JP2008309568A - 試料表面の欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多方向で検出した散乱光の検出信号を加算して微小欠陥の検出を行うとともに,各検出信号を個別に処理することによって,異方性欠陥の見逃しを回避することが可能となる。
【選択図】図1
Description
Vth = k・√(Su・Δf) (1)
ここで,kは定数,Δfは回路の周波数帯域である。
2:レーザ光源,3:アッテネータ,4:ビームエキスパンダ,
5,6:波長板,7:ミラー,8:集光レンズ,9,12:散乱光検出レンズ,10,13:検光子,
11,14:光電変換素子。
Claims (15)
- 被検査試料表面に集束したレーザビームを照射し,該被検査試料表面で発生する散乱光を多方向で集光し,集光された該散乱光を光電変換して該被検査試料表面に存在する欠陥を検査する装置において,多方向で検出した検出信号を加算処理して微小欠陥を検出するとともに,多方向で検出した検出信号を個別処理して異方性欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。
- 資料表面で発生する散乱光から欠陥検出しきい値を作成することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記個別処理は、多方向で検出した複数の検出信号のうち、1つでも予め設定したしきい値を超えるものがあれば、異方性欠陥であると判断することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記光電変換は光電子増倍管によってなされることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記光電子増倍管は個別に感度を設定できることを特徴とする請求項4に記載の欠陥検査装置。
- 被検査試料表面に集束したレーザビームを照射し,該被検査試料表面で発生する散乱光を多方向で集光し,集光された該散乱光を光電変換して該被検査試料表面に存在する欠陥を検査する装置において,前記検査装置は多方向で検出する第1の複数の光電変換素子と多方向で検出する第2の複数の光電変換素子とを有し、前記第1の複数の光電変換素子は被検査試料表面に対して第1の仰角をもって配列し、前記第2の複数の光電変換素子は前記第1の仰角よりも大きい第2の仰角をもって配列していることを特徴とする欠陥検査装置。
- 前記レーザビームは被検査試料表面に対して第3の仰角をもって入射し、前記第3の仰角は前記第1の仰角よりも小さいことを特徴とする請求項6に記載の欠陥検査装置。
- 前記第1の仰角は15度乃至35度であり、前記第2の仰角は45度乃至70度であることを特徴とする請求項6に記載の欠陥検査装置。
- 前記第1の複数の光電変換素子は多方向で検出した検出信号を加算処理して微小欠陥を検出するとともに,多方向で検出した検出信号を個別処理して異方性欠陥を検出し、
前記第2の複数の光電変換素子は多方向で検出した検出信号を加算処理して微小欠陥を検出するとともに,多方向で検出した検出信号を個別処理して異方性欠陥を検出することを特徴とする請求項6に記載の欠陥検査装置。 - 前記欠陥検査装置は前記第1の複数の光電変化素子からの検出データと前記第2の光電変換素子からの検出データを比較演算し、欠陥の種類を判別することを特徴とする請求項6に記載の欠陥検査装置。
- 複数の欠陥に対して、前記第1の複数の光電変換素子からの出力を縦軸に、前記第2の複数の光電変換素子からの出力を横軸にしたプロットを出力することを特徴とする請求項6に記載の欠陥検査装置。
- 被検査試料表面に集束したレーザビームを照射し,該被検査試料表面で発生する散乱光を多方向で集光し,集光された該散乱光を光電変換して該被検査試料表面に存在する欠陥を検査する装置において,前記検査装置は多方向で検出する第1の複数の光電変換素子と多方向で検出する第2の複数の光電変換素子とを有し、前記第1の複数の光電変換素子は被検査試料表面に対して第1の仰角をもって配列し、前記第2の複数の光電変換素子は前記第1の仰角よりも大きい第2の仰角をもって配列しており、
前記第1および第2の複数の光電変換素子の感度は個別に調整できることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記光電変換素子は光電子増倍管であることを特徴とする請求項12に記載の欠陥検査装置。
- 被検査試料表面に集束したレーザビームを照射し,該被検査試料表面で発生する散乱光を多方向で集光し,集光された該散乱光を光電変換して該被検査試料表面に存在する欠陥を検査する装置において,前記検査装置は多方向で検出する第1の複数の光電変換素子と多方向で検出する第2の複数の光電変換素子とを有し、前記第1の複数の光電変換素子は被検査試料表面に対して第1の仰角をもって配列し、前記第2の複数の光電変換素子は前記第1の仰角よりも大きい第2の仰角をもって配列しており、
前記第1および第2の複数の光電変換素子は前記光電変換素子が発生するショットノイズのレベルによって検出信号がノイズか欠陥信号かを区別するしきい値を設定することが出来ることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記光電変換素子は光電子増倍管であることを特徴とする請求項14に記載の欠陥検査装置。
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