JP2008302995A - 搬送用治具 - Google Patents

Abstract

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシートを積層した積層板４を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面及び加工端面に被覆層５が形成され、被覆層とその下層に形成された樹脂被膜６との光学的性質を異なるものとした搬送用治具１。
【選択図】図２

Description

本発明は、シリコンウェハや液晶用ガラス基板等の板状の搬送物を移動、積み下ろしする自動搬送装置において、板状物を保持又は板状物を乗せるなどして搬送物と直接接触する部品として取り付けられる搬送用治具に関し、特に、シリコンウェハの搬送に最適な搬送用治具に関する。

シリコンウェハや液晶ガラス基板等（以下、「基板等」という）を搬送するために、搬送装置が使用されているが、近年、処理効率を上げるために基板等の搬送物のサイズが大きくなってきている。それに伴い、搬送装置用のハンドはそれら搬送物を支えるために、これまで用いられていた金属部材と同等な曲げ剛性を有しながら、軽量で取り扱いやすい炭素繊維強化樹脂複合材（以下、「ＣＦＲＰ」ともいう）が使用されるようになってきた（例えば、特許文献１及び２参照。）。

このような搬送用治具において、基板等は、搬送時に発生する導電性の不純物や異物（以下、「パーティクル」という）が付着すると製品としたときに重大な動作不良を起こす原因となることがあり、このため静電気が発生しにくいこと、耐アウトガス特性、防塵性が重要となる。

これらの点では一般的にＣＦＲＰ部材よりはアルミなどの金属部材やセラミックの方がパーティクルの発生を抑制することができることから適しているが、ＣＦＲＰの使用拡大が期待されるなか、ＣＦＲＰからの炭素繊維脱落や、端面からの炭素繊維の粉落ちがなく、パーティクルの発生を抑制した材料が求められていた。

そこで、本発明者らは、ＣＦＲＰを用いてその利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具として、積層板表面及び／又は加工端面を樹脂組成物又はエラストマーで被覆層を形成することで、繊維の脱落がなく、反りを抑え表面外観も良好な平滑性に優れた搬送用治具を既に提案している。
特開平８−２８８３６４号公報 特開平１１−３５４６０８号公報

しかしながら、このように被覆層を形成しても、その下層となる積層板がこの被覆層と同種の光学的性質を有する場合や、被覆層が透明である場合には、被覆層が外力により一部脱落しても、その有無をすぐに見つけることが困難であり、このように被覆層が脱落して、積層板の繊維基材等が露出した状態のまま搬送作業を継続してしまうと、搬送対象物等がパーティクルにより汚染される虞があった。

そこで、本発明は、このような不具合を迅速に感知することができ、搬送用治具の交換や、被覆層の修復等の搬送対象物の汚染防止対応をとるのを促すことができる搬送用治具を提供することを目的とする。

本発明者らは、鋭意検討した結果、繊維基材や無機充填剤を実質的に含まない樹脂組成物で搬送用治具の表面を被覆することで搬送用治具からのパーティクル発生を抑え、かつ、この被覆層が一部脱落した場合に、被覆層とその下層の光学的性質を異なるようにすることで迅速に被覆層の脱落を感知することができることを見出し、本発明を完成させたものである。

すなわち、本発明の搬送用治具は、複数枚の繊維強化プリプレグシートを積層した積層板を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面及び／又は加工端面に繊維基材や無機充填材を実質的に含まない樹脂組成物又はエラストマーからなる被覆層が形成され、色剤、蛍光剤又は蓄光剤の有無に基づいて被覆層とその下層との光学的性質を異なるものとしたことを特徴とするものである。

このように、積層板の表面及び／又は加工端面を樹脂組成物又はエラストマーでコーティングすることで、よりパーティクルの発生を低減させることができることができる。

本発明の搬送用治具によれば、その表面や加工端面が、樹脂組成物又はエラストマーで被覆されており、積層板を構成しているプリプレグに含まれている繊維が脱落することがないため、パーティクルの発生を抑えることができ、搬送対象物である基板等を搬送用治具により汚染することがない。

