JP2008304306A - Device and method for inspecting defects - Google Patents

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<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for inspecting defects appropriately detecting defects on the surface of a band body such as a thin steel plate to be inspected for a defect, by accurately specifying the position of the edge of the band body. <P>SOLUTION: The defect-inspecting device inspects defects on the surface of the band body 1, by irradiating slit light onto an irradiated area 400 crossing the moving band body 1 in the width direction. The defect-inspecting device 100 is constituted of a lighting means 110 for irradiating the irradiated area with a first slit light, emitted in a first direction 311 inclined by a first predetermined angle of θ1 to one side of the band body in the width direction with respect to the moving direction V of the band body, and a second slit light, emitted in a second direction 321 inclined by a second predetermined angle of θ2 to the other side of the band body in the width direction, with respect to the moving direction of the band body; an imaging means 120 for imaging the reflected lights of the first and second slit lights in the irradiated area and then outputting an image of the irradiated area; and an image processing means 130 for specifying the position of both edges of the band body 1 in the width direction in the image of the irradiated area, based on the intensity of the reflected light imaged by the imaging means. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、帯状体の疵検査装置及び疵検査方法に関し、特に帯状体のエッジ位置を高精度に検出して疵検査を好適に行う技術に関する。   The present invention relates to a band-shaped body wrinkle inspection apparatus and a wrinkle inspection method, and more particularly to a technique for suitably performing a wrinkle inspection by detecting the edge position of a band-shaped body with high accuracy.

例えば、鉄鋼業での薄鋼板等の製造において、製造される薄鋼板の製品品質の表す一項目として、薄鋼板の表面の疵ができるだけ少ないことが求められる。しかし、例えば薄鋼板の製造プロセスにおいて、製造ラインの圧延ロールに異物が付着していると、この異物に起因して薄鋼板にロール疵が形成されることがある。また、圧延ロールが微小振動していると、振動によって鋼板表面に微細な横縞(チャタマーク)が形成されることがある。また、熱間圧延のロールの表面に肌荒れが発生している場合には、薄鋼板の表面のスケールが均一に生成せず、冷間圧延後おいても表面に微細な肌荒れが形成されることがある(スケール疵)。薄鋼板のこのような表面形状の不良を、ここでは疵と総称する。   For example, in the manufacture of thin steel sheets and the like in the steel industry, one item that represents the product quality of the manufactured thin steel sheets is required to have as few wrinkles on the surface of the thin steel sheets as possible. However, for example, in the manufacturing process of a thin steel plate, if foreign matter adheres to the rolling roll of the production line, roll wrinkles may be formed on the thin steel plate due to the foreign matter. Moreover, when the rolling roll vibrates minutely, fine horizontal stripes (chatter marks) may be formed on the surface of the steel sheet due to the vibration. In addition, if the surface of the hot-rolled roll is rough, the surface scale of the thin steel sheet will not be generated uniformly, and a fine rough surface will be formed even after cold rolling. There is (scale 疵). Such a surface shape defect of a thin steel plate is collectively referred to herein as a flaw.

このような疵が一旦発生すると、ロールを交換したり製造プロセスを改善したりするまで、薄鋼板の表面に同様の疵が繰り返し発生してしまう。このような疵は、薄鋼板の製品品質を著しく低下させる要因となる。   Once such wrinkles occur, similar wrinkles are repeatedly generated on the surface of the thin steel sheet until the roll is replaced or the manufacturing process is improved. Such wrinkles become a factor that significantly deteriorates the product quality of the thin steel sheet.

従って、このような薄鋼板の疵を検出する疵検査装置の開発が成されている。従来の疵検査装置は、鋼板製造工程において通板する薄鋼板の表面に光を照射し、その反射光を撮像装置によって撮像して得られる画像信号に基づいて、表面の疵を検査していた。   Therefore, development of a wrinkle inspection device for detecting wrinkles of such a thin steel plate has been made. A conventional wrinkle inspection device irradiates light on the surface of a thin steel plate to be passed in a steel plate manufacturing process, and inspects wrinkles on the surface based on an image signal obtained by imaging the reflected light with an imaging device. .

しかし、従来の疵検査装置において、薄鋼板は製造ライン方向に長い帯状体として通板されるので、帯状体のエッジ部において光が乱反射したり、帯状体外のロール等の疵や汚れ等に照射された光が反射することにより、これらの反射光を誤って薄鋼板の疵として検出してしまう、いわゆるエッジ誤検出が発生し、その結果、良品を不良品であると判断してしまうという問題があった。   However, in the conventional wrinkle inspection device, the thin steel plate is passed as a long strip in the production line direction, so that light is diffusely reflected at the edge of the strip or irradiated to wrinkles and dirt on the roll outside the strip. When the reflected light is reflected, the reflected light is erroneously detected as a wrinkle of the thin steel plate, so-called edge false detection occurs, and as a result, the non-defective product is judged to be defective. was there.

そこで、特許文献1〜4には、帯状体の薄鋼板のエッジ部を検出しつつ、薄鋼板の疵を検出する疵検査装置についての発明が開発されている。   Therefore, in Patent Documents 1 to 4, inventions have been developed for a wrinkle inspection device that detects wrinkles of a thin steel plate while detecting an edge portion of the thin steel plate of a belt-like body.

特開平8−292160号公報JP-A-8-292160 特開2005−265825号公報JP 2005-265825 A 特開平11−237220号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-237220 特開2002−174599号公報JP 2002-174599 A

しかし、上記の特許文献1〜4等の従来の疵検査装置によっても、通板される薄鋼板の蛇行や振動、又は、ロール上の汚れや疵等の検査環境の影響により、適切に疵を検出できない可能性は依然として存在していた。この従来の疵検査装置について、図12〜図15を参照して、より具体的に説明する。   However, even with the conventional wrinkle inspection devices such as the above-mentioned Patent Documents 1 to 4, the wrinkle is appropriately removed due to the meandering and vibration of the thin steel plate to be passed through, or the influence of the inspection environment such as dirt and wrinkles on the roll. The possibility of not being detected still existed. This conventional wrinkle inspection apparatus will be described more specifically with reference to FIGS.

(従来の疵検査装置10)
図12は、従来の疵検査装置10の概略構成を示す斜視図である。
図12に示すように、従来の疵検査装置10は、検査対象に光を照射する光源11と、検査対象で反射した光を撮像する撮像装置12とを備えて、ロール2とロール3との間において、通板する薄鋼板等の帯状の検査対象(以下、「鋼板1」という。)の疵を検査する。
(Conventional bag inspection device 10)
FIG. 12 is a perspective view showing a schematic configuration of a conventional wrinkle inspection device 10.
As shown in FIG. 12, a conventional wrinkle inspection device 10 includes a light source 11 that irradiates light to an inspection target and an imaging device 12 that images light reflected by the inspection target, and includes a roll 2 and a roll 3. In the meantime, the flaw of a strip-shaped inspection object (hereinafter referred to as “steel plate 1”) such as a thin steel plate to be passed is inspected.

従来の疵検査装置10によれば、光源11から出射された光は、鋼板1で反射して、撮像装置12に撮像される。よって、鋼板1に疵等があった場合、疵からの反射光により撮像装置12で撮像される画像の輝度に濃淡が発生して疵を検出することができる。   According to the conventional wrinkle inspection device 10, the light emitted from the light source 11 is reflected by the steel plate 1 and imaged by the imaging device 12. Therefore, when the steel plate 1 has wrinkles or the like, the brightness of the image captured by the imaging device 12 is reflected by the reflected light from the wrinkles, so that wrinkles can be detected.

また、従来の疵検査装置10によれば、鋼板1から外れた光は、鋼板1の側方を通過して、鋼板1及びロール2、3等では反射されないため、ロール2、3等上の汚れ等によって光が反射されて、この反射光を疵と誤認してしまうことを防ぐことができる。   Moreover, according to the conventional wrinkle inspection apparatus 10, the light deviated from the steel plate 1 passes through the side of the steel plate 1 and is not reflected by the steel plate 1 and the rolls 2, 3 etc. It is possible to prevent light from being reflected by dirt or the like and misinterpreting the reflected light as wrinkles.

しかし、通板中の鋼板1に振動が発生した場合、撮像装置12に到達する光が変化してしまい、検出信号に変化が生じて疵の検査性能が低下してしまうという問題が発生した。   However, when vibration occurs in the steel plate 1 in the passing plate, the light reaching the imaging device 12 changes, causing a problem that the detection signal is changed to deteriorate the inspection performance of the eyelid.

一方、上記の特許文献1、2に開示された疵検査装置は、ロール上を通板する鋼板1の疵を検査するので、鋼板1の振動を抑えることができ、このような疵の検査性能の低下を防ぐことができる。この上記特許文献1に開示された従来の疵検査装置20と上記特許文献2に開示された従来の疵検査装置30について、図13、14を参照して説明する。   On the other hand, since the wrinkle inspection apparatus disclosed in Patent Documents 1 and 2 inspects the wrinkles of the steel plate 1 that passes through the roll, the vibration of the steel plate 1 can be suppressed, and such wrinkle inspection performance. Can be prevented. The conventional wrinkle inspection apparatus 20 disclosed in Patent Document 1 and the conventional wrinkle inspection apparatus 30 disclosed in Patent Document 2 will be described with reference to FIGS.

(従来の疵検査装置20)
図13は、従来の疵検査装置20の概略構成を示す斜視図である。
図13に示すように、従来の疵検査装置20は、ロール4上の鋼板1にレーザ光等の光を照射する光源21と、鋼板1及びロール4で反射した光を撮像する撮像装置22と、を備える。更に、従来の疵検査装置20によれば、ロール4の表面の反射光と鋼板1の反射光と間に明度差がつくように、ロール4を着色する。
(Conventional bag inspection device 20)
FIG. 13 is a perspective view showing a schematic configuration of a conventional wrinkle inspection device 20.
As shown in FIG. 13, a conventional wrinkle inspection device 20 includes a light source 21 that irradiates a steel plate 1 on a roll 4 with light such as a laser beam, and an imaging device 22 that images light reflected by the steel plate 1 and the roll 4. . Furthermore, according to the conventional wrinkle inspection apparatus 20, the roll 4 is colored so that a brightness difference is created between the reflected light of the surface of the roll 4 and the reflected light of the steel plate 1.

従来の疵検査装置20によれば、鋼板1からの反射光とロール4からの反射光との間に明度差がつくため、撮像装置22によって撮像された画像において、鋼板1からの反射光の強度だけが強調されて、ロール4等からの反射光を誤って鋼板1の疵であると認識してしまうことを防ぐことができる。   According to the conventional wrinkle inspection device 20, there is a difference in brightness between the reflected light from the steel plate 1 and the reflected light from the roll 4. Therefore, in the image captured by the imaging device 22, the reflected light from the steel plate 1 is reflected. Only the intensity is emphasized, and it is possible to prevent the reflected light from the roll 4 or the like from being mistakenly recognized as a wrinkle of the steel plate 1.

しかし、従来の疵検査装置20によれば、着色する必要があるためにロール4の材質を、顔料等を混入することができる材質に選択する必要がある。つまり、スチール等のように耐摩耗性のある堅い材質ではなく、ウレタンやゴム等の摩耗しやすい柔らかい材質を選ぶ必要がある。この結果、ロール4が摩耗して、装置の寿命が短くなる可能性があり、かつ、鉄粉などのゴミがロール4と鋼板1との間に押し込まれ易くなり、鋼板に押疵等が発生する原因となる可能性を払拭することは難しかった。   However, according to the conventional wrinkle inspection apparatus 20, since it is necessary to color, it is necessary to select the material of the roll 4 as a material which can mix a pigment etc. In other words, it is necessary to select a soft material that is easy to wear, such as urethane or rubber, instead of a hard material having wear resistance such as steel. As a result, the roll 4 may be worn out and the life of the apparatus may be shortened, and dust such as iron powder is likely to be pushed between the roll 4 and the steel plate 1, so that the steel plate is pressed. It was difficult to get rid of the possible causes.

(従来の疵検査装置30)
図14は、従来の疵検査装置30の概略構成を示す側面図である。
図14に示すように、従来の疵検査装置30は、ロール2上の鋼板1に光を照射する光源31と、鋼板1及びロール2で反射した光を撮像する撮像装置32と、ロール2よりも通板方向上流に配置され鋼板1のエッジを検出するエッジ検出器33と、を備える。このエッジ検出器33として、特許文献3には、鋼板1を挟んで配置されたエッジ検出用投光器34及びエッジ検出用受光器35とが開示されている。
(Conventional wrinkle inspection device 30)
FIG. 14 is a side view showing a schematic configuration of a conventional wrinkle inspection device 30.
As shown in FIG. 14, the conventional wrinkle inspection device 30 includes a light source 31 that irradiates light on the steel plate 1 on the roll 2, an imaging device 32 that images light reflected by the steel plate 1 and the roll 2, and the roll 2. And an edge detector 33 that is disposed upstream of the sheet passing direction and detects the edge of the steel plate 1. As this edge detector 33, Patent Document 3 discloses an edge detection light projector 34 and an edge detection light receiver 35 arranged with the steel plate 1 interposed therebetween.

従来の疵検査装置30によれば、まずエッジ検出器33により鋼板1のエッジを検出する。つまり、エッジ検出器33は、エッジ検出用投光器34から投射された光のうち、鋼板1により遮蔽されずにその側方を通過する光をエッジ検出用受光器35で受光することにより鋼板1のエッジを検出して、エッジの位置情報を生成する。   According to the conventional wrinkle inspection device 30, first, the edge of the steel plate 1 is detected by the edge detector 33. That is, the edge detector 33 receives light that passes through the side of the light projected from the edge detection projector 34 without being shielded by the steel plate 1 by the edge detection light receiver 35, thereby receiving the light from the steel plate 1. Edge information is detected and edge position information is generated.

また、従来の疵検査装置30は、エッジ検出器33の通板方向下流側のロール2上の鋼板1に光源31から光を照射して、鋼板1とロール2からの反射光を撮像装置32により撮像する。そして、エッジ検出器33からのエッジの位置情報を基に、撮像装置32の撮像画像を処理して、鋼板1外からの反射光を疵と判断しないように、疵を検出する。よって、従来の疵検査装置30によれば、適正な条件下においては、鋼板1のエッジ外を検査対象から外すことができ、適切に疵を検出することができる。   Further, the conventional wrinkle inspection device 30 irradiates light from the light source 31 to the steel plate 1 on the roll 2 on the downstream side in the sheet passing direction of the edge detector 33, and reflects the reflected light from the steel plate 1 and the roll 2 to the imaging device 32. Take an image. Then, based on the edge position information from the edge detector 33, the captured image of the imaging device 32 is processed to detect wrinkles so that the reflected light from outside the steel plate 1 is not determined to be wrinkles. Therefore, according to the conventional wrinkle inspection device 30, the outer edge of the steel plate 1 can be removed from the inspection target under appropriate conditions, and wrinkles can be detected appropriately.

