JP2002162363A - Meandering tracking system for error detector - Google Patents

Meandering tracking system for error detector

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JP2002162363A
JP2002162363A JP2000355258A JP2000355258A JP2002162363A JP 2002162363 A JP2002162363 A JP 2002162363A JP 2000355258 A JP2000355258 A JP 2000355258A JP 2000355258 A JP2000355258 A JP 2000355258A JP 2002162363 A JP2002162363 A JP 2002162363A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
side edge
image data
meandering
inspection area
inspection
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000355258A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaki Fuse
正樹 布施
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a meandering tracking system for an error detector which exactly can detect side edges of an inspected object to accurately track along meandering of the inspected object without being affected by any background condition of an image data reading position. SOLUTION: The meandering tracking system for an error detector 1 is characteristically provided with an image data generation means 4 scanning an inspected object 2 to be carried orthogonally with a traveling direction A to obtain an image data, a side edge detecting means 10 making side edge detection of the inspected object from the beginning position located on the inspected object through widthwise outward direction, based on the image data, an inspection area setting means 12 setting widthwise inner direction of the detected side edge as the inspection area and widthwise outward direction as the non-inspection area, and a threshold setting means 14 setting different threshold for each of the inspection area and non-inspection area.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、欠陥検出装置用蛇
行追従装置に関し、より詳細には、搬送される検査対象
物の欠陥を検出する装置において、検査対象物の蛇行を
検出し蛇行に追従した欠陥検出を実行させることができ
る欠陥検出装置用蛇行追従装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a meandering tracking device for a defect detection device, and more particularly, to a device for detecting a defect of a conveyed inspection object, detecting the meandering of the inspection object and following the meandering. The present invention relates to a meandering follow-up device for a defect detection device capable of executing the detected defect detection.

【0002】[0002]

【従来の技術】搬送されるシート、フィルム、不織布、
金属箔など長尺状物の欠陥を検出する欠陥検出装置が知
られている。長尺物は搬送中に蛇行することがあるた
め、長尺物の欠陥を検出するための欠陥検出装置には、
蛇行に追従することが求められ、例えば、特開平11−
132966号公報に記載されているような蛇行追従装
置が提案されている。この装置は、長尺状の検出対象物
を幅方向に走査するラインイメージセンサによって、検
査対象物と背景との境界すなわち検査対象物の側縁(エ
ッジ)の位置を検出し、この位置を、検査対象物が蛇行
していない状態で検出しておいた側縁の位置と比較する
ことによって、検査対象物の蛇行状態を検出し、蛇行状
態に適合するように検査領域を変更するものである。
2. Description of the Related Art Conveyed sheets, films, nonwoven fabrics,
2. Description of the Related Art A defect detection device that detects a defect of a long object such as a metal foil is known. Because long objects may meander during transportation, defect detection devices for detecting defects on long objects include:
It is required to follow the meandering.
A meandering tracking device as described in JP 132966 has been proposed. This apparatus detects a boundary between an inspection target and a background, that is, a position of a side edge of the inspection target by a line image sensor that scans a long detection target in a width direction, and determines this position. The meandering state of the test object is detected by comparing with the position of the side edge detected in a state where the test object is not meandering, and the inspection area is changed to match the meandering state. .

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】この蛇行追従装置で
は、ラインイメージセンサによる画像データの一端から
検査対象物の幅方向内方に向かって、画像データの変化
を検出していくことによって側縁検出が行われる。すな
わち、長尺状の検査対象物の幅方向外方にある背景位置
から検査対象物内の幅方向中央に向かって、画像データ
の変化を検出して、画像データの値が大きく変動した位
置を側縁と判定している。
In this meandering tracking device, a side image is detected by detecting a change in the image data from one end of the image data by the line image sensor toward the inside in the width direction of the inspection object. Is performed. That is, a change in image data is detected from the background position outside the width direction of the long inspection object toward the center in the width direction of the inspection object, and the position where the value of the image data greatly changes is detected. It is determined to be a side edge.

【0004】ここで、ラインイメージセンサ等が画像デ
ータを得る画像読取り位置は、検査対象である長尺物が
安定搬送している位置であることが必要であるため、検
査対象物を搬送するローラ上に設定される。このローラ
は、金属、ゴムなどの材料で形成されているので、表面
に、使用によるキズ、汚れなどが発生している場合があ
る。
Here, since the image reading position at which the line image sensor or the like obtains the image data must be a position where the long object to be inspected is stably conveyed, the roller for conveying the inspected object is required. Set above. Since this roller is formed of a material such as metal or rubber, the surface may be scratched or stained due to use.