また、被覆層とその下層との光学的性質が異なる構成となっているため、迅速に被覆層の脱落を感知することができ、搬送用治具を交換したり、被覆層を修復したりする等の汚染の防止作業を直ちに行うことができ、搬送対象物の汚染を有効に防止することができる。

以下、本発明について図面を参照しながら詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の搬送用治具の平面図であり、図２は図１に示した搬送用治具のＡ−Ａ断面図であり、図３は図１及び図２に示した搬送用治具の積層体の積層構造を示した図である。

ここで、図１及び図２に示したように、本実施形態の搬送用治具１は、搬送物を保持するハンド２と、搬送装置へ固定する固定部３とから構成されるものである。そして、この搬送用治具１は、複数の繊維強化プリプレグシートを積層した積層板４を切断、打ち抜き加工することにより図１の平面形状としたものであって、さらに、この積層板４の表面及び加工端面に、樹脂組成物又はエラストマーからなる被覆層５が形成されるが、その下層には被覆層５とは光学的性質が異なる樹脂被膜６が形成され、積層板４の表面及び加工端面の全ての面が覆われて構成されている。

ここで用いられる被覆層５は樹脂組成物又はエラストマーにより形成されるものであり、ここで用いられる樹脂組成物としては熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれを主成分としたものでもよい。なお、ここで樹脂組成物は、エラストマーを単独で用いる場合を含まないものである。

ここで熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、変性ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられ、なかでも強度、成形性の観点からエポキシ樹脂が好ましく使用でき、質量平均分子量が７００〜２０００のエポキシ樹脂が特に好ましい。

また、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いた場合、より具体的には、その樹脂組成物の成分構成は、（Ａ）エポキシ樹脂と、（Ｂ）エポキシ樹脂用硬化剤と、（Ｃ）エラストマーと、を必須成分とすることが好ましい。

ここで、この樹脂組成物に用いられる（Ｂ）エポキシ樹脂用硬化剤としては、エポキシ樹脂に対して通常用いられているものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ジシアンジアミド、芳香族ジアミン等のアミン系硬化剤、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のフェノール系硬化剤、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸等の酸無水物硬化剤等を用いることができる。また、このとき硬化促進剤を任意で配合することができ、この硬化促進剤としては、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、三フッ化ホウ素アミン錯体、トリフェニルホスフィン等を用いることができる。

そして、（Ｃ）エラストマーとしては、常温でゴム状弾性を有するものであればよく、例えば、ニトリルゴム、アクリルゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンメチルアクリレートアクリロニトリル、ゴム、ブタジエンゴム、カルボキシル含有アクリロニトリルブタジエンゴム、ビニル含有アクリロニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ポリビニルブチラール等の合成ゴム、ゴム変性のエポキシ樹脂等のゴム変性高分子化合物、数平均分子量１万以上の高分子エポキシ樹脂等が挙げられる。なかでもニトリルゴムとアクリルゴムが好ましいが、成形性からニトリルゴムが特に好ましい。

この（Ｃ）エラストマー成分の配合量は、熱硬化性樹脂組成物中に２０〜８０質量％の範囲であることが好ましく、２０〜５０質量％であることが特に好ましい。２０質量％未満では樹脂シートを成形する際のハンドリング性が悪く、８０質量％を超えると引っかきにより剥れてしまう恐れがある。

また、搬送用治具１の最外層の被覆層５として、繊維基材や無機フィラーを含まず、かつ２０〜８０質量％のエラストマー成分を含有する熱硬化性樹脂組成物を形成することで搬送用治具の反りが少なくすることもできる。

このとき、その他の成分の配合割合は、（Ｃ）エラストマーを除いた樹脂組成物中に（Ａ）熱硬化性樹脂が６０〜９６質量％、（Ｂ）硬化剤が０．５〜３５質量％、硬化促進剤が０〜５質量％であることが好ましい。

これらの配合成分の他にも、本発明の効果を阻害しない範囲で、適宜必要な添加剤を配合することができる。なお、この被覆層５としては、無機フィラーや繊維基材等は実質的に含有することなく構成されるものである。