しかし、この従来の疵検査装置30によれば、装置を配置するスペースの制約から、エッジ検出器33とロール2との間には数m程度の距離が存在する一方、通板する鋼板1は、数〜数十mm程度蛇行する場合がある。従って、鋼板1の蛇行が大きい場合には、エッジ検出器33によるエッジの位置情報と、実際に撮像装置32によって撮像される画像中のエッジの位置との間に差が生じる可能性があり、従来の疵検査装置30がエッジ部からの反射光を疵と誤って認識したり、エッジ部が不感帯となってしまう可能性を完全に取り除くには至っていなかった。   However, according to this conventional wrinkle inspection device 30, due to the limitation of the space where the device is arranged, a distance of about several meters exists between the edge detector 33 and the roll 2, while the steel plate 1 to be passed is In some cases, meanders of several to several tens of millimeters. Therefore, when the meandering of the steel plate 1 is large, there may be a difference between the edge position information by the edge detector 33 and the edge position in the image actually captured by the imaging device 32. The conventional wrinkle inspection device 30 has not yet completely eliminated the possibility that the reflected light from the edge portion is erroneously recognized as wrinkles or the edge portion becomes a dead zone.

(従来の疵検査装置による測定例)
一方、エッジを検出することができる他の疵検査装置として、上記の特許文献4には、コイル毎に鋼板1の板幅等の情報を得て、エッジが存在する許容範囲を決定するとともに、エッジ位置を検出する複雑な処理を実行することによって、撮像装置で撮像した画像中の検査対象を特定することができる疵検査装置が開示されている。しかしながら、図15に示すように測定結果においてロール2からの反射光の受信強度と、鋼板1からの反射光の受信強度とに差が少ない場合には、鋼板1のエッジ部を正確に認識することが困難となる。このことについて図15を参照して以下に説明する。
(Measurement example using a conventional wrinkle inspection device)
On the other hand, as another wrinkle inspection device capable of detecting an edge, the above-mentioned Patent Document 4 obtains information such as the plate width of the steel plate 1 for each coil, determines an allowable range where the edge exists, There has been disclosed a wrinkle inspection apparatus capable of specifying an inspection object in an image captured by an imaging apparatus by executing a complicated process for detecting an edge position. However, as shown in FIG. 15, when there is little difference between the reception intensity of the reflected light from the roll 2 and the reception intensity of the reflected light from the steel plate 1 in the measurement result, the edge portion of the steel plate 1 is accurately recognized. It becomes difficult. This will be described below with reference to FIG.

図15は、従来の疵検査装置による測定結果の例を示すグラフである。
図15に示す測定結果は、例えば、図14に示した従来の疵検査装置30のように、光源31から光を投射して、検査対象である鋼板1と検査対象外のロール2からの反射光を撮像装置32によって撮像した場合における撮像結果を示している。
FIG. 15 is a graph showing an example of measurement results obtained by a conventional wrinkle inspection apparatus.
The measurement results shown in FIG. 15 are reflected from, for example, the steel plate 1 to be inspected and the roll 2 outside the inspection target by projecting light from the light source 31 as in the conventional wrinkle inspection device 30 shown in FIG. The imaging result when light is imaged by the imaging device 32 is shown.

図15において、横軸(x軸)は鋼板1の幅方向の座標を示し、縦軸は撮像装置32で撮像された反射光の信号強度を示す。より具体的には、x=0〜x1の範囲の信号強度は、ロール2からの反射光を示し、x=x1〜x2の範囲の信号強度は、鋼板1からの反射光を示し、x>x1の範囲の信号強度は、ロール2からの反射光を示す。つまり、x=x1、x2の位置が鋼板1のエッジ部に対応している。   In FIG. 15, the horizontal axis (x-axis) indicates the coordinate in the width direction of the steel sheet 1, and the vertical axis indicates the signal intensity of the reflected light imaged by the imaging device 32. More specifically, the signal intensity in the range of x = 0 to x1 indicates reflected light from the roll 2, the signal intensity in the range of x = x1 to x2 indicates reflected light from the steel plate 1, and x> The signal intensity in the range of x1 indicates the reflected light from the roll 2. That is, the positions x = x1 and x2 correspond to the edge portion of the steel plate 1.

図15に示すように、x=x1において、エッジ部に対応した信号強度の増加が測定され、x=x1〜x2の範囲(鋼板1)において、鋼板1上の疵からの信号強度のピークA2〜A4が測定される。しかし、x=0〜x1の範囲(ロール2)において、ロール2の疵や汚れ等による信号強度のピークA1が測定され、x>x2の範囲(ロール2)においても、ロール2の疵や汚れ等による信号強度のピークA5が測定される。   As shown in FIG. 15, when x = x1, an increase in signal intensity corresponding to the edge portion is measured, and in the range of x = x1 to x2 (steel plate 1), the peak A2 of the signal strength from the ridge on the steel plate 1 ~ A4 is measured. However, in the range of x = 0 to x1 (roll 2), the peak A1 of the signal intensity due to the wrinkles and dirt of the roll 2 is measured, and even in the range of x> x2 (roll 2), the wrinkles and dirt of the roll 2 are measured. The peak A5 of the signal intensity due to the above is measured.

よって、鋼板1のエッジを判別して検査範囲(x=x1〜x2)を特定するために、信号強度に対して閾値ThBを設けても、鋼板1のエッジ(x=x1、x2)からの信号強度と、ロール2の表面からの強度やロール2上の疵、汚れ等からのピークA1、A5との強度の差が少ないため、ピークA1等を鋼板1のエッジと誤認識してしまう可能性があった。また、鋼板1のエッジ部付近に汚れ等が付着した場合には、この汚れからの反射光の信号強度をエッジと誤認識してしまう可能性もあったので、特許文献4に開示された疵検査装置によっても、鋼板1のエッジ部を正確に認識することが困難となる場合があった。   Therefore, in order to identify the edge of the steel plate 1 and specify the inspection range (x = x1 to x2), even if the threshold ThB is provided for the signal intensity, the edge from the edge (x = x1, x2) of the steel plate 1 Since there is little difference between the signal intensity and the intensity from the surface of the roll 2 and the peaks A1 and A5 due to wrinkles and dirt on the roll 2, the peak A1 and the like may be erroneously recognized as the edge of the steel sheet 1. There was sex. Further, when dirt or the like adheres to the vicinity of the edge portion of the steel plate 1, the signal intensity of the reflected light from the dirt may be erroneously recognized as an edge. Even with the inspection apparatus, it may be difficult to accurately recognize the edge portion of the steel plate 1.

以上のように、上記特許文献1〜4等の従来の疵検査装置によっても、測定環境に影響を受けずに、鋼板1のエッジを正確に認識して検査範囲を特定するまでには至っていなかった。よって、疵をより正確に検出するために、鋼板1の振動や蛇行などの測定環境に影響を受けずにエッジを検出して、疵を検出する検査対象の範囲をより正確に確定することが可能な疵検査装置の開発が期待されていた。   As described above, even with the conventional wrinkle inspection devices such as Patent Documents 1 to 4 described above, it has been possible to accurately recognize the edge of the steel plate 1 and specify the inspection range without being affected by the measurement environment. There wasn't. Therefore, in order to detect wrinkles more accurately, it is possible to detect the edge without being affected by the measurement environment such as vibration and meandering of the steel sheet 1 and more accurately determine the inspection target range for detecting wrinkles. The development of a possible sputum inspection device was expected.

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して、帯状体表面の疵を適切に検出することにある。   Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and the object of the present invention is to accurately identify the position of the edge of a strip-like body such as a thin steel plate to be inspected for scissors, The purpose is to properly detect wrinkles on the body surface.

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、移動する帯状体を幅方向に横切る照射領域に帯状光を照射して、帯状体の表面の疵を検査する疵検査装置であって、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の一側に所定の第1角度だけ傾いた第1方向に出射される第1帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第2角度だけ傾いた第2方向に出射される第2帯状光とを、照射領域に照射する照明手段と、照射領域における第1帯状光及び第2帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段と、を備えることを特徴とする、疵検査装置が提供される。   In order to solve the above-described problems, according to an aspect of the present invention, there is provided a wrinkle inspection apparatus that inspects wrinkles on the surface of a band by irradiating a band-shaped light to an irradiation region that crosses the moving band in the width direction. The first strip light emitted in the first direction inclined by a predetermined first angle to one side in the width direction of the strip with respect to the moving direction of the strip, and the strip in the moving direction of the strip Illuminating means for irradiating the irradiation area with the second band-like light emitted in the second direction inclined by a predetermined second angle to the other side in the width direction, and the first and second band-like lights in the irradiation area An image that identifies the position of both edges in the width direction of the band in the image of the irradiation region based on the intensity of the reflected light imaged by the imaging unit and the imaging unit that captures the reflected light of the image and outputs the image of the irradiation region A wrinkle inspection device comprising a processing means.

この構成によれば、照明手段により、帯状体をその帯状体の幅方向に横切る照射領域に、第1帯状光と第2帯状光とを照射する。この際、第1帯状光は、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の一側に第1角度θ1だけ傾いた第1方向に出射されるので、第1角度θ1の水平方向入射角度で、照射領域に入射する。そして、第2帯状光は、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に第2角度θ2だけ傾いた第2方向に出射されるので、第2角度θ2の水平方向入射角度で、照射領域に入射する。よって、第1帯状光は、帯状体の一側のエッジにより散乱され、第2帯状光は、帯状体の他側のエッジにより散乱される。そして、撮像手段によって、この両エッジによって散乱された光を含む反射光を撮像することができる。この際、撮像手段により撮像される反射光の強度には、両エッジからの散乱光が含まれるので、画像処理手段により、撮像手段が撮像した反射光の強度に含まれる両エッジからの散乱光から、帯状体の両エッジの位置を特定することができる。従って、帯状体の両エッジからの反射光を疵と誤って検出してしまうことを防ぐことができる。   According to this configuration, the first belt-shaped light and the second belt-shaped light are irradiated to the irradiation region that crosses the belt-shaped body in the width direction of the belt-shaped body by the illumination unit. At this time, since the first strip light is emitted in the first direction inclined by the first angle θ1 to one side in the width direction of the strip with respect to the moving direction of the strip, the first strip light is incident in the horizontal direction at the first angle θ1. At an angle, it enters the irradiated area. Then, since the second strip light is emitted in the second direction inclined by the second angle θ2 to the other side in the width direction of the strip with respect to the moving direction of the strip, the horizontal incident angle of the second angle θ2. Then, it enters the irradiation area. Therefore, the first strip light is scattered by the edge on one side of the strip, and the second strip light is scattered by the edge on the other side of the strip. The reflected light including the light scattered by both edges can be imaged by the imaging means. At this time, since the intensity of the reflected light imaged by the imaging means includes scattered light from both edges, the scattered light from both edges included in the intensity of the reflected light imaged by the imaging means by the image processing means. Thus, the positions of both edges of the belt-like body can be specified. Therefore, it is possible to prevent the reflected light from both edges of the belt-like body from being erroneously detected as wrinkles.

また、照明手段は、帯状体の幅方向に配列され光源からの光を第1方向に出射する複数の第1光ファイバと、帯状体の幅方向に配列され光源からの光を第2方向に出射する複数の第2光ファイバと、を備えてもよい。この構成によれば、幅方向に配列された複数の第1光ファイバによって、第1方向に第1帯状光を出射することができ、幅方向に配列された複数の第2光ファイバによって、第2方向に第2帯状光を出射することができる。よって、第1帯状光をθ1の水平方向入射角度で照射領域に照射することができ、第2帯状光をθ2の水平方向入射角度で照射領域に照射することができる。   The illuminating means includes a plurality of first optical fibers arranged in the width direction of the strip and emitting light from the light source in the first direction, and the light from the light source arranged in the width direction of the strip in the second direction. And a plurality of second optical fibers that emit light. According to this configuration, the first strip light can be emitted in the first direction by the plurality of first optical fibers arranged in the width direction, and the first optical fibers arranged in the width direction can be emitted by the plurality of second optical fibers arranged in the width direction. The second strip light can be emitted in two directions. Therefore, it is possible to irradiate the irradiation region with the first band-shaped light at the incident angle of θ1 in the horizontal direction and to irradiate the irradiation region with the second band-shaped light at the incident angle in the horizontal direction of θ2.

また、照明手段は、光源からの帯状光を第1方向及び第2方向に屈折させて、第1帯状光及び第2帯状光を出射するプリズムシートを備えてもよい。この構成によれば、プリズムシートによって、光源からの帯状光を、第1方向に屈折させて、第1帯状光を出射することができ、光源からの帯状光を、第2方向に屈折させて、第2帯状光を出射することができる。よって、第1帯状光をθ1の水平方向入射角度で照射領域に照射することができ、第2帯状光をθ2の水平方向入射角度で照射領域に照射することができる。   The illumination unit may include a prism sheet that refracts the strip light from the light source in the first direction and the second direction to emit the first strip light and the second strip light. According to this configuration, the strip light from the light source can be refracted in the first direction by the prism sheet, and the first strip light can be emitted, and the strip light from the light source can be refracted in the second direction. The second belt-like light can be emitted. Therefore, it is possible to irradiate the irradiation region with the first band-shaped light at the incident angle of θ1 in the horizontal direction and to irradiate the irradiation region with the second band-shaped light at the incident angle in the horizontal direction of θ2.

また、照明手段は、帯状体の幅方向に配置され第1方向に第1帯状光を出射する第1LEDアレイと、帯状体の幅方向に配置され第2方向に第2帯状光を出射する第2LEDアレイと、を備えてもよい。この構成によれば、幅方向に配置された第1LEDアレイによって、第1方向に第1帯状光を出射することができ、幅方向に配置された第2LEDアレイによって、第2方向に第2帯状光を出射することができる。よって、第1帯状光をθ1の水平方向入射角度で照射領域に照射することができ、第2帯状光をθ2の水平方向入射角度で照射領域に照射することができる。   The illuminating means is arranged in the width direction of the band and emits the first band light in the first direction, and the first LED array arranged in the width direction of the band and emits the second band light in the second direction. 2 LED arrays. According to this configuration, the first LED array arranged in the width direction can emit the first strip light in the first direction, and the second LED array arranged in the width direction can emit the second strip in the second direction. Light can be emitted. Therefore, it is possible to irradiate the irradiation region with the first band-shaped light at the incident angle of θ1 in the horizontal direction and to irradiate the irradiation region with the second band-shaped light at the incident angle in the horizontal direction of θ2.

また、帯状体を移動させながら、撮像手段により、照射領域における第1帯状光及び第2帯状光の反射光を複数回撮像し、画像処理手段は、撮像された複数の反射光の強度を加算し、当該加算した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体の幅方向の両エッジの位置を特定してもよい。この構成によれば、帯状体が移動している際に、撮像手段により、照射領域からの反射光を複数回撮像して、画像処理手段により、撮像された複数の反射光の強度を加算し、この加算した強度から帯状体の両エッジを判定することができる。従って、帯状体の両エッジからの光の強度を増加させることができ、両エッジの位置の特定をより正確かつ容易にすることができる。   In addition, while moving the band, the imaging unit images the reflected light of the first and second band lights in the irradiation region a plurality of times, and the image processing unit adds the intensities of the captured plurality of reflected lights. And based on the intensity | strength of the added reflected light, you may pinpoint the position of the both edges of the width direction of the strip | belt shaped object in the image of an irradiation area | region. According to this configuration, when the strip is moving, the imaging unit captures the reflected light from the irradiation region a plurality of times, and the image processing unit adds the intensities of the plurality of reflected lights captured. Both edges of the band can be determined from the added intensity. Therefore, it is possible to increase the intensity of light from both edges of the belt-like body, and to specify the positions of both edges more accurately and easily.