【0005】このため、ラインイメージセンサが生成し
た画像データは、検査対象物の幅方向外方の背景部分に
キズ、汚れに起因して画像データの値が変動している部
分を含む場合がある。従って、長尺状の検査対象物の幅
方向外方にある背景部分から検査対象物内の幅方向中央
に向かって側縁の検出を行うと、ローラ表面のキズ、汚
れ等に起因する画像データの変動を検査対象物の側縁に
起因する変動と誤認してしまい、側縁の位置を正確に検
出できず、この結果、検査対象物の蛇行に正確に追従で
きなくなるという問題が起こる。このような問題は、ロ
ーラ表面のキズ等のみならず、画像データを読取る位置
の背景部分のキズ等によっても起こりうる。
For this reason, the image data generated by the line image sensor may include a portion where the value of the image data fluctuates due to scratches and dirt on the background portion outside the width direction of the inspection object. . Therefore, when the detection of the side edge from the background portion on the outer side in the width direction of the long inspection object toward the center in the width direction of the inspection object, image data due to scratches, dirt, etc. on the roller surface is obtained. Is erroneously recognized as a change caused by the side edge of the inspection object, and the position of the side edge cannot be detected accurately. As a result, a problem arises in that the meandering of the inspection object cannot be accurately followed. Such a problem can occur not only due to a flaw on the roller surface, but also due to a flaw in the background portion at the position where the image data is read.

【0006】本発明は、上記問題に鑑みなされたもので
あり、画像データを読取る位置の背景の状態に影響され
ることなく、検査対象物の側縁を正確に検出し、検査対
象物の蛇行に正確に追従できる、欠陥検出装置用蛇行追
従装置を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and accurately detects a side edge of an inspection object without being affected by a background state of a position where image data is read, and meanders the inspection object. It is an object of the present invention to provide a meandering follow-up device for a defect detection device, which can follow the object accurately.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本願によれば、搬送され
る検査対象物を搬送方向に直交する方向に走査して画像
データを得る画像データ生成手段と、前記画像データに
基づいて、前記検査対象物上に位置する開始位置から幅
方向外方に向かって、該検査対象物の側縁検出を行う側
縁検出手段と、検出された側縁の幅方向内方側を検査領
域に、検出された側縁の幅方向外方側を非検査領域に設
定する検査領域設定手段と、前記検査領域および非検査
領域のそれぞれに異なるしきい値を設定するしきい値設
定手段と、を備えている欠陥検出装置用蛇行追従装置が
提供される。
According to the present invention, there is provided an image data generating means for scanning an object to be conveyed in a direction perpendicular to a conveying direction to obtain image data, and the inspection based on the image data. A side edge detecting means for detecting a side edge of the inspection object from the start position located on the object outward in the width direction, and an inner side in the width direction of the detected side edge is detected in the inspection area. Inspection area setting means for setting the outer side in the width direction of the set side edge as a non-inspection area, and threshold value setting means for setting different threshold values for each of the inspection area and the non-inspection area. Meandering device for a defect detection device.

【0008】このような構成を有する欠陥検出装置用蛇
行追従装置によれば、側縁の検出が、検査対象物の中央
から外方に向かって行われるので、検査対象物の背景の
状態に影響されることなく、正確な側縁検出が行われ
る。
According to the meandering follow-up device for a defect detection device having such a configuration, the detection of the side edge is performed outward from the center of the inspection object, so that the background state of the inspection object is affected. Without this, accurate side edge detection is performed.

【0009】本発明の好ましい態様によれば、前記側縁
検出手段が、検査対象物の幅方向両側に向かって側縁の
検出を行う。
According to a preferred aspect of the present invention, the side edge detecting means detects a side edge toward both sides in the width direction of the inspection object.

【0010】このような構成によれば、検査対象物の両
側縁の位置を正確に検出できるので、蛇行状態のみなら
ず、検査位置における、検査対象物の幅を正確に把握で
きるため、検査対象物のよじれ等の異常を検出すること
も可能となる。
According to such a configuration, since the positions of both side edges of the inspection object can be accurately detected, not only the meandering state but also the width of the inspection object at the inspection position can be accurately grasped. It is also possible to detect abnormalities such as kinking of objects.

【0011】本発明の他の好ましい態様によれば、前記
側縁検出手段は、複数の前記画像データを平均化した画
像データに基づいて、側縁の検出を行う。
According to another preferred aspect of the present invention, the side edge detecting means detects a side edge based on image data obtained by averaging a plurality of the image data.