また、樹脂組成物ではなくエラストマーを単独で用いる場合には、上記した樹脂組成物の構成成分（Ｃ）のエラストマーを単独で用いるようにすればよい。このとき、樹脂組成物又はエラストマーのいずれを用いる場合においても、搬送物との接触面が平滑となるように最外層として被覆層５を設ければよい。

この積層板４の表面及び加工端面を覆う被覆層５は、図２においては全体を覆うように一体として形成しているが、これは表面側と加工端面側とで上記説明した樹脂組成物及びエラストマーから選ばれる材料をそれぞれ異なる種類のものを組み合わせて形成するようにしてもよい。

また、積層板の表面及び加工端面を被覆する場合に比べて搬送対象物の汚染防止効果は劣るが、それぞれいずれかの面のみを被覆するようにしてもよい。このとき、被覆層を形成しない面には樹脂被膜も設ける必要はない。

積層板４の表面における被覆層５は、搬送用治具の搬送物と接触する面であることを考慮すれば、より強度が高く、成形が容易で、製品寿命が長くなることから熱硬化性樹脂組成物であることが好ましく、特に、繊維基材や無機フィラーを含まず、かつ２０〜８０％のエラストマー成分を含有する熱硬化性樹脂組成物であることが好ましい。

また、積層板４の加工端面における被覆層５は、強度の面から表面の樹脂層と同様に熱硬化性樹脂組成物を用いて加工端面を被覆する場合には、特にエラストマーを２０〜８０質量％含有するものを用いることが好ましい。なお、最外層の保護層において、加工端面は表面よりも外力が加わったときにクラック発生や一部が欠けて脱落しやすいため、特に、加工端面を被覆する保護層は、このような不具合の生じにくいエラストマー単独であることがより好ましい。

次に、被覆層５の下層に形成されている樹脂被膜６は、上記した被覆層５で説明した樹脂組成物に、色剤、蛍光剤、蓄光剤を含有させた樹脂組成物から形成されるものであり、被覆層５とは光学的性質を異なるものとして形成されるものである。ここで、光学的性質とは、色、蛍光、リン光を発するか否かや、発する波長が異なる等により視覚的に認識可能な性質のことをいい、光学的性質が異なるとは、色剤、蛍光剤、蓄光剤に基づいて付与された性質が異なるために視覚的に区別することができることをいう。

この樹脂被膜６は、積層板の表面及び加工端面に形成され、被覆層５の下層となっているため露出していないが、被覆層５が脱落した部分において露出するため、その脱落の有無を容易に判別することができる。

例えば、樹脂皮膜６が色剤を含有する場合においては、被覆層５との明度差、色差を大きくして、目視により異なる色であることを容易に感知できるようにすることが好ましい。この場合、被覆層５の脱落の有無を、特別な機器等を用いることなく、容易かつ迅速に行うことができる。

また、例えば、樹脂被膜６が蛍光剤を含有する場合においては、被覆層５は蛍光剤を含有しないものとし、脱落の有無を紫外線照射による蛍光の有無を確認することにより迅速に行うことができる。これと同様に、樹脂被膜６が蓄光剤を含有する場合においては、被覆層５は蓄光剤を含有しないものとし、脱落の有無を消灯したときのリン光の有無により迅速に行うことができる。

この樹脂被膜６に含有される色剤としては、公知の顔料や染料を使用することができる。顔料としては、例えば、酸化物系、硫酸塩系、炭酸塩系、ケイ酸塩系、クロム酸系、アルミン酸系フェロシアン化物系等が挙げられ、具体的には、酸化チタン、亜鉛華、アルミニウムホワイト、べんから、沈降性硫酸バリウム、炭酸カルシウム、塩基性炭酸マグネシウム、クレー、群青、黄鉛、コバルトブルー、紺青等の無機系顔料や、トルイジンレッド、パーマネントカーミ、ファストイエローＧ、ジアゾイエローＡＡＡ、ジアゾオレンジＰＭＰ、レーキレッドＣ、ブリリアントカーミン６Ｂ、フタロシアニンブルー、インダントロブルー、キナクリドンレッド、ジオキサジンバイオレットボクトリアピュアブルー、アルカリブルートナー、ニトロソ顔料等の有機系顔料が挙げられる。

