JP2008292185A - 差圧伝送器 - Google Patents

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Akiyuki Katou
暁之 加藤
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Abstract

【課題】急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することを可能とする差圧伝送器を実現すること。
【解決手段】差圧伝送器において、一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される2つの圧力を伝える差圧調整部と、前記差圧調整部から伝わる2つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサとを備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、差圧伝送器に関して、特に急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止する差圧伝送器に関する。
従来の差圧伝送器に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開平7−120338公報 特開平8−178783公報
図2は従来の差圧伝送器の一例の構成ブロック図である。図2において、1、2はダイアフラム、3は側面にダイアフラム1と貼り合わされて第1の受圧室を構成する第1の溝が形成され、第1の溝が形成された側面に対向する側面にダイアフラム2と貼り合わされて第2の受圧室を構成する第2の溝が形成され、内部にセンタダイアフラムによって区分され第3及び第4の受圧室を構成する空間が形成される差圧調整部、4は半導体圧力センサなどの差圧センサ、5はセンタダイアフラム、100、101はオイル、シリコンオイルなどの封入液である。
また、ダイアフラム1と差圧調整部3の図2中”SP100”に示す受圧室は高圧側ダイアフラム部51を、ダイアフラム2と差圧調整部3の図2中”SP101”に示す受圧室は低圧側ダイアフラム部52を、センタダイアフラム5と差圧調整部3の図2中”SP102”及び”SP103”に示す受圧室はセンタダイアフラム部53を、ダイアフラム1及び2、差圧調整部3、差圧センサ4及びセンタダイアフラム5は差圧伝送器200をそれぞれ構成する。
ダイアフラム1は、差圧調整部3の側面に形成された第1の溝の開口部分を覆うように差圧調整部3と貼り合わされ、図2中”SP100”に示す受圧室を構成する。
ダイアフラム2は、差圧調整部3の第1の溝と対向する側面に形成された第2の溝の開口部分を覆うように差圧調整部3と貼り合わされ、図2中”SP101”に示す受圧室を構成する。
また、センタダイアフラム5は、差圧調整部3内部に設けられた空間を2つに区切るように形成され、図2中”SP102”及び”SP103”に示す受圧室を構成する。
図2中”SP100”に示す受圧室は図2中”PP202”に示す液体配管の一端に接続され、図2中”PP202”に示す液体配管の他端は図2中”PP200”に示す液体配管の一端と合流して図2中”SP102”に示す受圧室と接続される。
図2中”PP200”に示す液体配管の他端は差圧センサ4の高圧側導入口に接続され、差圧センサ4の低圧側導入口は図2中”PP201”に示す液体配管の一端に接続される。
そして、図2中”PP201”に示す液体配管の他端は図2中”SP103”に示す受圧室に接続され、図2中”SP103”に示す受圧室は図2中”PP203”に示す液体配管の一端に接続される。
さらに、図2中”PP203”に示す液体配管の他端は図2中”SP101”に示す受圧室に接続される。
また、封入液100は、図2中”SP100”に示す受圧室、図2中”PP200”、”PP202”に示す液体配管及び図2中”SP102”に示す受圧室にそれぞれ充填される。
同様に、封入液101は、図2中”SP101”に示す受圧室、図2中”PP201”、”PP203”に示す液体配管及び図2中”SP103”に示す受圧室にそれぞれ充填される。
ここで、図2等に示す従来の差圧伝送器の動作について説明する。例えば、図2に示すように圧力”PH”がダイアフラム1に印加され、圧力”PH”よりも小さい圧力”PL”がダイアフラム2に印加される。
ダイアフラム1は圧力”PH”に応じて図2中”SP100”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
この場合、図2中”SP100”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液100の圧力は高くなる。
また、封入液100の圧力は、図2中”PP202”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム5に伝えられる。
一方、ダイアフラム2は圧力”PL”に応じて図2中”SP101”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
この場合、図2中”SP101”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液101の圧力は高くなる。
そして、封入液101の圧力は、図2中”PP203”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム5に伝えられる。
ダイアフラム1からの圧力”PH”よりもダイアフラム2からの圧力”PL”の方が小さいので、センタダイアフラム5は図2中”SP103”に示すダイアフラム2側の受圧室の容積を小さくするように変形する。
すなわち、センタダイアフラム部53では、圧力”PH”及び圧力”PL”の差に応じてセンタダイアフラム5が変形することになる。
また、センタダイアフラム部53は、図2中”PP200”及び”PP201”に示す液体配管を介して圧力”PH”及び圧力”PL”をそれぞれ差圧センサ4に伝える。
特に図示して説明しないが、差圧センサ4は差圧調整部3からの圧力”PH”と圧力”PL”との差分となる圧力(差圧”ΔP”)を測定し、差圧に応じた電気信号に変換して外部回路(図示せず)に出力する。
