JP2008286643A - センシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センシング方法は、穴3を横断するように、ワーク2の表面上の測定点P1〜P8に向かってレーザ光照射部11から測定光を照射するステップと、反射光をレーザ光照射部11で検出し、各測定点P1〜P8までの距離を求めるステップと、各測定点P1〜P8に向かって照射した測定光の照射角度を求めるステップと、測定点P1〜P8の位置を求めるステップと、これら求めた位置を仮位置とし、この仮位置の近似面を求めるステップと、仮位置を通りかつ測定光の照射角度を有する仮想線を設け、これら仮想線と近似面との交点を求めるステップと、これら求めた交点の位置を測定点P1〜P8の真位置として、ワーク2の穴3の形状を求めるステップと、を備える。
【選択図】図1
Description
例えば、図8に示すように、穴3が形成されたワーク2上に、所定間隔おきに測定点P1〜P8を仮定して、これら測定点P1〜P8の位置を測定する。すると、穴3の直径は、測定点P4と測定点P5との間の寸法、つまり、D1となるので、穴3の位置を求めることができる。
例えば、図9に示すように、仮想空間上に、上述のワーク2の測定点P1〜P8をプロットすると、実際には、測定誤差により、測定点P2、P4、P5、P7の位置が、実際の位置とずれてしまい、測定点PA2、PA4、PA5、PA7となる。すると、穴3の直径は、測定点PA4と測定点PA5との間の寸法、つまり、D2として測定されてしまう。
そして、交点の位置を測定点の真位置として、ワークの被測定部の形状を求める。これにより、測定手段から各測定点までの距離の測定誤差が生じても、ワークの被測定部の形状を高精度で測定できる。
図1は、本発明一実施形態に係るセンシング方法が適用されたレーザ測定装置1の概略構成を示す図である。
レーザ光照射部11は、測定光としてのレーザ光を照射する照射部と、レーザ光の反射光を検出する検出部と、を備える。
すなわち、この制御部13は、照射角度検出部131、距離演算部132、および、位置演算部133を備える。
照射角度検出部131は、レーザ光照射部11から各測定点P1〜P8に向かって照射したレーザ光の照射角度を求める。
距離演算部132は、レーザ光照射部11でレーザ光を照射してから、このレーザ光をレーザ光照射部11で受光するまでの時間に基づいて、レーザ測定装置1から各測定点P1〜P8までの距離を求める。
位置演算部133は、照射角度検出部131で求めた照射角度と距離演算部132で求めた各測定点までの距離とに基づいて、測定点P1〜P8の位置を仮位置として3次元の仮想空間上にプロットするとともに、このプロットした測定点P1〜P8の位置を補正する。
なお、以下の説明では、測定点P1〜P4を測定する手順について説明するが、残る測定点P5〜P8についても、同様の手順である。
ST1では、図3に示すように、ワーク2の表面上に穴3を横断するように4つの測定点P1、P2、P3、P4を想定し、これら4つの測定点P1〜P4に向かってレーザ光照射部11からレーザ光を照射する。
ST3では、レーザ光照射部11から各測定点P1〜P4に向かって照射したレーザ光の照射角度を求める。具体的には、図3に示すように、レーザ光照射部11からワーク2の表面に下ろした垂線に対する、各測定点P1〜P4に向かって照射したレーザ光の照射角度を、θ1、θ2、θ3、θ4とする。
ST5では、図4に示すように、求めた測定点P1〜P4の位置を仮位置PA1、PA2、PA3、PA4として仮想空間上にプロットする。
この距離の測定誤差は測定光の照射角度の測定誤差に比べて大きくなることが多く、そのため、仮想空間では、照射角度θ1〜θ4については、高い精度で測定できたものの、測定点P2、P4の距離には測定誤差が生じており、仮位置PA2の仮想空間上の位置は、実際の位置(図4中破線で示す)よりもレーザ光照射部11側に接近しており、仮位置PA4の仮想空間上の位置は、実際の位置(図4中破線で示す)よりもレーザ光照射部11から離れている。
ST6では、図5に示すように、仮位置PA1〜PA4の近似面Hを求める。ここでは、例えば、仮位置PA1〜PA4に最小2乗法を適用することにより、近似面Hを求める。
ST8では、これら求めた交点PB1〜PB4の位置を、測定点P1〜P4の真位置とする。
(1)レーザ光照射部11から各測定点P1〜P4までの距離を求めるとともに、レーザ光照射部11から測定点P1〜P4に向かって照射した測定光の照射角度θ1〜θ4を求める。次に、これらの距離および照射角度θ1〜θ4に基づいて、各測定点P1〜P4の位置を求めて、この求めた位置を仮位置PA1〜PA4として仮想空間上にプロットする。次に、このプロットした仮位置PA1〜PA4の近似面Hを求めて、仮位置PA1〜PA4を通りかつ測定光の照射角度θ1〜θ4を有する仮想線L1〜L4を設け、仮想線L1〜L4と近似面Hとの交点PB1〜PB4を求める。交点PB1〜PB4の位置を測定点P1〜P4の真位置として、ワーク2の穴3の形状を求める。これにより、レーザ光照射部11から各測定点P1〜P4までの距離の測定誤差が生じても、計算により求めた測定点P1〜P4の位置が実際の測定点P1〜P4の位置とずれるのを抑制して、ワーク2の穴3の形状を高精度で測定できる。
3 穴(被測定部)
11 レーザ光照射部(測定手段)
P1、P2、P3、P4 測定点
θ1、θ2、θ3、θ4 照射角度
H 近似面
PA1、PA2、PA3、PA4 仮位置
L1、L2、L3、L4 仮想線
PB1、PB2、PB3、PB4 交点
Claims (1)
- ワークの被測定部の形状をセンシングするセンシング方法であって、
前記被測定部を横断するように、前記ワークの表面上の複数の測定点に向かって測定手段から測定光を照射するステップと、
前記各測定点で反射した反射光を前記測定手段で検出し、当該検出した反射光に基づいて、前記測定手段から前記各測定点までの距離を求めるステップと、
前記測定手段から前記各測定点に向かって照射した測定光の照射角度を求めるステップと、
前記測定手段から各測定点までの距離および前記測定光の照射角度に基づいて、前記各測定点の位置を求めるステップと、
当該求めた位置を仮位置とし、この仮位置の近似線または近似面を求めるステップと、
前記仮位置を通りかつ前記測定光の照射角度を有する仮想線を設け、当該仮想線と前記近似線または近似面との交点を求めるステップと、
当該求めた交点の位置を前記測定点の真位置として、前記ワークの被測定部の形状を求めるステップと、を備えることを特徴とするセンシング方法。
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