JP2008288426A - 記憶素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101と、基板101の上に形成された支持層102と、支持層102の上に形成された記憶層103とを備えている。記憶層103は、下層の支持層102に接触している領域では、支持層102に対して圧縮歪みを備えて形成されている。例えば、基板101は、GaAsから構成され、支持層102は、基板101の上に結晶成長により形成された単結晶Al0.7Ga0.3Asから構成され、記憶層103は、InxGa1-xAsから構成されていればよい。加えて、記憶層103は、開口領域132を備え、開口領域132の対向する辺の間に、架設された梁構造体131を備えている。また、開口領域132に対応して支持層102にも開口部121が形成され、梁構造体131の基板101側が下層より離間した状態とされている。
【選択図】 図1
Description
[実施の形態1]
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1(a)及び図1(b)は、本発明の実施の形態1における記憶素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本記憶素子は、基板101と、基板101の上に形成された支持層102と、支持層102の上に形成された記憶層103とを備えている。記憶層103は、下層の支持層102に接触している領域では、支持層102に対して圧縮歪みを有している。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図4は、本発明の実施の形態2における記憶素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本記憶素子は、基板101と、基板101の上に形成された支持層102と、支持層102の上に形成された記憶層103とを備えている。記憶層103は、下層の支持層102に接触している領域では、支持層102に対して圧縮歪みを有している。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。図5(a)及び図5(b)は、本実施の形態3における記憶素子の構成例を模式的に示す平面図である。本記憶素子は、基板501と、基板501の上に形成された支持層502と、支持層502の上に形成された記憶層503とを備えている。記憶層503は、下層の支持層502に接触している領域では、支持層502に対して圧縮歪みを有している。
次に、本発明の実施の形態4について説明する。図6は、本実施の形態4における記憶素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本記憶素子は、基板601と、基板601の上に形成された支持層602と、支持層602の上に形成された記憶層603とを備えている。記憶層603は、下層の支持層602に接触している領域では、支持層602に対して圧縮歪みを有している。記憶層603は、下層の支持記憶層603に接触している領域では、支持記憶層603に対して圧縮歪みを有している。
ところで、記憶層は、光歪効果を有する材料から構成されていても良い。例えば、図6に示す構成において、記憶層603を光歪効果を有する材料から構成すればよい。この場合、強磁性層604は必要ない。また、この場合、磁気ヘッド609の代わりに、集光光学系を備えたレーザ光源などを用いればよい。例えば、AlInNから記憶層が構成され、AlNから支持層が構成されていればよい。この構成であれば、記憶層が支持層に対して圧縮歪みを備えるようになる。例えば、光量が可変可能な光源により、光歪効果が発現する程度に強い光強度の光を梁構造体に照射することで、梁構造体の座屈状態が制御可能である。また、このような光源に光検出機構を組み合わせ、光歪効果が発現しない程度の弱い光強度の照射の結果測定される梁構造体の光学特性の状態を検出することで、座屈状態の検出が可能である。この場合、光源が座屈状態制御手段となり、光検出機構が、座屈状態検出手段となる。
Claims (13)
- 基板の上に形成され、一部に凹部を備えた支持層と、
前記支持層の上に一部が接触して形成されて前記凹部に対応して開口する開口領域を備え、かつ前記開口領域の内側に架設されて座屈した梁構造体を備える記憶層と
を備え、
前記記憶層は、前記支持層に接触している領域が前記支持層に対して圧縮歪みを有し、
前記梁構造体は、前記梁構造体の延在する方向に対して垂直な異なる少なくとも2方向に凸となる2つの座屈状態に変位可能とされ、
前記梁構造体の2つの座屈状態を記憶されるビット情報とする
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1記載の記憶素子において、
前記記憶層は、前記支持層とは異なる格子定数を備える結晶材料を前記支持層の上に結晶成長させることで形成されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1又は2記載の記憶素子において、
前記支持層及び前記記憶層の少なくとも一つは、異なる格子定数を持つ2つの材料よりなる混晶から構成され、
前記混晶の混晶比により前記梁構造体の座屈の状態が制御されている
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項3記載の記憶素子において、
前記異なる格子定数を持つ2つの材料は、GaAs,AlAs,InAs,GaP,AlP,InP,GaSb,AlSb,InSb,GaN,AlN,InN,及びこれらの混晶の中より選択されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項3記載の記憶素子において、
前記異なる格子定数を持つ2つの材料は、Si,Ge,C,及びこれらの混晶の中より選択されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の記憶素子において、
前記記憶層は、圧電効果を有する材料から構成されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の記憶素子において、
前記記憶層は、ピエゾ抵抗効果を有する材料から構成されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の記憶素子において、
前記記憶層は、磁気歪効果を有する材料から構成されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の記憶素子において、
前記梁構造体の上に形成されて強磁性材料から構成された強磁性層を備えることを特徴とする記憶素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の記憶素子において、
前記記憶層は、光歪効果を有する材料から構成されたものである
ことを特徴とする記憶素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の記憶素子において、
前記梁構造体の2つの座屈状態を、記憶されているビット情報として検出する座屈状態検出手段を備えることを特徴とする記憶素子。 - 請求項11記載の記憶素子において、
前記梁構造体の2つの座屈状態を、記憶するビット情報として制御する座屈状態制御手段を備えることを特徴とする記憶素子。 - 請求項11又は12記載の記憶素子において、
前記座屈状態検出手段は、
前記梁構造体の上に形成された梁部電極と、前記梁構造体の側方の前記記憶層の上に形成された固定電極とを備え、
前記梁構造体は、前記基板の平面に対する法線方向の厚さが、前記基板の平面方向の幅に対して大きく形成されて前記基板の平面に平行に座屈している
ことを特徴とする記憶素子。
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