【0012】このような構成によれば、検査対象物上の
キズ、汚れ等に起因する画像データの変動が、平均化に
よって消失あるいは減少するので、このような画像デー
タの変動によって、誤った位置に側縁が存在すると判定
されることがない。
According to such a configuration, fluctuations in image data due to scratches, dirt, and the like on the inspection object disappear or decrease due to averaging. Is not determined to have a side edge.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明を好ましい実施の形態を図
面に沿って詳細に説明する。図1は本発明の好ましい一
実施形態の欠陥検出装置用の蛇行追従装置1の概略的な
構成を示す図面である。蛇行追従装置1は、連続して搬
送される長尺状の検査対象物であるシート状のウエブ2
の蛇行、すなわち、矢印Aで示される搬送方向に直交す
る方向のズレを検出し、蛇行に対応した検査範囲を設定
する装置である。ウエブ2は、シート、フィルム、不織
布、金属箔などシート状長尺状物である。尚、本発明の
検査対象物は、このようなシート状長尺状物に限定され
るものではなく、ガラス板や樹脂板などのカットサンプ
ルであってもよいが、本発明は、連続して搬送されるシ
ート状の長尺状物の検査に特に適している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a drawing showing a schematic configuration of a meandering tracking device 1 for a defect detection device according to a preferred embodiment of the present invention. The meandering tracking device 1 is a sheet-like web 2 that is a long test object that is continuously conveyed.
, That is, a shift in a direction orthogonal to the transport direction indicated by the arrow A, and sets an inspection range corresponding to the meandering. The web 2 is a long sheet-like material such as a sheet, a film, a nonwoven fabric, and a metal foil. In addition, the inspection object of the present invention is not limited to such a sheet-like long object, and may be a cut sample such as a glass plate or a resin plate. It is particularly suitable for inspecting a long sheet-like object to be conveyed.

【0014】図1に示されているように、蛇行追従装置
1は、搬送方向に直交する方向に走査して画像データを
得る画像データ生成手段であるラインCCDカメラ4を
備えている。ラインCCDカメラ4は、ウエブ2を搬送
するローラ6の上方位置に配置され、ローラ6の長手方
向軸線に沿った点線で示される走査ライン8における画
像データを生成するように構成されている。走査ライン
8の長さは、左右いずれの方向へのウエブのズレ(蛇
行)にも対応できるようにウエブ2の幅より十分に長く
設定されている。従って、ラインCCDカメラ4によっ
て生成された画像データは、中央部がウエブ2からの画
像データであり、両端がローラ6の表面からの画像デー
タとなっている。
As shown in FIG. 1, the meandering tracking device 1 includes a line CCD camera 4 which is image data generating means for obtaining image data by scanning in a direction orthogonal to the transport direction. The line CCD camera 4 is arranged at a position above the roller 6 that conveys the web 2, and is configured to generate image data on a scanning line 8 indicated by a dotted line along the longitudinal axis of the roller 6. The length of the scanning line 8 is set to be sufficiently longer than the width of the web 2 so as to be able to cope with a deviation (meandering) of the web in any of the left and right directions. Therefore, the image data generated by the line CCD camera 4 has image data from the web 2 at the center and image data from the surface of the roller 6 at both ends.

【0015】蛇行追従装置1は、さらに、ラインCCD
カメラ4によって生成された画像データに基づいて、ウ
エブ2の側縁を検出する側縁検出手段10を備えてい
る。側縁検出手段10は、ラインCCDカメラ4によっ
て生成された画像データをメモリに記録し、ウエブ2の
幅方向中央部に対応する部分から幅方向外方に対応する
部分に向かって、ウエブ2の側縁を検出していく。具体
的には、メモリに記録された画像データの画素毎の値を
順次、所定値と比較していき、記録されていた画像デー
タの値が所定値を越えた又は下回った位置が側縁(エッ
ジ)であると判定している。この判定方法には、背景、
検出対象の出力が安定していれば、多少ボケがあっても
側縁(エッジ)を正確に検出できるというメリットがあ
る。
The meandering tracking device 1 further includes a line CCD
A side edge detecting unit 10 for detecting a side edge of the web 2 based on image data generated by the camera 4 is provided. The side edge detecting means 10 records the image data generated by the line CCD camera 4 in a memory, and records the image data of the web 2 from a portion corresponding to the center in the width direction of the web 2 to a portion corresponding to the outside in the width direction. Detect side edges. Specifically, the value of each pixel of the image data recorded in the memory is sequentially compared with a predetermined value, and the position where the value of the recorded image data exceeds or falls below the predetermined value is determined by the side edge ( Edge). This decision method includes background,
If the output of the detection target is stable, there is an advantage that the side edge (edge) can be accurately detected even if there is some blur.