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、移動する帯状体を幅方向に横切る照射領域に帯状光を照射して、帯状体の表面の疵を検査する疵検査方法であって、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の一側に所定の第1角度だけ傾いた第1方向に出射される第1帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第2角度だけ傾いた第2方向に出射される第2帯状光とを、照射領域に照射し、照射領域における第1帯状光及び第2帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力し、撮像された反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体の幅方向の両エッジの位置を所定の画像処理により特定することを特徴とする、疵検査方法が提供される。この構成によれば、撮像ステップによって撮像される反射光の強度には、帯状体の両エッジからの散乱光が含まれるため、この散乱光によって両エッジの位置を特定することができる。   Moreover, in order to solve the above-mentioned problem, according to another aspect of the present invention, a wrinkle inspection is performed in which a band-shaped light is irradiated to an irradiation region that traverses a moving band-shaped body in the width direction to inspect a wrinkle on the surface of the band-shaped body A first band-shaped light emitted in a first direction inclined by a predetermined first angle to one side of the width direction of the band-shaped body with respect to the moving direction of the band-shaped body; and the moving direction of the band-shaped body The second band-shaped light emitted in the second direction inclined by a predetermined second angle to the other side in the width direction of the band-shaped body is irradiated to the irradiation area, and the first band-shaped light and the second band-shaped light in the irradiation area are irradiated. The image of the reflected light is output and an image of the irradiated area is output, and the positions of both edges in the width direction of the band-like body in the image of the irradiated area are specified by predetermined image processing based on the intensity of the captured reflected light A wrinkle inspection method is provided. According to this configuration, since the intensity of the reflected light imaged in the imaging step includes the scattered light from both edges of the band-like body, the positions of both edges can be specified by the scattered light.

また、帯状体を移動させながら、照射領域における第1帯状光及び第2帯状光の反射光を複数回撮像し、撮像した複数の反射光の強度を加算し、当該加算した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体の幅方向の両エッジの位置を特定してもよい。   Further, while moving the band, the reflected light of the first band light and the second band light in the irradiation area is imaged a plurality of times, and the intensities of the plurality of reflected light images are added, and the added reflected light intensity is added. Based on this, the positions of both edges in the width direction of the band in the image of the irradiation area may be specified.

以上説明したように本発明によれば、疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して、帯状体表面の疵を適切に検出することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to accurately detect the position of the edge of a band-shaped body such as a thin steel plate to be inspected for wrinkles, and to appropriately detect wrinkles on the surface of the band-shaped body.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。   Exemplary embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in this specification and drawing, about the component which has the substantially same function structure, duplication description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.

<第1実施形態>
上記課題を鑑みて、エッジをより正確に検出しつつ、疵を検出することが可能な疵検査装置について鋭意研究を行った結果、本発明者が想到した本発明の第1実施形態に係る疵検査装置100について、図1〜図9を参照して、説明する。
<First Embodiment>
In view of the above problems, as a result of earnest research on a wrinkle inspection apparatus capable of detecting wrinkles while more accurately detecting edges, wrinkles according to the first embodiment of the present invention conceived by the present inventor The inspection apparatus 100 will be described with reference to FIGS.

(1.疵検査装置100の構成)
まず、図1〜3を参照して、本実施形態に係る疵検査装置100の全体構成について説明する。図1は、本実施形態に係る疵検査装置100の概略を説明する説明図である。図2は、本実施形態に係る疵検査装置100の概略を上方から説明する説明図である。図3は、本実施形態に係る疵検査装置100の概略を側面から説明する説明図である。尚、図2と、後述する図4,5,10,11とには、説明の便宜上、図1,3に記載したx、y、z軸をx軸周りに約(90−α)度回転させた軸を記載している。
(1. Configuration of the eyelid inspection apparatus 100)
First, with reference to FIGS. 1-3, the whole structure of the wrinkle inspection apparatus 100 which concerns on this embodiment is demonstrated. FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining the outline of a wrinkle inspection apparatus 100 according to this embodiment. FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the outline of the eyelid inspection apparatus 100 according to the present embodiment from above. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating an outline of the eyelid inspection apparatus 100 according to the present embodiment from the side. 2 and FIGS. 4, 5, 10, and 11 to be described later, the x, y, and z axes shown in FIGS. 1 and 3 are rotated about (90-α) degrees around the x axis for convenience of explanation. The axis is shown.

疵検査装置100は、通板する検査対象の帯状体の一例である鋼板1がロール2上を通過する際に、この鋼板1の表面の疵を光を用いて検査する。なお、疵検査装置100の検査対象は、かかる例に限定されず、紙、樹脂の板等のいかなる帯状で通板される帯状体であってもよい。   The scissors inspection device 100 inspects the scissors on the surface of the steel sheet 1 using light when the steel sheet 1, which is an example of a strip-like body to be inspected, passes over the roll 2. The inspection object of the wrinkle inspection apparatus 100 is not limited to such an example, and may be a belt-like body that passes through any belt-like shape such as paper or a resin plate.

疵検査装置100は、上記のようにロール2によって支持された鋼板1を検査することにより、鋼板1の振動等の影響を受けることなく、疵を検出することができる。図1〜3に示すように、この鋼板1は、例えば、移動方向Vに通板されて、ロール2で折り返されるとして以下では説明する。しかし、本発明はかかる例に限定されるものではなく、疵検査装置100は、如何なる状態の鋼板1をも検査することができるが、例えばロール2等によって支持された状態の鋼板1を検査する場合に特に効果を発揮する。   The wrinkle inspection device 100 can detect wrinkles without being affected by vibration of the steel plate 1 or the like by inspecting the steel plate 1 supported by the roll 2 as described above. As shown in FIGS. 1 to 3, the steel plate 1 will be described below assuming that the steel plate 1 is passed in the moving direction V and folded by the roll 2. However, the present invention is not limited to such an example, and the wrinkle inspection apparatus 100 can inspect the steel plate 1 in any state, but for example, inspects the steel plate 1 in a state supported by the roll 2 or the like. It is particularly effective in cases.

疵検査装置100は、図1〜3に示すように、照明装置110と、撮像装置120と、画像処理装置130と、表示装置140と、を備える。以下、各構成及びそれらの配置について説明する。   As shown in FIGS. 1 to 3, the eyelid inspection device 100 includes an illumination device 110, an imaging device 120, an image processing device 130, and a display device 140. Hereinafter, each configuration and their arrangement will be described.

(1−1.照明装置110)
照明装置110は、照明手段の一例であって、所定の波長の2つの帯状光をロール2に支持された鋼板1に照射する。この帯状光が照射される位置を照射領域400という。また、帯状光とは、例えば、鋼板1の移動方向V(例えば、図2におけるy軸方向)に比べて、鋼板1の幅方向(図2におけるx軸方向)に長い光をいう。換言すれば、帯状光とは、例えば、鋼板1を幅方向に横切って、鋼板1の照射領域400に照射される光をいう。
(1-1. Lighting device 110)
The illumination device 110 is an example of illumination means, and irradiates the steel plate 1 supported by the roll 2 with two strip lights having a predetermined wavelength. The position where the strip light is irradiated is referred to as an irradiation region 400. In addition, the band-shaped light refers to light that is longer in the width direction (x-axis direction in FIG. 2) of the steel plate 1 than in the moving direction V of the steel plate 1 (for example, the y-axis direction in FIG. 2). In other words, the strip-shaped light refers to, for example, light irradiated on the irradiation region 400 of the steel plate 1 across the steel plate 1 in the width direction.

照明装置110は、照射領域400に帯状光を照射するために、その照射口110A(光が出射される部位)が照射領域400に面するように配置される。より具体的には、照明装置110は、照射領域400における法線210に対して、移動方向Vの上流側に角αの傾きを有する方向から帯状光を照射するように、配置される。換言すれば、照明装置110は、鋼板1の幅方向(図2中のx軸方向)と垂直な線のうち、法線210に対して角αを成す第1垂直線220上に配置され、照明装置110は、鋼板1の照射領域400に、垂直方向の入射角度がαとなるように帯状光を照射する。この垂直方向の入射角度αを垂直方向入射角αとする(図3参照。)。   In order to irradiate the irradiation region 400 with the band-shaped light, the illumination device 110 is arranged so that the irradiation port 110 </ b> A (the portion from which the light is emitted) faces the irradiation region 400. More specifically, the illuminating device 110 is disposed so as to irradiate the band-shaped light from a direction having an inclination of the angle α upstream of the moving direction V with respect to the normal line 210 in the irradiation region 400. In other words, the illuminating device 110 is disposed on a first vertical line 220 that forms an angle α with respect to the normal 210 among lines perpendicular to the width direction of the steel plate 1 (the x-axis direction in FIG. 2). The illuminating device 110 irradiates the irradiation region 400 of the steel plate 1 with strip-shaped light so that the incident angle in the vertical direction is α. This vertical incident angle α is defined as a vertical incident angle α (see FIG. 3).

この垂直方向入射角αは、検査したい疵の形態や鋼板1の表面の粗度に依存するが、例えば、約15度から70度に設定することが好ましい。αを15度未満に設定すると、照明装置110及び撮像装置120の配置スペースを確保するために光路長を長くする必要があり、光学系の調整が困難となり、αを70度よりも大きく設定すると、疵による反射光の強度変化の割合が減少してしまい、疵の検出が困難になる。また、垂直方向入射角度αを、約15度から70度の範囲内で、小さくすると鋼板表面の粗度による悪影響を受け難くなり、大きくすると微小な凹凸疵の検出が容易になる。   The vertical incident angle α depends on the shape of the wrinkle to be inspected and the roughness of the surface of the steel plate 1, but is preferably set to about 15 to 70 degrees, for example. If α is set to less than 15 degrees, it is necessary to increase the optical path length in order to secure the arrangement space for the illumination device 110 and the imaging device 120, making it difficult to adjust the optical system, and if α is set to be greater than 70 degrees. , The ratio of the intensity change of the reflected light due to wrinkles is reduced, so that wrinkles are difficult to detect. Further, if the vertical incident angle α is reduced within a range of about 15 to 70 degrees, it is difficult to be adversely affected by the roughness of the steel sheet surface, and if it is increased, detection of minute irregularities is facilitated.

照明装置110は、図1〜3に示すように、光源111と、光ファイバ束112と、光ファイバユニット113と、を有する。   As illustrated in FIGS. 1 to 3, the illumination device 110 includes a light source 111, an optical fiber bundle 112, and an optical fiber unit 113.

光源111は、照射領域400に照射する帯状光の光源であり、発した光を光ファイバ束112に供給する。光源111は、如何なる波長の光を発する光源をも使用することが可能であるが、より好ましくは、鋼板1の表面の疵を検出し易いように、例えば、近赤外の可視光を発する光源を使用することができる。また、光源111として、例えば、蛍光灯、白熱灯、又は放電灯等を使用することもできる。蛍光灯、白熱灯、又は放電灯等を使用することにより、照明装置110を容易に、かつ安価に作成することができる。しかし、本発明はかかる構成に限定されないことは言うまでもない。   The light source 111 is a strip-shaped light source that irradiates the irradiation region 400, and supplies emitted light to the optical fiber bundle 112. The light source 111 can use any light source that emits light of any wavelength, but more preferably, for example, a light source that emits near-infrared visible light so as to easily detect wrinkles on the surface of the steel plate 1. Can be used. Further, as the light source 111, for example, a fluorescent lamp, an incandescent lamp, a discharge lamp, or the like can be used. By using a fluorescent lamp, an incandescent lamp, a discharge lamp, or the like, the lighting device 110 can be easily and inexpensively created. However, it goes without saying that the present invention is not limited to such a configuration.

光ファイバ束112は、光源111から発せられた光を光ファイバユニット113に伝搬する。そのために、光ファイバ束112の一端は、光源111に接続され、他端を光ファイバユニット113を構成する複数の光ファイバに接続される。   The optical fiber bundle 112 propagates light emitted from the light source 111 to the optical fiber unit 113. Therefore, one end of the optical fiber bundle 112 is connected to the light source 111 and the other end is connected to a plurality of optical fibers constituting the optical fiber unit 113.

光ファイバユニット113は、光源111が発した光を光ファイバ束112によって伝搬されて、当該光を2つの帯状光として出射する。この2つの帯状光をここでは、第1帯状光及び第2帯状光とする。   The optical fiber unit 113 propagates the light emitted from the light source 111 through the optical fiber bundle 112 and emits the light as two strip-shaped lights. Here, the two strip-shaped lights are referred to as a first strip-shaped light and a second strip-shaped light.

第1帯状光は、図2に示すように、光ファイバユニット113から第1方向311に出射される略平行光の帯状光である。この第1方向311は、鋼板1の移動方向Vから幅方向の一側にθ1だけ傾いた方向である。換言すれば、第1方向311は、照射領域400に垂直な第1垂直線220から略水平方向に第1角度θ1(以下、「θ1」という。)だけ傾いた方向である。即ち、第1帯状光は、光ファイバユニット113から、鋼板1の移動方向Vから略水平方向にθ1だけ傾いた第1方向311に出射される。そして、第1帯状光は、照射領域400に対して、移動方向Vから鋼板1の幅方向(x軸方向)の一側(一のエッジ側)にθ1だけ傾いた水平方向入射角度で照射される。   As shown in FIG. 2, the first band-shaped light is a substantially parallel band-shaped light emitted in the first direction 311 from the optical fiber unit 113. The first direction 311 is a direction inclined by θ1 from the moving direction V of the steel plate 1 to one side in the width direction. In other words, the first direction 311 is a direction inclined by a first angle θ1 (hereinafter referred to as “θ1”) in a substantially horizontal direction from the first vertical line 220 perpendicular to the irradiation region 400. That is, the first belt-like light is emitted from the optical fiber unit 113 in the first direction 311 inclined by θ1 in the substantially horizontal direction from the moving direction V of the steel plate 1. Then, the first belt-like light is irradiated to the irradiation region 400 at a horizontal incident angle inclined by θ1 from the moving direction V to one side (one edge side) in the width direction (x-axis direction) of the steel plate 1. The

尚、ここで略水平方向とは、図3に示す照明装置110からの光の法線210に対する入射角度αの傾きの方向である垂直方向と対比して、当該光の第1垂直線220に対する水平方向の入射角度の傾きの方向を意味する。そして、上記のように入射角度αを垂直方向入射角度といい、この入射角度θ1と後述する入射角度θ2を水平方向入射角度という。   Here, the substantially horizontal direction refers to the vertical direction that is the direction of the inclination of the incident angle α with respect to the normal 210 of the light from the illumination device 110 shown in FIG. It means the direction of inclination of the incident angle in the horizontal direction. As described above, the incident angle α is referred to as a vertical incident angle, and the incident angle θ1 and an incident angle θ2 described later are referred to as a horizontal incident angle.

