CN104053986A - X射线检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明包括：一对输送机框架(71、72)，以沿着基板输送方向的中心线(120a)为轴的对称形设置而成对，且沿着基板宽度方向夹持印刷基板(W)；基板输送机构，沿着X轴方向输送支撑于各所述输送机框架(71、72)的印刷基板(W)；以及间隔调整机构(90)，以使两输送机框架(71、72)分别沿着Y轴方向彼此靠近或离开的方式驱动两输送机框架(71、72)，由此，调整设置于各输送机框架(71、72)的基板输送机构能够输送印刷基板(W)的宽度尺寸。

Description

X射线检查装置
技术领域
本发明涉及一种X射线检查装置。
背景技术
关于对安装有多个电子元件的印刷基板进行检查，如专利文献1、2所公开，利用X射线的X射线检查装置已为公知。在这种X射线检查装置中，为了防止受到X射线辐射，将检查室划分到实施了X射线屏蔽处理的外壳内，将X射线源和X射线相机设置在该检查室内，利用这些装置对作为检查对象的印刷基板照射X射线，拍摄X射线图像。为了将印刷基板送入检查室内或从检查室内送出，在外壳内设置有基板台，该基板台从基板输送机接纳印刷基板或将印刷基板交给基板输送机。
参照图15，专利文献1所公开的基板台60P设置有输送机单元70P，该输送机单元70P在与印刷基板W的送出送入方向(以下称为“X轴方向”)正交的基板宽度方向(以下称为“Y轴方向”)夹住印刷基板W。由于作为检查对象的印刷基板W的Y轴方向尺寸根据作为检查对象的印刷基板W不同而各式各样，因此，在专利文献1的基板台60P中设置有调整输送机单元70P的对置间隔的宽度调整机构。宽度调整机构通过由固定框71P和可动框72P构成而被具体化，其中该固定框71P将输送机单元70P固定于基板台60P的基座61P，该可动框72P相对于该固定框71P，能够沿着Y轴方向移位。于是，在将印刷基板W夹在固定框71P与可动框72P之间时，可动框72P沿着Y轴方向移位从而调整Y轴方向的尺寸。
专利文献1：日本专利公开公报特开2003-315288号
专利文献2：日本专利公开公报特开2002-189002号
发明内容
但是，近年来，随着印刷基板的高集成化的发展，以下的要求逐渐高涨，该要求是指即使在利用X射线对印刷基板进行透射检查时，除了沿着印刷基板的法线方向照射X射线而进行的透射拍摄(在该说明书中称为“直视拍摄”)之外，还并用使X射线相对于印刷基板的平面产生仰角，并从倾斜方向将X射线照射至重点检查部位而进行的透射拍摄(在该说明书中称为“斜视拍摄”)。
然而，对于像专利文献1那样，并用固定框71P和可动框72P来夹持多种印刷基板W的结构，在进行对应于直视拍摄和斜视拍摄这两者的X射线检查的情况下，用于确保使X射线通过所必需的开口的空间增大，有可能会导致装置整体的大型化。
图16是表示将省略图示的X射线源设置在上方，且将X射线相机可移动地设置在下方的X射线检查装置的剖面部分的比较图。图16(A)、图16(B)是本申请的发明所涉及的图，图16(C)、图16(D)是以往例所涉及的图。图16(C)、图16(D)例如示出以下的状态，即，采用图15所示的专利文献1的基板台60P，在X射线源与X射线相机50之间，用设置有供X射线通过的开口120的框架111P支撑着基板台60P。
对于图16(C)、图16(D)所示的方式，为了利用固定框71P来对应于斜视拍摄，如图16(C)的d2所示，需要预先确保供X射线通过的间隔d2，其结果，固定框71P被设置在始终堵住基座61P的开口的位置。因此，在无需斜视拍摄的情况下会产生固定框71P成为阻碍，制约直视拍摄可能的印刷基板W的宽度的问题。
本发明是鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种能够在并用斜视拍摄和直视拍摄的情况下，排除多余的制约的X射线检查装置。
为了解决上述问题，本发明提供的一种X射线检查装置，使用在沿着预先设定的基板输送方向输送印刷基板的输送路径上，包括：一对输送机框架，从与所述基板输送方向水平正交的基板宽度方向夹持所述印刷基板；一对基板输送机，分别设置于各输送机框架而成对，该一对基板输送机构成沿着所述基板输送方向输送支撑于所述输送机框架的印刷基板的基板输送机构；以及间隔调整机构，以使两输送机框架分别沿着所述基板宽度方向彼此靠近或离开的方式驱动两输送机框架，以便调整所述基板输送机构能够输送印刷基板的宽度尺寸。在该方式中，被一对输送机框架所夹持的印刷基板支撑于该输送机框架。支撑于各输送机框架的印刷基板由基板输送机构送入输送机框架，或从输送机框架输出。基板输送机构由分别设置于一对输送机框架的基板输送机构成。因此，基板输送机构通过变更两输送机框架的对置间隔，能够调整可输送印刷基板的间隔。而且，由于间隔调整机构能够在基板宽度方向上调整两输送机框架的对置间隔，因此，能够在各输送机框架的可移动范围内，对应于多品种的印刷基板。此处，间隔调整机构以使两输送机框架分别沿着所述基板宽度方向彼此靠近或离开的方式驱动两输送机框架。因此，当保持仅需要直视拍摄的印刷基板时，能够让宽度尺寸达到开口的整个宽度的印刷基板接受X射线检查。而且，因为是通过让两输送机框架分别移动来调整间隔，所以与将输送机框架中的一者固定而使输送机框架中的另一者为可动的情况相比，能够缩短驱动时间。
在所述X射线检查装置中，优选：所述间隔调整机构以使两输送机框架均等地靠近或离开的方式驱动两输送机框架。在该方式中，因为各输送机框架的驱动量均等，所以能够缩短驱动时间。而且，因为能够使将印刷基板在宽度方向上分成两部分的中心线与两输送机框架的靠近或离开的方向的中央位置一致，所以在设置有供X射线通过的开口的情况下，与该开口的中心对准变得容易。
