DE19736949C1 - Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines QuarzglaskörpersInfo
- Publication number
- DE19736949C1 DE19736949C1 DE1997136949 DE19736949A DE19736949C1 DE 19736949 C1 DE19736949 C1 DE 19736949C1 DE 1997136949 DE1997136949 DE 1997136949 DE 19736949 A DE19736949 A DE 19736949A DE 19736949 C1 DE19736949 C1 DE 19736949C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- blank
- holding element
- during
- zone
- holding elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1453—Thermal after-treatment of the shaped article, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1484—Means for supporting, rotating or translating the article being formed
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers, durch Abscheiden
von SiO2 -Partikeln auf der Zylindermantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden, zylin
derförmigen Dorns, unter Bildung eines im wesentlichen zylinderförmigen, porösen Rohlings,
der mit seinem einen, oberen Ende mit einem oberen Halteelement verbunden wird, und an
schließend am oberen Halteelement gehalten, mit vorgegebener Geschwindigkeit einer Erhit
zungszone zugeführt und darin bei vertikal orientierter Zylinder-Längsachse zonenweise gesin
tert wird.
Hohlzylinder aus Quarzglas werden als Zwischenprodukte für eine Vielzahl von Bauteilen für
die optische und chemische Industrie eingesetzt. Ihre Herstellung erfolgt ähnlich dem eingangs
beschriebenen Verfahren durch Abscheiden von SiO2 Partikeln auf einem langgestreckten
Trägerstab unter Bildung eines porösen Hohlzylinders, der anschließend weiterbehandelt und
gesintert wird. Der Trägerstab wird dabei vor oder nach dem Sintern aus der Bohrung des
Rohlings entfernt.
Aus der US-PS 4,362,545 ist ein Verfahren für die Herstellung einer Vorform für optische Fa
sern bekannt, bei dem nach den allgemein bekannten Verfahren mittels eines Flammhydroly
sebrenners auf der Mantelfläche eines mit beiden Enden in eine Drehbank eingespannten, um
seine Längsachse rotierenden, leicht konischen Dorns schichtweise SiO2 -Partikel abgeschie
den werden. Dabei wird durch eine Hin- und Herbewegung entlang der Längsachse des Dorns
eine längliche, poröse Vorform aus SiO2 -Partikeln gebildet.
Der Dorn erstreckt sich durch einen hülsenförmigen Halter, mit einem sich konisch verjüngen
den Ende, das der sich bildenden Vorform zugewandt ist und das einen umlaufenden Wulst
aufweist. Der Dorn ist in bezug auf den Halter mittels Abstandhaltern, die in den Spalt
zwischen dem Halter und dem Dorn eingeklemmt sind, geometrisch fixiert. Halter und Dorn be
stehen beispielsweise aus Aluminiumoxid, Graphit oder aus Quarzglas. Während der Abschei
dung wird sowohl der Dorn als auch der mit dem Wulst versehene Teil des Halters in der sich
bildenden Vorform eingebettet. Nach der Abscheidung wird der Dorn entfernt. Die fertige Vor
form kann für die weitere Bearbeitung an dem eingebetteten Halter in vertikaler Ausrichtung
hängend gehalten werden, wobei der Wulst ein Abrutschen verhindert.
Ein Verfahren gemäß der eingangs genannten Gattung ist in Patent Abstracts of Japan,
C-491, April 27, 1988 Vol. 12/ No. 139 (Abstract zu JP 62-256733 (A)) beschrieben. Dabei wird
während der Abscheidung von SiO2 -Partikeln auf einem Dorn ähnlich dem eingangs beschrie
benen Verfahren, ein Halter am oberen Ende einer sich bildenden porösen länglichen Vorform
eingebettet. Die Vorform wird anschließend mit vertikal orientierter Längsachse zonenweise
gesintert. Dabei wird sie, am Halter hängend, mit ihrem unteren Ende beginnend unter Rotati
on in einen Ofen eingeführt und kollabiert.