【0016】また、側縁判定は、この方法に限定される
ものでなく、ウエブ上に位置する開始位置から幅方向外
方に向かって側縁を検出していく方法であればどのよう
な方法でも良い。例えば、所定の距離だけ離れた画像間
の差分値に基づいて判定してもよく、この方法では、側
縁における画像データの大きさが変化がある程度大きけ
れば、ウエブからの出力レベルが変動しても、側縁を正
確に検出できるというメリットがある。
Further, the side edge determination is not limited to this method, and any method may be used as long as the side edge is detected outward from the start position located on the web in the width direction. But it is good. For example, the determination may be based on a difference value between images separated by a predetermined distance. In this method, if the size of the image data at the side edge changes to some extent, the output level from the web fluctuates. Also, there is an advantage that the side edge can be accurately detected.

【0017】側縁検出手段10で使用される画像データ
は、時間をずらしてラインCCDカメラ4で生成された
複数の画像データを平均化したものであるのがよい。こ
のようにして平均化されたデータを使用することによ
り、ウエブ2上のキズ、汚れ等に起因する画像データの
変化、地合班、粒状欠陥等の影響がなくなる。また、素
子方向に移動平均などのスムージング処理を行うことに
より、画像データに線状欠陥が含まれている場合の影響
を防止してもよい。
The image data used by the side edge detecting means 10 is preferably obtained by averaging a plurality of image data generated by the line CCD camera 4 with a time lag. The use of the data averaged in this way eliminates the influence of changes in image data due to scratches, stains, etc. on the web 2, formation defects, granular defects, and the like. Further, by performing a smoothing process such as a moving average in the element direction, it is possible to prevent the influence when the image data includes a linear defect.

【0018】蛇行追従装置1は、さらに、検出された側
縁の幅方向内方側を検査領域に、検出された側縁の幅方
向外方側を非検査領域に設定する検査領域設定手段12
と、検査領域および非検査領域のそれぞれに異なるしき
い値を設定するしきい値設定手段14とを備えている。
検出された側縁を境界として異なったしきい値が設定さ
れるので、欠陥検出が行われる検査領域が、ウエブの蛇
行に対応して配置されることになる。このように、ウエ
ブの蛇行に対応して配置された検査領域において、ウエ
ブ2の検査が公知の方法で実行される。
The meandering tracking device 1 further includes an inspection area setting means 12 for setting an inner side in the width direction of the detected side edge as an inspection area and an outer side in the width direction of the detected side edge as a non-inspection area.
And threshold setting means 14 for setting different thresholds for each of the inspection area and the non-inspection area.
Since different thresholds are set with the detected side edge as a boundary, the inspection area where defect detection is performed is arranged corresponding to the meandering of the web. In this way, the inspection of the web 2 is performed by a known method in the inspection area arranged corresponding to the meandering of the web.

【0019】次に、本発明を他の好ましい実施の形態を
図2ないし図3に沿って詳細に説明する。図2は本発明
の好ましい実施形態の蛇行追従装置を備えた欠陥検出装
置20の概略的な構成を示す図面であり、図3は、図2
の欠陥検出装置20において行われる蛇行追従処理動作
を示すフローチャートである。
Next, another preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a defect detection device 20 including a meandering tracking device according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG.
6 is a flowchart showing a meandering tracking processing operation performed in the defect detection device 20 of FIG.

【0020】図2に示されているように、欠陥検出装置
20は、ラインイメージセンサとして使用されるライン
CCDカメラ22と、画像処理装置24と、ホストコン
ピュータ26とを備えている。画像処理装置24は、A
/Dコンバータ28と、コンパレータ30と、ランレン
グス回路32と、基準値メモリ34と、明欠陥検出用し
きい値および暗欠陥検出用しきい値の書き込みと読み出
しに交互に使用される第1しきい値メモリ36Aおよび
第2しきい値メモリ36Bと、第1ランレングスバッフ
ァ38Aおよび第2ランレングスバッファ38Bと、R
AM40と、CPU42と、ホストコンピュータ26と
の間でデータの送受信を行うI/Oインターフェイス4
4とを備えている。
As shown in FIG. 2, the defect detection device 20 includes a line CCD camera 22 used as a line image sensor, an image processing device 24, and a host computer 26. The image processing device 24
/ D converter 28, comparator 30, run length circuit 32, reference value memory 34, and first memory used alternately for writing and reading of a bright defect detection threshold and a dark defect detection threshold. A threshold memory 36A and a second threshold memory 36B, a first run-length buffer 38A and a second run-length buffer 38B,
I / O interface 4 for transmitting and receiving data between AM 40, CPU 42, and host computer 26
4 is provided.