优选：还包括具有供X射线通过的开口的框体，所述一对输送机框架以所述开口的沿着该基板的输送方向的中心轴为轴的对称形而配置在所述框体上。在该方式中，各输送机框架相对于框体的开口以对称形而配置，并且间隔调整机构以使两输送机框架分别沿着所述基板宽度方向均等地靠近或离开的方式驱动该两输送机框架，因此，各输送机框架在维持着以开口的沿该基板输送方向的中心线为中心的对称形的状态下，在印刷基板的宽度方向上，使开口均等地敞开。因此，由于能够使将印刷基板在宽度方向上分成两部分的中心线与开口的上述中心线一致，所以在对保持于基板台上的印刷基板进行斜视拍摄时，能够抑制支撑基板台的框架的大型化。另外，因为采用了使两输送机框架相对于框体而对称地移动的结构，所以能够使框体的开口在整个宽度范围内敞开。因此，当保持仅需要直视拍摄的印刷基板时，能够让宽度尺寸达到开口的整个宽度的印刷基板接受X射线检查。
在所述X射线检查装置中，优选：所述框体具有将所述开口划分为俯视下该开口呈四边形的四条边，各边中的至少沿着所述基板输送方向的边具有以在所述X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧扩大的方式倾斜的倾斜面。在该方式中，能够通过倾斜面使进行斜视拍摄时的X射线的路径敞开，因此，能够对宽幅的印刷基板进行斜视拍摄。
在所述X射线检查装置中，优选：所述一对输送机框架分别具有在所述基板宽度方向上相对置的对置缘，在所述对置缘上形成有以在所述X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧扩大的方式倾斜的倾斜面。在该方式中，能够通过倾斜面确保X射线通过时的有效开口直径较大，由此，能够实现对宽幅的印刷基板的斜视拍摄。
在所述X射线检查装置中，优选：所述间隔调整机构包含：双螺纹螺栓，沿着所述基板宽度方向延伸，并且一端侧与另一端侧的螺纹方向被设定成相反；第一螺帽机构，安装于所述输送机框架中的一者，并且与所述双螺纹螺栓的一端侧螺纹连接；第二螺帽机构，安装于所述输送机框架中的另一者，并且与所述双螺纹螺栓的另一端侧螺纹连接；马达，用于驱动各双螺纹螺栓；以及动力传递单元，将所述马达的动力向同一方向且以同一速度传递至各双螺纹螺栓。在该方式中，双螺纹螺栓向一个方向(例如向右)旋转，由此，与该双螺纹螺栓螺纹连接的螺帽机构将向彼此靠近的方向或离开的方向移动的力传递至对应的输送机框架，双螺纹螺栓向另一个方向(例如向左)旋转，由此，与该双螺纹螺栓螺纹连接的螺帽机构将与上述逆向地移动的力传递至对应的输送机框架。因此，能够由单一的马达同时驱动两输送机框架，从而能够实现驱动系统的简化或部件数的减少等。
在所述X射线检查装置中，优选：所述基板输送机构还包括驱动所述一对基板输送机的输送机驱动机构，所述输送机驱动机构包括马达、由马达旋转驱动的驱动轴、连结于所述驱动轴的第一输出皮带轮及第二输出皮带轮，其中，所述第一输出皮带轮及所述第二输出皮带轮绕所述驱动轴的旋转受到限制，并且以能够沿着所述驱动轴的轴方向移动的方式连结，所述第一输出皮带轮将动力传递至基板输送机中的一者，所述第二输出皮带轮将动力传递至基板输送机中的另一者。在该方式中，驱动轴通过马达旋转而旋转。该驱动轴的转矩经由第一输出皮带轮、第二输出皮带轮而被传递至各基板输送机，因此，各基板输送机通过单一的马达被同时向同一方向驱动。第一输出皮带轮、第二输出皮带轮分别在绕该驱动轴的旋转受到了限制的状态下，以能够沿着该驱动轴的轴方向移动的方式设置而成对，因此，不会妨碍由间隔调整机构使输送机框架移位，能够将动力传递至各基板输送机。
如以上的说明所述，根据本发明，由于采用了使两输送机框架沿着基板宽度方向移动的结构，所以能够使框体的开口在整个宽度的范围内敞开。因此，当保持仅需要直视拍摄的印刷基板时，能够让宽度尺寸达到开口的整个宽度的印刷基板接受X射线检查，从而产生在并用斜视拍摄和直视拍摄时能够排除没有必要的制约的显著效果。而且，因为使两输送机框架移动来调整间隔，所以与将输送机框架中的一者固定并使输送机框架中的另一者为可动的情况相比，具有能够缩短驱动时间的优点。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的X射线检查装置的外观的立体图。
图2是表示图1的X射线检查装置的构造体的立体图。
图3是表示图1的X射线检查装置所采用的X射线相机单元的概略结构的立体图。
图4是表示图1的X射线检查装置所采用的基板台等的概略结构的立体图。
图5是放大地表示图4的基板台的立体图。
图6是图4的基板台的俯视图。
图7是表示图4的基板台的夹持机构的立体图。
图8是表示图4的基板台的主要部分的剖视局部放大图。
图9是表示图4的基板台的主要部分的剖视局部放大图。
图10是表示图1的X射线检查装置的基板输送方向下游侧的剖视图。
图11是表示图1的X射线检查装置的背面侧的剖视图。
图12是表示图1的X射线检查装置的背面侧的剖视图。
图13是表示图1的X射线检查装置的控制单元的框图。
图14是表示图1的X射线检查装置的检查动作的流程图。
图15是表示以往的基板台的概略结构的剖视简图。
图16是表示本发明的作用效果的比较图，(A)是本实施方式中检查宽度小的印刷基板时的剖视简图，(B)是本实施方式中检查宽度大的印刷基板时的剖视简图，(C)是在组合了图15所示的先行例的情况下，检查宽度小的印刷基板时的剖视简图，(D)是在组合了图15所示的先行例的情况下，检查宽度大的印刷基板时的剖视简图。
图17A是有关图1的复合检查装置所采用的X射线相机单元的在近拍位置的X射线图像的倍率变化的说明图。
图17B是有关图1的复合检查装置所采用的X射线相机单元的在非近拍位置的X射线图像的倍率变化的说明图。
具体实施方式
以下，参照附图说明用于实施本发明的最佳方式。此外，在以下的说明中，基于正交坐标系对本发明的实施方式所涉及的X射线检查装置10的各部分进行说明，该正交坐标系以作为检查对象的印刷基板W的输送方向为X轴，以与该X轴水平正交的基板宽度方向为Y轴，并以上下方向为Z轴。在印刷基板W上安装有多个电子元件，且焊接有通电部部分。本实施方式所涉及的X射线检查装置10是将各电子元件的各焊接部分作为主要的重点检查部位来检查印刷基板W的合格与否的装置。
参照图1，X射线检查装置10设在基板输送机12与基板输送机14之间，该基板输送机12送入完成上游工序后的基板W，该基板输送机14送出完成X射线检查后的基板W。基板输送机12、14均由一对带式输送机12a、12b、14a、14b构成。根据所设置的设备的规格，基板输送机12、14的其中一方构成基板送入输送机，另一方构成基板送出输送机。在图示的例子中，将图1右侧的基板输送机12设为送入侧，将左侧的基板输送机14设为送出侧。