Bei den bekannten Verfahren werden Haltemittel eingesetzt, die für die Herstellung von leich
ten Vorformen mit relativ kleinen Außendurchmessern geeignet sind. Bei schweren Vorformen
besteht die Gefahr, daß der Halter aus dem porösen Vorform-Material ausbricht. Zudem
kommt es aufgrund der vertikalen Orientierung der Vorform zu einer ausgeprägten Keilform
beim fertig gesinterten Zylinder. Ursache hierfür ist die auf die erweichte Masse in der Erhit
zungszone einwirkende Gewichtskraft der unterhalb dieser Zone befindlichen Vorform-Masse.
Da sich aufgrund der wandernden Erhitzungszone die in ihr wirkende Gewichtskraft laufend
ändert, kommt es zu der Keilform des Zylinders. Je nach Anwendungszweck des Zylinders
muß die Keilform aufwendig durch mechanische Nachbearbeitung entfernt werden, oder sie
ist, wie beispielsweise bei einem Einsatz für die Herstellung optischer Fasern, überhaupt nicht
tolerierbar.
Zur Vermeidung von Verformungen beim Sintern großvolumiger poröser Sootkörper wird in der
EP-A2 701 975 ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem der Sootkörper in vertikaler Ausrichtung
gesintert wird, wobei er in einem zeitlichen Sinterabschnitt am oberen Ende hängend gehalten
und in einem anderen zeitlichen Sinterabschnitt vom unteren Ende her gestützt wird. Die Ab
stimmung des Übergangs von einem auf den anderen Sinterabschnitt muß dabei sorgfältig
eingestellt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein besonders einfaches Verfahren anzugeben, bei
dem auch schwere Rohlinge sicher gehalten und mit vertikal orientierter Längsachse ohne
Ausbildung einer Keilform zonenweise gesintert werden können.
Diese Aufgabe wird ausgehend von dem eingangs beschriebenen Verfahren erfindungsge
mäß dadurch gelöst, daß der Rohling mit seinem unteren Ende mit einem unteren Halteele
ment verbunden wird, und daß das obere und das untere Halteelement während des Sinterns
gelagert werden.
Der Rohling wird somit nicht nur an einem Ende, sondern beiderseits mit Halteelementen ver
bunden. Mittels beider Halteelemente wird der Rohling beim Sintern in vertikaler Orientierung
gehalten. Zum zonenweisen Sintern wird entweder die Erhitzungszone von einem Ende des
Rohlings beginnend über diese geführt. Oder der Rohling wird - in kinematischer Umkehr -
durch die Erhitzungszone hindurchgeführt. Dabei gewährleistet die Verbindung zwischen den
Halteelementen und dem Rohling einen sicheren Halt.
Bei der erfindungsgemäßen Lehre ist wesentlich, daß die Halteelemente gelagert sind. Da
durch ist ihr Abstand zueinander während des Sinterns vorgebbar. Der Abstand kann während
des Sinterns konstant gehalten oder er kann verändert werden. Wichtig ist, daß
der Rohling gleichzeitig sowohl am oberen Halter hängend gehalten als auch vom unteren Hal
ter gestützt wird. Dadurch wirken auf den in der Erhitzungszone erweichten Bereich des Roh
lings geringe Gewichtskräfte ein. Denn die unterhalb der Erhitzungszone befindliche Masse
des Rohlings wird vom unteren Halteelement aufgenommen, und die oberhalb der Erhitzungs
zone befindliche Masse vom oberen Halteelement. Während des Sinterns werden beide Hal
teelemente belastet. Je nach Position der Erhitzungszone wirken entweder auf das obere oder
auf das untere Halteelement stärkere Gewichtskräfte; die Summe der Gewichtskräfte bleibt je
doch jeweils gleich. Dadurch wird die Ausbildung einer Keilform vermieden.
Besonders bevorzugt wird eine Verfahrensweise, bei der die Halteelemente mit im Bereich des
oberen und des unteren Endes des Rohlings ausgebildeten Verglasungsbereichen verbunden
sind. Der Rohling wird dabei über im Bereich der Stirnseiten ausgebildete Verglasungsberei
che mit den Halteelementen verbunden. Die mittlere relative Dichte der Verglasungsbereiches
ist auf einen Wert von mindestens 40%, vorzugsweise mindestens 80% der theoretischen
Dichte von Quarzglas eingestellt. Dadurch wird eine relativ hohe mechanischer Festigkeit er
zeugt, und es können ohne die Gefahr des Ausbrechens von Halteelementen schwere Rohlin
ge gehalten werden. Bei der Abscheidung von SiO2-Partikeln zur Herstellung von "Sootkör
pern" wird üblicherweise eine mittlere relative Dichte des Rohlings im Bereich zwischen 10%
und 35% erhalten (bezogen auf die Dichte von Quarzglas mit 2,2 g/cm3). Je höher die Oberflä
chentemperatur eingestellt wird, umso höher ist die Dichte des Rohlings.
