JP2008304395A - 流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定流体が流れるボディ部9aと流体計測部9の間に、ボディ部9aから分流させた被測定流体が入出するボディ部9a側の面に形成したボディ部側面3aと、ボディ部9a側および流体計測部9側を連通する流路折曲げ孔11d,12dと、流体計測部9側の面に形成され、ボディ部側面3aおよび流路折曲げ孔11d,12dを介して入出する被測定流体を流速センサ6に晒す計測部側面3bとを有する流路構造部3を設け、流路構造部3に上流側流路11及び下流側流路12を形成する仕切り壁10と、ボディ部9aから流入する被測定流体が溜まるバッファ用凹部13,14と、被測定流体の流れを整える整流片11a,11b,11c,12a,12b,12cを設けた。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明の実施の形態1に係る流量計の分解斜視図である。図1に示すように流量計1は、フィルタ2、流路構造部3、金網4、破断面が楕円のゴムパッキン5、流量センサ6と計測部7と支持板7a,7bと表示部8を備えたセンサユニット(流体計測部)9から構成されている。
フィルタ2は、流路構造部3に着脱可能に取り付けられ、後述するボディ部から導入される被測定流体のダスト(異物)を除去する。なお、必要に応じてフィルタを設けずに構成してもよい。流路構造部3は、支持板7aに両面テープや接着剤などにより固定され、ボディ部から導入される被測定流体の流速を下げると共に、被測定流体の偏流や乱れを整流して流量センサ6に導入する楕円に形成された調節体である。また、流路構造部3を設けることにより、センサユニット9をボディ部から取外した際に流量センサ6を覆う蓋体として機能し、センサユニット9の流量センサ6部分が露出して破損するのを防止することができる。なお、流路構造部3は、支持板7aに両面テープや接着剤により取り付けられる以外にも、その他の方法により容易に支持板7aから脱落しないように取り付けても良い。
計測部7は、外部装置と接続するネットワークケーブル等を挿入するコネクタ71を有している。また支持板7a,7bには、センサユニット9とボディ部9aとを接続する際に固定するネジ72が設けられている。センサユニット9とボディ部9aをネジ72によりネジ止めすることにより、ゴムパッキン5が支持板7aとボディ部9aの取り付け面に当接して気密性が保たれる。表示部8は、設定入力を行う設定スイッチと81と、設定スイッチ81による設定内容などを表示する表示器82とを備えている。図2の例では、センサユニット9に表示部8を装備した場合を示したが、表示部を有さない構成であっても構わない。
流路構造部3は、樹脂等を用いて型抜き成形され、図4(a)に示すようにはボディ部側面(第1の流路)3aの中央部分には、略S字形の仕切り壁10が設けられ、この仕切り壁10により仕切られた上流側流路(第1の整流部)11、下流側流路12(第2の整流部)12及びバッファ用凹部(バッファ部)13,14及で構成されている。また、ボディ部側面3aの外周部分には、仕切り壁10と連設されるように外周壁15が構成されており、センサユニット9をボディ部9aに取り付けた際に導入された被測定流体が漏出するのを防ぐ。なお、流路構造部3は、金属を切削して成形されても良い。
まず、図6(a)の実線矢印で示す分流路9dからバッファ用凹部13に導入された被測定流体は、一定角度の広がりを持ち、上流側流路11に導入される。導入される被測定流体は、仕切り壁10と整流片11aとの間隔が広く構成していることから流速が抑えられ、一定角度の広がりを持って導入される。導入された被測定流体は仕切り壁10によって流れの向きが変えられ、各整流片11a,11b及び11cの間を通過して整流される。被測定流体は整流されると共に流速ベクトルが徐々に変化し、流路折り曲げ孔11dにおいて流れの向きが変えられ、計測部側面3bに導入される。
図7は、この発明の実施の形態1に係る流量計の動作を示す図である。図7(a)は被測定流体の逆流の流れを示した流路構造部のボディ部側面の斜視図であり、図7(b)は被測定流体の逆流の流れを示した流路構造部の計測部側面の斜視図である。図7において、実線矢印は流量測定前の被測定流体の流れを示し、破線矢印は流量測定後の被測定流体の流れを示す。
2 フィルタ
3 流路構造部
3a ボディ部側面
3b 計測部側面
4 金網
5 ゴムパッキン
6 流量センサ
7 計測部
7a,7b 支持板
8 表示部
9 センサユニット
9a ボディ部
9b 主流路
9c オリフィス
9d,9e 分流路
10 仕切り壁
11 上流側流路
12 下流側流路
11a,11b,11c,12a,12b,12c 整流片
11d,12d 流路折り曲げ孔
13,14 バッファ用凹部
15 外周壁
16a,16b,16c,16d 金網係止片
17a,17b 壁部
18a,18b 敷居片
60 基台
61 ヒータ
62 上流側温度センサ
63 下流側温度センサ
64 周囲温度センサ
65 絶縁膜層
66 キャビティー(凹部空間)
67 ダイヤフラム
71 コネクタ
72 ネジ
81 設定スイッチ
82 表示器
90 流量計
91 先端デバイス
92 セラミック基板
93 導体パターン
94 チップ部品
95 回路基板
96 U字形流路
Claims (4)
- 被測定流体を検出するセンサと、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部とを備えた流量計において、
被測定流体が流れるボディ部と前記流体計測部の間に設けた板状部材からなり、前記ボディ部から分流させた被測定流体が入出するボディ部側の面に形成した第1の流路と、前記ボディ部側および前記流体計測部側を連通する連通孔部と、流体計測部側の面に形成され、前記第1の流路および前記連通孔部を介して入出する被測定流体を前記センサに晒す第2の流路とを有する流路構造部を備え、
前記流路構造部は、被測定流体の流れの上流側の第1の整流部と下流側の第2の整流部とに仕切る仕切り壁と、
前記ボディ部から流入した被測定流体が溜まる凹部からなるバッファ部と、
前記第1の整流部および第2の整流部に設けられ、前記バッファ部から前記連通孔部に向けて流れる被測定流体の流れを整える整流子とを備えたことを特徴とする流量計。 - ボディ部の主流路を流れる被測定流体の流速ベクトルと、第2の流路においてセンサに晒す被測定流体の流速ベクトルが略直交することを特徴とする請求項1記載の流量計。
- 整流子は、連通孔部の開口部から延びた複数の凸所であり、
前記複数の凸所は、前記連通孔部からの長さがバッファ部に近づくにつれて短く形成されており、前記バッファ部からの被測定流体の流れを、前記凸所間を通り前記連通孔部に導くことを特徴とする請求項1または請求項2記載の流量計。 - 第2の流路をセンサ側に流れる被測定流体を整流する金網を係止する金網係止片を備えたことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載の流量計。
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JP2003523506A (ja) * | 2000-02-16 | 2003-08-05 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 流量モジュールおよび一体化された流れ制限器 |
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2007
- 2007-06-08 JP JP2007153129A patent/JP5019958B2/ja active Active
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