X射线检查装置10包括用铅等屏蔽的外壳11。外壳11大致为立方体。外壳11的正面11a朝向Y轴方向的一端侧。设置了X射线检查装置10的设备在外壳11内检查从基板送入输送机(基板输送机12)送入的印刷基板W，然后，将该印刷基板W从X射线检查装置10送出到基板送出输送机(基板输送机14)。在外壳11的与各基板输送机12、14相对置的壁11b、11c上分别设置省略图示的闸门机构，从通过该闸门机构而开闭的基板送出送入口11d、11e(参照图2)送出送入印刷基板W。
参照图2，在外壳11内构成了支撑X射线检查装置10所设置的各装置的构造体20。构造体20包含：基台21，构成外壳11的底部；一对门部22、23，竖立设置在基台21的上部而成对，且分别加强X轴方向的一端侧和另一端侧的内壁部分；一对框架部24、25，固定在各门部22、23的上部中央；以及梁30，架设在两框架部24、25之间。这些构造体20的各部分均组合了各种钢材或金属板构件。
基台21形成沿着Y轴方向延伸且X轴方向的中央部分呈矩形地凹陷的底部21a。后述的X射线相机单元40设置在底部21a上(参照图3)。在基台21的底部21a的两侧分别一体地设置架部21b，该架部21b沿着Y轴方向水平地延伸且一部分沿着X轴方向向中央侧突出。在各架部21b的上表面，设置分别与门部22、23相对置的Y轴轨道26、27。各Y轴轨道26、27构成后述的台驱动机构100的主要部分。台驱动机构100中包含可动框架111。后述的基板台60经由可动框架111载置于各Y轴轨道26、27，能够沿着该Y轴轨道26、27而前后来回移动。
各门部22、23形成跨越外壳11的对应的基板送出送入口11d、11e的门形，且分别内置有外壳11的对应的壁11b、11c所设置的省略图示的闸门机构。
各框架部24、25的下部焊接于对应的门部22、23的上部，并且其上表面部分别焊接于上述梁30的X轴方向两端部。而且，框架部24、25与所述门部22、23、梁30一起构建牢固的框架结构。
梁30是后面将详细叙述的承载作为X射线源的X射线照射单元160的构造体(参照图10～图12)。
接着，参照图3，X射线相机单元40包括：一对X轴导轨41、42，设置于基台21的底部21a而成对，且分别在Y轴方向上隔开间隔地沿着X轴方向延伸；X轴滑台43，在两条X轴导轨41、42上受到引导而沿着X轴方向移动；X轴滚珠丝杠机构44，设置在X轴滑台43的下部，并且沿着X轴方向驱动该X轴滑台43；一对Y轴导轨45、46，固定在X轴滑台43的上部而成对，且分别沿着Y轴方向延伸；Y轴滑台47，受到两条Y轴导轨45、46引导而沿着Y轴方向移动；Y轴滚珠丝杠机构48，设置在Y轴滑台47的下部，并且沿着Y轴方向驱动该Y轴滑台47；以及X射线相机50，设置在Y轴滑台47上。
X轴导轨41、42配设在底部21a的中央部分的稍微偏向后方处，在该位置，引导该X轴滑台43使其能够沿着X轴方向来回移动。
X轴滑台43形成沿着Y轴方向较长地延伸的俯视长方形。
X轴滚珠丝杠机构44包括：X轴马达44a，安装于底部21a；滚珠丝杠44b，由该X轴马达44a旋转驱动；以及螺帽单元44c，旋合于滚珠丝杠44b且固定在X轴滑台43的底面，螺帽单元44c因滚珠丝杠44b的旋转而沿着X轴方向移动，由此，能够使X轴滑台43沿着X轴方向来回移动。
Y轴导轨45、46沿着X轴滑台43的宽度方向(X轴方向)隔开间隔地设置。Y轴导轨45、46沿着Y轴方向，在X轴滑台43的大致全长的范围内延伸。两条Y轴导轨45、46引导Y轴滑台47使其能够沿着Y轴方向而向前后来回移动。
Y轴滑台47是被设定成俯视时，X轴方向的长度稍长的长方形的构件。Y轴滑台47在上表面承载X射线相机50。因此，X射线相机50通过X轴滑台43和Y轴滑台47的移动，能够在底部21a上向前后左右(XY轴方向)自如移动。另外，因为载置在Y轴滑台47上，所以X射线相机50比基台21的架部21b稍微向上方突出。
Y轴滚珠丝杠机构48包括：Y轴马达48a，安装在X轴滑台43的后端部；滚珠丝杠48b，由该Y轴马达48a旋转驱动；以及螺帽单元48c，螺纹连接于滚珠丝杠48b且固定在Y轴滑台47的底面，螺帽单元48c因滚珠丝杠48b的旋转而沿着Y轴方向移动，由此，能够使Y轴滑台47沿着Y轴方向来回移动。
接着，参照图4～图9，基板台60包括：构成主体部分的框体61；输送机单元70，在框体61上输送、承载印刷基板W；输送机驱动机构80，驱动设置于输送机单元70的基板输送机73、74；以及间隔调整机构90，变更输送机单元70的对置间隔。另外，在本实施方式所涉及的X射线检查装置10中，设置有用于沿着X轴方向与Y轴方向驱动基板台60的台驱动机构100(参照图4、图10及图11)。
框体61与台驱动机构100连结，且如下所述，以能够沿着XY轴方向移动的方式设置。如图所示，框体61形成四边形的框状，该四边形的框状一体地包括沿着X轴方向延伸的一对X轴片62、63、以及设置在该X轴片62、63的两端部分且沿着Y轴方向延伸的一对Y轴片64、65，在该框体61的中央部分，划分出了供X射线RL通过的俯视四边形的开口66(参照图6)。开口66形成具有沿着X轴方向(基板输送方向)的边62a、63a、和沿着Y轴方向(基板宽度方向)的边64a、65a的俯视四边形，X射线通过该开口66。
参照图8及图9，在本实施方式中，构成开口66的各X轴片62、63均在下缘形成有倾斜面62b、63b。这些倾斜面62b、63b以下侧扩大的方式，对开口66的边62a、63a的一部分进行倒角而形成。通过该倾斜面62b，在进行斜视拍摄时，使以指定的仰角θ(与印刷基板W交叉的角度：在图8所示的例子中，该角度为45°)通过的X射线RL的有效开口宽度扩大。
参照图5及图6，在框体61的Y轴片64、65的上表面分别固定有Y轴轨道67、68。输送机单元70搭载在两条Y轴轨道67、68上，输送机单元70能够在Y轴轨道67、68上沿着Y轴方向移动。在本实施方式中，Y轴轨道构成后述的间隔调整机构90的一部分，且连结于框体61，分别使输送机单元70的两输送机框架71、72沿着Y轴方向移动。