第2帯状光は、図2に示すように、光ファイバユニット113から第2方向321に出射される略平行光の帯状光である。この第2方向321は、鋼板1の移動方向Vから幅方向の他側に第2角度θ2(以下、「θ2」という。)だけ傾いた方向である。換言すれば、第2方向321は、照射領域400に垂直な第1垂直線220から略水平方向にθ2だけ傾いた方向である。即ち、第1帯状光は、光ファイバユニット113から、鋼板1の移動方向Vから略水平方向にθ1だけ傾いた第1方向311に出射される。そして、第1帯状光は、照射領域400に対して、移動方向Vから鋼板1の幅方向(x軸方向)の他側(他のエッジ側)にθ2だけ傾いた水平方向入射角度で照射される。   As shown in FIG. 2, the second band-shaped light is a substantially parallel band-shaped light emitted in the second direction 321 from the optical fiber unit 113. The second direction 321 is a direction inclined by a second angle θ2 (hereinafter referred to as “θ2”) from the moving direction V of the steel plate 1 to the other side in the width direction. In other words, the second direction 321 is a direction inclined by θ2 in the substantially horizontal direction from the first vertical line 220 perpendicular to the irradiation region 400. That is, the first belt-like light is emitted from the optical fiber unit 113 in the first direction 311 inclined by θ1 in the substantially horizontal direction from the moving direction V of the steel plate 1. Then, the first strip-shaped light is irradiated to the irradiation region 400 at a horizontal incident angle inclined by θ2 from the moving direction V to the other side (the other edge side) in the width direction (x-axis direction) of the steel plate 1. The

この第1帯状光の水平方向入射角度θ1と、第2帯状光の水平方向入射角度θ2とは、略等しく設定されることが望ましい。このように水平方向入射角度を設定することにより、第1帯状光と第2帯状光との反射光の強度比を等しくすることができるため、鋼板1のエッジの判定及び鋼板1の表面の疵の検出を容易にすることができる。   It is desirable that the horizontal incident angle θ1 of the first strip light and the horizontal incident angle θ2 of the second strip light are set substantially equal. By setting the horizontal incident angle in this way, the intensity ratio of the reflected light of the first strip light and the second strip light can be made equal. Can be easily detected.

また、θ1及びθ2は、例えば、約30度から60度の範囲内で設定することが好ましい。このθ1及びθ2を30度未満に設定すると、鋼板1のエッジからの散乱光が減少して、エッジを判定し難くなり、θ1及びθ2を60度より大きく設定すると、チャターマークや横折れ等の鋼板1の幅方向に伸びる疵からの反射光の強度が減少して、このような疵の検出が難しくなる。また、θ1及びθ2を、約30度から60度の範囲内で、大きくすると正反射成分を取り除くことが可能となり、エッジからの散乱光の強度を増加させることができる。   Further, θ1 and θ2 are preferably set within a range of about 30 degrees to 60 degrees, for example. If θ1 and θ2 are set to less than 30 degrees, the scattered light from the edge of the steel sheet 1 is reduced, making it difficult to determine the edge. If θ1 and θ2 are set to be greater than 60 degrees, chatter marks, lateral folding, etc. The intensity of the reflected light from the wrinkles extending in the width direction of the steel plate 1 is reduced, making it difficult to detect such wrinkles. Further, if θ1 and θ2 are increased within a range of about 30 to 60 degrees, the specular reflection component can be removed, and the intensity of scattered light from the edge can be increased.

この光ファイバユニット113について、図4、5を更に参照して、説明する。
図4は、本実施形態に係る光ファイバユニット113の概略を説明する説明図である。図5は、本実施形態に係る光ファイバユニット113の概略を上方から説明する説明図である。
The optical fiber unit 113 will be described with further reference to FIGS.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the outline of the optical fiber unit 113 according to the present embodiment. FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining an outline of the optical fiber unit 113 according to the present embodiment from above.

光ファイバユニット113は、図4に示すように、複数の第1光ファイバ114と複数の第2光ファイバ115とを有する。第1光ファイバ114及び第2光ファイバ115は、それぞれ鋼板1の幅方向(x軸方向)に複数配列され、第1光ファイバ114の配列と、第2光ファイバ115の配列とは、交互にz軸方向に積層される。そして、図5に示すように、第1光ファイバ114は、それぞれ第1垂直線220に対して幅方向にθ1の傾きで配置されて、第1方向311に光を出射し、第2光ファイバ115は、それぞれ第1垂直線220に対して幅方向にθ2の傾きで配置されて、第2方向321に光を出射する。   As illustrated in FIG. 4, the optical fiber unit 113 includes a plurality of first optical fibers 114 and a plurality of second optical fibers 115. A plurality of first optical fibers 114 and second optical fibers 115 are each arranged in the width direction (x-axis direction) of the steel plate 1, and the arrangement of the first optical fibers 114 and the arrangement of the second optical fibers 115 are alternately performed. They are stacked in the z-axis direction. Then, as shown in FIG. 5, the first optical fibers 114 are arranged with an inclination of θ1 in the width direction with respect to the first vertical line 220, respectively, and emit light in the first direction 311. 115 are arranged with an inclination of θ 2 in the width direction with respect to the first vertical line 220, respectively, and emit light in the second direction 321.

このような構成により第1光ファイバ114は、鋼板1の移動方法Vから幅方向(x軸方向)の一側にθ1だけ傾いた第1方向311に第1帯状光を出射することができ、第2光ファイバ115は、鋼板1の移動方法Vから幅方向(x軸方向)の他側にθ2だけ傾いた第2方向321に第2帯状光を出射することができる。そして、このような光ファイバユニット113は、2つの帯状光が出射される位置を略同一にすることができる。即ち、第1帯状光と第2帯状光とを重畳して出射することができる。よって、第1帯状光の光路と第2帯状光の光路とを同一平面内にすることができるため、垂直方向の光路差及び光路の方向の違いによって反射光の垂直方向の角度に違いが出ることを防ぐことができる。このように反射光の垂直方向の角度の違いを少なくして、疵やエッジ以外の反射光を同一平面内に伝搬することができるので、第1帯状光による反射光と、第2帯状光による反射光との強度比をほぼ一定にすることができ、エッジの判定や疵の検出を容易にすることができる。   With such a configuration, the first optical fiber 114 can emit the first band-like light in the first direction 311 inclined by θ1 to one side in the width direction (x-axis direction) from the moving method V of the steel plate 1, The second optical fiber 115 can emit the second band-like light in the second direction 321 inclined by θ2 from the moving method V of the steel sheet 1 to the other side in the width direction (x-axis direction). And such an optical fiber unit 113 can make the position where two strip | belt-shaped light is radiate | emitted substantially the same. That is, the first strip light and the second strip light can be superimposed and emitted. Therefore, since the optical path of the first strip light and the optical path of the second strip light can be in the same plane, the vertical angle of the reflected light varies depending on the optical path difference in the vertical direction and the difference in the optical path direction. Can be prevented. Thus, since the difference in the angle of the reflected light in the vertical direction can be reduced and the reflected light other than the eyelids and edges can be propagated in the same plane, the reflected light from the first strip light and the second strip light can be transmitted. The intensity ratio with the reflected light can be made substantially constant, and edge determination and wrinkle detection can be facilitated.

一方、この第1帯状光と第2帯状光との間に垂直方向の光路差があると、撮像装置120により第1帯状光の反射光と第2帯状光の反射光との両者を撮像することが困難となり、エッジの判定が難しくなる。しかし、上記の光ファイバユニット113を使用することにより、本実施形態の疵検査装置100はエッジの判定を可能としている。ただし、照明装置110は、かかる例に限定されず、例えば、後述する第2実施形態及び第3実施形態のような照明装置を使用することも可能であり、他の構成により第1帯状光及び第2帯状光を同様に照射することができる如何なる照明装置をも使用可能である。   On the other hand, if there is a vertical optical path difference between the first strip light and the second strip light, the imaging device 120 images both the reflected light of the first strip light and the reflected light of the second strip light. This makes it difficult to determine the edge. However, by using the optical fiber unit 113 described above, the wrinkle inspection apparatus 100 according to the present embodiment can determine the edge. However, the illuminating device 110 is not limited to such an example, and for example, an illuminating device such as a second embodiment and a third embodiment described later can be used. Any illumination device that can similarly irradiate the second strip light can be used.

(1−2.撮像装置120)
再び、図1〜3を参照する。
撮像装置120は、撮像手段の一例であって、照明装置110から照射された第1帯状光及び第2帯状光が鋼板1及びロール2の照射領域400において反射した反射光を撮像する。撮像装置120は、この反射光を撮像するために、反射光の入射口120A(例えば、撮像装置120がレンズを備える場合は、当該レンズ等)が、照射領域400に面するように配置される。より具体的には、撮像装置120は、照射領域400における法線210に対して、移動方向Vの下流側に角βの傾きを有する方向において反射光を撮像するように、配置される。換言すれば、撮像装置120は、照射領域400と垂直な線のうち、法線210に対して角βを成す第2垂直線230上に配置される。そして、撮像装置120は、第2垂直線230上において、鋼板1及びロール2の照射領域400で反射した反射光を撮像する。その後、撮像装置120は、撮像した照射領域400の画像を、画像処理装置130に出力する。
(1-2. Imaging Device 120)
Reference is again made to FIGS.
The imaging device 120 is an example of an imaging unit, and images reflected light that is reflected from the irradiation region 400 of the steel plate 1 and the roll 2 by the first strip light and the second strip light emitted from the illumination device 110. In order to image the reflected light, the imaging device 120 is arranged so that the incident port 120A for reflected light (for example, the lens or the like when the imaging device 120 includes a lens) faces the irradiation region 400. . More specifically, the imaging device 120 is arranged so as to capture the reflected light in a direction having an inclination of the angle β on the downstream side of the moving direction V with respect to the normal line 210 in the irradiation region 400. In other words, the imaging device 120 is disposed on the second vertical line 230 that forms an angle β with respect to the normal 210 among the lines perpendicular to the irradiation region 400. And the imaging device 120 images the reflected light reflected on the irradiation area 400 of the steel plate 1 and the roll 2 on the second vertical line 230. Thereafter, the imaging device 120 outputs the captured image of the irradiation region 400 to the image processing device 130.

この角βは、垂直方向入射角度αに対して、±5度の範囲を満たすように設定されることが好ましい。βがこの範囲を逸脱すると、鋼板1の表面からの反射光の強度を適切に撮像することができず、疵の検出が困難となる。   This angle β is preferably set so as to satisfy a range of ± 5 degrees with respect to the vertical incident angle α. If β deviates from this range, the intensity of the reflected light from the surface of the steel plate 1 cannot be imaged properly, and soot detection becomes difficult.

撮像装置120としては、反射光を撮像して、反射光の強度をデータとして画像処理装置130に出力できる如何なる撮像装置をも使用することが可能であるが、以下では、撮像装置120は、例えば、CCD、CMOS等の撮像素子によって構成される場合について説明する。また、撮像装置120は、撮像素子による撮像を容易にし、反射光を適切に撮像するために所定のレンズ系を備えてもよい。   As the imaging device 120, any imaging device capable of imaging reflected light and outputting the intensity of the reflected light as data to the image processing device 130 can be used. A case of being constituted by an image pickup device such as a CCD or CMOS will be described. In addition, the imaging device 120 may include a predetermined lens system in order to facilitate imaging with the imaging element and appropriately capture reflected light.

また、図1〜3には、説明の便宜上、撮像装置120を1台示したが、複数台の撮像装置120が、鋼板1の幅方向(x軸方向)に並列に配置されてもよい。このように複数台の撮像装置120を使用することにより、検査幅に対する疵検出の分解能を向上させることができる。   1 to 3 show one imaging device 120 for convenience of explanation, a plurality of imaging devices 120 may be arranged in parallel in the width direction (x-axis direction) of the steel plate 1. Thus, by using a plurality of imaging devices 120, it is possible to improve the resolution of wrinkle detection with respect to the inspection width.

(1−3.画像処理装置130)
画像処理装置130は、画像処理手段の一例であって、撮像装置120によって撮像された照射領域400の画像が入力され、この照射領域400の画像に所定の画像処理を行って鋼板1の表面の疵を検出する。この際、撮像された画像には鋼板1の照射領域400からの反射光の強度だけでなく、ロール2の照射領域400からの反射光の強度も含まれる。そこで、画像処理装置130は、入力された画像をもとに、照射領域400の画像における鋼板1のエッジを判定して、判定したエッジから疵を検査すべき検査対象の範囲、つまり鋼板1からの反射光を判別する。そして、画像処理装置130は、鋼板1からの反射光によって、鋼板1の表面の疵を検出する。その後、画像処理装置130は、検出した疵の情報と、撮像装置120によって撮像した画像とを表示装置140に出力する。
(1-3. Image Processing Device 130)
The image processing device 130 is an example of an image processing unit, and an image of the irradiation region 400 picked up by the imaging device 120 is input. The image of the irradiation region 400 is subjected to predetermined image processing, and the surface of the steel plate 1 is processed. Detects wrinkles. At this time, the captured image includes not only the intensity of the reflected light from the irradiation area 400 of the steel plate 1 but also the intensity of the reflected light from the irradiation area 400 of the roll 2. Therefore, the image processing apparatus 130 determines the edge of the steel plate 1 in the image of the irradiation region 400 based on the input image, and from the inspection target range in which the wrinkle is to be inspected from the determined edge, that is, from the steel plate 1. The reflected light is discriminated. Then, the image processing device 130 detects wrinkles on the surface of the steel plate 1 based on the reflected light from the steel plate 1. Thereafter, the image processing apparatus 130 outputs the detected wrinkle information and the image captured by the imaging apparatus 120 to the display apparatus 140.

画像処理装置130の構成を、図6を参照して説明する。
図6は、本実施形態に係る画像処理装置130の概略を説明する説明図である。図6に示すように、画像処理装置130は、画像取得部1301と、加算処理部1303と、平均処理部1305と、微分処理部1307と、エッジ判定部1309と、記憶部1311と、シェーディング補正部1313と、疵候補抽出部1315と、疵判定部1317と、出力部1319と、を有する。
The configuration of the image processing apparatus 130 will be described with reference to FIG.
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the outline of the image processing apparatus 130 according to the present embodiment. As illustrated in FIG. 6, the image processing apparatus 130 includes an image acquisition unit 1301, an addition processing unit 1303, an average processing unit 1305, a differentiation processing unit 1307, an edge determination unit 1309, a storage unit 1311, and a shading correction. A unit 1313, a cocoon candidate extraction unit 1315, a cocoon determination unit 1317, and an output unit 1319.

画像取得部1301は、撮像装置120で撮像された照射領域400の画像を取得して、加算処理部1303とシェーディング補正部1313とに出力する。加算処理部1303は、撮像された複数の画像に撮像された反射光の強度を加算して、加算した強度を平均処理部1305に出力する。尚、加算処理部1303は、例えば、2〜5枚程度の画像について加算することにより、鋼板1のエッジの検出を容易にすることができる。   The image acquisition unit 1301 acquires an image of the irradiation region 400 imaged by the imaging device 120 and outputs the acquired image to the addition processing unit 1303 and the shading correction unit 1313. The addition processing unit 1303 adds the intensity of the reflected light captured to the plurality of captured images, and outputs the added intensity to the average processing unit 1305. In addition, the addition process part 1303 can make easy the detection of the edge of the steel plate 1 by adding about 2-5 images, for example.