このように、ダイアフラム1及び2が外部からの圧力に応じて図2中”SP100”及び”SP101”に示す受圧室の容積を小さくするように変形し、センタダイアフラム5がダイアフラム1及び2から伝えられる圧力に応じて図2中”SP102”及び”SP103”に示す受圧室の容積を変化させ、圧力をそれぞれ差圧センサ4に伝えることにより、2つの圧力の差圧を測定することが可能となる。
一方、センタダイアフラム部が設けられずに高圧側ダイアフラム部と差圧センサ、低圧側ダイアフラム部と差圧センサとが液体配管を介してそれぞれ接続される差圧伝送器もまた従来から実現されている。
このような差圧伝送器では、圧力が差圧センサにそれぞれ直接伝えられるため、差圧が大きい場合に、急激に大きな差圧が伝えられ差圧センサが破壊されてしまうことがあったが、上述の差圧伝送器200は、センタダイアフラム5がダイアフラム1及び2から伝えられる圧力に応じて図2中”SP102”及び”SP103”に示す受圧室の容積を変化させるので、圧力がセンタダイアフラム部53から緩やかに伝えられて差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
また、圧力”PH”と圧力”PL”との差がさらに大きくなる場合の従来の差圧伝送器200の動作について図3を用いて説明する。図3は差圧がさらに大きくなる場合の従来の差圧伝送器の動作を説明する説明図である。図3において1、2、3、4、5、51、52、53及び200は図2と同一符号を付してある。また、図3は差圧がさらに大きくなる点以外は図2の差圧伝送器と同じ動作であるため適宜説明を省略する。
図3に示すように、圧力”PH”がさらに大きくなり圧力”PH”と圧力”PL”との差圧もまた大きくなる場合に、ダイアフラム1は圧力”PH”に応じて図3中”SP100”に示す受圧室の容積をさらに小さくするように変形する。
また、図3中”SP100”に示す受圧室の容積がさらに小さくなるので、封入液100の圧力はさらに高くなる。
封入液100の圧力は、図3中”PP202”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム5に伝えられる。
センタダイアフラム5は、図3中”SP103”に示す受圧室の容積をさらに小さくするように変形する。
そして、センタダイアフラム5と図3中”SP103”に示す受圧室の内壁とが接する前に、ダイアフラム1は差圧調整部3の図3中”SP100”に示す受圧室の内壁に接する。
また、ダイアフラム1が差圧調整部3の溝の内壁に接することにより、封入液100に伝えられる圧力は一定の大きさ(以下、最大許容圧力)に留まるので、差圧がさらに大きくなったとしても封入液100を介して伝えられる圧力は最大許容圧力に抑えられる。
このため、圧力”PH”と圧力”PL”との差が大きくなる場合であっても、最大許容圧力以上の圧力が封入液100に伝えられないことにより、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
この結果、高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が外部から印加される圧力に応じて高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部の受圧室の容積を小さくするように変形し封入液を介して圧力をセンタダイアフラム部にそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の内壁に接する前に高圧側ダイアフラム部、若しくは、低圧側ダイアフラム部のダイアフラムが受圧室の内壁に接することにより、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
しかしながら、図2等に示す従来例では、封入液100と封入液101との量が異なると共に、図2中”PP202”及び”PP203”に示す液体配管の液体抵抗もまた異なるので、急激に差圧が変化すると一時的に過大な差圧が生じてしまう。
このため、差圧が急激に変化する場合に、封入液の量及び液体抵抗がそれぞれ異なるので、高圧側ダイアフラム部からの圧力がセンタダイアフラムに伝えられる時間と低圧側ダイアフラム部からの圧力がセンタダイアフラムに伝えられる時間とが異なることにより、センタダイアフラムが一時的に大きく変形し過大な差圧が生じて差圧センサ4が破壊されてしまうことがあった。
従って、本発明が解決しようとする課題は、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することを可能とする差圧伝送器を実現することにある。
上記のような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
差圧伝送器において、
一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される2つの圧力を伝える差圧調整部と、前記差圧調整部から伝わる2つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサとを備えたことにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
請求項2記載の発明は、
請求項1記載の発明である差圧伝送器において、
前記差圧調整部が、
ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される2つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ2つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の配管と、前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の2つの受圧室とをそれぞれ接続する配管とから構成されたことにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
請求項3記載の発明は、
請求項1記載の発明である差圧伝送器において、