また、染料としては、例えば、トリフェニレンメタン系、アントラキノン系、アジン系等の油溶染料を使用することができ、具体的には、Ｙｅｌｌｏｗ１９、Ｏｒａｎｇｅ４５、Ｒｅｄ８、Ｂｌｕｅ２等が挙げられる。

また、蛍光剤としては、公知の蛍光剤を使用することができ、例えば、ビス（トリアジニルアミノ）スチルベンジスルホン酸誘導体、ビススチリルビフェニル誘導体、ビス（ブチルベンゾオキサゾリル）チオフェン等の市販の蛍光増白剤が挙げられる。

また、蓄光剤としては、公知の蓄光剤を使用することができ、例えば、アルミン酸ストロンチウム等の市販のものが挙げられ、この形状としてはパウダータイプ、マスターバッチタイプ等があり、どちらを用いてもよい。

そして、この樹脂被膜６は、通常の使用状態では、被覆層５により被覆されており搬送対象物を汚染する原因とはならないため、被覆層５とは異なり繊維基材や無機充填材を含有していても良い。しかし、被覆層５が脱落した場合でも汚染することがないようにするため繊維機材や無機充填材を含有していないことが好ましい。

そして、積層板４を形成する繊維強化型プリプレグ４ａは、高剛性の繊維を所望の配向となるように繊維を配置して樹脂組成物に含浸し、この樹脂組成物をＢ−ステージ化するか、このＢ−ステージ化したものを加工して繊維方向を適宜調整することで得ることができる。

ここで用いられる繊維としてはガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ＦＢＯ繊維、全芳香族ポリエステルなどの繊維が織布または不織布が使用できるが、一方向に並べた繊維をそのまま使用しても良い。

さらに、一方向炭素繊維強化型プリプレグを使用することによって、反りの優れた搬送用治具を得ることができる。例えば、市販のＵＤプリプレグ（例えば三菱レイヨンＣＳテープなど）を使用しても良いし、１方向に並べた炭素繊維を樹脂シートと一体加熱圧着して得たものを用いることもできる。

このとき、搬送用治具の剛性に一番影響があるのは最外層のプリプレグであるため、中間層においては、例えば、炭素繊維織布強化型プリプレグ、外層に一方向炭素繊維強化型プリプレグとするようにしてもよい。

ここで炭素繊維強化型プリプレグ４ａに用いられる炭素繊維としては、通常強化繊維として用いられるものであれば特に限定されずに用いることができるが、例えば、炭素繊維強化型プリプレグの引張弾性率が２３０ＧＰａ以上、好ましくは４００ＧＰａ以上のものであることが好ましい。この炭素繊維としては、例えば、東レ株式会社製のトレカ系、東邦テナックス株式会社製の炭素繊維等が挙げられる。また、この炭素繊維は、プリプレグ中の質量比率が６０質量％以上であることが好ましく、６５〜７５質量％であることが特に好ましい。

このとき、炭素繊維以外の成分は樹脂成分となるため、樹脂成分は、質量比率が４０質量％以下であることが好ましく、３５〜２５質量％であることが特に好ましい。この比率があまりに低いと、積層した後に表面平滑性が低下するおそれがある。そして、この樹脂成分としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、変性ポリイミド樹脂等の熱硬化型樹脂が挙げられ、なかでもエポキシ樹脂であることが好ましい。

繊維強化型プリプレグ４ａの厚さは、これを複数枚積層して搬送用治具の積層板とするため、１０〜２００μｍであることが好ましく、１００〜１６０μｍであることがより好ましい。

本発明はこのように、積層板の表面及び加工端面を樹脂組成物又はエラストマーで被覆することにより、積層板から炭素繊維のパーティクルを発生させることがなく、搬送対象物を汚染することなく使用することができる。

また、この被覆層の下層には、被覆層とは異なる光学的性質を有する樹脂被膜を形成しているため、被覆層が脱落した場合には、その下層が露出するため、脱落の有無を迅速に確認することができる。

本発明の搬送用治具１は、上記説明したような繊維強化型のプリプレグ４ａを複数枚積層した積層板４の表面及び加工端面に樹脂組成物又はエラストマーからなる被覆層５及び樹脂被膜６を形成したものである。