Besonders bewährt hat sich ein Verfahren, bei dem die Halteelemente in Verglasungsbereiche
eingebettet werden, die während des Abscheidens durch Aufrechterhaltung einer hohen Tem
peratur im Bereich der Stirnseiten des Rohlings gebildet werden. Im Verglasungsbereich wird
dabei während des Abscheidens eine höhere Temperatur aufrechterhalten, beispielsweise mit
tels eines Zusatzbrenners. Die in die Verglasungsbereiche eingebetteten Halteelemente kön
nen beispielsweise als Hülse, als Ring oder als Halbschale ausgebildete sein. Bei hohlen Hal
teelementen ist es nicht erforderlich, diese aus dem Verglasungsbereich teilweise herausragen
zu lassen, da auch an deren Innenseite Haltevorrichtungen angreifen können.
In einer alternativen und gleichermaßen bevorzugten Verfahrensvariante wird mindestens ein
Teil der Halteelemente während der Abscheidung aus dem Rohlingmaterial geformt. Das For
men kann mechanisch mittels Formwerkzeugen erfolgen. Es ist aber auch möglich, ein geeig
netes Halteelement, beispielsweise in Form eines Knaufes, allein durch Abscheidung von
SiO2-Partikeln im Verglasungsbereich und durch geeignete Erweichung zu erzeugen. Bei
spielsweise kann durch eine lokale Überhitzung eine Einschnürung im Verglasungsbereich er
zeugt werden.
Es ist aber nicht erforderlich, derartige aus dem Verglasungsbereich integral gebildete Haltee
lemente bereits während der Abscheidung vollständig auszuformen. Es hat sich auch als vor
teilhaft erwiesen, erst im Verlauf oder nach der Abscheidung an die Verglasungsbereiche Hal
teelemente aus Quarzglas anzuschmelzen.
Besonders einfach ist eine Verfahrensweise, bei der der Abstand zwischen oberem und unte
rem Halteelement während des Sinterns konstant gehalten wird.
Es hat sich aber auch eine Verfahrensvariante bewährt, bei der der Abstand zwischen obe
rem und unterem Halteelement während des Sinterns in Abhängigkeit von der Einführge
schwindigkeit in die Erhitzungszone verändert wird. Der Abstand kann verlängert oder verkürzt
werden. Durch allmähliches Verkürzen des Abstandes während des Sinterns kann beispiels
weise ein Schwinden des porösen Rohlings kompensiert werden. Durch das Verändern des
Abstandes können auch Verformungen des Rohlings in der Erhitzungszone gezielt herbeige
führt werden. Beispielsweise Stauchungen durch allmähliches Verkürzen des Abstandes, bzw.
Längungen des Rohlings bei sich kontinuierlich vergrößerndem Abstand. Bei rohrförmigen
Rohlingen kann bei dieser Verfahrensvariante auch das Verhältnis von Außendurchmesser
bzw. Innendurchmesser und Wandstärke gezielt beeinflußt werden. Eine über die Länge des
Rohlings gleichmäßige Verformung wird dadurch erreicht, daß das Verändern des Abstandes
in linearer Abhängigkeit von der Einführgeschwindigkeit in die Erhitzungszone erfolgt.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand eines Ausführungsbeispiels und
anhand einer Patentzeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen in schematischer Dar
stellung im einzelnen
Fig. 1 eine Verfahrensweise zur Herstellung eines porösen SiO2 Rohlings und
Fig. 2 eine Verfahrensweise zur Herstellung eines Quarzglas-Zylinders aus dem porösen
SiO2 -Rohling gemäß der Erfindung.
In Fig. 1 ist die Bezugsziffer 1 einem Quarzglas-Dorn mit einem Außendurchmesser von
30 mm zugeordnet. Auf dem Dorn 1 werden mittels einer Brennerreihe 2 von Flammhydrolyse
brennern schichtweise SiO2 -Partikel abgeschieden, wobei sich ein poröser, hohlzylindrischer
Rohling 3 bildet. Der Rohling 3 hat eine Länge von ca. 2 m.
