JP2008506626A - 石英ガラス製の中空シリンダーの製造のための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、有孔SiO2煤管1を示し、焼結プロセスのために、ガラス化炉2中の保持装置により保持されている。煤管1は長さ3m、外径300mm、および、内径50mmを有する内孔を持つ。
代わりの手順では、石英ガラス管が生産され、煤管1から出発し、実施例1において上記されたとおりであり、これは、煤管1によるものであり、このプロセスにおいては、これはゾーン毎に軟化されていき、ガラス化され、内管3上に落ち込む。
Claims (31)
- 石英ガラス製の中空シリンダーの調製のための方法であって、その縦軸の周りを回転している支持体外表面上でのSiO2粒子の沈着により、中央内孔を有する有孔煤管を製作することにより、および、該煤管を、炉中で熱し、焼結することにより、ここで、該煤管が、保持装置により支持され、該保持装置が、該内孔中に突出する引き延ばされた形状の部品を含んでおり、この上に、該煤管が落ち込み、該中空シリンダーを形成していく方法であって、焼結していく間、少なくとも一時的に、煤管(1)の内孔(9)中において優勢なより低い内圧と、内孔(9)外側にかけられているより高い外圧との間の圧の差が発生され、維持されることを特徴とする、方法。
- 前記形状部品が、内孔(9)中に突出している内管(3)として形状付けられ、ガス透過壁を持っており、内孔(9)中におけるより低い前記内圧が、吸引により、該ガス透過内管壁に亘り維持されていることを特徴とする、請求項1の方法。
- 前記内管壁が、DIN51935による透過係数少なくとも10−2cm2/秒を持つことを特徴とする、請求項2の方法。
- 有孔ガス透過材料からなっている内管(3)が使用されることを特徴とする、請求項2または3の方法。
- 前記材料がグラファイトもしくはCFCであることを特徴とする、請求項4の方法。
- 内管(3)が、3〜15mmの範囲中の壁厚および10〜25%の範囲中の開口性を持つことを特徴とする、請求項4または5の方法。
- 煤管(1)が、初期流抵抗を持ち、ここで、煤管(1)の該初期流抵抗よりも小さな流抵抗を有する内管(3)が使用されることを特徴とする、請求項2〜5のいずれか1項の方法。
- 煤管(1)が、等温加熱により焼結され、ここで、煤管(1)長に亘り、実質的に均一な温度場が生成されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項の方法。
- 第1の焼結相の間、ここで、煤管(1)が、より高いガス透過性を持ち、より低い外圧が維持され、第2の焼結相の間、ここで、煤管(1)が、より低いガス透過性を持ち、該外圧が上昇されることを特徴とする、請求項8の方法。
- 前記外圧が上昇され、前記内孔外側で、窒素が炉(2)中に導入されることを特徴とする、請求項9の方法。
- 煤管(1)が、第1の焼結相中において、ドープもしくは精製ガスに晒され、第2の焼結相中において、該ドープもしくは精製ガスとは異なる圧力ガスに晒されることを特徴とする、請求項9または10の方法。
- 煤管(1)が、連続的に煤管(1)を供給していくことにより焼結され、1端で始まり、炉(2)中において設けられた加熱領域(33)に向かい、その中で該煤管をゾーン毎に焼結していくことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項の方法。
- 煤管(1)がその一端で、第1の保持部品(4)に、そのもう一端で、第2の保持部品(5)に固定され、第1と第2保持部品(4、5)との間の保持部品間距離が、焼結している間に調整可能であることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか1項の方法。
- 内孔(9)が、栓(4;5)により密封されることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか1項の方法。
- 栓(4;5)が、両側において煤管(1)に固定され、保持部品として働くことを特徴とする、請求項13および14の方法。
- 前記保持部品間距離が、焼結していく間、変動されることを特徴とする、請求項13〜15のいずれか1項の方法。
- 前記保持部品間距離が、焼結していく間、一定に保たれることを特徴とする、請求項13〜15のいずれか1項の方法。
- 内孔(9)外側において、精製剤もしくはドーパントを含有している大気が生成されることを特徴とする、請求項1〜17のいずれか1項の方法。
- 前記内圧が1ミリバール以下に設定され維持されることを特徴とする、請求項1〜18のいずれか1項の方法。
- 内圧と外圧との間の圧の差が、1ミリバール〜200ミリバールの範囲中で設定されることを特徴とする、請求項1〜19のいずれか1項の方法。
- 20mm〜45mmの範囲の内径を持っている中空シリンダーが得られることを特徴とする、請求項1〜20のいずれか1項の方法。
- 請求項1〜21のいずれか1項の方法を実施するための装置であって、内孔を含んでいる有孔煤管(1)を焼結していくための炉、煤管(1)を加熱し焼結していくための加熱装置(13;33)、煤管(1)を保持するための、炉(2)の中で鉛直向きの保持装置(4;5;10;32;35;36)、ならびに、内孔(9)中に突出する引き延ばされた内管(3)を含んでおり、ガス透過壁を持ち、この上に、煤管(1)が落ち込み、石英ガラス製の中空シリンダーを形成していく装置であって、内管(3)が真空ライン(11)に接近可能に接続され、煤管(1)の内孔(8)を閉じるために、栓(4;5)が両側において設けられることを特徴とする、装置。
- 前記栓が煤管(1)に積極的に接続され、煤管(1)を支持するための上の保持部品(4)および下の保持部品(5)として、炉(2)中において働くことを特徴とする、請求項22の装置。
- 移動装置(32;36)が設けられ、これにより、少なくとも、上の保持部品(4)が、前記煤管の縦軸(16)方向に移動可能であることを特徴とする、請求項23の装置。
- 上の栓(4)が孔を含み、ここで、内管(3)が、前記煤管の縦軸(16)方向に移動可能にガイドされることを特徴とする、請求項23または24の装置。
- 前記孔が、貫通孔として形状付けられ、これを通って、煤管(1)の上端(37)が、チャンバー(38)中に延び、これが、該貫通孔を外側に対して密封することを特徴とする、請求項25の装置。
- 前記内管壁が、DIN51935による透過係数少なくとも10−2cm2/秒を持つことを特徴とする、請求項22〜26のいずれか1項の装置。
- 内管(3)が、有孔ガス透過材料からなることを特徴とする、請求項22〜27のいずれか1項の装置。
- 前記材料がグラファイトもしくはCFCであることを特徴とする、請求項28の装置。
- 内管(3)が、3〜15mmの範囲中の壁厚および10〜25%の範囲中の開口率を持つことを特徴とする、請求項22〜29のいずれか1項の装置。
- 内管(3)が、煤管(1)の初期流抵抗よりも小さな流抵抗を持つことを特徴とする、請求項22〜30のいずれか1項の装置。
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DE102006024831B4 (de) * | 2006-05-24 | 2008-03-27 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas |
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CN109912190B (zh) * | 2017-02-28 | 2021-08-06 | 天津富通集团有限公司 | 用于光纤预制棒生产的烧结炉 |