输送机单元70包括：沿着Y轴方向前后设置的上述一对输送机框架71、72；以及设置于各输送机框架71、72的基板输送机73、74。
各输送机框架71、72相对于通过开口66的中心的X轴方向的中心线120a(参照图16(A)、图16(B))呈大致对称形地设置，并通过彼此沿着Y轴方向移动，能够将印刷基板W夹持在两者之间(参照图6)。
参照图5～图8，各输送机框架71、72包括：X轴框架71a、72a，分别沿着X轴方向延伸，并且端部从框体61突出；按压板71b、72b，固定在X轴框架71a、72a的上表面，并且侧部向开口66侧突出；可动构件71c、72c，与按压板71b、72b协作地夹持印刷基板W；一对气缸71d、72d，设置在可动构件71c、72c的两端；滑动构件71e、72e，设置在各气缸71d、72d上，并且连结于该气缸71d、72d的气缸主体；以及导轨71f、72f，以使滑动构件71e、72e相对于对应的X轴框架71a、72a上下自如升降的方式，连接滑动构件71e、72e。
X轴框架71a、72a是方形状的金属构件，构成输送机框架71、72的主体结构。
按压板71b、72b的宽度方向(Y轴方向)的一端侧固定于X轴框架71a、72a的上表面，宽度方向(Y轴方向)的另一端侧向框体61的中央侧突出。按压板71b、72b的全长(X轴方向长度)被设定得比X轴框架71a、72a的全长(X轴方向长度)稍短，该按压板71b、72b分别对准中央位置。
可动构件71c、72c以与对应的X轴框架71a、72a的内表面侧接触的方式设置在按压板71b、72b的正下方。印刷基板W以宽度方向两端部分夹在该可动构件71c、72c与按压板71b、72b之间的方式被输送，被输送的印刷基板W在宽度方向上的两端部分通过可动构件71c、72c的升降动作而在该可动构件71c、72c与按压板71b、72b之间被夹压或被解除夹压。此外，如图8及图9所示，可动构件71c、72c分别具有在Y轴方向上相对置的对置缘。在各对置缘上形成有倾斜面71i、72i，该倾斜面71i、72i以在X射线照射单元160的X射线照射方向上，使下游侧(图示的例子中为下侧)扩大的方式倾斜。该倾斜面71i、72i使X射线通过开口66时的有效开口直径扩大。
气缸71d、72d的主体部分以气缸杆朝向上方的姿势而固定于各X轴框架71a、72a。另外，气缸71d、72d的气缸杆分别经由连结构件71g、72g而与可动构件71c、72c连结。因此，如果气缸71d、72d工作，则该气缸71d、72d能够通过连结构件71g、72g使可动构件71c、72c上下升降。
滑动构件71e、72e与气缸71d、72d的气缸杆一体地设置，通过由导轨71f、72f引导，经由气缸71d、72d以使可动构件71c、72c自如地上下升降的方式支撑该可动构件71c、72c。
导轨71f、72f在X轴方向上设置于气缸71d、72d的外侧，且被固定在X轴框架71a、72a的内表面侧。
上述按压板71b、72b、可动构件71c、72c、气缸71d、72d等在图示的实施方式中，构成用于夹持印刷基板W的夹持机构。
而且，在图示的实施方式中，为了对受到夹持的印刷基板W进行定位/固定，在输送机框架中的一者(在图示的例子中，是在Y轴方向上设置于后侧的输送机框架)72上，设置构成侧方夹持件的气缸75和按压构件76。
参照图7，气缸75通过省略图示的撑条而一体地安装于后侧的输送机框架72的X轴框架72a。按压构件76嵌入形成在X轴框架72a的X轴方向中央部分的切口，以能够沿着Y轴方向进退的方式设置，且在Y轴方向上由气缸75驱动。参照图9，按压构件76是厚度薄的板状构件，在Y轴方向上，面对被输送到按压板72b与可动构件72c之间的印刷基板W的侧部。因此，如果气缸75工作，在图9中气缸杆向前方移动，则将印刷基板W向前方的输送机框架71侧按压，由此，能够使印刷基板W的侧部沿着输送机框架71侧，以矫正了位置偏移的状态在宽度方向上固定。因此，以指定负荷在宽度方向上按压印刷基板W，在该状态下，使上述气缸71d、72d工作，将印刷基板W夹在按压板71b、72b与可动构件71c、72c之间，由此，能够在矫正了左右的位置偏移且精确定位后的状态下，固定印刷基板W。
基板输送机73、74是安装于气缸71d、72d的主体部分及滑动构件71e、72e的对置面，与输送机驱动机构80一起构成基板输送机构的单元。该基板输送机73、74由沿着各输送机框架71、72彼此对置的面配设的多个辊74a和卷绕于各辊74a的传送带74b构成。传送带74b俯视看，面对按压板71b、72b的正下方，能够与被输送到按压板71b、72b与可动构件71c、72c之间的印刷基板W的宽度方向两端部分接触而输送印刷基板W。在图5中，前侧的基板输送机73的辊及传送带被遮挡，但该辊及传送带被设定为与后侧的基板输送机74的辊74a、传送带74b相同的规格。
参照图5，输送机驱动机构80是与基板输送机73、74一起构成基板输送机构的单元。该输送机驱动机构80包括：马达81，安装在框体61的Y轴方向前侧的X轴方向的一端部分，并且输出围绕Y轴的动力；驱动轴82，沿着Y轴方向设置在两基板输送机73、74之间，并且通过马达81而被绕Y轴旋转驱动；以及输出皮带轮83、84(参照图6)，分别连结于驱动轴82的Y轴方向前侧和后侧。连结于驱动轴82的Y轴方向前侧的输出皮带轮83将动力输出至基板输送机73的传送带。连结于驱动轴82的Y轴方向后侧的输出皮带轮84将动力输出至基板输送机74的传送带74b。被马达81驱动的驱动轴82的剖面形成多边形，各输出皮带轮83、84在与驱动轴82之间的相对旋转受到了限制的状态下，以能够沿着驱动轴82的轴方向(即Y轴方向)相对移动的方式连结而成对。一侧(Y轴方向前侧)的输出皮带轮83构成将动力传递至一侧(Y轴方向前侧)的基板输送机73的第一输出皮带轮。另一侧(Y轴方向后侧)的输出皮带轮84构成将动力传递至另一侧(Y轴方向后侧)的基板输送机74的第二输出皮带轮。在图示的例子中，驱动轴82以流畅自如旋转的方式，受到框体61的Y轴片65上所安装的轴承85支撑。