Der Dorn 1 erstreckt sich zwischen zwei Manschetten 4, die beiderseits des sich bildenden
Rohlings 3 angeordnet sind. Die Manschetten 4 bestehen ebenfalls aus Quarzglas. Sie haben
eine Länge von 30 cm, einen Innendurchmesser von etwa 30 mm und ihr größter Außendurch
messer beträgt 100 mm. Die Manschetten 4 sind in den Rohling 3 teilweise eingebettet.
Die Manschetten 4 sind in eine Drehbank eingespannt, deren Spannbacken in Fig. 1 mit der
Bezugsziffer 5 gekennzeichnet sind. Die Spannbacken 5 greifen dabei an dem aus dem Roh
ling 3 herausragenden Bereich der Manschetten 4 an. Dorn 1 und Manschetten 4 sind reib
schlüssig miteinander verbunden und rotieren daher mit der gleichen
Rotationsgeschwindigkeit.
Nachfolgend wird die Herstellung des Rohlings 3 unter teilweiser Einbettung der Manschetten
4 anhand des in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben.
Durch Hin- und Herbewegung der Brennerreihe 2 entlang der Oberfläche des Rohlings 3, wie
dies anhand des Richtungspfeiles 7 angedeutet ist, werden auf dem um seine Längsachse ro
tierenden Dorn 1 sowie auf den um die gleiche Achse rotierenden Manschetten 4 schichtweise
SiO2 -Partikel abgeschieden. Zu Beginn der Abscheidung trägt überwiegend der Dorn 1 das
Gewicht des sich bildenden Rohlings 3. Mit zunehmender Dicke des Rohlings 3 wird allmählich
der Übergang zwischen Quarzglasdorn 1 und der jeweiligen Manschette 4 von dem
SiO2 -Partikelstaub überwachsen. Sobald die Manschetten 4 in den porösen Rohling 3 einge
bettet sind, übernehmen sie dessen Gewicht.
Während der Abscheidung wird die Oberflächentemperatur des Rohlings 3 auf etwa 1200°C
eingestellt (gemessen im Auftreffpunkt der Flamme der Abscheidebrenner auf der Rohling-O
berfläche). Daraus resultiert eine mittlere relative Dichte des Rohlings 3 von ca. 20%. Aufgrund
dieser Dichte weist der Rohling 3 eine mechanische Stabilität auf, die für seine Halterung nur
mittels der an seinen Endbereichen 8 angreifenden Manschetten 4 ausreicht. Mittels (in der Fi
gur nicht dargestellten) Zusatzbrennern werden die beiden Endbereiche 8 des Rohlings 3 auf
eine Dichte von etwa 90% zusätzlich verdichtet.
Nachdem die Manschetten 4 beiderseits in den Rohling 3 stabil eingebettet sind, wird der Dorn
1 aus dem Rohling 3 herausgezogen. Die Innenbohrung des Rohlings 3 weist unmittelbar danach
einen Durchmesser von 30 mm auf. Der so hergestellte Rohling 3 wiegt mehr als 100 kg.
Bei seiner weiteren Bearbeitung wird der Rohling 1 mittels der stabil eingebetteten Manschet
ten 4 gehalten. Nachfolgend wird das Verglasen (Sintern) des so hergestellten Rohlings 3 an
hand der Darstellung von Fig. 2 näher erläutert.
Der Rohling 11 wird mittels der eingebetteten Manschetten 12; 13 in vertikaler Ausrichtung inner
halb eines Hochfrequenz-Ofens 14 gehalten, der sich nur über einen Teil der Gesamtlänge
des Rohlings 11 erstreckt, so daß ein Zonensintern des Rohlings 11 ermöglicht wird. Im Aus
führungsbeispiel wird der Rohling 11 von seinem oberen Ende 15 beginnend in den Hochfre
quenz-Ofen 14 eingeführt.