前記差圧調整部が、ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される2つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ2つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する液体配管と、前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の2つの受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の液体配管とから構成されたことにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
請求項4記載の発明は、
請求項2若しくは請求項3記載の発明である差圧伝送器において、
前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の2つの前記受圧室とをそれぞれ接続するどちらか一方の前記液体配管が、液溜め部を有することにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
本発明によれば次のような効果がある。
請求項1、2及び請求項4の発明によれば、
高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が同一液量の封入液を介して外部から印加される圧力をそれぞれ伝え、同一液体抵抗の液体配管が封入液を介して高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力をセンタダイアフラム部にそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が同一液体抵抗の液体配管から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の容積を変化させ圧力を差圧センサにそれぞれ伝えることにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
請求項1、3及び請求項4の発明によれば、
高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が同一液量の封入液を介して外部から印加される圧力をそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の容積を変化させ、同一液体抵抗の液体配管が封入液を介してセンタダイアフラム部からそれぞれ伝えられる圧力を差圧センサに伝えることにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
図1は本発明に係る差圧伝送器の一実施例の構成ブロック図である。図1において、6、7はダイアフラム、8は側面にダイアフラム6と貼り合わされ第1の受圧室を構成する第1の溝が形成され、第1の溝が形成された側面に対向する側面にダイアフラム7と貼り合わされ第2の受圧室を構成する第2の溝が形成され、内部にセンタダイアフラムによって区分され第3及び第4の受圧室を構成する空間が形成される差圧調整部、9は半導体圧力センサなどの差圧センサ、10はセンタダイアフラム、11は液溜め、110、111はオイルなどの封入液である。
また、ダイアフラム6と差圧調整部8の図1中”SP110”に示す受圧室は高圧側ダイアフラム部61を、ダイアフラム7と差圧調整部8の図1中”SP111”に示す受圧室は低圧側ダイアフラム部62を、センタダイアフラム10と差圧調整部8の図1中”SP112”及び”SP113”に示す受圧室はセンタダイアフラム部63を、ダイアフラム6及び7、差圧調整部8、差圧センサ9及びセンタダイアフラム10は差圧伝送器210をそれぞれ構成する。
ダイアフラム6は、差圧調整部8の側面に形成された第1の溝の開口部分を覆うように差圧調整部8と貼り合わされ、図1中”SP110”に示す受圧室を構成する。
ダイアフラム7は、差圧調整部8の第1の溝と対向する側面に形成された第2の溝の開口部分を覆うように差圧調整部8と貼り合わされ、図1中”SP111”に示す受圧室を構成する。
また、センタダイアフラム10は、差圧調整部8内に設けられた空間を2つに区切るように形成され、図1中”SP212”及び”SP213”に示す受圧室を構成する。
図1中”SP110”に示す受圧室は図1中”PP212”に示す液体配管の一端に接続され、図1中”PP212”に示す液体配管の他端は図1中”PP210”に示す液体配管の一端と合流して図1中”SP112”に示す受圧室に接続される。
図1中”PP210”に示す液体配管の他端は差圧センサ9の高圧側導入口に接続され、差圧センサ9の低圧側導入口は図1中”PP211”に示す液溜め11を有する液体配管の一端に接続される。
そして、図1中”PP211”に示す液体配管の他端は図1中”SP113”に示す受圧室に接続され、図1中”SP113”に示す受圧室は図2中”PP213”に示す液体配管の一端に接続される。
さらに、図1中”PP213”に示す液体配管の他端は図1中”SP111”に示す受圧室に接続される。
封入液110は、図1中”SP110”に示す受圧室、図1中”PP210”、”PP212”に示す液体配管及び図1中”SP112”に示す受圧室にそれぞれ充填される。
同様に、封入液111は、図1中”SP111”に示す受圧室、図1中”PP211”、”PP213”に示す液体配管、図1中”SP113”に示す受圧室及び液溜め11にそれぞれ充填される。
ちなみに、液溜め11は、図1中”SP110”、”SP112”に示す受圧室の容積と図1中”PP210”、”PP212”に示す液体配管の容積との合計と、図1中”SP111”、”SP113”に示す受圧室の容積と図1中”PP211”、”PP213”に示す液体配管との容積の合計とが同一になるような大きさの容積で形成される。
すなわち、差圧調整部8にそれぞれ封入される封入液110と封入液111とは同一の液量となる。
また、図1中”PP212”及び図1中”PP213”に示す液体配管は、断面積が微小に形成され、同一の液体抵抗になるように形成される。
ここで、図1等に示す本発明に係る差圧伝送器の一実施例の動作について図2を用いて説明する。例えば、図1に示すように圧力”PH”がダイアフラム6に印加され、圧力”PH”よりも小さい圧力”PL”がダイアフラム7に印加される。
ダイアフラム6は圧力”PH”に応じて図1中”SP110”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