【0021】前記及び本実施形態では、ラインCCDカ
メラ4、22とこれに対応する画像処理装置等とが一組
しか設けられていないが、通常は、検査対象物の幅およ
びカメラの分解能に応じて、複数台のラインCCDカメ
ラとこれらに対応する画像処理装置等が設けられる。ラ
インCCDカメラ4、22としては、例えば、画素数1
024〜7450のラインCCDカメラが使用される。
検査対象物の幅が、2400mm、ラインCCDカメラ
が5000画素、分解能が0.1mm/画素、隣接する
カメラの重複範囲が約20mmの場合、5台のラインC
CDカメラが必要となる。
In the above embodiment and the present embodiment, only one set of the line CCD cameras 4 and 22 and the corresponding image processing device and the like are provided. However, usually, the line CCD cameras 4 and 22 correspond to the width of the inspection object and the resolution of the camera. In addition, a plurality of line CCD cameras and corresponding image processing devices are provided. As the line CCD cameras 4 and 22, for example, the number of pixels is 1
024-7450 line CCD cameras are used.
If the width of the inspection object is 2400 mm, the line CCD camera is 5000 pixels, the resolution is 0.1 mm / pixel, and the overlapping range of the adjacent cameras is about 20 mm, 5 lines C
A CD camera is required.

【0022】しきい値メモリ36A、36Bは、ライン
CCDカメラ22の出力を二値化するための8ビット/
画素のメモリであり、一方のしきい値メモリへの書き込
みが行われている場合には、他方からは既に書き込まれ
たしきい値が読み出されて二値化処理が行われるという
動作を交互に行うことで、連続的な検査を可能としてい
る。また、明欠陥、暗欠陥を同時に検出する場合には、
各系列とも2行分の容量となる。
The threshold memories 36A and 36B store 8 bits / bit for binarizing the output of the line CCD camera 22.
In the pixel memory, when writing to one threshold memory is performed, the other threshold value is read from the other and the operation of performing the binarization process is performed alternately. By doing so, continuous inspection is possible. Also, when detecting both bright and dark defects simultaneously,
Each series has a capacity of two rows.

【0023】しきい値メモリ36A、36Bには、検査
対象であるウエブの蛇行に追従して書き込みが行われ
る。検査が行われる実検査領域のしきい値は所定値A
に、検査を行わない非検査領域のしきい値は所定値Bに
設定される。ここで、所定値Aは、検査対象上の検出す
べき欠陥を検出するためのしきい値であり、所定の固定
値または背景の出力に対する所定の比率の値とされてい
る。Aの値は、検出すべき欠陥の内容によって、適宜変
更される。
Data is written in the threshold memories 36A and 36B following the meandering of the web to be inspected. The threshold value of the actual inspection area where the inspection is performed is a predetermined value A
Then, the threshold value of the non-inspection area where the inspection is not performed is set to a predetermined value B. Here, the predetermined value A is a threshold value for detecting a defect to be detected on the inspection target, and is a predetermined fixed value or a value of a predetermined ratio to the output of the background. The value of A is appropriately changed depending on the content of the defect to be detected.

【0024】所定値Bは、画像データの値がどのような
値であっても、これを欠陥として検出しないためのしき
い値であり、8ビット/画素のしきい値メモリ36A、
36Bを用いた場合、明欠陥検出のときには255、暗
欠陥検出のときには0とされる。
The predetermined value B is a threshold value for preventing any value of the image data from being detected as a defect. The threshold value memory 36A of 8 bits / pixel,
When 36B is used, the value is set to 255 when a bright defect is detected, and set to 0 when a dark defect is detected.

【0025】ラインCCDカメラ22からの出力信号す
なわち画像データに基づいて検査対象物であるウエブの
側縁を検出する手段は、基準値メモリ34、CPU42
等から構成され、ラインCCDカメラ22からの画像デ
ータを基準値メモリ34に記録させ、ウエブの幅方向中
央部に対応する部分から幅方向外方に対応する部分に向
かって、ウエブの側縁を検出していく。具体的には、基
準値メモリ34に記録された画像データの画素毎の値を
順次、所定値と比較していき、記録されていた画像デー
タの値が所定値を越えた又は下回った位置が側縁(エッ
ジ)であると判定している。この判定方法には、背景、
検出対象の出力が安定していれば、多少ボケがあっても
側縁(エッジ)を正確に検出できるというメリットがあ
る。
The means for detecting the side edge of the web to be inspected based on the output signal from the line CCD camera 22, ie, the image data, includes a reference value memory 34 and a CPU 42.
The image data from the line CCD camera 22 is recorded in the reference value memory 34, and the side edge of the web is moved from the portion corresponding to the central portion in the width direction of the web to the portion corresponding to the outer side in the width direction. Detect. Specifically, the value of each pixel of the image data recorded in the reference value memory 34 is sequentially compared with a predetermined value, and the position where the value of the recorded image data exceeds or falls below the predetermined value is determined. It is determined to be a side edge. This decision method includes background,
If the output of the detection target is stable, there is an advantage that the side edge (edge) can be accurately detected even if there is some blur.