间隔调整机构90包括：上述的一对Y轴轨道67、68；一对双螺纹螺栓91、92，配设在两输送机框架71、72的X轴方向两侧，并且分别沿着Y轴方向延伸；动力传递单元93，设置在后侧的输送机框架72的背面，并且将同一方向的旋转力传递至两个双螺纹螺栓91、92；以及马达94，安装在后侧的输送机框架72的X轴方向的另一端侧(基板输送方向上游侧)，并且对动力传递单元93输出绕Y轴的旋转力。双螺纹螺栓91、92以Y轴方向中央部为边界而对称地形成有右螺纹和左螺纹，且分别与安装在输送机框架71、72上的螺帽机构95、96螺纹连接。安装于一侧(Y轴方向的前侧)的X轴片62的一对螺帽机构95构成分别与对应的双螺纹螺栓91、92的一端侧(Y轴方向的前侧)螺纹连接的第一螺帽机构。另外，安装于另一侧(Y轴方向的后侧)的输送机框架71、72的一对螺帽机构96构成分别与对应的双螺纹螺栓91、92的另一端侧(Y轴方向的后侧)螺纹连接的第二螺帽机构。而且，马达94的输出通过动力传递单元93传递至一对双螺纹螺栓91、92，由此，一对双螺纹螺栓91、92以同一速度向同一方向旋转。双螺纹螺栓91、92通过向一个方向(例如顺时针方向)旋转，与螺帽机构95、96协作，如图6的虚拟线所示，向彼此靠近的方向拉近两输送机框架71、72。另一方面，双螺纹螺栓91、92通过向另一个方向(例如逆时针方向)旋转，如图6的实线所示，向彼此离开的方向拉开两输送机框架71、72。通过采用所述机构，在本实施方式中，能够以使两输送机框架71、72分别沿着Y轴方向彼此均等地靠近或离开的方式驱动该两输送机框架71、72，从而能够调整设置于各输送机框架71、72的构成基板输送机构的基板输送机73、74能够输送印刷基板W的宽度尺寸。
接着，参照图4及图10，台驱动机构100包括：X轴驱动单元110，沿着X轴方向驱动基板台60；以及Y轴驱动单元140(参照图4)，经由该X轴驱动单元110沿着Y轴方向驱动基板台60。
X轴驱动单元110包括：可动框架111，设置在基板台60的框体61的下表面；一对X轴轨道112、113，沿着Y轴方向隔开间隔地设置在可动框架111上，并且沿着X轴方向引导基板台60；以及X轴滚珠丝杠机构114，并设于后方的X轴轨道113的后侧。可动框架111与框体61同样是中央开口的框状构造体。X轴滚珠丝杠机构114包括：滚珠丝杠114a，沿着X轴方向延伸；螺帽部(未图示)，与该滚珠丝杠114a螺纹连接；以及X轴马达114b，绕X轴驱动滚珠丝杠114a。螺帽部固定于基板台60的框体61。螺帽部承受滚珠丝杠114a的旋转力，对可动框架111传递使基板台60相对地沿着X方向移动的力。因此，当X轴马达114b旋转，且滚珠丝杠114a旋转时，基板台60从螺帽部承受X轴方向的力，能够沿着X轴方向来回移动。
参照图4，Y轴驱动单元140包括：所述一对Y轴轨道26、27，设置于架部21b；以及Y轴滚珠丝杠机构141，并设于X轴方向的基板输送方向下游侧的Y轴轨道26的内侧(X轴方向的基板输送方向下游侧的Y轴轨道26与基板输送方向上游侧的Y轴轨道27相对置的一侧)。Y轴轨道26、27分别以能够使可动框架111沿着Y轴方向来回移动的方式引导该可动框架111。Y轴滚珠丝杠机构141包括沿着Y轴方向延伸的滚珠丝杠141a、与该滚珠丝杠141a螺纹连接的省略图示的螺帽部以及旋转驱动滚珠丝杠141a的Y轴马达141b。滚珠丝杠141a通过省略图示的轴承旋转自如地被支撑在架部21b上。螺帽部固定在可动框架111的下表面，承受滚珠丝杠141a的旋转力，并经由可动框架111传递沿着Y轴方向驱动基板台60的力。因此，当Y轴马达141b旋转，且滚珠丝杠141a旋转时，基板台60从螺帽部承受Y轴方向的力，能够沿着Y轴方向来回移动。
接着，说明用于对保持在基板台60上的印刷基板W进行透射检查的X射线照射单元(X射线源的一例)160。X射线照射单元160承载于X射线源支撑机构150。因此，首先说明该X射线源支撑机构150。
参照图11及图12，X射线源支撑机构150包括：板状的支撑板151，固定在梁30的背面；一对升降轨道152、153，固定在该支撑板151的背面，且沿着Z轴方向延伸；升降滑块154，连接于升降轨道152、153；滚珠丝杠机构155，上下驱动升降滑块154。支撑板151是与梁30一起构成构造体20的金属板构件，在图示的例子中，该支撑板151牢固地固定于梁30。在支撑板151上设置有省略图示的止动件，在由该止动件规定的行程范围内，升降滑块154以能够沿着Z轴方向升降的方式受到引导。上述的行程范围基于X射线检查装置10的X射线图像所要求的所需倍率来决定。
参照图17A、图17B说明倍率。在以下的说明中，将X射线照射单元160假设为图17A、图17B所示的点状的X射线源。
首先，从印刷基板W到X射线相机单元40的距离L0恒定。
另一方面，升降滑块154直接承载着X射线照射单元160。因此，若升降滑块154沿着升降轨道152、153上下移动，则X射线源(X射线照射单元)160会一体地上下移动。若X射线源(X射线照射单元)160上下移动，则从X射线源(X射线照射单元)160到保持在基板台60上的印刷基板W的距离L1会发生变化。同样，若X射线源(X射线照射单元)160上下移动，则从X射线照射单元160透过印刷基板W而到达X射线相机单元40的X射线的到达路径的距离L2(＝L0+L1)也会发生变化。X射线相机单元40所拍摄的X射线图像的倍率为L2/L1＝1+(L0/L1)，因此，若X射线源(X射线照射单元)160一体地移动，则倍率会因距离L1、L2变更而发生变化。
如图10及图17A所示，当X射线照射单元160降下时，上述到达路径变成第一距离L1st，X射线图像的倍率变成比等倍更大的近拍倍率。即，X射线照射单元160在下降时取得近拍位置。另外，如图11及图17B所示，当X射线照射单元160上升时，上述到达路径变成比第一距离L1st长的第二距离L2nd。当X射线照射单元160上升时，变成与在近拍位置的拍摄相比，角度广且倍率低的非近拍倍率(大于等倍的倍率)。即，X射线照射单元160在上升时取得非近拍位置。而且，升降轨道152、153引导升降滑块154，使X射线照射单元160在该近拍位置与非近拍位置之间升降。