Während des Zonensinterns sind die Manschetten 12; 13 jeweils in ein, um die Längsachse
des Rohlings 11 rotierbares Dreibackenfutter 16; 17 einer (in der Figur ansonsten nicht darge
stellten) Haltevorrichtung ähnlich einer vertikal orientierten Drehbank eingespannt. Mittels der
beiden Dreibackenfutter 16; 17 werden die Manschetten 12; 13 gehalten und örtlich zueinan
der fixiert. Der Abstand zwischen oberer Manschette 12 und unterer Manschette 13 wird wäh
rend des Sinterschrittes konstant gehalten.
Beim Hindurchfahren durch die Heizzone 14 erweicht der um seine Längsachse rotierende
Rohling 11 in einem Erweichungsbereich 18. Der Erweichungsbereich 18 wandert dabei vom
oberen Ende 15 des Rohlings 11 beginnend nach unten. Je nach Position des Erweichungs
bereiches 18 innerhalb des Rohlings 11 wirken entweder auf die obere Manschette 12 oder
auf die untere Manschette 13 stärkere Gewichtskräfte; die Summe der Gewichtskräfte bleibt
jedoch jeweils gleich. Die Gewichtskraft des oberhalb des Erweichungsbereiches 18
befindlichen oberen Teils 15 des Rohlings 11 wird aufgrund der Fixierung der oberen Man
schette 12 nach oben abgetragen, wie dies mit den Richtungspfeilen 20 angedeutet ist. Die
Gewichtskraft des unterhalb der Erweichungsbereiches 18 befindlichen unteren Teils 19 des
Rohlings 11 wird aufgrund der Fixierung der unteren Manschette 13 nach unten abgetragen,
wie dies die Richtungspfeile 21 zeigen. Daher wirkt auf den Erweichungsbereich 18 keine we
sentlich deformierende Kraft ein, so daß die Ausbildung einer Keilform des verglasten Roh
lings vermieden wird.
In einer anderen Verfahrensvariante des erfindungsgemäßen Verfahrens wird während des
Zonensintrens das obere Ende eines rohrförmigen Rohlings 11 mittels der oberen Manschette
12 fixiert. Der Hochfrequenz-Ofen 14 wird mit vorgegebenem konstantem Vorschub von oben
nach unten über den Rohling 11 abgesenkt. Gleichzeitig wird die Halterung (Dreibackenfutter
17) der unteren Manschette mit konstanter Geschwindigkeit, die 1/10 der Vorschubgeschwin
digkeit des Ofens 14 entspricht, angehoben. Die kontinuierliche Verkürzung des Abstandes
zwischen oberer und unterer Manschette 12; 13 führt zu einer Verformung jeweils nur im er
weichten Bereich 18 des Rohlings 11. Dadurch wird eine gleichmäßige Stauchung des Roh
lings 11 erreicht, die nach dem Zonensintern etwas weniger als 1/10 der ursprünglichen Roh
linglänge beträgt. Besonders einfach ist eine Verfahrensweise, bei der der Abstand zwischen
oberem und unterem Halteelement während des Sinterns konstant gehalten wird.
Claims (8)
1. Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers, durch Abscheiden von SiO2 -Partikeln
auf der Zylindermantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden, zylinderförmigen
Dorns (1), unter Bildung eines im wesentlichen zylinderförmigen, porösen Rohlings (3;
11), der mit seinem einen, oberen Ende (15) mit einem oberen Halteelement (12) ver
bunden wird, und anschließend am oberen Halteelement (12) gehalten, mit vorgegebe
ner Geschwindigkeit einer Erhitzungszone (14) zugeführt und darin bei vertikal orientier
ter Zylinder-Längsachse zonenweise gesintert wird, dadurch gekennzeichnet, daß der
Rohling (3; 11) mit seinem unteren Ende (19) mit einem unteren Halteelement (13) ver
bunden wird, und daß das obere und das untere Halteelement (12; 13) während des Sin
terns gelagert (16; 17) werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (4; 12; 13)
mit im Bereich des oberen und des unteren Endes (12; 13) des Rohlings (3; 11) ausge
bildeten Verglasungsbereichen (8) verbunden werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteelemente (4; 12; 13)
in Verglasungsbereiche (8) eingebettet werden, die während des Abscheidens durch
Aufrechterhaltung einer hohen Temperatur im Bereich der Stirnseiten des Rohlings (3;
11) gebildet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß Halteelemente in Form von
den Dorn (1) abschnittsweise umschließenden Hohlkörpern (4) eingesetzt werden.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
mindestens ein Teil der Halteelemente während der Abscheidung aus dem Rohlingma
terial geformt wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
die Halteelemente aus Quarzglas bestehend, während oder nach der Abscheidung an
die Verglasungsbereiche angeschmolzen werden.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
der Abstand zwischen oberem und unterem Halteelement (12; 13) während des Sinterns
konstant gehalten wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand
zwischen oberem und unterem Halteelement (12; 13) während des Sinterns in Abhängig
