JP2008297136A - 半導体製造用セラミックス部品の製造方法及び装着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品の装着方法および有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミックス部品の製造方法を提供する。
【解決手段】X線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から5nm以深の深さで検出される炭素量が5mass%以下である状態で半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法である。
【選択図】 なし
Description
焼結方法は、原料粉末に適合する公知の方法、例えば、大気または雰囲気焼成、ホットプレス焼成、HIP等より選択することができる。焼結体は、セラミックス単体のものでも、静電チャックやヒータのようなセラミックスに金属を埋設したものでもよい。
焼結体密度(相対密度)98%以上の炭化珪素、アルミナ、窒化アルミニウム、酸化イットリウム、YAG焼結体について、水と研削油を混合した研削液を用いての平面研削加工、油性スラリーを用いてのラップ加工を行って表面粗さRa1.0μm以下の表面を形成した。寸法はそれぞれ、50×50×5mmとし焼結体の表面粗さの測定はJISB0601に基づいて行った。
(A)メタノールによる超音波洗浄を10分行った後、キシレン系の芳香族炭化水素系化合物を用いた洗浄液で30分浸漬洗浄を行った。次にメタノールによる浸漬洗浄を30分行い、硝酸(2%)洗浄を1分、超純水による洗い流しを5分行い、乾燥機で乾燥させた。
(B)脂肪酸アルカノールアミド型の非イオン系界面活性剤を用い、浸漬洗浄時間を40分にした以外は(A)と同様の方法で洗浄を行った。
(C)ポリオキシエチレンアルキルエーテル型の非イオン系界面活性剤を用い、浸漬洗浄時間を20分にした以外は(A)と同様の方法で洗浄を行った。
(D)キシレン系の芳香族炭化水素系化合物および脂肪酸アルカノールアミド型の非イオン系界面活性剤を2:1で混合した洗浄剤を用い、浸漬洗浄時間を30分にした以外は(A)と同様の方法で洗浄を行った。
(E)直鎖アルキルベンゼン系の陰イオン系界面活性剤を用い、浸漬洗浄時間を30分にした以外は(A)と同様の方法で洗浄を行った。
さらに、Siウエハを置いた真空チャンバー内に入れ、Siウエハへの汚染度を測定した。即ち、試料を、真空チャンバー内のセラミックス製ヒータの上に置き、試料の横にはSiウエハを置いた。この状態で、試料とSiウエハを、真空度1×10-1Paで200℃、6hr加熱し、処理したSiウエハ表面をESCAで分析し、吸着有機物由来の炭素量を測定した。減圧状態の半導体製造工程を模擬したものである。なお、Siウエハ表面に付着した炭素量についても表面から5nm以深で評価し、比較として未処理のベアウエハの測定も行った。炭素量の測定は、試料およびウエハについて、それぞれ10ヶ所測定し、平均を算出した。ウエハに付着した有機物の評価はベアウエハの炭素量を1としたときの相対値で、1以上3未満を○、3以上10未満を△、10以上を×とした。
Claims (5)
- X線光電子分光法による表面から5nm以深で検出される炭素量が5mass%以下である状態で半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法。
- 焼結体密度98%以上のセラミックス焼結体からなり、半導体製造装置の処理室内で曝露される主面の表面粗さがRa1μm以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法。
- 焼結体密度98%以上のセラミックス焼結体からなり、少なくとも半導体製造装置の処理室内で暴露される主面の表面粗さがRa1μm以下である半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の製造方法であって、
表面付着物を洗浄する洗浄工程と、
400〜700℃に加熱処理する工程と、
を含む工程により、X線光電子分光法による表面から5nm以深での深さで検出される炭素量を5mass%以下とすることを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の製造方法。 - 焼結体密度98%以上のセラミックス焼結体からなり、少なくとも半導体製造装置の処理室内で暴露される主面の表面粗さがRa1μm以下である半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法であって、
表面付着物を洗浄する洗浄工程と、
400〜700℃に加熱処理する工程と、
真空中または不活性ガスを充填した密閉容器内で保存する工程と、
を含む工程により、X線光電子分光法による表面から5nm以深での深さで検出される炭素量を5mass%以下の状態を保持した後、半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法。 - 焼結体密度98%以上のセラミックス焼結体からなり、少なくとも半導体製造装置の処理室内で暴露される主面の表面粗さがRa1μm以下である半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法であって、
表面付着物を洗浄する洗浄工程と、
400〜700℃に加熱処理する工程と、
真空中または不活性ガスを充填した密閉容器内で保存する工程と、
クラス1000以上の清浄度を有するクリーンルームで開封される工程と、
含む工程により、X線光電子分光法による表面から5nm以深での深さで検出される炭素量を5mass%以下の状態を保持した後、半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法。
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