JP2008502498A5 - - Google Patents

Description

他の実施例においては、基板搬送装置が提供される。該装置は駆動セクションとスカラアームとを有する。該スカラアームは該駆動セクションに作動自在に結合されてスカラアームを作動する。該スカラアームは上方アームと少なくとも１つの前方アームとを有する。該前方アームは該上方アームに可動自在に取り付けられてその上に基板を保持することが可能である。該上方アームは実質的に剛性であって実質的に剛性の第２アームセクションに解放自在に取り付けられた実質的に剛性の第１アームセクションを有している。解放された際は、該第１アームセクションは第２アームセクションに対して可動自在となって該上方アームの所定の形態を変更する。

装置到達範囲の調整、及びエンドエフェクタの最適な位置決めが、調整自在な上方アーム66の対向する両セクション72、73の相対角度位置を調整することによって図4A、5A及び6Aに示すように達成される。図4A、5A及び6Aは各々前の図4乃至6のアセンブリに示された、異なる長さのエンドエフェクタ38及び39、38A及び39A、38B及び9Bに対応する３つの異なる位置における上方アームのセクション72及び78、72A及び78A、72B及び78Bを示している。従って、図4Aにおいて上方アームセクション72、78は包括角度αを形成すべく位置決めされ、図5Aにおいてアームセクション72A、79Aは包括角度α1を形成し、図6Aにおいてアームセクション72B、78Bは包括角度α2を形成する。角度α2は角度α1よりも広く、角度α1は次に角度αよりもより広い。従って、図4乃至6及び4A乃至6Aからわかるように、両上方アームセクションの間の包括角度のサイズはエンドエフェクタ38Bと39B、38Aと39A、38と39の長さ（L、L、L2）が増加するにつれて減少する。対向する両上方アームセクションの間の包括角度が減少するにつれて、アームアセンブリが登録位置のときは、アームセクションは更に後方に回転する（伸張の方向とは反対）。これは次に登録の際に前方アーム74B及び104B、74A及び104A、74及び104を後方に移動せしめ、よってエンドエフェクタを後方に移動せしめてより長いエンドエフェクタが装置の最小到達範囲内にとどまるのを可能にする。アームアセンブリの対向するセクション72、78を移動するためには、両アームセクションを一緒に係止するボルト75（図3参照）、（若しくは他の係止するデバイス）が解放される。これによって１つ若しくは両方のアームセクション72、78は、両アームセクション間での所望の包括角度α、α1、α2が達成されるまで回転軸Dの回りに互いに枢動することが可能となる。係止ボルト75はその後再導入され、よって新たな位置で再び両アームセクションを互いに係止する。上方アーム66を位置決めした後、これは次に前方アーム及び上方アームによって運搬されるエンドエフェクタを再位置決めし、コントローラ11はプログラムされて駆動モータ42、44、46の登録位置をセットする（図2参照）。その後、搬送装置10の移送運動の教示（teaching）／プログラミングが、以下に記載する以外は従来の方法によって行なうことが可能となる。

前述したように、本実施例の説明のために、前方アーム74、106及び上方アームセクション72、78が放射軸Rに関して対称に配置される場合のアームアセンブリの位置であるとしてアームアセンブリ68の登録位置が画定され、放射軸Rに沿ってエンドエフェクタ38、39が伸張／収縮される（しかしながら、上記したように登録位置は任意の他の所望の位置として選択されても良い）。図2から判るように、本実施例においては、同期装置98、124が各々エンドエフェクタ38、39を上方アームに係止することによって、所望の包括角度α、α1、α2（図4A乃至6A参照）を提供する上方アームセクション72、78の再配置は、エンドエフェクタ38、39間の角度を形成する。これは図4において仮想軸38CL及び39CLによって概略図が示されており、これは上方アームセクション72、78が図4Aに示す包括角度αを形成すべくセットされるときのエンドエフェクタ38、39の中心線の本来の方向を示している。図5A乃至6Aに示されるように、上方アームセクション72A及び78A、72B及び78Bを更に離れてセットすることによって、エンドエフェクタ38B、39の中心線が放射軸Rに向かって回転し、両エンドエフェクタ間の角度（図4参照）が減少する。アームアセンブリの交換動作の際に、両エンドエフェクタ38、39間に角度Bに対応するために、上方アームの更なる回転が実施されて伸張したエンドエフェクタを放射軸Rに合わせる。例えば、エンドエフェクタ39が伸張された場合は、上方アーム66は回転してエンドエフェクタ中心線39CLを放射軸Rに合わせる。かかる更なる動作は伸張の前若しくは伸張の際の任意の所望の時間に実施されても良い。交換の際にエンドエフェクタ39を収縮する場合は、上方アーム66の更なる動作が行なわれてエンドエフェクタ38の中心線38CLを放射軸Rに合わせる。代替実施例においては、例えばエンドエフェクタ用の同期装置の係止を上方アームから解除する解放機構等の調整手段が設けられても良い。これによって両上方アームセクションが、エンドエフェクタが放射軸Rに関して望み通りの並びを維持しつつ望み通り位置されることが可能となる。調整の後は、係止機構は再度係合されてエンドエフェクタを上方アームに再係止する。

Claims (22)

1. 基板搬送装置であって、
   駆動セクションと、
   前記駆動セクションに作動自在に結合されたスカラアームと、を有し、
   前記駆動セクションは前記スカラアームを作動せしめ、
   前記スカラアームは、上方アームと、前記上方アームに可動自在に取り付けられてその上に基板を保持することが可能な少なくとも１つの前方アームと、を有し、
   前記上方アームは、第１及び第２のアームセクションを有する共通アームリンクであり、前記第１及び第２のアームセクションが前記第１及び第２のアームセクションを互いに対して選択された固定角度に選択的に位置決めする固定及び解放可能カップリングによって互いに結合されていることで、前記上方アームの所定の形状が変更可能であることを特徴とする装置。
2. 前記第１のアームセクション及び第２のアームセクションは、調整自在なカップリングによって互いに角度調整自在に結合されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記第１アームセクション及び前記第２アームセクションの各々は指標位置を備えたカップリング接続部を有し、よって前記上方アームの前記第１アームセクション及び第２アームセクションが互いに位置決めされることを可能にすることを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 前記第１アームセクションの前記カップリング接続部及び前記第２アームセクションの前記カップリング接続部は前記調整自在なカップリングを少なくとも部分的に形成し、前記指標位置は留め具によって機械的に係合せしめられることが可能であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 前記調整自在なカップリングは、前記第１アームセクションと前記第２アームセクションとが互いに角度調整自在に位置決めされることを可能にすることを特徴とする請求項２に記載の装置。
6. 前記調整自在なカップリングはカップリング回転軸を形成し、前記第１アームセクションと第２アームセクションとの位置を互いに調整する際に前記第１アームセクション及び第２アームセクションは前記カップリング回転軸の回りに互いに回転自在であることを特徴とする請求項２に記載の装置。
7. 前記駆動セクションは回転軸を形成し、前記スカラアームは前記駆動セクションに取り付けられて前記回転軸の回りを前記駆動セクションに対して回転することを特徴とする請求項２に記載の装置。
8. 前記上方アームの前記第１アームセクション及び前記第２アームセクションは前記回転軸を挟む両側に延在するように配置されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
9. 前記駆動セクションは前記スカラアームの駆動用の３つの独立した回転駆動軸を有していることを特徴とする請求項２に記載の装置。
10. 前記３つの駆動軸は互いに同軸であることを特徴とする請求項９に記載の装置。
11. 前記第１アームセクション及び前記第２アームセクションは前記上方アームの対向する両端部を各々形成し、前記３つの駆動軸の１つが前記上方アームの端部を形成する前記第１アームセクションの端部を経て延在するように位置し、前記３つの駆動軸のその他は前記上方アームの対向する端部を形成する前記第２アームセクションの端部を経て延在するように位置することを特徴とする請求項９に記載の装置。
12. 基板搬送装置であって、
    駆動セクションと、
    前記駆動セクションに作動自在に結合されたスカラアームと、を有し、
    前記駆動セクションは前記スカラアームを作動せしめ、
    前記スカラアームは、上方アームと、前記上方アームに移動自在に取り付けられてその上に基板を保持することが可能な少なくとも１つの前方アームと、を有し
    前記上方アームは、剛体である第１アームセクション、及び固定及び解放可能カップリングによって前記第１アームセクションに固定及び解放自在に結合された剛体である第２アームセクションを有する共通アームリンクであり、解放時には、前記上方アームの所定の形状の変更のために前記第１アームセクションは前記第２アームセクションに対して移動自在であり、固定時には前記第１及び第２のアームセクションが互いに対して係止されることを特徴とする装置。
13. 前記上方アームは前記第１アームセクション及び前記第２アームセクションによって形成される湾曲形状を有していることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 前記第１アームセクション及び前記第２アームセクションによって形成される前記上方アームの湾曲部は所定のスカラアーム到達距離に対する基板装置到達範囲の比を達成すべく調整自在であることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
15. 前記駆動セクションは回転軸を形成し、前記スカラアームは前記駆動セクションに取り付けられて前記回転軸の回りに前記駆動セクションに対して回転することを特徴とする請求項１２に記載の装置。
16. 前記第１アームセクション及び前記第２アームセクションは前記回転軸を挟む両側に延在することを特徴とする請求項１２に記載の装置。
17. 前記少なくとも１つの前方アームは前記上方アームの両端部において前記上方アームに運動自在に各々取り付けられた２つの前方アームからなることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
18. 前記２つの前方アームの第１は前記上方アームの前記第１アームセクションに枢動自在に結合されて前記スカラアームの第１エルボ結合部を形成し、前記２つの前方アームの第２は前記上方アームの前記第２アームセクションに枢動自在に結合されて前記スカラアームの第２エルボ結合部を形成することを特徴とする請求項１７に記載の装置。
19. 各前方アームはそこに従属する個別のエンドエフェクタを有していることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
20. 前記駆動セクションは３つの独立した回転駆動軸を有していることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
21. 前記駆動セクションの前記３つの駆動軸は互いに同軸上に配置されて前記回転軸を形成することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
22. 前記駆動セクションは３つの回転駆動モータを有し、各々は前記３つの独立した駆動軸の対応する１つを生じ、前記３つの駆動モータの少なくとも１つは前記少なくとも１つの前方アームに作動自在に結合されて前記少なくとも１つの前方アームを前記上方アームに関して回転せしめ、前記少なくとも１つの駆動モータは前記上方アームの前記第１アームセクションに搭載されていることを特徴とする請求項２１に記載の装置。