その製造は、繊維強化型プリプレグ４ａを複数枚積層する積層工程と、この積層工程により積層されたプリプレグを離型フィルムを介し、加熱加圧して互いに接着させて積層板とする接着工程と、積層板４の表面及び加工端面を色剤等を含有する樹脂被膜６を形成する樹脂被膜形成工程と、この樹脂被膜６の上層としてさらに樹脂組成物又はエラストマーからなる被覆層５を形成する被覆層形成工程と、により行うことができる。

このとき、樹脂被膜形成工程や被覆層形成工程では、それぞれの層を形成する組成物を液状にして表面に塗付、乾燥し、硬化させることによって積層板４の表面及び加工端面に樹脂被膜及び被覆層を形成することができるが、積層板の表面及び加工端面に同時に樹脂層を形成するときは、積層板４は予め製品の形状への切断、打ち抜き加工を施しておく必要がある。

また、他の形成方法としては、図３に示したように、樹脂シート５ａ、６ａを積層板表面に重ね合わせ加熱加圧して互いに接着させて樹脂被膜及び被覆層を形成する工程により行うこともできる。積層板の接着工程は高精度プレスなどであれば方式は特に限定されるものではない。成形条件は使用する樹脂によりそれぞれ異なるが、例えば圧力１ＭＰａ、温度１２５℃で５時間成形などの条件により均一な条件にて積層する。樹脂シートの接着工程は高精度プレスまたは熱ロールなどにより行うことができる。

このとき、積層板４を予め形成しておいて、その表面に樹脂被膜６、被覆層５を順次形成してもよいし、繊維強化型プリプレグ４ａと樹脂シート６ａを重ね合わせプレスにて一括成形した後、最外層として樹脂シート５ａを重ねて、さらにプレスすることで形成することもできる。図３では、積層板４の表面にのみ形成されるようになっているが、樹脂シート５ａ，６ａを加工端面も一緒に被覆できるように平面の面積を積層板４よりも大きくしたり、または、積層板４の加工端面は別の工程として後から樹脂組成物又はエラストマーを塗布し、硬化させて樹脂被膜６及び被覆層５を形成するようにしてもよい。

ここで、樹脂シート５ａ，６ａは、離型フィルムに塗布乾燥して形成することができ、繊維強化型プリプレグ４ａ又は積層板４と重ね合わせるようにすればよい。熱硬化性樹脂とエラストマーを主成分とする樹脂シートの場合には離型フィルムに塗布乾燥後、樹脂とエラストマーをなじませるためにエージング工程を入れることが一般的であるが、本発明では樹脂シートの熟成工程無しで成形一体化することにより表面外観の優れた搬送用治具を得ることもできる。

ここで、離型フィルムは特に限定されるものではなく、成形温度での耐熱性、成形後の離型性、低汚染性などの条件を満たすものであればいずれも使用できる。具体的には、セパニウムフィルム（サン・アルミニウム工業株式会社製）、テドラーフィルム（ＤｕＰｏｎｔ製）等が挙げられる。

また、樹脂シート５ａ，６ａを用いずにまず積層板４を形成した場合は、積層板４の両面に、樹脂シート６ａを重ね合わせて熱離型フィルムを介して加熱成形し、熱離型フィルムを剥がした後、さらに樹脂シート５ａを最外層として重ね合わせて加熱成形することで積層体を得ることができる。このようにして得られた積層体に、所定の外径および内穴径で、切断、打ち抜き加工を施し、端面の樹脂バリを除去して搬送用治具が製造できる。このとき、加工端面にさらに樹脂被膜６及び被覆層５を形成するために、順次、組成物を塗付乾燥し、硬化させることで、よりパーティクルを発生させることのない搬送用治具１を製造できる。

ここで用いられる加工端面の被覆層としては、エラストマーとしてシリコーンゴム又は熱硬化性樹脂組成物としてエポキシ樹脂組成物を用いることが好ましく、これにより加工端面からの炭素繊維の粉落ちを有効に防ぐことができる。