この場合、図1中”SP110”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液110の圧力は高くなる。
また、封入液110の圧力は、図1中”PP212”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム10に伝えられる。
一方、ダイアフラム7は圧力”PL”に応じて図1中”SP111”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
この場合、図1中”SP111”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液111の圧力は高くなる。
そして、封入液111の圧力は、図1中”PP213”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム10に伝えられる。
センタダイアフラム10は、ダイアフラム6からの圧力”PH”よりもダイアフラム7からの圧力”PL”の方が小さいので、図1中”SP113”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
すなわち、センタダイアフラム部63では、圧力”PH”及び圧力”PL”の差に応じてセンタダイアフラム10が変形することになる。
また、センタダイアフラム部63は、図2中”PP210”及び”PP211”に示す液体配管を介して圧力”PH”及び圧力”PL”をそれぞれ差圧センサ9に伝える。
特に図示して説明しないが、差圧センサ9は差圧調整部8からの圧力”PH”と圧力”PL”との差分となる圧力(差圧”ΔP”)を測定し、差圧に応じた電気信号に変換して外部回路(図示せず)に出力する。
このように、ダイアフラム6及び7が外部からの圧力に応じて図1中”SP110”及び”SP111”に示す受圧室の容積を小さくするように変形し、センタダイアフラム10が高圧側ダイアフラム部61及び低圧側ダイアフラム部62から伝えられる圧力に応じて図1中”SP112”及び”SP113”に示す受圧室の容積を変化させて得られた差圧を差圧センサ9に伝えることにより、2つの圧力の差圧を計測することが可能となる。
また、差圧が急激に変化する場合であっても、封入液110及び111の量及び図1中”PP212”及び”PP213”に示す液体配管の液体抵抗は同一なので、封入液110の圧力と封入液111の圧力がセンタダイアフラム10に伝えられる時間が等しくなり、過大な差圧が生じないことになる。
例えば、圧力”PH”が急激に大きくなり圧力”PH”と圧力”PL”との差圧もまた急激に大きくなる場合に、ダイアフラム6は圧力”PH”に応じて図1中”SP110”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
また、図1中”SP110”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液110の圧力は高くなる。
封入液110の圧力は、図1中”PP212”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム10に伝えられる。
同様に、圧力”PL”に応じてダイアフラム7が変形し、封入液111の圧力が高くなって図1中”PP213”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム10に伝えられる。
この時、封入液110及び封入液111の液量が同一であり、図1中”PP212”及び”PP213”に示す液体配管の液体抵抗もまた同一であるため、ダイアフラム6から封入液110を介して圧力がセンタダイアフラム10に伝えられる時間とダイアフラム7から封入液111を介して圧力がセンタダイアフラム10に伝えられる時間とは等しくなる。
このため、封入液110の圧力と封入液111の圧力がセンタダイアフラム10に伝えられる時間が等しくなることにより、センタダイアフラム部63で過大な差圧が生じないことになる。
センタダイアフラム10は、ダイアフラム6からの圧力”PH”よりもダイアフラム7からの圧力”PL”の方が小さいため、図1中”SP113”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
また、センタダイアフラム10と図1中”SP113”に示す受圧室の内壁とが接する前に、ダイアフラム6は差圧調整部8の図1中”SP110”に示す受圧室の内壁に接する。
そして、ダイアフラム6が差圧調整部8の溝の内壁に接することにより、封入液110に伝えられる圧力は一定の大きさ(以下、最大許容圧力)に留まるので、差圧がさらに大きくなったとしても封入液110に伝えられる圧力は最大許容圧力に抑えられる。
このため、圧力”PH”と圧力”PL”との差が急激に大きくなる場合であっても、最大許容圧力以上の圧力が封入液110に伝わらないことにより、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
この結果、高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が同一液量の封入液を介して外部から印加される圧力をそれぞれ伝え、同一液体抵抗の液体配管が封入液を介して高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力をセンタダイアフラム部にそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が同一液体抵抗の液体配管から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の容積を変化させて圧力を差圧センサにそれぞれ伝えることにより、差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
なお、図1等に示す実施例では、図1中”PP212”及び図1中”PP213”に示す液体配管は、断面積が微小に形成され同一の液体抵抗になるように形成されると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、同一の液体抵抗を有する液体抵抗部(後述する)が設置されるものであっても構わない。