另一方面，本实施方式的X射线检查装置10进行斜视拍摄，即以指定的仰角θ对印刷基板W照射X射线RL，并从倾斜方向拍摄重点检查部位。在该斜视拍摄过程中，必定要对后述的控制单元600设定限制条件，以便在近拍位置进行拍摄。
返回图11及图12，滚珠丝杠机构155包括：滚珠丝杠155a，沿着Z轴方向延伸且被轴支撑在支撑板151的背面；省略图示的螺帽部，与该滚珠丝杠155a螺纹连接；Z轴马达155b，驱动滚珠丝杠155a绕Z轴旋转；以及传送带机构155c，将Z轴马达155b的输出传递至滚珠丝杠155a。滚珠丝杠155a在支撑板151的大致整个高度范围内延伸，以使X射线照射单元160能够在上述行程范围内升降。上述螺帽部固定在升降滑块154的前表面，承受滚珠丝杠155a的旋转力，对升降滑块154传递使其沿着上下方向移动的力。上述Z轴马达155b使输出轴朝向下方，沿着Z轴方向安装在支撑板151的前表面。所述传送带机构155c具有安装于Z轴马达155b的输出轴的输出皮带轮、安装在所述滚珠丝杠155a下端的输入皮带轮及卷绕在两个皮带轮之间的传送带，经由所述皮带轮、传送带，将Z轴马达155b的驱动力传递至滚珠丝杠155a。这样，Z轴滚珠丝杠机构155构成倍率变更机构，该倍率变更机构使X射线照射单元160和X射线相机50在近拍位置(参照图11)与非近拍位置(参照图12)之间相对地移位，从而变更该X射线图像的倍率，其中，近拍位置(参照图11)是从X射线照射单元160照射出的X射线直至到达X射线相机50为止的直线距离为近拍而靠近的位置，该非近拍位置(参照图12)是从X射线照射单元160照射出的X射线直至到达X射线相机50为止的直线距离比在近拍位置的距离更长的位置。
接着，在图示的例子中，X射线照射单元160包括外壳161、收容在该外壳内的省略图示的高压产生单元、以及由该高压产生单元供电并照射出X射线的X射线照射源。
如图11及图12所示，在X射线照射单元160的顶部设置有R轴马达170。由于从X射线照射源照射出的X射线的分布并不一致，因此，通过使R轴马达170工作，能够绕上下轴变更所照射出的X射线的分布，拍摄所需的重点检查部位。
接着，参照图1及图13，在X射线检查装置10中设置有对整体进行控制的控制单元600。此外，在本实施方式中，在X射线检查装置10的正面安装有显示面板610或键盘620。另外，在X射线检查装置10的顶部，竖立设置有表示动作状况的灯611。此外，在控制单元600的基板输送方向上游侧设置有电源装置630。
控制单元600包括具体化为微处理器等的主控制部(CPU)601，存储装置602、X射线图像板603、驱动系统板605、传感器系统板606、显示板607、输入板608及通信板609等连接于该主控制部601。
存储装置602具体化为ROM、RAM、辅助存储装置等，其存储为了控制X射线检查装置10的各部分、进行检查所需的程序或主数据；作为检查对象的印刷基板W及安装部件、检查项目等检查对象物的主数据；以及决定对于检查对象项目的检查规格等的主数据等。
X射线图像板603是用于连接X射线相机50与主控制部601的接口，通过该X射线图像板603，主控制部601能够基于X射线相机50所拍摄的X射线图像，对检查对象物进行透射检查。
驱动系统板605是用于连接X射线检查装置10中所设置的各种马达(例如滚珠丝杠机构44、114、141、155、185的各X轴马达44a、141b、114b、144b、155b、185b等)或气缸75等致动器与主控制部601的接口，通过该驱动系统板605，主控制部601能够控制各种马达的旋转方向、旋转量、旋转速度、动作时刻等，或控制输送机单元70的各气缸71d、72d、75的开闭动作。
传感器系统板606是连接X射线检查装置10中所设置的各种传感器与主控制部601的接口，通过该传感器系统板606，主控制部601能够基于各种传感器所检测出的检测结果，检测各部分的动作时刻或印刷基板W的有无等。
显示板607是连接安装于X射线检查装置10正面的显示面板610或灯611与主控制部601的接口，通过该显示板607，主控制部601能够利用图形用户接口(GUI)在显示面板610中显示控制信息，或使设置在X射线检查装置10顶部的灯611(参照图1)闪烁。
输入板608是连接安装于X射线检查装置10正面的键盘620等指示器与主控制部601的接口，通过该输入板608，主控制部601能够受理用户所操作的键盘620等的数据。
通信板609用于与主机进行数据通信，该主机对设置了X射线检查装置10的设备的生产程序进行管理，通过该通信板609，主控制部601能够利用LAN及/或WAN而与主机连接，取得成为检查对象的印刷基板W的件号等与检查对象项目相关的信息。
基于存储装置602中所存储的程序等，主控制部601按照以下的顺序控制X射线检查装置10的各部分。
参照图1及图14，首先，主控制部601进行基板接纳动作(步骤S1)。在该基板接纳动作中，当完成了上游工序的印刷基板W从基板输送机12被输送而来时，基板送出送入口11d的闸门机构打开，使基板送出送入口11d敞开以接纳印刷基板W。此时，基板台60由X轴滚珠丝杠机构114的X轴马达114b驱动而向基板送出送入口11d侧移动，接纳从基板输送机12送入的印刷基板W。当在多品种少量生产的环境下使用该X射线检查装置10时，所送入的印刷基板W的宽度各式各样，在该送入接纳动作中，基板台60的间隔调整机构90工作，基于事先从主机取得的通信数据，将输送机单元70的两个输送机框架71、72的对置间隔调整为适合于所送入的印刷基板W的宽度的尺寸。从基板送出送入口11d送入的印刷基板W由输送机单元70的输送机驱动机构80送入到基板台60上。送入后，送入侧的闸门机构工作而再次关闭基板送出送入口11d，以防止X射线拍摄时的X射线泄漏。
被送入的印刷基板W移动到指定位置后，由输送机单元70的夹持机构将该印刷基板W夹持而保持在输送机单元70的两个输送机框架71、72之间(步骤S2)。
