JP2008300777A - 基板の処理方法、基板の処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布現像処理装置1において、フォトリソグラフィー処理を行う際にウェハが順に搬送される処理ユニットの組み合わせを限定して、ウェハの搬送順路を限定する。ウェハの搬送順路は、線幅補正を行う露光後ベークユニットの台数と同数に限定され、当該各搬送順路毎に、使用される露光後ベークユニットが異なるようにする。ウェハの搬送順路毎に、露光後ベークユニットの加熱温度を補正して、線幅を制御する。
【選択図】図5
Description
90〜93 露光後ベークユニット
170 制御部
R1〜R4 搬送順路
W ウェハ
Claims (9)
- 異なる処理を行う複数種類の処理ユニットをそれぞれ複数台ずつ有し、種類の異なる処理ユニットに所定の順で基板を搬送して基板に複数の処理からなる一連の処理を施す基板の処理装置を用いた、基板の処理方法であって、
前記一連の処理を行う際に基板が順に搬送される前記種類の異なる処理ユニット同士の組み合わせを限定して、基板の搬送順路を限定し、
当該基板の搬送順路毎に、前記複数種類の処理ユニットのうちの特定種類の処理ユニットの処理条件を補正して、前記一連の処理後の基板の処理状態を制御することを特徴とする、基板の処理方法。 - 前記基板の搬送順路は、前記特定種類の処理ユニットの使用台数と同数に限定され、当該各搬送順路毎に、使用される前記特定種類の処理ユニットが異なることを特徴とする、請求項1に記載の基板の処理方法。
- 前記特定種類の処理ユニット以外の他の処理ユニットの使用台数は、前記特定種類の処理ユニットの使用台数の約数に設定されることを特徴とする、請求項2に記載の基板の処理方法。
- 前記一連の処理は、基板のフォトリソグラフィー処理であり、
前記特定種類の処理ユニットは、フォトリソグラフィー処理においてレジスト塗布後の加熱処理を行う熱処理ユニット、露光処理後で現像処理前に行われる加熱処理を行う熱処理ユニット又は現像処理ユニットの少なくともいずれかであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の基板の処理方法。 - 異なる処理を行う複数種類の処理ユニットをそれぞれ複数台ずつ有し、種類の異なる処理ユニットに所定の順で基板を搬送して基板に複数の処理からなる一連の処理を施す基板の処理装置であって、
前記一連の処理を行う際に基板が順に搬送される前記種類の異なる処理ユニット同士の組み合わせを限定して、基板の搬送順路を限定し、当該基板の搬送順路毎に、前記複数種類の処理ユニットのうちの特定種類の処理ユニットの処理条件を補正して、前記一連の処理後の基板の処理状態を制御する制御部を有することを特徴とする、基板の処理装置。 - 前記基板の搬送順路は、前記特定種類の処理ユニットの使用台数と同数に限定され、当該各搬送順路毎に、使用される前記特定種類の処理ユニットが異なることを特徴とする、請求項5に記載の基板の処理装置。
- 前記特定種類の処理ユニット以外の他の処理ユニットの使用台数は、前記特定種類の処理ユニットの使用台数の約数に設定されることを特徴とする、請求項6に記載の基板の処理装置。
- 前記一連の処理は、基板のフォトリソグラフィー処理であり、
前記特定種類の処理ユニットは、フォトリソグラフィー処理においてレジスト塗布後の加熱処理を行う熱処理ユニット、露光処理後で現像処理前に行われる加熱処理を行う熱処理ユニット又は現像処理ユニットの少なくともいずれかであることを特徴とする、請求項5〜7のいずれかに記載の基板の処理装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の基板の処理方法を基板の処理装置によって実行させるために、当該基板の処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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