JP2008532314A - 最適化されたフォトニッククリスタルエクストラクターを有する高性能な発光ダイオード(led) - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、同一出願人による以下の同時継続出願に関連する:
米国特許出願第11/067,910号、2005年2月28日出願、Claude C.A.Weisbuch、Aurelien J.F.David、James S.Speck、およびSteven P.DenBaars、題名「SINGLE OR MULTI−COLOR HIGH EFFICIENCY LIGHT EMITTING DIODE(LED) BY GROWTH OVER A PATTERNED SUBSTRATE」、代理人管理番号第30794.122−US−01(2004−145−1)号;
米国特許出願第11/067,957号、2005年2月28日出願、Claude C.A.Weisbuch、Aurelien J.F.David、James S.Speck、およびSteven P.DenBaars、題名「HORIZONTAL EMITTING、VERTICAL EMITTING、BEAM SHAPED、DISTRIBUTED FEEDBACK(DFB) LASERS BY GROWTH OVER A PATTERNED SUBSTRATE」、代理人管理番号第30794.121−US−01(2005−144−1)号;ならびに
米国特許出願第10/938,704号、2004年9月10日出願、Carole Schwach、Claude C.A.Weisbuch、Steven P.DenBaars、Henri Benisty、およびShuji Nakamura、題名「WHITE、SINGLE OR MULTI−COLOR LIGHT EMITTING DIODES BY RECYCLING GUIDED MODES」、代理人管理番号第30794.115−US−01(2004−064−1)号
上記出願は、本明細書に参考のために援用される。
本発明は、University of California、Santa Barbara Solid State Lighting and Display Centerのメンバーカンパニーからの支援のもとでなされたものであり、上記メンバーカンパニーは、Stanley Electric Co.、Ltd、Mitsubishi Chemical Corp.、Rohm Co.、Ltd.、Cree、Inc.、Matsushita Electric Works、Matsushita Electric Industrial Co.、およびSeoul Semiconductor Co.、Ltdを含む。
(1.本発明の分野)
本発明は、発光ダイオード(LED)に関し、より詳細には、最適化されたフォトニッククリスタルエクストラクター(photonic crystal extractor)を有する高性能なLEDに関する。
発光ダイオード(LED)は、順方向に電気的にバイアスされたときに、誘導放出するように光を放出する半導体デバイスである。この効果は、エレクトロルミネセンスの一形態である。
(i)エピタキシャルに成長された材料に対する屈折率コントラストは、特に、非常に重要な窒化物材料に対し、かなり制限されている。これは、図5AのDBRミラー56の構造において多数の漏れモードへの放出が見られるからであり、これは、図5AのDBRミラー56の構造の効率を、図4Aの金属ミラー42の効率よりも低くする。
(ii)表示された効率は、非常に薄い構造が考えられ、下位キャビティ(以下では、参照番号10で記載されている)をもたらすからこそ可能である。そのような薄いアクティブ層を得ることは、困難である。例えば、通常は、アクティブ層のための良い品質の材料を成長させる前に、窒化物の薄い(数ミクロンの)バッファ層を基板上に成長させる必要がある。窒化物材料(バッファ層およびアクティブ層)を基板からリフトオフすることは、既にデリケートな操作であるが、それに加え、図4Aに示されている薄い金属ミラー構造の優れた性能をもたらし得る良好な金属ミラーによって囲まれた薄い層を得ることが(すなわちバッファ層の一部または全部をさらに除去することが)、極めて困難だからである。