平均処理部1305は、加算処理部1303によって加算された反射光の強度を平均化し、平均化した反射光の強度を微分処理部1307に出力する。より具体的には、平均処理部1305は、例えば、加算した反射光の強度を、加算した画像の枚数で割ることにより、平均化を行うことができる。   The average processing unit 1305 averages the intensity of the reflected light added by the addition processing unit 1303 and outputs the averaged intensity of the reflected light to the differentiation processing unit 1307. More specifically, the averaging processing unit 1305 can perform averaging by dividing the intensity of the added reflected light by the number of added images, for example.

微分処理部1307は、平均処理部1305によって平均化された反射光の強度を微分処理して、微分処理した反射光の強度をエッジ判定部1309に出力する。このように反射光の強度を微分することにより、鋼板1のエッジの検出を更に容易にすることができる。   The differentiation processing unit 1307 differentiates the intensity of the reflected light averaged by the averaging processing unit 1305 and outputs the intensity of the reflected light subjected to the differentiation process to the edge determination unit 1309. Thus, the edge of the steel plate 1 can be further easily detected by differentiating the intensity of the reflected light.

エッジ判定部1309は、微分処理部1307によって微分処理された反射光の強度から、鋼板1のエッジを判定して、エッジの位置を特定する。この際、エッジ判定部1309は、記憶部1311に予め定められた所定の閾値を取得して、この閾値によってエッジを判定して、エッジの位置を特定する。   The edge determination unit 1309 determines the edge of the steel plate 1 from the intensity of the reflected light that has been subjected to differentiation processing by the differentiation processing unit 1307, and identifies the position of the edge. At this time, the edge determination unit 1309 acquires a predetermined threshold value predetermined in the storage unit 1311, determines an edge based on the threshold value, and specifies the position of the edge.

尚、例えば、画像処理装置130は、図示しない入出力部を更に備えて、記憶部1311は、入出力部(図示せず)等からこの所定の閾値及び後述する疵判定のための他の閾値や疵を判定するのに必要な情報を受け取り、予め記憶してもよく、この記憶部1311に記憶された情報は、入出力部を介して適宜変更されてもよい。そして、エッジ判定部1309は、鋼板1のエッジの位置を検出して、エッジの位置情報をシェーディング補正部1313及び疵候補抽出部1315に出力する。   For example, the image processing apparatus 130 further includes an input / output unit (not shown), and the storage unit 1311 receives this predetermined threshold value and other threshold values for wrinkle determination described later from the input / output unit (not shown) or the like. Information necessary for determining the bag or the wrinkle may be received and stored in advance, and the information stored in the storage unit 1311 may be appropriately changed via the input / output unit. Then, the edge determination unit 1309 detects the edge position of the steel plate 1 and outputs the edge position information to the shading correction unit 1313 and the wrinkle candidate extraction unit 1315.

シェーディング補正部1313は、画像取得部1301で撮像された画像と、エッジ判定部1309で判定された鋼板1のエッジの位置とを取得する。そして、シェーディング補正部1313は、画像中の鋼板1のエッジの間の反射光の強度について、シェーディング補正を行って平均化し、シェーディング補正した画像を疵候補抽出部1315に出力する。尚、シェーディング補正とは、光学系や撮像系の特性による輝度ムラに対して、撮像画像が一様な明るさ(強度)の画像になるように補正する処理のことをいい、このシェーディング補正としては、様々な方法を使用しうる。   The shading correction unit 1313 acquires the image captured by the image acquisition unit 1301 and the position of the edge of the steel sheet 1 determined by the edge determination unit 1309. Then, the shading correction unit 1313 averages the intensity of the reflected light between the edges of the steel plate 1 in the image by performing shading correction, and outputs the image subjected to the shading correction to the eyelid candidate extraction unit 1315. The shading correction is a process for correcting unevenness of brightness due to the characteristics of the optical system and the imaging system so that the captured image becomes a uniform brightness (intensity) image. Various methods can be used.

疵候補抽出部1315及び疵判定部1317は、鋼板1の表面の疵を検出する。そのために、疵候補抽出部1315は、エッジ判定部1309で判定されたエッジの位置と、シェーディング補正部1313でシェーディング補正された画像とを取得する。そして、疵候補抽出部1315は、シェーディング補正された画像中の鋼板1のエッジの間の反射光の強度から、疵の反射光を識別して疵候補として抽出する。その後、疵候補抽出部1315は、疵候補の情報とシェーディング補正された画像とを疵判定部1317に出力する。   The wrinkle candidate extraction unit 1315 and the wrinkle determination unit 1317 detect wrinkles on the surface of the steel plate 1. For this purpose, the eyelid candidate extraction unit 1315 acquires the edge position determined by the edge determination unit 1309 and the image subjected to the shading correction by the shading correction unit 1313. Then, the wrinkle candidate extraction unit 1315 identifies the reflected light of the wrinkle from the intensity of the reflected light between the edges of the steel plate 1 in the shading-corrected image and extracts it as a wrinkle candidate. Thereafter, wrinkle candidate extraction unit 1315 outputs wrinkle candidate information and the shading-corrected image to wrinkle determination unit 1317.

この際、疵候補抽出部1315は、例えば、強度の急激な増加又は減少を検出して、鋼板1の表面の疵候補として抽出してもよく、強度の変化のプロファイルからピークを検出して、鋼板1の表面の疵候補として抽出してもよい。そして、疵候補抽出部1315は、例えば、疵候補の情報として、疵候補の位置とこの位置の周囲における反射光の強度とを疵判定部1317に出力してもよい。   At this time, the wrinkle candidate extraction unit 1315 may detect, for example, a sudden increase or decrease in strength and extract it as a wrinkle candidate on the surface of the steel sheet 1, or detect a peak from a profile of a change in strength, You may extract as a wrinkle candidate of the surface of the steel plate 1. FIG. Then, wrinkle candidate extraction unit 1315 may output the position of the wrinkle candidate and the intensity of reflected light around this position to wrinkle determination unit 1317 as information on the wrinkle candidate, for example.

疵判定部1317は、疵候補抽出部1315から疵候補の情報とシェーディング補正された画像とを取得して、この疵候補が有害な疵であるか否か及び疵の種類を判定する。この際、疵判定部1317は、記憶部1311に予め定められた所定の他の閾値や疵を判定するのに必要な情報を取得して、この閾値及び情報に基づいて、疵候補が有害な疵であるか否か及び疵の種類を判定する。そして、疵判定部1317は、この判定結果の情報及びシェーディング補正された画像を出力部1319に出力する。尚、判定結果の情報は、疵の種類、位置、大きさ、有害度などのデータを含んでいる。   The wrinkle determination unit 1317 acquires information on the wrinkle candidate and the shading-corrected image from the wrinkle candidate extraction unit 1315, and determines whether or not the wrinkle candidate is a harmful wrinkle and the type of the wrinkle. At this time, the wrinkle determination unit 1317 acquires information necessary for determining another predetermined threshold value or wrinkle predetermined in the storage unit 1311, and the wrinkle candidate is harmful based on the threshold value and the information. It is determined whether or not it is a bag and the type of bag. Then, wrinkle determination unit 1317 outputs information of the determination result and the image subjected to shading correction to output unit 1319. Note that the determination result information includes data such as the type, position, size, and degree of harmfulness of the eyelids.

このように、疵候補を抽出した後に判定して疵を検出することにより、製造品質上許容しうる疵からの反射光及びシェーディング補正で補正しきれない光学系や撮像系の特性による輝度ムラを、疵として判定することを防ぐことができる。   In this way, by detecting the wrinkles after determining the wrinkle candidates, the reflected light from the wrinkles that is acceptable in terms of manufacturing quality and luminance unevenness due to the characteristics of the optical system and the imaging system that cannot be corrected by the shading correction are eliminated. , And can be determined as a bag.

出力部1319は、疵判定部1317から疵の判定結果の情報及びシェーディング補正された画像を取得して、シェーディング補正された画像に疵の判定結果の情報を重畳して、表示装置140等に出力する。この際、出力部1319は、例えば、この画像において疵の位置を認識しうるように、疵の位置をマークしたり、疵の強度に色彩をほどこしてもよい。また、出力部1319は、例えば、有害であると判定された疵が存在する場合に所定の警告表示を画像に重畳して出力してもよく、警告音を同時に出力してもよい。   The output unit 1319 obtains the information on the wrinkle determination result and the shading-corrected image from the wrinkle determination unit 1317, superimposes the information on the wrinkle determination result on the shading-corrected image, and outputs it to the display device 140 and the like. To do. At this time, for example, the output unit 1319 may mark the position of the eyelid or color the intensity of the eyelid so that the position of the eyelid can be recognized in this image. Further, the output unit 1319 may output a predetermined warning display superimposed on an image, for example, when there is a wrinkle determined to be harmful, or may output a warning sound at the same time.

以上、画像処理装置130の各構成要素について説明したが、画像処理装置130は、例えば、上記の構成要素の機能を実現するコンピュータによって構成されて、CPU(Central Processing Unit)等の演算装置、及び記憶装置を備えていてもよい。また、当該記憶装置は、例えば、ハードディスク等の磁気記憶装置、光記憶装置、光磁気記憶装置、又はROM(Read Only Momory)やRAM(Radom Access Memory)等の半導体メモリ等であってもよい。そして、上記の画像処理装置130が備える各構成要素は、上記の記憶装置等に記録されたプログラムを用いて上記のCPU及び上記の記憶装置等により、その機能を実現するように構成されていてもよいし、専用のハードウェアにより構成されていてもよい。   As described above, each component of the image processing device 130 has been described. The image processing device 130 is configured by, for example, a computer that realizes the functions of the above-described components, and includes an arithmetic device such as a CPU (Central Processing Unit), and the like. A storage device may be provided. Further, the storage device may be, for example, a magnetic storage device such as a hard disk, an optical storage device, a magneto-optical storage device, or a semiconductor memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Radom Access Memory). Each component included in the image processing device 130 is configured to realize its function by the CPU and the storage device using the program recorded in the storage device. Alternatively, it may be configured by dedicated hardware.

(1−4.表示装置140)
表示装置140は、画像処理装置130から疵の判定結果の情報が重畳された画像を取得して、当該画像を表示する。
以上、疵検査装置100の構成について説明した。
(1-4. Display device 140)
The display device 140 acquires an image on which the information on the determination result of the eyelid is superimposed from the image processing device 130 and displays the image.
The configuration of the eyelid inspection apparatus 100 has been described above.

(2.疵検査装置100の動作及び測定例)
次に、図7〜9を参照して、疵検査装置100の動作及び測定例について説明する。図7は、本実施形態に係る疵検査装置100の動作を説明する説明図である。図8、9は、本実施形態に係る疵検査装置100の測定例を示すグラフである。
(2. Operation and measurement example of the eyelid inspection apparatus 100)
Next, operations and measurement examples of the eyelid inspection apparatus 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the operation of the eyelid inspection apparatus 100 according to the present embodiment. 8 and 9 are graphs showing measurement examples of the eyelid inspection apparatus 100 according to the present embodiment.

(2−1.照明ステップS101及び撮像ステップS103)
まず、照明装置110により、鋼板1の照射領域400に第1帯状光及び第2帯状光を照射する(照明ステップ、S101)。そして、撮像装置120により、第1帯状光及び第2帯状光の照射領域400における反射光を撮像する(撮像ステップ、S103)。
(2-1. Illumination step S101 and imaging step S103)
First, the illumination device 110 irradiates the irradiation area 400 of the steel plate 1 with the first band light and the second band light (illumination step, S101). Then, the imaging device 120 captures the reflected light in the irradiation region 400 of the first strip light and the second strip light (imaging step, S103).

この際の、光の流れについて、再度図1〜図3を参照して、詳細に説明する。
第1帯状光は、図2に示すように鋼板1の移動方向Vから略水平方向にθ1傾き、図3に示すように垂直方向の入射角度がαとなる第1方向311に出射される。より詳細には、図2に示すように、光ファイバユニット113の位置L1から出射された第1平行光315は、第1方向311に対して平行な方向に伝搬して、位置L2から出射された第1平行光は、第1方向311に伝搬して、位置L3から出射された第1平行光312は、第1方向311に対して平行な方向に伝搬する。つまり、光ファイバユニット113の位置L1と位置L3との間から出射された第1平行光315と第1平行光312との間の第1平行光は、第1帯状光として第1方向311に伝搬する。
The flow of light at this time will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3 again.
As shown in FIG. 2, the first strip light is tilted by θ1 in the substantially horizontal direction from the moving direction V of the steel sheet 1, and is emitted in a first direction 311 where the incident angle in the vertical direction is α as shown in FIG. More specifically, as shown in FIG. 2, the first parallel light 315 emitted from the position L1 of the optical fiber unit 113 propagates in a direction parallel to the first direction 311 and is emitted from the position L2. The first parallel light propagates in the first direction 311, and the first parallel light 312 emitted from the position L 3 propagates in a direction parallel to the first direction 311. That is, the first parallel light between the first parallel light 315 and the first parallel light 312 emitted from between the position L1 and the position L3 of the optical fiber unit 113 is the first strip light in the first direction 311. Propagate.

一方、第2平行光は、図2に示すように鋼板1の移動方向Vから略水平方向にθ2傾き、図3に示すように垂直方向の入射角度がαとなる第2方向321に出射される。より詳細には、図2に示すように、光ファイバユニット113の位置L1から出射された第2平行光322は、第2方向321に対して平行な方向に伝搬して、位置L2から出射された第2平行光は、第2方向321に伝搬して、位置L3から出射された第2平行光325は、第1方向311に対して平行な方向に伝搬する。つまり、光ファイバユニット113の位置L1と位置L3との間から出射された第2平行光322と第2平行光325との間の第2平行光は、第2帯状光として第2方向321に伝搬する。   On the other hand, the second parallel light is emitted in the second direction 321 in which the inclination angle θ2 is substantially horizontal from the moving direction V of the steel plate 1 as shown in FIG. 2 and the vertical incident angle is α as shown in FIG. The More specifically, as shown in FIG. 2, the second parallel light 322 emitted from the position L1 of the optical fiber unit 113 propagates in a direction parallel to the second direction 321 and is emitted from the position L2. The second parallel light propagates in the second direction 321 and the second parallel light 325 emitted from the position L3 propagates in a direction parallel to the first direction 311. That is, the second parallel light between the second parallel light 322 and the second parallel light 325 emitted from between the position L1 and the position L3 of the optical fiber unit 113 is the second strip light in the second direction 321. Propagate.

そして、第1帯状光及び第2帯状光は、照射領域400の鋼板1の表面(x1〜x2)において反射して、その反射光の一部が、撮像装置120方向に伝搬する。同時に、第1帯状光及び第2帯状光は、照射領域400のロール2の表面で反射して、その反射光の一部が、撮像装置120方向に伝搬する。   Then, the first strip light and the second strip light are reflected on the surface (x1 to x2) of the steel plate 1 in the irradiation region 400, and a part of the reflected light propagates toward the imaging device 120. At the same time, the first strip light and the second strip light are reflected by the surface of the roll 2 in the irradiation region 400, and a part of the reflected light propagates toward the imaging device 120.