また、樹脂シートの代用としてこの端面処理に使用するシリコーンゴム又はエポキシ樹脂組成物を積層板表面にもコーティングしてパーティクル発生を抑えることも可能である。シリコーンゴムは、様々な種類があるが中でも最も適しているのが液状シリコーンゴムである。

シリコーンゴムの粘度は、処理する加工面によっても異なるが、非流動性から低粘度流動性タイプまで幅広く使用できる。非流動性や高粘度タイプは、繊維への染み込みが低粘度タイプに比べて遅いが、端面処理における液ダレが無いためコーティングしやすい。また、低粘度流動性タイプは、繊維への染み込みが早く薄くコーティングするのに適している。これらは搬送用治具の製造条件等により適宜選択して使用することができる。

また、エポキシ樹脂に用いる硬化剤として変性脂肪族ポリアミンを、エポキシ樹脂と硬化剤の合計１００質量部のうち２０〜４０質量部とすることで室温下で硬化させることが可能となり、熱硬化による発泡を有効に抑えることができるため、端面をきれいに仕上げることができる。塗布時のハンドリング性は、粘度を適量の溶剤の添加量で調整すればよい。

なお、エポキシ樹脂組成物の方がシリコーシゴムに比べて、硬化後の接着強度は強いが、硬度が高いため、搬送用治具として使用する際にクラック発生の危険性や欠ける恐れがあるため、加工端面の処理はシリコーンゴムのほうが好ましい。

この加工端面における、熱硬化性樹脂組成物又はエラストマーの層の厚さは１〜２０μｍであることが好ましく、３〜１５μｍであることがより好ましい。

そして、この樹脂組成物を用いて形成される樹脂シート５ａ，６ａは、その厚さが、１〜５０μｍであることが好ましい。厚さが１μｍ未満では成形時や使用時の樹脂層の安定性が劣る場合があり、５０μｍを超えると成形時にボイドが残りやすくなってしまう。

なお、被覆層５を形成する樹脂シート５ａの１６０℃における溶融粘度は１００〜３００Ｐａ・ｓであることが好ましく、１８０〜２２０Ｐａ・ｓであることが特に好ましい。この溶融粘度が３００Ｐａ・ｓを超えるとボイドが発生し成形品の表面厚が不均一となる場合があり、１００Ｐａ・ｓ未満では表面樹脂層が薄くなって保護しきれない可能性がある。なお、この溶融粘度は、フローテスター（例えば、島津製作所株式会社製、商品名：ＣＦＴ−５００等）や回転式溶融粘度計（例えば、Ｒｈｅｎｏｍｅｔｒｉｃ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製）により測定して求めればよい。

これら被覆層５の下層に設けられる樹脂被膜６の厚さは、被覆層５が脱落したときに視認できればよいため、特に限定されないが、均一に被膜を形成でき、余計なコストをかけないようにするために１〜２０μｍであることが好ましく、３〜１５μｍであることがより好ましい。

（第２の実施形態）
図４は、本発明の第２の実施形態に係る搬送用治具の断面図である。この図は第１の実施形態における図２で示した断面図に対応するものである。

すなわち、本実施形態の搬送用治具１１は、積層板４の表面及び加工端面に、樹脂組成物又はエラストマーからなる被覆層１５が形成されており、その下層としては積層板４が該当し、この積層板４と被覆層１５とは光学的性質が異なるものとなっている。ここで、この光学的性質を異なるようにするために、被覆層１５は、それを形成するための樹脂組成物又はエラストマー中に色剤、蛍光剤、蓄光剤が含有されてなるものである。

ここで、この実施形態において用いる樹脂組成物及びエラストマーは、第１の実施形態で説明した、被覆層を形成するのに用いる樹脂組成物又はエラストマーに、色剤、蛍光剤又は蓄光剤を配合してなるものである。このような構成としたときには、最外層の被覆層１５にこれらの色剤、蛍光剤又は蓄光剤が含まれることとなるため、搬送対象物の汚染を防止するために無機充填材からなる顔料等の汚染の原因となる材料は用いないようにしなければならない。

この実施形態では、被覆層１５の一部が脱落した場合に、積層板４が露出することとなるため、被覆層１５が色剤を含有している場合には脱落した部分のみ積層板の地の色が目立ち、蛍光剤を含有している場合には、蛍光が生じない部分が生じ、蓄光剤を含有している場合には、リン光が生じない部分が生じるため、迅速に脱落の有無を感知することができる。

