JP2008292383A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 X線検査装置におけるX軸方向移動ステージやY軸方向移動ステージが移動する際に変形が生じることを未然に防止して、スムーズに移動させることができる機構を、ロープによる簡単な構造で提供する。
【解決手段】 X線発生器AとX線検出器Bとが対向した状態で垂直に配置され、これらの間に検査すべきサンプルCを載置するテーブル1が水平面上で直角に交わるX軸並びにY軸方向に移動可能なX−Y移動ステージ上に組み付けられているX線検査装置において、前記X−Y移動ステージのX軸方向移動ステージまたはY軸方向移動ステージ若しくはその両方が、移動方向と直交する左右側部で少なくとも1本の有端状ロープ11によってステージ移動時に同期的に移動方向に引っ張られるように形成されている構造。
【選択図】図1
Description
そこで本発明は、X線検査装置におけるX軸方向移動ステージやY軸方向移動ステージが移動する際に変形が生じることを未然に防止して、スムーズに移動させることができる機構を、ロープによる簡単な構造で提供することを目的とする。
ロープ11の一端部分(図中右側部分)は固定ピン12aから右側枠8に沿ってY軸方向移動ステージの移動方向に延設され、ロープ他端部(図中左側部分)は固定ピン12bから右側のロープ端部の延長方向とは反対方向に延長されて固定枠15cに設けた反転滑車13により反転されている。ロープ11の中間部は、遠隔点の固定枠部分に取り付けられた2つの遊滑車14a、14bにより緊張した状態で保持され、これによりロープ11は平面視コの字状に配置されている。
即ち、固定ピン12aから延びるロープ11は、右側のY軸3を支持する固定枠15aに取り付けられた遊滑車14aで左側のY軸3の方向に向かって直角に曲げられ、更にその延長部が固定枠15bに取り付けられた遊滑車14bで反転滑車13の方向に向かって直角に曲げられており、反転滑車13で反転されてその端部が固定ピン12bに止着されている。
しかしながらこの実施例では、ロープ11の斜めに延長された部分が、Y軸方向移動ステージを移動させた時にテーブル1の開口部1cの領域内に入りX線透過の弊害になるおそれがある。従って、図5に示すように、左右のY軸3、3の中間点に別の遊滑車17を設けてロープ11の一部がテーブル1の開口部1cに入ることを避けるように形成してもよい。尚、この場合は、ロープ11が左右のY軸3、3の中間点にある遊滑車17部分で緩やかに曲げられているので、この遊滑車17を省略して彎曲した固定ガイド面とすることもできる。
ロープ11の一端部分(図中上側部分)は固定ピン20aからテーブル1の右側面1aに沿って延長されて、スライド部材4に取り付けられた遊滑車21aで直角に曲げられている。更に、その延長部が他方のスライド部材4に取り付けられた遊滑車21bでテーブル1の方向に直角に折り返されて、右側枠8に固定されたスライド部材4に取り付けられた反転滑車22まで延長され、この反転滑車22で反転されてその端部が固定ピン20bに止着されている。
従ってこの実施例の場合も、先の実施例と同じように、テーブル1がモーターM1の駆動によってX軸2、2に沿って移動すると、左右側面1a、1bに取り付けた固定ピン20a、20bも同時に同方向に移動する。この移動に伴ってこれら固定ピン20a、20bに連結したロープ11によって固定ピン20a、20bの2点がバランスよく同期的に移動方向に引っ張られることになる。これにより、テーブル即ち、X軸方向移動ステージの変形が減ぜられると共に、X軸2、2に沿ってスムーズに移動させることが可能となる。
B: X線検出器
S: X−Y移動ステージ
1: テーブル
2: X軸
3: Y軸
11: ロープ
13、16、22: 反転滑車
14a、14b、17、18、21a、21b: 遊滑車
Claims (2)
- X線発生器とX線検出器とが対向した状態で垂直に配置され、これらの間に検査すべきサンプルを載置するテーブルが水平面上で直角に交わるX軸並びにY軸方向に移動可能なX−Y移動ステージ上に組み付けられているX線検査装置において、前記X−Y移動ステージのX軸方向移動ステージまたはY軸方向移動ステージ若しくはその両方が、移動方向と直交する左右側部で少なくとも1本の有端状ロープによってステージ移動時に同期的に移動方向に引っ張られるように形成されているX線検査装置。
- ロープの両端部分がX軸方向移動ステージ又はY軸方向移動ステージの左右側部に沿って配置され、該ロープの一端が前記移動ステージの一側部に止着され、ロープの他端が前記移動ステージの他側部に止着され、何れか一方のロープ端部は他方のロープ端部の延長方向とは反対方向に延長されて反転滑車により反転されており、ロープの中間部は遠隔点の固定枠部分に取り付けられた遊滑車により緊張した状態で保持されている請求項1に記載のX線検査装置。
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JP2007139956A JP4840254B2 (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | X線検査装置 |
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JP4840254B2 JP4840254B2 (ja) | 2011-12-21 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9606072B2 (en) | 2015-06-09 | 2017-03-28 | Shimadzu Corporation | Radiation inspecting apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61220630A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | 株式会社東芝 | X線装置 |
JPH01262451A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Tokyo Electron Ltd | X線検査装置 |
JPH01317998A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-22 | Toshiba Corp | 保持装置 |
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---|---|
JP4840254B2 (ja) | 2011-12-21 |
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