【0026】また、側縁判定は、この方法に限定される
ものでなく、ウエブ上の開始位置から幅方向外方に向か
って側縁を検出していく方法であればどのような方法で
も良い。例えば、所定の距離だけ離れた画像間の差分値
に基づいて判定してもよく、この方法では、側縁におけ
る画像データの大きさが変化がある程度大きければ、ウ
エブからの出力レベルが変動しても、側縁を正確に検出
できるというメリットがある。いずれの方法を採用する
かは、ウエブの側縁の状態によって決定するのが好まし
い。
The side edge determination is not limited to this method, and any method may be used as long as the side edge is detected outward from the start position on the web in the width direction. . For example, the determination may be based on a difference value between images separated by a predetermined distance. In this method, if the size of the image data at the side edge changes to some extent, the output level from the web fluctuates. Also, there is an advantage that the side edge can be accurately detected. It is preferable to determine which method is adopted depending on the state of the side edge of the web.

【0027】このようにして検出された側縁の位置(す
なわちエッジ座標)は、I/Oインターフェイス44を
通して、ホストコンピュータ26に転送され、検査対象
の側縁の位置および幅が決定される。そして、CPU4
2が、検査対象の側縁の位置および幅に基づいて、第1
および第2のしきい値メモリ36A、36Bを更新す
る。したがって、この実施形態では、CPU42、およ
び、第1および第2のしきい値メモリ36A、36B等
によって、検査領域設定手段と、しきい値設定手段とが
構成されている。
The position (ie, edge coordinates) of the side edge thus detected is transferred to the host computer 26 through the I / O interface 44, and the position and width of the side edge to be inspected are determined. And CPU4
2 is the first based on the position and width of the side edge to be inspected.
And the second threshold memories 36A and 36B are updated. Therefore, in this embodiment, the inspection area setting means and the threshold setting means are constituted by the CPU 42, the first and second threshold memories 36A and 36B, and the like.

【0028】この実施形態では、明欠陥検出の場合に
は、しきい値メモリに設定されたしきい値より大きな出
力レベルを有する領域に対するコンパレータ30の出力
が”1”となるようにしきい値が設定され、暗欠陥検出
の場合には、しきい値メモリに設定されたしきい値より
小さな出力レベルを有する領域に対するコンパレータ3
0の出力が”1”となるようにしきい値が設定される。
In this embodiment, in the case of detecting a bright defect, the threshold value is set so that the output of the comparator 30 for an area having an output level larger than the threshold value set in the threshold value memory becomes "1". In the case of dark defect detection, the comparator 3 for an area having an output level smaller than the threshold value set in the threshold value memory
The threshold is set so that the output of 0 becomes “1”.

【0029】従って、コンパレータ30により、欠陥部
に相当する領域が”1”、正常部に相当する領域が”
0”となる。コンパレータ30によるこの二値化データ
は、”0”から”1”、あるいは、”1”から”0”へ
の変化点アドレスを得るランレングス符号化回路32に
よりランレングス符号化され、ランレングスバッファ3
8A、38Bに記憶される。
Therefore, the area corresponding to the defective part is "1" and the area corresponding to the normal part is "1" by the comparator 30.
This binary data by the comparator 30 is run-length encoded by a run-length encoding circuit 32 that obtains a transition point address from "0" to "1" or from "1" to "0". Run-length buffer 3
8A and 38B.

【0030】ランレングス符号化回路32により得られ
たランレングス符号は、2系統のランレングスバッファ
38A、38Bに一時的に記憶される。各ランレングス
バッファ38A、38Bに一次的に記憶されたランレン
グス符号は、交互にCPU40により連結性処理の実行
に使用される。連結性処理とは、複数の連続する走査ラ
インにおけるデータをライン間で比較しつつ処理するこ
とをいう。この連結性処理を行うことによって、欠陥を
認識し、形態的特徴を測定できる。
The run-length code obtained by the run-length encoding circuit 32 is temporarily stored in two systems of run-length buffers 38A and 38B. The run-length codes temporarily stored in the run-length buffers 38A and 38B are alternately used by the CPU 40 to execute the connectivity processing. The connectivity processing refers to processing while comparing data in a plurality of continuous scan lines between the lines. By performing this connectivity processing, defects can be recognized and morphological characteristics can be measured.