以下、本発明の搬送用治具について、実施例及び比較例に基づいて説明する。

（参考例１）
炭素繊維プリプレグＡの作製
炭素繊維織布（東邦テナックス製、商品名：Ｗ１１０３、一枚当たりの質量は１２５ｇ／ｍ^２）にエポキシ樹脂組成物（京セラケミカル製、商品名：ＴＥＹ９７５０Ｓ）を含浸、乾燥し一枚当たり樹脂分４０質量％の炭素繊維プリプレグＡを作製した。

（参考例２）
炭素繊維プリプレグＢ
一方向炭素繊維プリプレグである市販のＵＤシート（三菱レイヨン株式会社製、商品名：ＣＳテープ；厚さ１５０μｍ）を炭素繊維プリプレグＢとした。

（参考例３）
樹脂組成物Ｃの作製
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（旭電化株式会社製、商品名：アデカレジンＥＰ４１００） ７３質量部、変性脂肪族ポリアミン（ソマール株式会社製、商品名：Ｈ−３０） ３０質量部、べんがら（酸化鉄粉末） １．５質量部添加し、ニーダーで混練後、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）とメチルセロソルブアセテート（ＭＣＡ）の混合溶剤で希釈し、樹脂組成物Ｃを作製した。

（参考例４）
樹脂組成物Ｄの作製
べんがらの代わりに蛍光増白剤として２，５−ビス［５−ｔ−ブチルベンゾオキサゾリル（２）］チオフェン（長瀬産業株式会社製）を１質量部使用した他は、参考例３と同様にして樹脂組成物Ｄを作製した。

（参考例５）
樹脂組成物Ｅの作製
べんがらの代わりに平均粒径 ５μｍのアルミン酸ストロンチウム粉末 １質量部を使用した以外は、参考例３と同様にして樹脂組成物Ｅを作製した。

（参考例６）
液状シリコーンゴムＦ
１液型シリコーン接着剤（ＭＯＭＥＮＴＩＶＥ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｎｃｅ ｍａｔｅｒｉａｌｓ社製、商品名：ＴＳＥ３８７）を液状シリコーンゴムＦとした。

（参考例７）
樹脂組成物Ｇの作製
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（旭電化株式会社製、商品名：アデカレジンＥＰ４１００） ７３質量部、変性脂肪族ポリアミン（ソマール株式会社製、商品名：Ｈ−３０） ３０質量部、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴム（日本ゼオン株式会社製、商品名：ニポール１０７２） ５０質量部を添加しニーダーで混練後、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）とメチルセロソルブアセテート（ＭＣＡ）の混合溶剤で希釈し、樹脂組成物Ｇを作製した。

（実施例１）
参考例１で作製した炭素繊維プリプレグＡを５５０ｍｍ×５５０ｍｍに切断したものを６枚重ね合わせ、１ＭＰａの圧力をかけながら、成形温度の１６０℃まで昇温して、これを６０分間保持し、加熱、加圧成形した。その後、３０分かけて冷却し、積層板を得た。

このようにして得られた厚さ０．８ｍｍの積層板を図１の形状に、切断、打ち抜き加工を施し、さらに積層板の表面及び加工端面を樹脂組成物Ｃで５μｍの厚さにコーティングし、さらにその外側に市販の液状シリコーンゴムＦを１０μｍの厚さにコーティングして、搬送用治具を製造した。

（実施例２〜５）
表１の構成で、実施例１と同様の製造工程により搬送用治具を製造した。すなわち、実施例２では樹脂被膜として樹脂組成物Ｂを、実施例３では樹脂被膜として樹脂組成物Ｃを、実施例４では被覆層として樹脂組成物Ｇを、実施例５では積層板として炭素繊維プリプレグＢを８枚重ね合わせて成形したものを、それぞれ実施例１の構成と代えて搬送用治具を製造したものである。

（比較例１）
樹脂被膜及び被覆層を形成せずに、実施例１と同様の製造工程により炭素繊維プリプレグＡの積層板のみからなる搬送用治具を作製した。その構成は表２に示した。

