JP2008533305A5

JP2008533305A5 -

Info

Publication number: JP2008533305A5
Application number: JP2008501923A
Authority: JP
Filing date: 2006-03-10
Publication date: 2009-04-23
Anticipated expiration: 2026-03-10

Claims

中心軸の周りに配列された側壁部を有する真空チャンバと、
上記真空チャンバの一方の端部に封止されたスパッタターゲットと、
上記スパッタターゲットと対向して上記中心軸に沿って配列されて、処理すべき基板を支持するためのペデスタルと、
上記中心軸の周りに配列された複数の永久マグネットを有し、上記スパッタターゲットと上記ペデスタルとの間で少なくとも部分的に上記中心軸に沿って配設されたスプリットマグネットリングであって、上記中心軸に沿う第１の磁気極性の少なくとも２つのサブリングを含み、これらのサブリングは、それぞれ上記永久マグネットから構成されており、これらのサブリング間に、上記中心軸に沿った、実質的に磁性の減じた軸方向スペーシングが維持されている、スプリットマグネットリングと、
を備えるスパッタリアクタ。
上記軸方向スペーシングは、上記中心軸に沿う上記サブリングのうちの１つの長さに少なくとも等しい長さを有する、請求項１に記載のスパッタリアクタ。
上記軸方向スペーシングの長さは、上記サブリングのうちの前記１つの長さの５倍以下である、請求項２に記載のスパッタリアクタ。
上記中心軸の周りで回転でき且つ上記スパッタターゲットの上記ペデスタルとは反対の側に配設されたマグネトロンを更に備える、請求項１から３のいずれかに記載のスパッタリアクタ。
上記マグネトロンは、上記第１の磁気極性とは反対の第２の磁気極性の内側ポールを取り囲む上記第１の磁気極性の外側ポールを備え、上記外側ポールの全磁気強度は、上記内側ポールの全磁気強度よりも実質的に大きい、請求項４に記載のスパッタリアクタ。
上記サブリングの各々は、更に、上記永久マグネットを保持する１対の環状磁気部材を、上記永久マグネット用のポール面として備える、請求項１に記載のスパッタリアクタ。
上記真空チャンバの側壁部の外部の周りに配列されて上記サブリングのマグネットを保持するカラーを更に備える、請求項１に記載のスパッタリアクタ。
上記サブリングの各々１つのマグネットの対向端部を保持する複数対の磁気リングを更に備える、請求項７に記載のスパッタリアクタ。
上記スパッタリングターゲットのスパッタリング面は、主として、タンタル、チタン及びタングステンのうちの１つを含む、請求項１から３のいずれかに記載のスパッタリアクタ。
スパッタリアクタの側壁部の周りに配列されるように構成され、且つリングを形成するように一緒に固定できる少なくとも２つのサブリングを備えたスプリットマグネットリングにおいて、各サブリングは、
少なくとも１つの他の部分カラーに固定できる部分カラーと、
軸方向スペースを間に有する少なくとも２つの部分的に環状の配列にて上記部分カラーに保持されるマグネットと、
を備え、マグネットの上記２つの部分的に環状の配列の間のスペーシングは、少なくとも上記マグネットの個々の長さと同じ大きさである、
スプリットマグネットリング。
上記スペーシングは、上記個々の長さ以上であり、かつ、上記個々の長さの５倍以下である、請求項１０に記載のスプリットマグネットリング。
上記部分カラーは、上記マグネットが配設される垂直方向に向いた凹部を有する少なくとも２つの内方に向いたリブを備える、請求項１０及び１１のいずれかに記載のスプリットマグネットリング。
上記リブの対向側部に配設され、それらの間に上記マグネットを保持する少なくとも２対の磁気セグメントを更に備える、請求項１２に記載のスプリットマグネットリング。
金属を基板上へスパッタリングする方法において、
中心軸の周りに配列される真空チャンバを設けるステップと、
金属を含む表面を備えるターゲットを上記真空チャンバに取り付けるステップと、
上記ターゲットに対向させてペデスタル電極上に、処理すべき基板を支持させるステップと、
上記ターゲットから上記金属をスパッタするため上記チャンバ内にプラズマを励起するように上記ターゲットに直流電力を印加するステップと、
上記ターゲットの背後で上記中心軸の周りに非平衡マグネトロンを回転させるステップと、
上記ペデスタル電極を高周波バイアスするステップと、
上記ターゲットと上記ペデスタル電極との間の領域において上記中心軸を取り囲むスプリットマグネットリングを設けるステップと、
を備え、上記スプリットマグネットリングは、上記中心軸に沿う第１の磁気極性の２つのマグネットリングを含み、上記２つのマグネットリングは、上記マグネットリングのいずれかの軸方向の長さと少なくとも同じ軸方向の長さを有する実質的に非磁性のスペーシングによって分離されるようにした方法。
上記金属は、耐熱性金属である、請求項１４に記載の方法。
上記金属は、タンタルを含む、請求項１５に記載の方法。
上記金属は、チタンを含む、請求項１５に記載の方法。
上記金属は、タングステンを含む、請求項１５に記載の方法。
上記非平衡マグネトロンは、上記第１の磁気極性の外側ポールを備え、上記外側ポールは、反対の第２の磁気極性のより弱い内側ポールを取り囲んでいる、請求項１４から１８のいずれかに記載の方法。
上記永久マグネットの各々が、上記サブリング内で、自身の周りに二極性の磁界を発生する、請求項１に記載の方法。