【0031】次に、図3のフローチャートに沿って、欠
陥検出装置20で行われる側縁検出処理の手順を説明す
る。まず、ステップS1で、ラインCCDカメラ22か
らの画像データが画像処理装置24に入力され、次い
で、ステップS2で、画像データの前処理が行われる。
前処理では、ラインCCDカメラ22から複数行分の画
像データを平均化して、地合班、粒状欠陥の影響による
ばらつきが防止される。また、素子方向に移動平均など
のスムージング処理を行うことで、画像データに線状欠
陥が含まれている場合の影響が防止される。
Next, the procedure of the side edge detection processing performed by the defect detection device 20 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, in step S1, image data from the line CCD camera 22 is input to the image processing device 24, and then, in step S2, preprocessing of the image data is performed.
In the pre-processing, the image data of a plurality of lines from the line CCD camera 22 are averaged to prevent variations due to the influence of formation defects and granular defects. Further, by performing a smoothing process such as a moving average in the element direction, it is possible to prevent the effect when the image data includes a linear defect.

【0032】次いで、ステップS3で、側縁検出の開始
位置を設定する。この開始位置は、検査対象物であるウ
エブの中央部に相当する位置とされる。ステップS4
で、ステップS3で設定した開始位置から、検査対象物
であるウエブの一方の側縁に向かって、側縁検出を行
う。次いで、ステップS5で、ステップS3で設定した
開始位置から、検査対象物であるウエブの他方の側縁に
向かって、側縁検出を行う。次いで、ステップS6で、
検出された両側縁の位置に基づいて検査幅が設定され、
さらに、ステップS7でしきい値メモリ36A、36B
が更新される。
Next, in step S3, a start position of side edge detection is set. This start position is a position corresponding to the center of the web to be inspected. Step S4
Then, a side edge is detected from the start position set in step S3 toward one side edge of the web to be inspected. Next, in step S5, a side edge is detected from the start position set in step S3 toward the other side edge of the web to be inspected. Next, in step S6,
The inspection width is set based on the detected positions of both side edges,
Further, in step S7, the threshold memories 36A and 36B
Is updated.

【0033】図4ないし図6は、上記実施形態の蛇行追
従装置によるウエブの側縁検出例を示す図面である。走
査ライン8にあるローラにはキズFがあり、蛇行するウ
エブには汚れ(欠陥)Xがある(図4)。このとき、ラ
インCCDカメラ22からの出力値には、キズF及び汚
れXが現れている(図5)。しかし、ラインCCDカメ
ラからの複数行の画像データを平均化した値である基準
値メモリ34内の画像データ(図6)には、搬送されて
いるウエブ上の汚れXに対応する出力の落ち込みは現れ
ていない。従って、基準値メモリ34の出力値に基づい
て、ウエブ上の開始点から幅方向外方(側縁)に向かっ
てウエブの側縁検出を行うことにより、ウエブの幅方向
外方にあるローラ上のキズの影響を受けずに側縁検出を
行うことができることがわかる。
FIGS. 4 to 6 are diagrams showing examples of detecting the side edges of the web by the meandering tracking device of the above embodiment. The roller on the scanning line 8 has a flaw F, and the meandering web has a dirt (defect) X (FIG. 4). At this time, flaws F and dirt X appear in the output value from the line CCD camera 22 (FIG. 5). However, the image data in the reference value memory 34 (FIG. 6), which is a value obtained by averaging the image data of a plurality of lines from the line CCD camera, has a drop in the output corresponding to the dirt X on the transported web. Not appearing. Therefore, based on the output value of the reference value memory 34, the side edge of the web is detected from the start point on the web toward the outside (side edge) in the width direction, so that the roller on the outer side in the width direction of the web is detected. It can be seen that the side edge can be detected without being affected by the flaw.

【0034】尚、本発明においては、ラインCCDカメ
ラ4、22による画像データ生成は、検査対象物に応じ
て、検査対象物からの反射光または透過光のいずれを利
用してもよい。
In the present invention, the generation of image data by the line CCD cameras 4 and 22 may use either reflected light or transmitted light from the inspection object according to the inspection object.