印刷基板W被夹持后，基板台60再次被X轴滚珠丝杠机构114的X轴马达114b驱动而移动到X射线检查装置10内的指定位置(步骤S3)。由此，印刷基板W被设置到该检查位置。为了与该基板台60的移动并行地进行X射线拍摄，相机单元40的X轴马达44a、Y轴马达48a分别工作，将X射线相机50移动到预先设定的拍摄位置。另外，在X射线照射单元160中，根据需要而事先驱动R轴马达170。
接着，主控制部601进行X射线拍摄检查(步骤S5)。在该X射线拍摄检查中，对应于印刷基板W的重点检查部位的检查项目，主控制部601组合进行直视检查和视野斜视检查。在斜视检查中，如图10所示，使X射线照射单元160移位至近拍位置，另一方面，通过让X射线相机单元40的各滚珠丝杠机构44、48工作，使X射线相机50移位至与该X射线RL的仰角对应的位置。在该状态下，主控制部601使X射线相机50工作，拍摄斜视X射线图像，并基于拍摄图像进行透射检查。检查结果被存储到存储装置602的辅助存储装置中。
接着，主控制部601判定对全部区域的拍摄是否已结束(步骤S7)。若残留有未拍摄区域，则主控制部601转移到步骤S3重复上述的处理。此外，在本实施方式中，有时必须对同一重点检查部位进行在非近拍位置的广角的X射线拍摄和在近拍位置的近拍X射线拍摄这两种拍摄，因此，在该步骤S7的判定过程中，即使是同一区域，在必需的拍摄检查全部结束之前也视为残留未拍摄区域，主控制部601转移至步骤S3重复上述的处理。
另外，在对全部区域的拍摄已结束的情况下，主控制部601进行将检查后的印刷基板W移动到送出位置的处理(步骤S8)。在该送出移动动作中，台驱动机构100的X轴驱动单元110再次工作，沿着X轴方向向基板输送方向下游侧(在图示的例子中为靠近基板送出送入口11e的方向。参照图2等)驱动基板台60。接着，若基板台60面对送出侧的基板送出送入口11e，且基板台60停止移动，则此次解除对基板台60的夹持(步骤S9)，并进行送出动作(步骤S10)。在该送出动作中，送出侧的闸门机构动作，从而打开基板送出送入口11e。然后，输送机驱动机构80使基板输送机73、74工作，将检查后的印刷基板W送出到送出侧的基板输送机14中。在送出后，使闸门机构动作，从而关闭基板送出送入口11e，并且为了转移至下一个动作，台驱动机构100的X轴驱动单元110再次工作，沿着X轴方向向基板输送方向上游侧(在图示的例子中为靠近基板送出送入口11d的方向。参照图2等)驱动基板台60。
主控制部601在送出动作S10后，判定对全部印刷基板W的检查是否已结束(步骤S11)。若有未处理的印刷基板W，则主控制部601转移至步骤S1重复上述的处理，在对全部印刷基板W的检查已结束的情况下，结束处理。
在如上所述的X射线检查处理中，尤其利用进行多品种少量生产的设备输送宽度尺寸各式各样的印刷基板W，并利用X射线检查装置10对该印刷基板W进行X射线检查。此时，基板台60对应于作为检查对象的印刷基板W的宽度，使间隔调整机构90工作，驱动输送机单元70的各输送机框架71、72，根据本实施方式，各输送机框架71、72相对于框体61的开口66对称形地配置，并且间隔调整机构90驱动两个输送机框架71、72使这两个输送机框架71、72分别沿着Y轴方向均等地彼此靠近或离开，因此，如图16(A)、图16(B)所示，各输送机框架71、72在维持着以开口66的沿着X轴方向(该基板输送方向)的中心线120a为中心的对称形的状态下，在印刷基板W的宽度方向上，使开口66均等地敞开。因此，由于能够使将印刷基板W在宽度方向上分成两部分的中心线120a与开口66的上述中心线120a一致，所以在对基板台60所保持的印刷基板W进行斜视拍摄时，能够抑制在采用了专利文献1的基板台60P的情况下所产生的框架的大型化(产生图16(C)、图16(D)所示的尺寸d1)。另外，因为采用了使两个输送机框架71、72相对于框体61而对称地移动的结构，所以能够使框体61的开口66在整个宽度范围内敞开。因此，当保持仅需要直视拍摄的印刷基板W时，能够让宽度尺寸达到开口66的整个宽度的印刷基板W接受X射线RL检查。而且，因为使两个输送机框架71、72均等地移动来调整间隔，所以与将输送机框架71、72中的一者固定并使输送机框架71、72中的另一者为可动的情况相比，能够缩短驱动时间(在以同一速度驱动的情况下，缩短至1/2)。而且，因为能够使将印刷基板W在宽度方向上分成两部分的中心线与开口66的中心线一致，所以与供X射线通过的开口66的中心对准变得容易。
另外，在本实施方式中，如图5、图8、图9所示，框体61具有将开口66划分为俯视下该开口呈四边形的四条边62a、63a、64a、65a，各边62a、63a、64a、65a中的至少沿着X轴方向的边62a、63a具有倾斜面62b、63b，该倾斜面62b、63b以在X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧(本实施方式中为下侧)扩大的方式倾斜。因此，在本实施方式中，能够通过倾斜面62b、63b使斜视拍摄时的X射线RL的路径敞开，因此，能够对宽幅的印刷基板W进行斜视拍摄。
尤其是，在本实施方式中，一对输送机框架71、72分别具有在Y轴方向上相对置的对置缘，在各对置缘上形成有倾斜面71i、72i，该倾斜面71i、72i以在所述X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧扩大的方式倾斜。因此，在本实施方式中，能够通过该倾斜面71i、72i确保X射线通过开口66时的有效开口直径较大，由此，能够对宽幅的印刷基板W进行斜视拍摄。