keit von der Einführgeschwindigkeit in die Erhitzungszone (14) verändert wird.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997136949 DE19736949C1 (de) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers |
JP23596098A JP3875410B2 (ja) | 1997-08-25 | 1998-08-21 | 石英ガラス製物体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997136949 DE19736949C1 (de) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19736949C1 true DE19736949C1 (de) | 1999-01-21 |
Family
ID=7840092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1997136949 Expired - Fee Related DE19736949C1 (de) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3875410B2 (de) |
DE (1) | DE19736949C1 (de) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001032573A1 (de) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines quarzglaskörpers |
WO2001038239A1 (de) * | 1999-11-24 | 2001-05-31 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren für die herstellung eines quarzglaskörpers und halteelement aus quarzglas |
WO2001068538A1 (de) * | 2000-03-14 | 2001-09-20 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung eines quartzglaskörpers |
DE10025176A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Heraeus Quarzglas | Verfahren für die Herstellung einer optischen Faser und Vorform für eine optische Faser |
WO2002008129A1 (de) * | 2000-07-26 | 2002-01-31 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zum verglasen von porösen sootkörpern |
WO2002008133A2 (en) * | 2000-07-20 | 2002-01-31 | Bular, Llc | Process of manufacturing glass optical fibre preforms |
WO2006008139A1 (de) * | 2004-07-20 | 2006-01-26 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines hohlzylinders aus quarzglas |
DE102006059779A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren für die Herstellung eines Hohlzylinders aus synthetischem Quarzglas sowie nach dem Verfahren erhaltener dickwandiger Hohlzylinder |
DE102008024842B3 (de) * | 2008-05-23 | 2009-05-07 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Zylinders aus Quarzglas unter Einsatz einer Haltevorrichtung sowie Haltevorrichtung |
EP3670458A1 (de) * | 2018-12-21 | 2020-06-24 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines vorprodukts für optische fasern sowie dafür geeigneter adapter |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4362545A (en) * | 1980-07-03 | 1982-12-07 | Corning Glass Works | Support member for an optical waveguide preform |
EP0701975A2 (de) * | 1994-09-15 | 1996-03-20 | Heraeus Quarzglas GmbH | Verfahren zum Sintern von Hohlzylindern aus Siliciumdioxid - Soot und Haltevorrichtung für derartige Hohlzylinder |
-
1997
- 1997-08-25 DE DE1997136949 patent/DE19736949C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-21 JP JP23596098A patent/JP3875410B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4362545A (en) * | 1980-07-03 | 1982-12-07 | Corning Glass Works | Support member for an optical waveguide preform |
EP0701975A2 (de) * | 1994-09-15 | 1996-03-20 | Heraeus Quarzglas GmbH | Verfahren zum Sintern von Hohlzylindern aus Siliciumdioxid - Soot und Haltevorrichtung für derartige Hohlzylinder |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Derwent Abstract zu JP 62-256733 (A) * |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001032573A1 (de) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines quarzglaskörpers |
WO2001038239A1 (de) * | 1999-11-24 | 2001-05-31 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren für die herstellung eines quarzglaskörpers und halteelement aus quarzglas |
WO2001068538A1 (de) * | 2000-03-14 | 2001-09-20 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung eines quartzglaskörpers |
DE10025176A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Heraeus Quarzglas | Verfahren für die Herstellung einer optischen Faser und Vorform für eine optische Faser |
WO2002008133A3 (en) * | 2000-07-20 | 2002-06-20 | Bular Llc | Process of manufacturing glass optical fibre preforms |
WO2002008133A2 (en) * | 2000-07-20 | 2002-01-31 | Bular, Llc | Process of manufacturing glass optical fibre preforms |
WO2002008129A1 (de) * | 2000-07-26 | 2002-01-31 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zum verglasen von porösen sootkörpern |
WO2006008139A1 (de) * | 2004-07-20 | 2006-01-26 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines hohlzylinders aus quarzglas |
DE102006059779A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren für die Herstellung eines Hohlzylinders aus synthetischem Quarzglas sowie nach dem Verfahren erhaltener dickwandiger Hohlzylinder |
DE102006059779B4 (de) * | 2006-12-15 | 2010-06-24 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren für die Herstellung eines Hohlzylinders aus synthetischem Quarzglas, nach dem Verfahren erhaltener dickwandiger Hohlzylinder und Verfahren zur Herstellung einer Vorform für optische Fasern |