本発明は、高性能でそしてできれば指向性が高い最適化されたクリスタルエクストラクターを有する、発光ダイオード(LED)を開示している。上記LEDは、基板、基板上に成長されたバッファ層(そのような層が必要であれば)、1つ以上の光学的閉じ込め層、放出種を含むアクティブ層、および1つ以上の回折格子から構成されており、回折格子は、2次元の光クリスタルエクストラクターである。基板は除去され得、バッファ層およびアクティブ層の上に金属層が堆積され得、上記金属層は、ミラー、電気的接触、および/または回折格子として、機能し得る。
好適な実施形態に関する以下の記載では、本明細書の一部を形成する添付の図面に対する参照がなされる。図中では、例示のために、本発明が実施され得る特定の実施形態が示されている。その他の実施形態もまた用いられ得、本発明の範囲から逸れることなしに、構造の変更がなされ得ることが、理解されるべきである。
本発明は、新しいLED構造を記載し、上記新しいLEDは、平面構造を維持しながらも、増加された光抽出効率を提供する。新しいLED構造は、構造外部への直接放出を提供し、加えて、回折格子を用いることにより、導波光を抽出光に変換する。この格子はアクティブ層の電流注入領域に配置され得るか、あるいは電流が格子領域に注入され得る。さらに、回折格子は、ホールの配列から構成され、上記ホールは、アクティブ層の放出種の中へと貫通され得るか、あるいはLEDのその他の層のみに貫通され得る。回折格子は、2次元のフォトニッククリスタルエクストラクターであり、本発明は、フォトニッククリスタルエクストラクターの従来のインプリメンテーションに対する改良を提供する。
図6および図7は、それぞれフォトニッククリスタルエクストラクター64の上面図および断面図であり、これは、そのようなエクストラクター64の動作の原理を示している。フォトニッククリスタルエクストラクター64は、アクティブ層または励起領域66と、2次元のフォトニッククリスタル68を含んでおり、2次元のフォトニッククリスタル68は、複数のホール70を有している。このエクストラクター64において、導波モード74の光抽出72は、2次元のフォトニッククリスタル68を用いた回折によって、実行される。
・放出種の位置は、構造内部で(光路長と比較して小さな長さのスケールで)精密に合わせられ得る。その結果、その放出特性(例えば指向性、スペクトルの線の形状、放射モードまたは導波モードにおいて放出される光の一部分など)が、正確に制御される。
・例えば、適切な材料層を用いることにより、電気的注入に関し、追加的な最適化が達成され得る。本発明は、光学的特性の向上のみを記載しており、適切な電気的特性の設計については、詳細に記載していない。
・構造にしたがって、フォトニッククリスタルの特徴は、変動し得る。それにより、フォトニッククリスタルの放出特性を局所的に変化させ得る。例えば、波長および抽出特性は、必要に応じて調整され得る。
・構造の上部に追加的な層が追加され得、その層に含まれる蛍光色素分子によるエネルギー変換により、マルチカラー放出または白色放出が達成される。このことは、上述で引用された出願において記載されている。
・いくつかの光閉じ込め層が追加され得、LEDの導波モードの構造をさらに調整し得る。これらの層は、LEDを形成する主な材料の光学的インデックスよりも小さいまたは大きい光学的インデックスを有し得る。上述のように、小さなインデックスは、LEDにおける分離した光学的領域を定義し得るが、高いインデックスは、放出種の放出パターンを改変し得る(このことは、以下に述べられる文献14に記載されている)。
以下の文献は、参考のために本明細書に援用される。
2.米国特許第6,525,464号、2003年2月25日公布、Chin、題名「Stacked light−mixing LED」
3.米国特許第6,504,180号、2003年1月7日公布、Heremans他、題名「Method of manufacturing surface textured high−effeciency radiating devices and devices obtained therefrom」
4.米国特許第6,163,038号、2000年12月19日公布、Chen他、題名「White light−emitting diode and method of manufacturing the same」
5.米国特許第5,779,924号、1998年7月14日公布、Krames他、題名「Ordered interface texturing for a light emitting device」
6.米国特許第5,362,977号、1994年11月8日公布、Hunt他、題名「Single mirror light−emitting diodes with enhanced intensity」