（比較例２）
樹脂被膜を形成せずに、積層板の表面及び加工端面に被覆層のみを形成し、その他は実施例１と同様の製造工程により、搬送用治具を作製した。その構成は表２に示した。

（試験例）
実施例１〜５及び比較例１〜２で得られた搬送用治具について、反り、表面外観、端部のパーティクルの有無及び端面観察評価についてそれぞれ試験を行い、その結果を併せて表１及び表２に示した。

＊１ 反り：平板状に置いた状態で最大浮き上がりを測定した。
＊２ 表面外観：搬送用治具の表面及び端面の状態を観察し、次の基準により評価した。
○…表面及び端面が樹脂に覆われている、△…表面及び端面に繊維が少々露出している、×…表面及び端面に繊維が多数露出している
＊３ 端面のパーティクル：コーティング処理後の端面を黒い布で擦った際の布表面の状態を次の基準により評価した。
○…パーティクルがつかない、△…パーティクルが少量つく、×…パーティクルが多量につく
＊４ 端面観察：加工端面の被覆層に一部欠けを発生させた製品を外観目視又は紫外線照射時の蛍光により欠けの有無を容易に判別できるか否かにより評価した。
○…欠けの有無を判別できた、×…欠けの有無を判別できない

本発明の搬送用治具の一例を示した平面図である。 図１に記載した搬送用治具のＡ−Ａ断面図である。 本発明の搬送用治具の積層構造を示した概略図である。 本発明の他の実施形態の搬送用治具を示した断面図である。

符号の説明

１…搬送用治具、２…ハンド、３…固定部、４…積層板、４ａ…プリプレグ、５…被覆層、６…樹脂被膜、５ａ，６ａ…樹脂シート

Claims (10)

1. 複数枚の繊維強化プリプレグシートを積層した積層板を加工してなる搬送用治具であって、
   前記積層板の表面及び／又は加工端面に、繊維基材や無機充填材を実質的に含まない樹脂組成物又はエラストマーからなる被覆層が形成され、色剤、蛍光剤又は蓄光剤の有無に基づいて前記被覆層とその下層との光学的性質を異なるものとしたことを特徴とする搬送用治具。
2. 前記被覆層が前記積層板の表面及び／又は加工端面に樹脂被膜を介して形成されており、前記樹脂被膜が、色剤、蛍光剤又は蓄光剤を含有することを特徴とする請求項１記載の搬送用治具。
3. 前記被覆層が前記積層板に直接形成されており、かつ、色剤、蛍光剤又は蓄光剤を含有することを特徴とする請求項１記載の搬送用治具。
4. 前記搬送用治具が、前記積層板の表面に樹脂シートを貼り合わせて一体化することで、前記積層板の表面を樹脂組成物で被覆したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の搬送用治具。
5. 前記被覆層を形成する樹脂組成物が、熱硬化性樹脂とエラストマーとを含有してなる熱硬化性樹脂組成物であって、前記エラストマーを樹脂組成物中に２０〜８０質量％含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の搬送用治具。
6. 前記熱硬化性樹脂組成物が、（Ａ）エポキシ樹脂と、（Ｂ）硬化剤と、（Ｃ）エラストマーと、を必須成分とし、前記（Ｃ）エラストマーが合成ゴム、ゴム変成高分子化合物及び高分子エポキシ樹脂から選ばれる少なくとも１種からなることを特徴とする請求項５記載の搬送用治具。
7. 前記樹脂シートの１６０℃における溶融粘度が、１００〜３００Ｐａ・ｓであることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項記載の搬送用治具。
8. 前記加工端面がエラストマーで被覆されたものであって、該エラストマーが液状シリコーンゴムであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の搬送用治具。
9. 前記繊維強化プリプレグシートに使用される繊維が炭素繊維であり、樹脂が熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項記載の搬送用治具。
10. 前記繊維強化プリプレグシートが、多数の炭素繊維を一方向に配向させ、炭素繊維間に樹脂組成物を含浸し半硬化させた炭素繊維プリプレグシートであることを特徴とする請求項９記載の搬送用治具。

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