ちなみに、上述の液体抵抗部は、細管、オリフィス及び局所的に絞られた絞り部を有する配管等から構成されるものである。
例えば、一方の液体抵抗部は、一端が高圧側ダイアフラム部61に接続される液体配管に接続され、他端が図1中”SP112”に示す受圧室に接続される液体配管にそれぞれ接続されるように設けられ、封入液110が充填される。
また、他方の液体抵抗部は、一端が低圧側ダイアフラム部62に接続される液体配管に接続され、他端が図1中”SP113”に示す受圧室に接続される液体配管にそれぞれ接続されるように設けられ、封入液111が充填される。
このため、液体抵抗部の液体抵抗が同一であると共に封入液110及び111の量もまた同一であるので、封入液110の圧力と封入液111の圧力がセンタダイアフラム10に伝えられる時間が等しくなり、過大な差圧が生じないことになる。
また、図1等に示す実施例では、高圧側ダイアフラム部61とセンタダイアフラム部63、低圧側ダイアフラム部62とセンタダイアフラム部63とにそれぞれ接続される図1中”PP212”及び”PP213”に示す液体配管の液体抵抗が同一であると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、図1中”PP210”及び”PP211”に示すセンタダイアフラム部と差圧センサとに接続される液体配管の断面積が、それぞれ微小に形成されて互いに同一の液体抵抗となるように形成されるものであっても構わない。
このように、図1中”PP210”及び”PP211”に示す液体配管の液体抵抗が同一であるような構成であっても、圧力”PH”と圧力”PL”との差が急激に大きくなる場合に、図1中”PP210”及び”PP211”に示す液体配管が封入液の圧力の急激な変化を吸収するので、圧力”PH”と圧力”PL”とが差圧センサに伝えられる時間は等しくなり、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
また、図1等に示す実施例では、図1中”PP210”に示すセンタダイアフラム部6の高圧側の受圧室と差圧センサ9を接続する液体配管の一端は図1中”PP212”に示す液体配管の他端と合流し、他端は差圧センサ9の高圧側導入口に接続されると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、図1中”PP210”に示す液体配管は、図1中”SP112”に示す受圧室及び差圧センサにそれぞれ接続されるのであればどのような構成であっても構わない。
また、図1等に示す実施例では、図1中”PP211”に示す差圧センサ9とセンタダイアフラム部10とを接続する液体配管が液溜め11を有すると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、液溜めを構成要素としないものであっても構わない。
本発明に係る差圧伝送器の一実施例の構成ブロック図である。 従来の差圧伝送器の一例の構成ブロック図である。 従来の差圧伝送器の動作を説明する説明図である。
符号の説明
1、2、6、7 ダイアフラム
3、8 差圧調整部
4、9 差圧センサ
5、10 センタダイアフラム
51、61 高圧側ダイアフラム部
52、62 低圧側ダイアフラム部
53、63 センタダイアフラム部
100、101、110、111 封入液
200、210 差圧伝送器

Claims (4)

  1. 差圧伝送器において、
    一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される2つの圧力を伝える差圧調整部と、
    前記差圧調整部から伝わる2つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサと
    を備えたことを特徴とする差圧伝送器。
  2. 前記差圧調整部が、
    ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される2つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、
    前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ2つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、
    前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の液体配管と、
    前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の2つの受圧室とをそれぞれ接続する液体配管とから構成されたことを特徴とする
    請求項1記載の差圧伝送器。
  3. 前記差圧調整部が、
    ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される2つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、
    前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ2つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、
    前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する液体配管と、
    前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の2つの受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の液体配管とから構成されたことを特徴とする
    請求項1記載の差圧伝送器。
  4. 前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の2つの前記受圧室とをそれぞれ接続するどちらか一方の前記液体配管が、
    液溜め部を有することを特徴とする
    請求項2若しくは請求項3記載の差圧伝送器。
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