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EP3702333A1 (de) * | 2019-03-01 | 2020-09-02 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines glasbauteils |
CN112110638A (zh) * | 2020-09-23 | 2020-12-22 | 江苏圣达石英制品有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
CN114735927A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-12 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种生产半导体掩模版用合成石英材料的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4251251A (en) * | 1979-05-31 | 1981-02-17 | Corning Glass Works | Method of making optical devices |
JPH05163038A (ja) * | 1991-12-16 | 1993-06-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用多孔質母材の加熱透明化方法 |
JPH05286737A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JPH08188429A (ja) * | 1994-09-15 | 1996-07-23 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | シリカスートの中空筒状体を焼結する方法及び保持する装置 |
US20020102083A1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-08-01 | Berkey George E. | Low water peak optical waveguide fiber |
US20030115910A1 (en) * | 2001-12-14 | 2003-06-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing preform and preform |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1106710A (en) * | 1977-06-22 | 1981-08-11 | Michael G. Blankenship | Method of making optical devices |
AU653411B2 (en) * | 1991-07-19 | 1994-09-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing glass preform for optical fiber |
GB9210327D0 (en) * | 1992-05-14 | 1992-07-01 | Tsl Group Plc | Heat treatment facility for synthetic vitreous silica bodies |
DE4236578A1 (de) * | 1992-10-29 | 1994-06-23 | Deutsche Bundespost Telekom | Verfahren und Vorrichtung zur Vorformherstellung für Quarzglas- Lichtwellenleiter |
DE19736949C1 (de) * | 1997-08-25 | 1999-01-21 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers |
US6843076B2 (en) * | 2001-07-30 | 2005-01-18 | Corning Incorporated | Single step laydown method of making dry fiber with complex fluorine doped profile |
US20040139765A1 (en) * | 2003-01-16 | 2004-07-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of producing optical fiber preform, and optical fiber preform and optical fiber produced with the method |
DE10325538A1 (de) * | 2003-06-04 | 2004-01-22 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren für die Herstellung eines optischen Bauteils aus Quarzglas durch Elongieren einer koaxialen Anordnung sowie nach dem Verfahren hergestelltes optisches Bauteil |
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2004
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-
2005
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US4251251A (en) * | 1979-05-31 | 1981-02-17 | Corning Glass Works | Method of making optical devices |
JPH05163038A (ja) * | 1991-12-16 | 1993-06-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ用多孔質母材の加熱透明化方法 |
JPH05286737A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JPH08188429A (ja) * | 1994-09-15 | 1996-07-23 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | シリカスートの中空筒状体を焼結する方法及び保持する装置 |
US20020102083A1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-08-01 | Berkey George E. | Low water peak optical waveguide fiber |
US20030115910A1 (en) * | 2001-12-14 | 2003-06-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing preform and preform |
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