つまり、図1に示すように、第1方向311に伝搬する第1平行光312は、照射領域400の位置x3において反射し、反射光313として撮像装置120の方向に伝搬する。第2方向321に伝搬する第2平行光322は、照射領域400の位置x0において反射し、反射光323として撮像装置120の方向に伝搬する。そして、第1帯状光と第2帯状光は、同様に照射領域400において反射して、反射光として撮像装置120の方向に伝搬する。その結果、照射領域400上のx0とx3との間における第1帯状光又は第2帯状光の反射光の多くは、撮像装置120の方向に伝搬する。そして、撮像装置120の方向に伝搬した反射光は、撮像装置120に到達して画像として撮像される。この撮像される光には、鋼板1の表面の疵からの散乱光が含まれる。   That is, as shown in FIG. 1, the first parallel light 312 propagating in the first direction 311 is reflected at the position x3 of the irradiation region 400 and propagates in the direction of the imaging device 120 as reflected light 313. The second parallel light 322 propagating in the second direction 321 is reflected at the position x0 of the irradiation region 400 and propagates in the direction of the imaging device 120 as reflected light 323. The first strip light and the second strip light are similarly reflected at the irradiation region 400 and propagated in the direction of the imaging device 120 as reflected light. As a result, most of the reflected light of the first strip light or the second strip light between x0 and x3 on the irradiation region 400 propagates in the direction of the imaging device 120. Then, the reflected light propagated in the direction of the imaging device 120 reaches the imaging device 120 and is captured as an image. The imaged light includes scattered light from the ridges on the surface of the steel plate 1.

この際、第1帯状光は、位置x2に位置した鋼板1の第1エッジ方向に傾いた方向(第1方向311)に伝搬するため、第1エッジにおいて散乱されて、当該散乱光は、撮像装置120の方向に伝搬することができる。そして、第2帯状光は、位置x1に位置した鋼板1の第2エッジ方向に傾いた方向(第2方向321)に伝搬するため、第2エッジにおいて散乱されて、当該散乱光は、撮像装置120の方向に伝搬することができる。よって、撮像装置120によって撮像される画像に、第1エッジ又は第2エッジからの散乱光をより多く含めることができる。その結果、鋼板1のエッジを容易に判定することができる。   At this time, since the first strip light propagates in the direction inclined in the first edge direction (first direction 311) of the steel plate 1 located at the position x2, it is scattered at the first edge, and the scattered light is imaged. It can propagate in the direction of the device 120. And since the 2nd strip | belt-shaped light propagates in the direction (2nd direction 321) inclined in the 2nd edge direction of the steel plate 1 located in the position x1, it is scattered in a 2nd edge and the said scattered light is an imaging device. It can propagate in 120 directions. Therefore, the image captured by the imaging device 120 can include more scattered light from the first edge or the second edge. As a result, the edge of the steel plate 1 can be easily determined.

この第1エッジ及び第2エッジから散乱光の例を図8に示す。
図8の(A)は、第1帯状光による反射光を撮像した信号強度を示し、(B)は、第2帯状光による反射光を撮像した信号強度を示し、(C)は、第1帯状光及び第2帯状光による反射光を撮像した信号強度を示す。
An example of scattered light from the first edge and the second edge is shown in FIG.
8A shows the signal intensity obtained by imaging the reflected light by the first band light, FIG. 8B shows the signal intensity obtained by imaging the reflected light by the second band light, and FIG. 8C shows the first intensity. The signal intensity which imaged the reflected light by strip | belt-shaped light and 2nd strip | belt-shaped light is shown.

図8において、横軸(x軸)は鋼板1の幅方向の座標を示し、縦軸は撮像装置120で撮像された反射光の信号強度を示す。より具体的には、x=0〜x1の範囲の信号強度は、ロール2からの反射光を示し、x=x1〜x2の範囲の信号強度は、鋼板1からの反射光を示し、x>x1の範囲の信号強度は、ロール2からの反射光を示す。つまり、x=x1、x2の位置が鋼板1のエッジ部に対応している。尚、グラフの軸等については、後述の図9も同様である。   In FIG. 8, the horizontal axis (x axis) indicates the coordinate in the width direction of the steel sheet 1, and the vertical axis indicates the signal intensity of the reflected light imaged by the imaging device 120. More specifically, the signal intensity in the range of x = 0 to x1 indicates reflected light from the roll 2, the signal intensity in the range of x = x1 to x2 indicates reflected light from the steel plate 1, and x> The signal intensity in the range of x1 indicates the reflected light from the roll 2. That is, the positions x = x1 and x2 correspond to the edge portion of the steel plate 1. The graph axes and the like are the same in FIG.

図8の(A)に示すように、x=x2において、鋼板1の第1エッジにおける第1帯状光の散乱光による信号強度のピークE2が測定される。そして、(B)に示すように、x=x1において、鋼板1の第2エッジにおける第2帯状光の散乱光による信号強度のピークE1が観測される。このピークE1、E2の信号強度は、鋼板1の表面の疵等やロール2の疵等による信号強度のピークA1〜A5よりも大きな値となっている。   As shown in FIG. 8A, at x = x2, the peak E2 of the signal intensity due to the scattered light of the first strip light at the first edge of the steel plate 1 is measured. And as shown to (B), the peak E1 of the signal strength by the scattered light of the 2nd strip | belt-shaped light in the 2nd edge of the steel plate 1 is observed in x = x1. The signal strengths of the peaks E1 and E2 are larger than the signal strength peaks A1 to A5 due to wrinkles on the surface of the steel plate 1 or wrinkles on the roll 2.

また、図8の(C)に示すように、撮像装置120に撮像される画像は、第1帯状光及び第2帯状光の両者を含むため、(A)の信号強度と(B)の信号強度とを加算した値となる。従って、第1エッジからの散乱光のピークE2と、第2エッジからの散乱光のピークE3とが、他のピークA1〜A5よりも大きいため、容易に鋼板1のエッジの位置を判定することができる。   Further, as shown in FIG. 8C, since the image captured by the imaging device 120 includes both the first strip light and the second strip light, the signal intensity of (A) and the signal of (B). It is a value obtained by adding the intensity. Therefore, since the peak E2 of the scattered light from the first edge and the peak E3 of the scattered light from the second edge are larger than the other peaks A1 to A5, the position of the edge of the steel plate 1 can be easily determined. Can do.

以上、光の流れについて詳細に説明した。
図7に示したように、上記の撮像は、複数回行われ、撮像枚数がn以上となるまで、上記の照明及び撮像が繰り返し行われる(S105)。撮像枚数がnとなった後、n枚の撮像画像に対して以下の処理が行われる。
The light flow has been described in detail above.
As shown in FIG. 7, the above-described imaging is performed a plurality of times, and the above-described illumination and imaging are repeatedly performed until the number of images to be captured becomes n or more (S105). After the number of captured images reaches n, the following processing is performed on the n captured images.

(2−2.加算処理ステップS107、平均処理ステップS109)
撮像された複数の画像は、加算処理部1303によって加算され(S107)、平均処理部1305によって平均化される(S109)。この加算されて平均化された画像の例を、図9に示す。図9は、図8の(C)に示した画像と他の撮像画像とを加算して平均化した画像の例を示す。
(2-2. Addition processing step S107, Average processing step S109)
The plurality of captured images are added by the addition processing unit 1303 (S107) and averaged by the average processing unit 1305 (S109). An example of the added and averaged image is shown in FIG. FIG. 9 shows an example of an image obtained by adding and averaging the image shown in FIG. 8C and another captured image.

鋼板1のエッジからの散乱光は、複数の画像全てに撮像されているのに対して、疵及び汚れ等からの反射光は、鋼板1が移動方向Vに移動しているため、所定の画像にしか撮像されない。よって、図9に示すように、エッジからの信号強度E1、E2は、図8の(C)と比べてあまり変化しないのに対して、他の疵及び汚れ等からの信号強度A1〜A5は、図8の(C)と比べて全体的に減少する。従って、このように加算処理及び平均処理を行うことにより、後続の処理において、エッジの判定を容易にすることができる。   The scattered light from the edge of the steel plate 1 is captured in all of the plurality of images, whereas the reflected light from the wrinkles and dirt is the predetermined image because the steel plate 1 moves in the moving direction V. It can only be captured. Therefore, as shown in FIG. 9, the signal intensities E1 and E2 from the edge do not change much compared to (C) in FIG. 8, whereas the signal intensities A1 to A5 from other wrinkles and dirt are Compared with FIG. 8C, it decreases overall. Therefore, by performing the addition process and the average process in this way, it is possible to easily determine the edge in the subsequent process.

(2−3.微分処理ステップS111)
加算されて平均化された画像は、微分処理部1307によって、微分処理されてもよい(S111)。このように強度を微分することにより、強度の変化を強調することができるので、エッジの検出を更に容易にすることができる。
(2-3. Differential processing step S111)
The added and averaged image may be subjected to differentiation processing by the differentiation processing unit 1307 (S111). By differentiating the intensity in this way, the change in intensity can be emphasized, so that the edge can be detected more easily.

(2−4.エッジ判定ステップS113)
エッジ判定部1309により、微分処理された画像の信号強度からエッジが判定され、エッジの位置が特定される(S113)。より具体的には、エッジ判定部1309は、例えば、図9に示すように、記憶部1311に記憶された所定の閾値ThAを使用して、閾値ThAを超えた信号強度をエッジであると判定して、エッジの位置を特定してもよい。この際、上記の加算処理及び平均化処理をしたため、閾値ThAと他のピークA1〜A5との強度の差を、図8に示す強度の差よりも大きくすることができる。従って、鋼板1又はロール2の疵からの比較的強い反射光を撮像することにより、誤ってエッジであると判定することを防ぐことができる。尚、図9は、説明の便宜上、微分処理をする以前の画像について、閾値ThAによりエッジを判定する例を示すが、微分処理をした場合も同様に所定の閾値を設定することによりエッジを判定することができる。微分処理後のエッジ判定は、同様に行われるためここでは省略する。
(2-4. Edge determination step S113)
The edge determination unit 1309 determines an edge from the signal intensity of the differentiated image, and specifies the position of the edge (S113). More specifically, for example, as illustrated in FIG. 9, the edge determination unit 1309 uses a predetermined threshold ThA stored in the storage unit 1311 to determine that the signal intensity exceeding the threshold ThA is an edge. Then, the position of the edge may be specified. At this time, since the addition process and the averaging process are performed, the intensity difference between the threshold ThA and the other peaks A1 to A5 can be made larger than the intensity difference shown in FIG. Therefore, it is possible to prevent the edge from being erroneously determined by imaging relatively strong reflected light from the ridges of the steel plate 1 or the roll 2. For convenience of explanation, FIG. 9 shows an example in which an edge is determined based on a threshold value ThA for an image before being subjected to differentiation processing, but the edge is also determined by setting a predetermined threshold value in the case of differentiation processing. can do. Since the edge determination after the differentiation process is performed in the same manner, it is omitted here.

(2−5.シェーディング補正ステップS115)
そして、シェーディング補正部1313により、撮像装置120が撮像した画像(例えば、図8)における両エッジの位置の間(例えば、x=x1〜x2)の信号強度に対してシェーディング補正が行われる(S115)。このようにシェーディング補正をすることにより、光学系や撮像系の特性による輝度のムラを補正することができるため、後続の処理において疵の検出を容易にすることができる。
(2-5. Shading correction step S115)
Then, the shading correction unit 1313 performs shading correction on the signal intensity between the positions of both edges (for example, x = x1 to x2) in the image captured by the imaging device 120 (for example, FIG. 8) (S115). ). By performing the shading correction in this manner, luminance unevenness due to the characteristics of the optical system and the imaging system can be corrected, so that detection of wrinkles can be facilitated in subsequent processing.

次に、疵検出ステップにおいて、このシェーディング補正された画像から、鋼板1の表面の疵を検出する。この疵検出ステップは、下記の疵候補抽出ステップS117及び疵判定ステップS119を含む。   Next, in the wrinkle detection step, wrinkles on the surface of the steel plate 1 are detected from the shading-corrected image. This wrinkle detection step includes the following wrinkle candidate extraction step S117 and wrinkle determination step S119.

(2−6.疵候補抽出ステップS117)
疵候補抽出部1315により、シェーディング補正された画像から、鋼板1の疵候補を抽出する(S117)。この際、疵候補抽出部1315は、エッジ間(例えば、x=x1〜x2)の信号強度について、疵候補を抽出する。つまり、疵候補抽出部1315は、例えば、図8の(C)に示すように、信号強度のピークA2〜A4等を鋼板1の表面の疵候補であるとして抽出することができ、ロール2の疵や汚れ等によるピークA1、A5等を誤って疵候補であるとして抽出することを防ぐことができる。
(2-6. Candidate candidate extraction step S117)
The wrinkle candidate extraction unit 1315 extracts the wrinkle candidate of the steel sheet 1 from the shading-corrected image (S117). At this time, the wrinkle candidate extraction unit 1315 extracts wrinkle candidates for the signal strength between edges (for example, x = x1 to x2). That is, for example, as shown in FIG. 8C, the wrinkle candidate extracting unit 1315 can extract the signal intensity peaks A2 to A4 and the like as the wrinkle candidates on the surface of the steel sheet 1, and the roll 2 It is possible to prevent the peaks A1, A5, and the like due to wrinkles and dirt from being erroneously extracted as being wrinkle candidates.

(2−7.疵判定ステップS119、表示ステップS121)
疵判定部1317により、疵候補が有害な疵であるか否か及び疵の種類が判定される(S119)。そして、出力部1319により、この判定結果の情報と撮像された画像とが重畳されて出力され、表示装置140により、判定結果の情報が重畳された画像が表示される(S121)。
(2-7. Wrinkle determination step S119, display step S121)
The wrinkle determination unit 1317 determines whether the wrinkle candidate is a harmful wrinkle and the type of the wrinkle (S119). Then, the output unit 1319 superimposes and outputs the determination result information and the captured image, and the display device 140 displays the image on which the determination result information is superimposed (S121).

(3.疵検査装置100による効果)
以上、本実施形態に係る疵検査装置100の構成、動作及び測定例について説明した。
疵検査装置100によれば、鋼板1に第1方向311に伝搬する第1帯状光と第2方向321に伝搬する第2帯状光とを照射して、第1帯状光及び第2帯状光の反射光を撮像するため、鋼板1の両エッジからの散乱光の強度を増加させることができる。よって、鋼板1のエッジの判定を容易にすることができ、その結果、疵を検出する範囲を特定することができるため、ロール2の疵及び汚れ等やエッジを疵と誤検出することを防ぐことができ、確実に鋼板1の表面の疵を検出することができる。
(3. Effects of the eyelid inspection apparatus 100)
The configuration, operation, and measurement example of the wrinkle inspection apparatus 100 according to the present embodiment have been described above.
According to the wrinkle inspection device 100, the first strip light and the second strip light are irradiated on the steel plate 1 with the first strip light propagating in the first direction 311 and the second strip light propagating in the second direction 321. Since the reflected light is imaged, the intensity of scattered light from both edges of the steel plate 1 can be increased. Therefore, it is possible to easily determine the edge of the steel plate 1 and, as a result, it is possible to specify a range in which wrinkles are detected, thereby preventing the wrinkles and dirt of the roll 2 from being erroneously detected as wrinkles. It is possible to reliably detect wrinkles on the surface of the steel plate 1.