另外，在本实施方式中，如图5、图6所示，间隔调整机构90包含：双螺纹螺栓91、92，沿着Y轴方向延伸，并且一端侧与另一端侧的螺纹方向被设定成相反；第一螺帽机构95，安装于输送机框架71、72中的一者，且与双螺纹螺栓91、92的一端侧螺纹连接；第二螺帽机构96，安装于输送机框架71、72中的另一者，且与双螺纹螺栓91、92的另一端侧螺纹连接；马达94，用于驱动各双螺纹螺栓91、92；以及动力传递单元93，将马达94的动力向同一方向且以同一速度传递至各双螺纹螺栓91、92。因此，在本实施方式中，如果马达94工作，则其转矩经由动力传递单元93同时向同一方向传递至各双螺纹螺栓91、92。双螺纹螺栓91、92向一个方向(例如向右)旋转，由此，与该双螺纹螺栓91、92螺纹连接的螺帽机构95、96将向彼此靠近的方向或离开的方向移动的力传递至对应的输送机框架71、72。另外，双螺纹螺栓91、92向另一个方向(例如向左)旋转，由此，与该双螺纹螺栓91、92螺纹连接的螺帽机构95、96将与上述逆向地移动的力传递至对应的输送机框架71、72。因此，能够由单一的马达94同时驱动两个输送机框架71、72，从而能够实现驱动系统的简化或部件数的减少等。
另外，在本实施方式中，基板输送机构包括一对基板输送机73、74、和驱动所述基板输送机73、74的输送机驱动机构80，其中，输送机驱动机构80包含：马达81；驱动轴82，由马达81旋转驱动；以及第一输出皮带轮83及第二输出皮带轮84，相对于驱动轴82，在绕该驱动轴82的旋转受到了限制的状态下，以能够沿着该驱动轴82的轴方向移动的方式设置而成对，该第一输出皮带轮83将动力传递至基板输送机73、74中的一者，该第二输出皮带轮84将动力传递至基板输送机73、74中的另一者。因此，在本实施方式中，通过马达81旋转而使驱动轴82旋转。该驱动轴82的转矩经由第一输出皮带轮83、第二输出皮带轮84传递至各基板输送机73、74，因此，各基板输送机73、74通过单一的马达81被同时向同一方向驱动。第一输出皮带轮83、第二输出皮带轮84分别在绕该驱动轴的旋转受到了限制的状态下，以能够沿着该驱动轴的轴方向移动的方式设置而成对，因此，不会妨碍由间隔调整机构90使输送机框架71、72移位，能够将动力传递至各基板输送机73、74。
本发明并不限定于上述实施方式，当然能够在不脱离本发明的宗旨的范围内添加各种变更。
例如，在拍摄斜视图像的情况下，该X射线相机50只要在比非近拍位置向近拍位置侧相对移位后的位置进行拍摄即可，未必需要完全相对移位至近拍位置。
另外，在本实施方式中，将X射线相机50设置在基板台60的下方，将X射线照射单元160设置在基板台60的上方，但还可以将X射线相机50设置在基板台60的上方，将X射线照射单元160设置在基板台60的下方。
另外，在本实施方式中，采用了由X射线源支撑机构150来使X射线照射单元160升降的结构，但还能够将X射线照射单元160固定在固定位置，并沿着Z轴方向驱动X射线相机50。
另外，设置在划分框体开口的缘部上的倾斜面不限于上述X轴片62、63，还可以形成于Y轴片64、65。
另外，还可以采用以下的结构：将X射线照射单元设置在基板台的下侧，将X射线相机设置在基板台的上方。
另外，还可以采用以下的结构：在斜视拍摄时，固定X射线相机而移动X射线照射单元。或者，还可以采用使X射线相机和X射线照射单元均移动的结构。
而且，还可以并用光学相机，在进行X射线检查的同时进行外观检查。
此外，当然能够在本发明的权利要求书范围内进行各种变更。
产业上的可利用性
本发明能够利用于使用X射线来检查精密部件的重点检查部位的检查技术领域。

Claims (7)

1.一种X射线检查装置，使用在沿着预先设定的基板输送方向输送印刷基板的输送路径上，其特征在于包括：
一对输送机框架，从与所述基板输送方向水平正交的基板宽度方向夹持所述印刷基板；
一对基板输送机，分别设置于各输送机框架而成对，该一对基板输送机构成沿着所述基板输送方向输送支撑于所述输送机框架的印刷基板的基板输送机构；以及
间隔调整机构，以使两输送机框架分别沿着所述基板宽度方向彼此靠近或离开的方式驱动两输送机框架，以便调整所述基板输送机构能够输送印刷基板的宽度尺寸。
2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于：
所述间隔调整机构以使两输送机框架均等地靠近或离开的方式驱动两输送机框架。
3.根据权利要求1或2所述的X射线检查装置，其特征在于还包括：
框体，具有供X射线通过的开口，其中，
所述一对输送机框架以所述开口的沿着所述基板的输送方向的中心轴为轴的对称形而配置在所述框体上。
4.根据权利要求3所述的X射线检查装置，其特征在于：
所述框体具有将所述开口划分为俯视下该开口呈四边形的四条边，各边中至少沿着所述基板输送方向的边具有以在所述X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧扩大的方式倾斜的倾斜面。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的X射线检查装置，其特征在于：
所述一对输送机框架分别具有在所述基板宽度方向上相对置的对置缘，在所述对置缘上形成有以在所述X射线照射单元的X射线照射方向上，使下游侧扩大的方式倾斜的倾斜面。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的X射线检查装置，其特征在于，所述间隔调整机构包含：
双螺纹螺栓，沿着所述基板宽度方向延伸，并且一端侧与另一端侧的螺纹方向被设定成相反；
第一螺帽机构，安装于所述输送机框架中的一者，并且与所述双螺纹螺栓的一端侧螺纹连接；
第二螺帽机构，安装于所述输送机框架中的另一者，并且与所述双螺纹螺栓的另一端侧螺纹连接；
马达，用于驱动各双螺纹螺栓；以及
动力传递单元，将所述马达的动力向同一方向以同一速度传递至各双螺纹螺栓。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的X射线检查装置，其特征在于：
所述基板输送机构还包括驱动所述一对基板输送机的输送机驱动机构，
所述输送机驱动机构包括马达、由马达旋转驱动的驱动轴、连结于所述驱动轴的第一输出皮带轮及第二输出皮带轮，其中，
所述第一输出皮带轮及所述第二输出皮带轮绕所述驱动轴的旋转受到限制，并且以能够沿着所述驱动轴的轴方向移动的方式连结，所述第一输出皮带轮将动力传递至基板输送机中的一者，所述第二输出皮带轮将动力传递至基板输送机中的另一者。
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