料が前記電気活性材料の領域から除去されて前記複合構造の構造特性を空間的に変調することを特徴とするデバイス。
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