また、ロール2上の鋼板1に第1帯状光及び第2帯状光を照射して、同一の反射光から鋼板1のエッジを判定して、鋼板1の表面の疵を検出するため、鋼板1の蛇行や振動等によって、疵の検査性能が低下してしまうことを防ぐことができる。   Moreover, in order to detect the wrinkles on the surface of the steel plate 1 by irradiating the steel strip 1 on the roll 2 with the first strip light and the second strip light and determining the edge of the steel plate 1 from the same reflected light, the steel plate 1 is detected. It is possible to prevent the inspection performance of the wrinkles from being deteriorated due to meandering, vibration, or the like.

また、光ファイバユニット113により、第1帯状光及び第2帯状光を重畳して照射することができるため、第1帯状光及び第2帯状光の光路差や入射角度の差によって撮像される反射光の強度に変化が生じることを防ぐことができる。よって、鋼板1の両エッジからの散乱光を撮像することができる。   In addition, since the first band-shaped light and the second band-shaped light can be superimposed and irradiated by the optical fiber unit 113, reflection reflected by an optical path difference or an incident angle difference between the first band-shaped light and the second band-shaped light. It is possible to prevent the light intensity from changing. Therefore, the scattered light from both edges of the steel plate 1 can be imaged.

そして、加算処理部1303により、複数枚の撮像画像を加算するため、鋼板1のエッジからの散乱光による信号強度(例えば、E1、E2等)と、鋼板1の疵等やロール2の疵等からの信号強度(例えば、A1〜A5等)との差を大きくすることができる。よって、鋼板1の疵等やロール2の疵等からの信号強度を、誤って鋼板1のエッジであると判定することを防ぐことができる。   Then, in order to add a plurality of captured images by the addition processing unit 1303, signal intensity (for example, E1, E2, etc.) due to scattered light from the edge of the steel plate 1, wrinkles of the steel plate 1, wrinkles of the roll 2, etc. The difference from the signal intensity (for example, A1 to A5, etc.) can be increased. Therefore, it is possible to prevent the signal intensity from the wrinkles of the steel plate 1 or the wrinkles of the roll 2 from being erroneously determined as the edge of the steel plate 1.

更に、照明装置110により、斜め方向から第1帯状光及び第2帯状光を照射するので、鋼板1の移動方向Vに伸びる線状疵等を効果的に検出することができる。また、第1方向311及び第2方向321の2つの方向より帯状光を照射するので、光の照射方向によって発見し難い疵をも、効果的に検出することができる。   Furthermore, since the 1st strip | belt-shaped light and the 2nd strip | belt-shaped light are irradiated from the diagonal direction by the illuminating device 110, the linear wrinkles etc. which extend in the moving direction V of the steel plate 1 can be detected effectively. In addition, since band-like light is emitted from the two directions of the first direction 311 and the second direction 321, it is possible to effectively detect wrinkles that are difficult to find depending on the light irradiation direction.

<第2実施形態>
次に、図10を参照して、本発明の第2実施形態に係る疵検査装置について説明する。
図10は、本実施形態に係る疵検査装置が有する照明装置510の概略を説明する説明図である。本実施形態に係る疵検査装置は、上記第1実施形態に係る疵検査装置100が備える構成のうち、照明装置110の変わりに照明装置510を備え、他の構成については同様である。よって、以下では、照明装置510について説明する。
Second Embodiment
Next, a wrinkle inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating an outline of the illumination device 510 included in the eyelid inspection apparatus according to the present embodiment. The eyelid inspection apparatus according to the present embodiment includes an illumination apparatus 510 instead of the illumination apparatus 110 among the structures included in the eyelid inspection apparatus 100 according to the first embodiment, and the other structures are the same. Therefore, below, the illuminating device 510 is demonstrated.

本実施形態に係る疵検査装置が備える照明装置510は、図10の(A)に示すように、光源511と、プリズムシート512と、を備える。   The illumination device 510 included in the eyelid inspection device according to the present embodiment includes a light source 511 and a prism sheet 512 as shown in FIG.

光源511は、(A)に示すように、照射領域400に照射する帯状光の光源であり、x軸方向に長い平行光の帯状光をプリズムシート512に照射する。光源511は、如何なる波長の光を発する光源をも使用することが可能であるが、より好ましくは、鋼板1の表面の疵を検出し易いように、近赤外の可視光を発する光源を使用することができる。また、光源511として、蛍光灯、白熱灯、又は放電灯等を使用することもできる。蛍光灯、白熱灯、又は放電灯等を使用することにより、照明装置510を容易に、かつ安価に作成することができる。しかし、本発明はかかる構成に限定されないことは言うまでもない。   The light source 511 is a light source of band light that irradiates the irradiation region 400 as shown in FIG. 5A, and irradiates the prism sheet 512 with band light of parallel light that is long in the x-axis direction. The light source 511 can use a light source that emits light of any wavelength, but more preferably, a light source that emits near-infrared visible light so as to easily detect wrinkles on the surface of the steel plate 1. can do. As the light source 511, a fluorescent lamp, an incandescent lamp, a discharge lamp, or the like can be used. By using a fluorescent lamp, an incandescent lamp, a discharge lamp, or the like, the lighting device 510 can be easily and inexpensively manufactured. However, it goes without saying that the present invention is not limited to such a configuration.

プリズムシート512は、(A)に示すように、光源511から帯状光が照射されて、この帯状光を鋼板1の移動方向V(第1垂直線220)に対して幅方向(x軸方向)の一側にθ1だけ傾いた第1方向311、及び幅方向(x軸方向)の他側にθ2だけ傾いた第2方向321に屈折させる。そして、プリズムシート512は、照射領域400に、第1方向311に屈折した帯状光(第1帯状光)と第2方向321に屈折した帯状光(第2帯状光)とを照射する。   As shown in (A), the prism sheet 512 is irradiated with band-shaped light from a light source 511, and the band-shaped light is irradiated in the width direction (x-axis direction) with respect to the moving direction V (first vertical line 220) of the steel sheet 1. The light is refracted in a first direction 311 inclined by θ1 on one side and a second direction 321 inclined by θ2 on the other side in the width direction (x-axis direction). Then, the prism sheet 512 irradiates the irradiation region 400 with strip-shaped light (first strip-shaped light) refracted in the first direction 311 and strip-shaped light (second strip-shaped light) refracted in the second direction 321.

このために、プリズムシート512は、図10の(B)〜(D)に示す形状に形成される。(B)は、プリズムシート512をy軸方向に見た平面を示し、(C)は、(B)に示したプリズムシート512のB−B線による断面図であり、(D)は、(B)に示したプリズムシート512のC−C線による断面図である。   For this purpose, the prism sheet 512 is formed in the shape shown in FIGS. (B) shows a plane when the prism sheet 512 is viewed in the y-axis direction, (C) is a cross-sectional view of the prism sheet 512 shown in (B), taken along line BB, and (D) is ( It is sectional drawing by CC line of the prism sheet 512 shown to B).

プリズムシート512は、(B)に示すように、z軸方向よりもx軸方向に長く形成され、(C)に示す第1ノコギリ状プリズム512Bと、(D)に示す第2ノコギリ状プリズム512Cとがz軸方向に交互に形成される。(C)に示す第1ノコギリ状プリズム512Bは、プリズム角度φ1を有し、(D)に示す第2ノコギリ状プリズム512Cは、プリズム角度φ2を有する。このプリズム角度φ1は、第1帯状光の出射角度θ1に対応して設定され、プリズム角度φ2は、第2帯状光の出射角度θ2に対応して設定される。   The prism sheet 512 is formed longer in the x-axis direction than the z-axis direction, as shown in (B), and includes a first saw-shaped prism 512B shown in (C) and a second saw-shaped prism 512C shown in (D). Are alternately formed in the z-axis direction. The first saw-shaped prism 512B shown in (C) has a prism angle φ1, and the second saw-shaped prism 512C shown in (D) has a prism angle φ2. The prism angle φ1 is set corresponding to the emission angle θ1 of the first band light, and the prism angle φ2 is set corresponding to the emission angle θ2 of the second band light.

このような構成を有するプリズムシート512は、スネルの法則により、光源511からの帯状光を第1方向311及び第2方向321に屈折することができる。   The prism sheet 512 having such a configuration can refract the strip light from the light source 511 in the first direction 311 and the second direction 321 according to Snell's law.

本実施形態によれば、上記の第1実施形態に係る疵検査装置100が奏する効果に加えて、上記の構成を有する照明装置510を使用することにより、照明装置510を容易に、かつ安価に作成することができる。   According to the present embodiment, in addition to the effects exhibited by the eyelid inspection apparatus 100 according to the first embodiment, the illumination apparatus 510 can be easily and inexpensively used by using the illumination apparatus 510 having the above-described configuration. Can be created.

<第3実施形態>
更に、図11を参照して、本発明の第3実施形態に係る疵検査装置について説明する。
図11は、本実施形態に係る疵検査装置が有する照明装置610の概略を説明する説明図である。本実施形態に係る疵検査装置は、上記第1実施形態に係る疵検査装置100が備える構成のうち、照明装置110の変わりに照明装置610を備え、他の構成については同様である。よって、以下では、照明装置610について説明する。
<Third Embodiment>
Furthermore, with reference to FIG. 11, a wrinkle inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining an outline of the illumination device 610 included in the eyelid inspection device according to the present embodiment. The eyelid inspection apparatus according to the present embodiment includes an illumination apparatus 610 instead of the illumination apparatus 110 among the structures included in the eyelid inspection apparatus 100 according to the first embodiment, and the other structures are the same. Therefore, the lighting device 610 will be described below.

本実施形態に係る疵検査装置が備える照明装置610は、図11に示すように、第1LED(発光ダイオード)611と、第2LED612と、を備える。   As shown in FIG. 11, the illumination device 610 included in the wrinkle inspection device according to the present embodiment includes a first LED (light emitting diode) 611 and a second LED 612.

第1LED611は、上記第1実施形態の光ファイバユニット113の第1光ファイバ114と同様に配置され、第2LED612は、第2光ファイバ115と同様に配置される。図11に示すように、複数の第1LED611がx軸方向にアレイ状に配置され、第1LEDアレイを形成し、複数の第2LED612がx軸方向にアレイ状に配置され、第2LEDアレイを形成する。そして、z軸方向に第1LEDアレイと第2LEDアレイとが交互に積層配置される。   The first LED 611 is disposed in the same manner as the first optical fiber 114 of the optical fiber unit 113 of the first embodiment, and the second LED 612 is disposed in the same manner as the second optical fiber 115. As shown in FIG. 11, a plurality of first LEDs 611 are arranged in an array in the x-axis direction to form a first LED array, and a plurality of second LEDs 612 are arranged in an array in the x-axis direction to form a second LED array. . Then, the first LED array and the second LED array are alternately stacked in the z-axis direction.

また、図11に示すように、第1LED611は、各々鋼板1の移動方向V(第1垂直線220)から幅方向(x軸方向)の一側にθ1だけ傾いた第1方向311に光を照射するように配置され、第2LED612は、各々鋼板1の移動方向V(第1垂直線220)から幅方向(x軸方向)の他側にθ2だけ傾いた第2方向321に光を照射するように配置される。   Further, as shown in FIG. 11, each of the first LEDs 611 emits light in a first direction 311 inclined by θ1 to one side in the width direction (x-axis direction) from the moving direction V (first vertical line 220) of the steel plate 1. Each of the second LEDs 612 irradiates light in a second direction 321 inclined by θ2 from the moving direction V (first vertical line 220) of the steel plate 1 to the other side in the width direction (x-axis direction). Are arranged as follows.

かかる構成により、第1LEDアレイは、第1帯状光を第1方向311に照射して、第2LEDアレイは、第2帯状光を第2方向321に照射する。   With this configuration, the first LED array irradiates the first strip light in the first direction 311, and the second LED array irradiates the second strip light in the second direction 321.

尚、照明装置610は、第1LED611及び第2LED612を駆動させるために、所定の駆動基板等を備えるが、このようなLEDは一般的な構成により駆動されるため、ここでの詳しい説明は省略する。   The lighting device 610 includes a predetermined drive board and the like for driving the first LED 611 and the second LED 612. Since such an LED is driven by a general configuration, detailed description thereof is omitted here. .

本実施形態によれば、上記の第1実施形態に係る疵検査装置100が奏する効果に加えて、上記の構成を有する照明装置610を使用することにより、第1帯状光及び第2帯状光のそれぞれの平行性を向上させることができる。また、複数のLEDをそれぞれ別々に駆動することにより、照射領域400に照射する第1帯状光及び第2帯状光の長手方向の長さを調整することができる。よって、鋼板1の幅等の情報を取得した場合に、ロール2へ照射される分、第1帯状光及び第2帯状光の長さを短くして、ロール2からの余剰な反射光を削減することができる。   According to the present embodiment, in addition to the effect exhibited by the eyelid inspection apparatus 100 according to the first embodiment, by using the illumination device 610 having the above configuration, the first strip light and the second strip light can be obtained. Each parallelism can be improved. Moreover, the length of the 1st strip | belt-shaped light irradiated to the irradiation area | region 400 and the 2nd strip | belt-shaped light can be adjusted by driving several LED each separately. Therefore, when information such as the width of the steel plate 1 is acquired, the length of the first strip light and the second strip light is shortened by the amount irradiated to the roll 2 to reduce excessive reflected light from the roll 2. can do.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.

例えば、上記実施形態において、疵検査装置は、照明装置、撮像装置、画像処理装置及び表示装置を備えるとしたが、更に上位の制御装置を備えてもよい。つまり、この場合、制御装置により、照明装置の照射、撮像装置の撮像、画像処理装置の動作及び表示装置の表示が制御されてもよい。また、制御装置は、鋼板1の幅や材質等の情報を取得して、照明装置の帯状光の長さを調整し、撮像装置の撮像枚数を変更し、画像処理装置にこの情報を出力してもよい。そして、画像処理装置は、この情報を使用して上記の動作を行ってもよい。尚、このような制御装置は、画像処理装置と一体で形成されてもよい。   For example, in the above embodiment, the eyelid inspection apparatus includes an illumination device, an imaging device, an image processing device, and a display device, but may further include a higher-level control device. In other words, in this case, the illumination of the illumination device, the imaging of the imaging device, the operation of the image processing device, and the display of the display device may be controlled by the control device. In addition, the control device acquires information such as the width and material of the steel plate 1, adjusts the length of the strip light of the lighting device, changes the number of images captured by the imaging device, and outputs this information to the image processing device. May be. Then, the image processing apparatus may perform the above operation using this information. Such a control device may be formed integrally with the image processing device.