【0035】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載した事項の範囲内で種
々の変更・変形が可能である。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and modifications can be made within the scope of the claims.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、画像デ
ータを読取る位置の背景の状態に影響されることなく、
長尺状の検査対象物の側縁を正確に検出し、検査対象物
の蛇行に正確に追従できる蛇行追従装置が提供される。
As described above, according to the present invention, the image data can be read without being affected by the background state at the reading position.
Provided is a meandering tracking device that can accurately detect a side edge of a long inspection object and accurately follow the meandering of the inspection object.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の好ましい実施形態の欠陥検出装置用の
蛇行追従装置の概略的な構成を示す図面である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a meandering tracking device for a defect detection device according to a preferred embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の好ましい実施形態の蛇行追従装置
を備えた欠陥検出装置の概略的な構成を示す図面であ
る。
FIG. 2 is a diagram illustrating a schematic configuration of a defect detection device including a meandering tracking device according to another preferred embodiment of the present invention.

【図3】図2の欠陥検出装置において行われる蛇行追従
の処理動作を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a meandering tracking processing operation performed in the defect detection device of FIG. 2;

【図4】本発明の実施形態の蛇行追従装置によるウエブ
の側縁検出例を説明する、走査ライン及びウエブ上の欠
陥を示す図面である。
FIG. 4 is a diagram illustrating scan lines and defects on the web for explaining an example of detecting a side edge of the web by the meandering tracking apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態の蛇行追従装置によるウエブ
の側縁検出例を説明する、ラインCCDカメラからの出
力値を示す図面である。
FIG. 5 is a diagram illustrating an output value from a line CCD camera for explaining an example of detecting a side edge of a web by the meandering tracking device according to the embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施形態の蛇行追従装置によるウエブ
の側縁検出例を説明する、基準値メモリの画像データの
値を示す図面である。
FIG. 6 is a diagram illustrating values of image data in a reference value memory for explaining an example of detecting a side edge of a web by the meandering tracking device according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:蛇行追従装置 2:ウエブ 4:ラインCCDカメラ(画像データ生成手段) 6:ローラ 8:走査ライン 10:側縁検出手段 12:検査領域設定手段 14:しきい値設定手段 1: meandering follower 2: web 4: line CCD camera (image data generating means) 6: roller 8: scanning line 10: side edge detecting means 12: inspection area setting means 14: threshold setting means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA13 AA49 BB01 CC02 DD13 FF04 JJ25 PP15 QQ04 QQ24 QQ25 QQ42 UU05 2G051 AA32 AA37 AB07 AC21 CA03 CB01 CD04 DA06 EA11 EA14 EB01 EB02 EC03 ED01 5B047 AA11 BA01 BB02 CA14 CB09 CB23 DB05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page F term (reference) 2F065 AA13 AA49 BB01 CC02 DD13 FF04 JJ25 PP15 QQ04 QQ24 QQ25 QQ42 UU05 2G051 AA32 AA37 AB07 AC21 CA03 CB01 CD04 DA06 EA11 EA14 EB01 EB02 EC03 EB01 CB01 A02CB02

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 搬送される検査対象物を搬送方向に直交
する方向に走査して画像データを得る画像データ生成手
段と、 前記画像データに基づいて、前記検査対象物上に位置す
る開始位置から幅方向外方に向かって、該検査対象物の
側縁検出を行う側縁検出手段と、 検出された側縁の幅方向内方側を検査領域に、検出され
た側縁の幅方向外方側を非検査領域に設定する検査領域
設定手段と、 前記検査領域および非検査領域のそれぞれに異なるしき
い値を設定するしきい値設定手段と、を備えていること
を特徴とする欠陥検出装置用蛇行追従装置。
An image data generating unit that obtains image data by scanning a conveyed inspection object in a direction orthogonal to a conveyance direction; and a start position that is located on the inspection object based on the image data. A side edge detecting means for detecting a side edge of the object to be inspected outward in the width direction; an inner side of the detected side edge in the width direction as an inspection area; and an outer side of the detected side edge in the width direction. A defect detection apparatus comprising: an inspection area setting means for setting a side as a non-inspection area; and a threshold value setting means for setting different thresholds for each of the inspection area and the non-inspection area. Meandering follower.
【請求項2】 前記側縁検出手段が、検査対象物の幅方
向両側に向かって側縁の検出を行う、請求項1に記載の
欠陥検出装置用蛇行追従装置。
2. The meandering follow-up device for a defect detection device according to claim 1, wherein said side edge detection means detects a side edge toward both sides in the width direction of the inspection object.
【請求項3】 前記側縁検出手段が、複数の前記画像デ
ータを平均化した画像データに基づいて、前記側縁検出
を行う、請求項1又は2に記載の欠陥検出装置用蛇行追
従装置。
3. The meandering follow-up device for a defect detection device according to claim 1, wherein the side edge detection means performs the side edge detection based on image data obtained by averaging a plurality of the image data.
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