7.米国特許第5,226,053号、1993年7月6日公布、Cho他、題名「Light emitting diode」
8.Shnitzer他、「30% External Quantum Efficiency From Surface Textured、Thin Film Light Emitting Diode」、Applied Physics Letters 63、pp.2174−2176、1993
9.M.Boroditsky、E.Yablonovitch、「Light extraction efficiency from light−emitting diodes」、Proceedigs of the SPIE−The International Society for Optical Engineering、SPIE−Int.Soc.Opt.Eng.、3002、pp.119−122、1997
10.H.Bensity、H.D.Neve、およびC.Weisbuch、「Impact of planar microcavity effects on light extraction/Basic concepts and analytical trends」、IEEE J.Quantumn Electron、vol.34、p.1612(1998)
11.D.Delbeke、R.Bockstaele、P.Bienstman、R.Baets、およびH.Benisty、「High−efficiency Semiconductor Resonant−Cavity Light−Emitting diodes:A Review」、IEEE J.on selected topics in Quantum Electron、vol.8、no.2、p.189、2002
12.M.Rattier、H.Benisty、E.Schwoob、C.Weisbuch、T.Krauss、C.J.M.Smith、R.Houdre、およびU.Oesterle、「Omnidirectional and compact light extraction from Archimedean photonic lattices」、Appl.Phys.Lett.83、1283、2003
13.M.Rattier、H.Benisty、R.Stanley、J.F.Carlin、R.Houdre、U.Oesterle、C.J.M.Smith、C.Weisbuch、およびT.Krauss、IEEE Sel.Top.Quantum Electr.8、238、2002
14.W.Lukosz、J.Opt.Spc.Am.71、744、1981
(結論)
本発明の好適な実施形態の記載を終了する。本発明の1つ以上の実施形態に関する上述の記載は、例示および記載を目的として、示されてきた。網羅的であること、あるいは本発明を開示された形に限定することは、意図されていない。上述の教示を踏まえると、多くの改変およびバリエーションが可能である。本発明の範囲は、この詳細な説明によってではなくむしろ、本明細書に添付された請求の範囲によって限定されることが、意図されている。
Claims (33)
- 発光ダイオード(LED)であって、
(a)基板と、
(b)該基板上に形成されたアクティブ層であって、該アクティブ層は、1つ以上の発光種を含んでいる、アクティブ層と、
(c)該アクティブ層の下または周囲に形成された1つ以上の光閉じ込め層であって、該光閉じ込め層は、該LED内の導波モードの構造を調整する、光閉じ込め層と、
(d)該光閉じ込め層上に形成された1つ以上の回折格子であって、該回折格子は、該LEDから光を抽出する2次元のフォトニッククリスタルである、回折格子と
を備える、LED。 - 前記基板上に形成されたバッファ層をさらに備えており、前記アクティブ層は、該バッファ層上に形成されている、請求項1に記載のLED。
- 前記回折格子は、前記LEDの外に放出を配向し、導波モードを抽出光に変換する、請求項1に記載のLED。
- 前記LEDの1つの側または両側の上に堆積された1つ以上の層をさらに備えており、該層は、ミラー、電気的接触、および/または回折格子として機能する、請求項1に記載のLED。
- 前記光閉じ込め層は、前記フォトニッククリスタルによる光抽出を向上させる、請求項1に記載のLED。
- 前記光閉じ込め層は、該光閉じ込め層の上に局所化された前記モードを励起することを助ける、請求項5に記載のLED。
- 光は主に、前記フォトニッククリスタルと相互作用するモードに放出され、その結果、通常は損失される導波モードは、前記LEDの外に回折される、請求項1に記載のLED。