また、上記実施形態における照明装置110、510、610は、ロッドレンズなどの集光レンズを備えてもよい。この場合、例えば、照明装置110は、光の照射口110Aに集光レンズを備えてもよく、照明装置510は、光源511とプリズムシート512との間、又はプリズムシート512の出射面に集光レンズを備えてもよく、照明装置610は、光の照射口に集光レンズを備えてもよい。このように集光レンズを備えることにより、第1帯状光及び第2帯状光のそれぞれの集光性向上させて、平行性を向上させることができる。そして、このように平行性を向上させることにより、鋼板1のエッジからの散乱光及び鋼板1の表面の疵からの反射光の強度を強めることができる。   Moreover, the illuminating devices 110, 510, and 610 in the embodiment may include a condensing lens such as a rod lens. In this case, for example, the illumination device 110 may include a condensing lens at the light irradiation port 110 </ b> A, and the illumination device 510 collects light between the light source 511 and the prism sheet 512 or on the exit surface of the prism sheet 512. A lens may be provided, and the lighting device 610 may include a condensing lens at the light irradiation port. Thus, by providing a condensing lens, the condensing property of each of the first band-shaped light and the second band-shaped light can be improved, and the parallelism can be improved. And by improving parallelism in this way, the intensity | strength of the scattered light from the edge of the steel plate 1 and the reflected light from the wrinkle of the surface of the steel plate 1 can be strengthened.

また、上記実施形態では、第1帯状光の水平方向入射角度θ1と、第2帯状光の水平方向入射角度θ2とは、略等しく設定されるとしたが、かかる例に限定されず、θ1とθ2とは必ずしも等しくなくてもよい。このようにθ1とθ2との一致を必要としないことにより、照明装置の光学系を容易に調整することができる。   In the above embodiment, the horizontal incident angle θ1 of the first strip light and the horizontal incident angle θ2 of the second strip light are set to be approximately equal. However, the present invention is not limited to this example. It is not necessarily equal to θ2. As described above, since the coincidence between θ1 and θ2 is not required, the optical system of the illumination device can be easily adjusted.

また、上記実施形態では、画像処理装置130は、加算処理ステップS107〜疵判定ステップS119等の所定の画像処理を経て疵を判定し、そのために画像処理部1301〜出力部1319等の構成を備えるとしたが、この疵を判定するための画像処理は、かかる例に限定されるものではない。画像処理装置130が行う画像処理は、疵を判定しうる処理であれば如何様にも構成することができ、そのために画像処理装置130が備える構成を変更することも可能である。   In the above-described embodiment, the image processing apparatus 130 determines the wrinkle through predetermined image processing such as the addition processing step S107 to the wrinkle determination step S119, and includes an image processing unit 1301 to an output unit 1319 for that purpose. However, the image processing for determining this wrinkle is not limited to such an example. The image processing performed by the image processing apparatus 130 can be configured in any way as long as it can determine wrinkles, and the configuration of the image processing apparatus 130 can be changed for that purpose.

例えば、画像処理装置130は、加算処理部1303及び平均処理部1305を備えるとしたが、かかる例に限定されず、加算処理部1303及び平均処理部1305を備えなくてもよい。この場合、画像取得部1301により取得された画像に基づいて、後続の処理を行うことにより、鋼板1のエッジを判定して、鋼板1の表面の疵を検出してもよい。   For example, the image processing apparatus 130 includes the addition processing unit 1303 and the average processing unit 1305. However, the image processing apparatus 130 is not limited to this example, and the addition processing unit 1303 and the average processing unit 1305 may not be provided. In this case, the edge of the steel plate 1 may be determined by performing subsequent processing based on the image acquired by the image acquisition unit 1301 to detect wrinkles on the surface of the steel plate 1.

また、例えば、上記実施形態では、画像処理装置130は、平均処理部1305を備えるとしたが、かかる例に限定されず、平均処理部1305を備えなくてもよい。この場合、加算処理部1303により加算された画像に基づいて、後続の処理を行うことにより、鋼板1のエッジを判定して、鋼板1の表面の疵を判定してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the image processing apparatus 130 includes the average processing unit 1305. However, the image processing apparatus 130 is not limited to this example, and the average processing unit 1305 may not be included. In this case, the edge of the steel plate 1 may be determined by performing subsequent processing based on the image added by the addition processing unit 1303, and the wrinkles on the surface of the steel plate 1 may be determined.

また、例えば、上記実施形態では、画像処理装置130は、微分処理部1307を備えるとしたが、かかる例に限定されず、微分処理部1307を備えなくてもよい。この場合、加算処理部1303により加算されて平均処理部1305により平均化された画像に基づいて、後続の処理を行うことにより、鋼板1のエッジを判定して、鋼板1の表面の疵を判定してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the image processing apparatus 130 includes the differentiation processing unit 1307. However, the image processing device 130 is not limited to such an example, and may not include the differentiation processing unit 1307. In this case, based on the image added by the addition processing unit 1303 and averaged by the average processing unit 1305, the subsequent processing is performed to determine the edge of the steel plate 1 and to determine the surface wrinkles of the steel plate 1. May be.

また、例えば、上記実施形態では、画像処理装置130は、シェーディング補正部1313を備えるとしたが、かかる例に限定されず、シェーディング補正部1313を備えなくてもよい。この場合、画像取得部1301により取得された画像と、エッジ判定部1309により判定された鋼板1のエッジとに基づいて、後続の処理を行うことにより、鋼板1の表面の疵を判定してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the image processing apparatus 130 includes the shading correction unit 1313. However, the image processing apparatus 130 is not limited to this example, and the shading correction unit 1313 may not be provided. In this case, even if the surface of the steel plate 1 is determined by performing subsequent processing based on the image acquired by the image acquisition unit 1301 and the edge of the steel plate 1 determined by the edge determination unit 1309. Good.

また、上記実施形態では、鋼板1は、移動方向Vに通板されるとしたが、かかる例に限定されずに、本発明は、停止した鋼板1へも適用可能である。この場合は、照明手段と撮像手段とを鋼板1に対して移動させて測定することも可能である。   In the above embodiment, the steel plate 1 is passed in the moving direction V. However, the present invention is not limited to this example, and the present invention can also be applied to the stopped steel plate 1. In this case, it is also possible to measure by moving the illumination means and the imaging means relative to the steel plate 1.

本発明の第1実施形態に係る疵検査装置の概略を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the wrinkle inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 同実施形態に係る疵検査装置の概略を上方から説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the wrinkle inspection apparatus which concerns on the same embodiment from upper direction. 同実施形態に係る疵検査装置の概略を側面から説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the wrinkle inspection apparatus which concerns on the same embodiment from a side surface. 同実施形態に係る光ファイバユニットの概略を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the optical fiber unit which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る光ファイバユニットの概略を上方から説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the optical fiber unit which concerns on the embodiment from upper direction. 同実施形態に係る画像処理装置の概略を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the image processing apparatus which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る疵検査装置の動作を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining operation | movement of the wrinkle inspection apparatus which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る疵検査装置の測定例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of a measurement of the eyelid inspection device concerning the embodiment. 同実施形態に係る疵検査装置の測定例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of a measurement of the eyelid inspection device concerning the embodiment. 本発明の第2実施形態に係る疵検査装置が有する照明装置の概略を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the illuminating device which the eyelid inspection apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention has. 本発明の第3実施形態に係る疵検査装置が有する照明装置の概略を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the outline of the illuminating device which the eyelid inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention has. 従来の疵検査装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the conventional wrinkle inspection apparatus. 従来の疵検査装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the conventional wrinkle inspection apparatus. 従来の疵検査装置の概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of the conventional wrinkle inspection apparatus. 従来の疵検査装置による測定結果の例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the measurement result by the conventional wrinkle inspection apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 鋼板
2 ロール
100 疵検査装置
110 照明装置
110A 照射口
111 光源
112 光ファイバ束
113 光ファイバユニット
114 第1光ファイバ
115 第2光ファイバ
120 撮像装置
130 画像処理装置
140 表示装置
210 法線
220 第1垂直線
230 第2垂直線
311 第1方向
312、315 第1平行光
313 反射光
321 第2方向
322、325 第2平行光
323 反射光
400 照射領域
510 照明装置
511 光源
512 プリズムシート
512B 第1ノコギリ状プリズム
512C 第2ノコギリ状プリズム
610 照明装置
611 第1LED
612 第2LED
1301 画像取得部
1303 加算処理部
1305 平均処理部
1307 微分処理部
1309 エッジ判定部
1311 記憶部
1313 シェーディング補正部
1315 疵候補抽出部
1317 疵判定部
1319 出力部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Steel plate 2 Roll 100 Haze inspection apparatus 110 Illumination apparatus 110A Irradiation port 111 Light source 112 Optical fiber bundle 113 Optical fiber unit 114 1st optical fiber 115 2nd optical fiber 120 Imaging device 130 Image processing apparatus 140 Display apparatus 210 Normal line 220 1st Vertical line 230 Second vertical line 311 First direction 312, 315 First parallel light 313 Reflected light 321 Second direction 322, 325 Second parallel light 323 Reflected light 400 Irradiation area 510 Illuminating device 511 Light source 512 Prism sheet 512B First saw Prism 512C second sawtooth prism 610 illuminating device 611 first LED
612 Second LED
1301 Image acquisition unit 1303 Addition processing unit 1305 Average processing unit 1307 Differentiation processing unit 1309 Edge determination unit 1311 Storage unit 1313 Shading correction unit 1315 疵 candidate extraction unit 1317 疵 determination unit 1319 output unit

Claims (7)

移動する帯状体を幅方向に横切る照射領域に帯状光を照射して、前記帯状体の表面の疵を検査する疵検査装置であって、
前記帯状体の移動方向に対して前記帯状体の幅方向の一側に所定の第1角度だけ傾いた第1方向に出射される第1帯状光と、前記帯状体の移動方向に対して前記帯状体の幅方向の他側に所定の第2角度だけ傾いた第2方向に出射される第2帯状光とを、前記照射領域に照射する照明手段と、
前記照射領域における前記第1帯状光及び前記第2帯状光の反射光を撮像して前記照射領域の画像を出力する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像した前記反射光の強度に基づいて、前記照射領域の画像における前記帯状体の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段と、
を備えることを特徴とする、疵検査装置。
A wrinkle inspection device that inspects wrinkles on the surface of the band-shaped body by irradiating a band-shaped light to an irradiation region crossing the moving band-shaped body in the width direction,
A first band light emitted in a first direction inclined by a predetermined first angle to one side in a width direction of the band with respect to the moving direction of the band, and the moving direction of the band Illuminating means for irradiating the irradiation region with second belt-like light emitted in a second direction inclined by a predetermined second angle on the other side in the width direction of the belt-like body;
An imaging means for imaging the reflected light of the first strip light and the second strip light in the irradiation region and outputting an image of the irradiation region;
Image processing means for specifying the positions of both edges in the width direction of the strip in the image of the irradiation area based on the intensity of the reflected light imaged by the imaging means;
A wrinkle inspection device comprising:
前記照明手段は、
前記帯状体の幅方向に配列され光源からの光を前記第1方向に出射する複数の第1光ファイバと、
前記帯状体の幅方向に配列され前記光源からの光を前記第2方向に出射する複数の第2光ファイバと、
を備えることを特徴とする、請求項1に記載の疵検査装置。
The illumination means includes
A plurality of first optical fibers arranged in the width direction of the belt-like body and emitting light from a light source in the first direction;
A plurality of second optical fibers arranged in the width direction of the belt-like body and emitting light from the light source in the second direction;
The wrinkle inspection apparatus according to claim 1, comprising:
前記照明手段は、光源からの前記帯状光を前記第1方向及び前記第2方向に屈折させて、前記第1帯状光及び前記第2帯状光を出射するプリズムシートを備えることを特徴とする、請求項1に記載の疵検査装置。   The illumination means includes a prism sheet that refracts the strip light from a light source in the first direction and the second direction to emit the first strip light and the second strip light. The wrinkle inspection apparatus according to claim 1. 前記照明手段は、
前記帯状体の幅方向に配置され前記第1方向に前記第1帯状光を出射する第1LEDアレイと、
前記帯状体の幅方向に配置され前記第2方向に前記第2帯状光を出射する第2LEDアレイと、
を備えることを特徴とする、請求項1に記載の疵検査装置。
The illumination means includes
A first LED array arranged in the width direction of the strip and emitting the first strip light in the first direction;
A second LED array arranged in the width direction of the strip and emitting the second strip light in the second direction;
The wrinkle inspection apparatus according to claim 1, comprising:
前記帯状体を移動させながら、前記撮像手段により、前記照射領域における前記第1帯状光及び前記第2帯状光の反射光を複数回撮像し、
前記画像処理手段は、撮像された複数の前記反射光の強度を加算し、当該加算した反射光の強度に基づいて、前記照射領域の画像における前記帯状体の幅方向の両エッジの位置を特定することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の疵検査装置。
While moving the strip, the imaging means images the reflected light of the first strip light and the second strip light in the irradiation region a plurality of times,
The image processing means adds the intensities of the plurality of reflected lights that have been imaged, and identifies the positions of both edges in the width direction of the strip in the image of the irradiation region based on the intensities of the added reflected lights. The wrinkle inspection device according to any one of claims 1 to 4, wherein
移動する帯状体を幅方向に横切る照射領域に帯状光を照射して、前記帯状体の表面の疵を検査する疵検査方法であって、
前記帯状体の移動方向に対して前記帯状体の幅方向の一側に所定の第1角度だけ傾いた第1方向に出射される第1帯状光と、前記帯状体の移動方向に対して前記帯状体の幅方向の他側に所定の第2角度だけ傾いた第2方向に出射される第2帯状光とを、前記照射領域に照射し、
前記照射領域における前記第1帯状光及び前記第2帯状光の反射光を撮像して前記照射領域の画像を出力し、
前記撮像された前記反射光の強度に基づいて、前記照射領域の画像における前記帯状体の幅方向の両エッジの位置を所定の画像処理により特定することを特徴とする、疵検査方法。
A wrinkle inspection method for inspecting wrinkles on the surface of the band-shaped body by irradiating a band-shaped light to an irradiation region crossing the moving band-shaped body in the width direction,
A first band light emitted in a first direction inclined by a predetermined first angle to one side in a width direction of the band with respect to the moving direction of the band, and the moving direction of the band Irradiating the irradiation area with a second band-shaped light emitted in a second direction inclined by a predetermined second angle on the other side in the width direction of the band-shaped body;
Imaging the reflected light of the first band light and the second band light in the irradiation area, and outputting an image of the irradiation area,
A wrinkle inspection method characterized by specifying the positions of both edges in the width direction of the belt-like body in the image of the irradiation region based on the intensity of the reflected light that has been picked up by predetermined image processing.
前記帯状体を移動させながら、前記照射領域における前記第1帯状光及び前記第2帯状光の反射光を複数回撮像し、
撮像した複数の前記反射光の強度を加算し、
当該加算した反射光の強度に基づいて、前記照射領域の画像における前記帯状体の幅方向の両エッジの位置を特定することを特徴とする、請求項6に記載の疵検査方法。
While moving the band, the reflected light of the first band light and the second band light in the irradiation region is imaged a plurality of times,
Add up the intensities of the plurality of reflected lights that have been imaged,
The wrinkle inspection method according to claim 6, wherein the positions of both edges in the width direction of the belt-like body in the image of the irradiation region are specified based on the intensity of the added reflected light.
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