US8316671B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-11-27 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing a hollow cylinder of synthetic quartz glass, and thickwalled hollow cylinder obtained according to the method |
DE102008024842B3 (de) * | 2008-05-23 | 2009-05-07 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Zylinders aus Quarzglas unter Einsatz einer Haltevorrichtung sowie Haltevorrichtung |
WO2009141259A1 (de) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung eines zylinders aus quarzglas unter einsatz einer haltevorrichtung sowie haltevorrichtung |
US8590344B2 (en) | 2008-05-23 | 2013-11-26 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for the production of a cylinder made from quartz glass using a retaining device, and retaining device |
EP3670458A1 (de) * | 2018-12-21 | 2020-06-24 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines vorprodukts für optische fasern sowie dafür geeigneter adapter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11139836A (ja) | 1999-05-25 |
JP3875410B2 (ja) | 2007-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19649935C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern | |
DE102006059779B4 (de) | Verfahren für die Herstellung eines Hohlzylinders aus synthetischem Quarzglas, nach dem Verfahren erhaltener dickwandiger Hohlzylinder und Verfahren zur Herstellung einer Vorform für optische Fasern | |
EP0701975B1 (de) | Verfahren zum Sintern von Hohlzylindern aus Siliciumdioxid - Soot und Vorrichtung zum Sintern derartiger Hohlzylinder | |
DE19736949C1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers | |
DE112004001055B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils aus Quarzglas sowie Hohlzylinder aus Quarzglas zur Durchführung des Verfahrens | |
DE60302317T2 (de) | Stab-in-Rohr Vorform für optische Fasern und Verfahren zum Herstellen und Ziehen dergleichen | |
EP1148035A2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus opakem, synthetischen Quarzglas sowie nach dem Verfahren hergestelltes Quarzglasrohr | |
DE102008024842B3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Zylinders aus Quarzglas unter Einsatz einer Haltevorrichtung sowie Haltevorrichtung | |
WO2006008139A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines hohlzylinders aus quarzglas | |
DE102006024831B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas | |
DE2625010C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Vorformlings für optische Fasern | |
WO2005121037A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas | |
EP2736856B1 (de) | Plasma-abscheideprozess zur herstellung einer optischen vorform mit einer mantelglasschicht aus fluordotiertem quarzglas | |
WO2005095294A2 (de) | Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils | |
DE3037491A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer glasvorform fuer die optische uebertragung | |
EP0623563B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Erhitzen eines langgestreckten Glaskörpers | |
DE102007029506B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Zylinders aus Quarzglas unter Einsatz einer Haltevorrichtung sowie geeignete Haltevorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE10012227C1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers | |
DE102008029756B3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Zylinders aus Quarzglas sowie Haltevorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
WO2004067458A2 (de) | Verfahren zur herstellung eines hohlzylinders aus synthetischem quarzglas unter einsatz einer haltevorrichtung sowie geeignete haltevorrichtung zur durchführung des verfahrens | |
DE10064730B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Hohlzylinders aus Quarzglas | |
DE102011013623B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer für die Fertigung von Ampullen und Fläschchen geeigneten Glasröhre und Vorrichtung zur Herstellung | |
DE19751919C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
EP1322560B1 (de) | Vorrichtung zur herstellung eines glasstranges | |
WO2001032573A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines quarzglaskörpers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG, 63450 HANAU, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: HERAEUS TENEVO AG, 63450 HANAU, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: HERAEUS TENEVO GMBH, 63450 HANAU, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG, 63450 HANAU, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |