JP2008310126A - ディスプレイ用マイクロデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによって液体膨出部12を形成したことで、高真空CVD法を用いて、液体状の液体膨出部12の液表面に保護膜13を積層形成できるようにした。かくして簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、また従来のようにを貼着する煩雑な組立工程を省くことができるので、その分生産性を向上させることができる。さらに、保護膜13を用いていることから、衝撃や重力などによって液体膨出部12が変形してしまうことを防止でき、一段と信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイス1を提供できる。
【選択図】図1
Description
(1−1)ディスプレイ用マイクロデバイスの構成
図1(A)及び(B)において、1は散乱式ディスプレイ装置(図示せず)の1画素(セル)を構成するディスプレイ用マイクロデバイスを示す。なお、この場合、散乱式ディスプレイ装置の全体図は省略し、ディスプレイ用マイクロデバイス1の近傍部分についてのみ説明する。
ここで、かかる構成のデバイス本体2は以下の手順により製造することができる。
以上の構成において、デバイス本体2では、液体膨出部12が耐熱性に優れ、高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによって形成されているため、高真空状態で成膜する高真空CVD法を用いてもシリコンオイルが蒸発することなく、液体膨出部12の液表面に保護膜13を積層形成することができる。
以下、上述したスピンコート法について説明する。ここでは、図12に示すように、例えば500[μm]の間隔を空けてアレイ状に設けられた直径1500[μm]の円形状でなる載置領域20aを有する基板20を用意し、最適な液量でなるシリコーン溶液又は流動パラフィンを載置領域20aに載置する場合について検証を行った。
ここでは、図16(A)及び(B)に示すように、半径rが500[μm]であって、液体膨出部12の底部から頂部までの距離t1と、保護膜10及び電極14の膜厚dとが異なる3種類のデバイス本体(図16(B)及び図17中、単に(A)(B)(C)と示す)を用意し、図17に示すように、各デバイス本体(A)、(B)及び(C)で印加電圧を変化させたときの各変形率を計測した。
図1(A)との対応部分に同一符号を付して示す図18(A)において、30は液体移動式ディスプレイ装置の1画素を構成するディスプレイ用マイクロデバイスを示す。なお、この場合、液体移動式ディスプレイの全体図は省略し、ディスプレイ用マイクロデバイス30の近傍部分についてのみ説明する。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば光色等を変更できる蛍光ビーズや量子ドット等この他種々の光変更部材を、ディスプレイ用マイクロデバイス1の液体膨出部12内や、ディスプレイ用マイクロデバイス30の液体膨出部40内に入れても良い。
10,34 基板
11 ITO電極(第1の電極)
12,40 液体膨出部
13,36 保護膜
14 電極(第2の電極)
19 撥油膜(薄膜)
35a 照射側ITO電極(第1の電極)
35b 非照射側ITO電極(第3の電極)
37 照射側電極(第2の電極)
38 非照射側電極(第4の電極)
41 貫通孔
Claims (7)
- 一面に第1の電極を備えた基板と、
CVD(Chemical Vapor Deposition)法による薄膜形成処理の際に蒸発せずに残る液体からなり、表面張力又は支持部によって前記基板の一面上から膨出した液体膨出部と、
前記CVD法によって前記液体膨出部の液表面に積層形成された保護膜と、
前記保護膜の表面に形成された第2の電極とを備え、
前記第1の電極及び前記第2の電極間に電圧を印加することにより静電気力が発生し、該静電気力により前記保護膜を変形させることで、所定方向からの光を前記液体膨出部に透過させる
ことを特徴とするディスプレイ用マイクロデバイス。 - 前記光が発光部本体内に照射される発光部を備え、
前記静電気力によって前記第2の電極が前記発光部本体に接触し、前記発光部本体内に照射されている光が前記発光部本体と前記第2の電極との接触箇所から前記液体膨出部に導かれる
ことを特徴とする請求項1記載のディスプレイ用マイクロデバイス。 - 前記基板の他面に設けられ、前記CVD法によって表面に前記保護膜が積層形成された第3の電極と、
前記基板の他面側における前記保護膜の表面に形成された第4の電極と、
前記基板、前記第1の電極及び前記第3の電極を貫通した貫通孔とを備え、
前記基板は一面又は他面のいずれかを照射面あるいは反射面として前記光を外方へ発しており、
記基板の一面に形成された前記液体膨出部は、前記第1の電極及び前記第2の電極間の電圧変化と、前記第3の電極及び前記第4の電極間の電圧変化とに応じて発生する前記静電気力により、前記貫通孔を通過して前記基板の他面へ移動する
ことを特徴とする請求項1記載のディスプレイ用マイクロデバイス。 - 前記液体がシリコンオイルである
ことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載のディスプレイ用マイクロデバイス。 - 前記液体が載置される載置領域以外の非載置領域の表面には、前記載置領域より撥油性が高い薄膜が形成されている
ことを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1項記載のディスプレイ用マイクロデバイス。 - 前記第1の電極及び前記第2の電極が透明電極部材からなり、前記基板が透明基板部材からなり、前記保護膜が透明薄膜部材からなる
ことを特徴とする請求項1〜5のうちいずれか1項記載のディスプレイ用マイクロデバイス。 - 前記保護膜はポリパラキシリレンにより形成されている
ことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項記載のディスプレイ用マイクロデバイス。
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