- 前記フォトニッククリスタルは、前記アクティブ層における前記発光種と交差する、請求項1に記載のLED。
- 前記フォトニッククリスタルは、前記アクティブ層における前記発光種から、光路長1個〜数個ぶんの範囲内に配置されている、請求項1に記載のLED。
- 前記LEDは、平面状の単層構造を維持している、請求項1に記載のLED。
- 前記フォトニッククリスタルは、可変のホールの並びから構成されたテーパーを含んでいる、請求項1に記載のLED。
- 前記テーパーは、1つ以上の周期の改変されたホールを備えており、該改変されたホールは、可変のホールの深度、可変のホールの周期、または可変のホールの直径を有している、請求項11に記載のLED。
- 前記フォトニッククリスタルの特徴は、その構造にしたがって変動し、その結果、該フォトニッククリスタルの特性を改変する、請求項1に記載のLED。
- 光生成領域が、前記フォトニッククリスタルと一致するかまたはオーバーラップし、その結果、導波光は、フォトニッククリスタル領域の界面において、反射または散乱を受けない、請求項1に記載のLED。
- 前記発光種の位置は、精密に合わせられ、その結果、その放出特性を正確に制御する、請求項1に記載のLED。
- 導波モードの構造を適切に調整することにより、前記フォトニッククリスタルによる光の回折が、所与の範囲の方向で発生し、その結果、高い指向性の光源を形成する、請求項1に記載のLED。
- 発光ダイオード(LED)を製造する方法であって、
(a)基板上にアクティブ層を形成することであって、該アクティブ層は、1つ以上の発光種を含んでいる、ことと、
(b)該アクティブ層の下または周囲に1つ以上の光閉じ込め層を形成することであって、該光閉じ込め層は、該LED内の導波モードの構造を調整する、ことと、
(c)該光閉じ込め層上に1つ以上の回折格子を形成することであって、該回折格子は、該LEDから光を抽出する2次元のフォトニッククリスタルである、ことと
を包含する、方法。 - 前記基板上にバッファ層を形成することをさらに包含し、前記アクティブ層は、該バッファ層上に形成される、請求項17に記載の方法。
- 前記回折格子は、前記LEDの外に放出を配向し、導波モードを抽出光に変換する、請求項17に記載の方法。
- 前記LEDの1つの側または両側の上に1つ以上の層を堆積することをさらに包含し、該層は、ミラー、電気的接触、および/または回折格子として機能する、請求項17に記載の方法。
- 前記光閉じ込め層は、前記フォトニッククリスタルによる光抽出を向上させる、請求項17に記載の方法。
- 前記光閉じ込め層は、該光閉じ込め層の上に局所化された前記モードを励起することを助ける、請求項21に記載の方法。
- 光は主に、前記フォトニッククリスタルと相互作用するモードに放出され、その結果、通常は損失される導波モードは、前記LEDの外に回折される、請求項17に記載の方法。
- 前記フォトニッククリスタルは、前記アクティブ層における前記発光種と交差する、請求項17に記載の方法。
- 前記フォトニッククリスタルは、前記アクティブ層における前記発光種から、光路長1個〜数個ぶんの範囲内に配置されている、請求項17に記載の方法。
- 前記LEDは、平面状の単層構造を維持している、請求項17に記載の方法。
- 前記フォトニッククリスタルは、可変のホールの並びから構成されたテーパーを含んでいる、請求項17に記載の方法。
- 前記テーパーは、1つ以上の周期の改変されたホールを備えており、該改変されたホールは、可変のホールの深度、可変のホールの周期、または可変のホールの直径を有している、請求項27に記載の方法。
- 前記フォトニッククリスタルの特徴は、その構造にしたがって変動し、その結果、該フォトニッククリスタルの特性を改変する、請求項17に記載の方法。
- 光生成領域が、前記フォトニッククリスタルと一致するかまたはオーバーラップし、その結果、導波光は、フォトニッククリスタル領域の界面において、反射または散乱を受けない、請求項17に記載の方法。
- 前記発光種の位置は、精密に合わせられ、その結果、その放出特性を正確に制御する、請求項17に記載の方法。
- 導波モードの構造を適切に調整することにより、前記フォトニッククリスタルによる光の回折が、所与の範囲の方向で発生し、その結果、高い指向性の光源を形成する、請求項17に記載の方法。
- 請求項17に記載の方法にしたがって製造されたデバイス。
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