以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態の超音波モータを説明する。
(実施の形態1)
まず、図1〜図10を用いて、本発明の実施の形態1の超音波モータを説明する。
図1〜図3に示されるように、本実施の形態1の超音波モータ1は、長方形の平板形状を有する矩形平板タイプの超音波振動子11、および、超音波振動子11によって駆動されるロータ200を備えている。また、超音波モータ1は、ロータ200に接触する接触機構としての円盤部材61を備えている。円盤部材61は、ロータ200を内周面の接線方向に移動させながら、かつ、ロータ200を内周面の法線方向に押し付ける。また、超音波モータ1は、装置の本体に接続されたシャフト100を備えている。
なお、本発明の超音波モータは、超音波振動子がロータの内周面に接触しておりかつ所望の楕円振動を発生させるものであれば、いかなるものであってもよいため、以下の実施の形態に示される構造を有する超音波モータに限定されない。たとえば、超音波振動子の、大きさ、形状、および材料等は、本発明の目的を達成できかつ効果を得ることができるのであれば、いかなるものであってもよい。
<全体構成>
前述のように超音波モータ1は、矩形平板タイプの超音波振動子11を有している。超音波モータ1は長方形の振動板21を有している。振動板21は、上側接続部材30および下側接続部材31によって、縦振動の節の位置の近傍で支持されている。上側接続部材30は、シャフト100に対して、z軸方向の並進運動以外の5つの運動、すなわち、x軸方向の並進運動、y軸方向の並進運動、x軸方向の周り回転運動、y軸周りの回転運動、z軸周り回転運動からなる5つの運動が拘束されるように、接続されている。また、下部接続部材31は、前述の5つの運動にz軸軸方向の並進運動を加えた6つの運動のすべてが拘束されるように、シャフト100に固定されている。
また、超音波モータ1は、接触機構を備えている。接触機構は、円盤部材61および円盤支持部材60を有している。接触機構は、シャフト100に対して、超音波振動子11の反対側の上側接続部材30に取り付けられている。シャフト100は、図示されていない外部に設けられた装置の本体に固定されている。振動板21の上側接続部材30および下側接続部材31が設けられている辺と反対側の辺の2つの角部が、ロータ200の内周面に当接している。
また、超音波振動子11には、電極71、72、73、74、75および圧電素子50のそれぞれが2つずつ設けられている。電極71、72、73、74、75および圧電素子50のそれぞれは、上下方向において面対称に設けられている。電極71、72、73、74および75は、所定の信号が入力され得るように、制御装置(図示せず)に電気的に接続されている。
また、本実施の形態の超音波振動子11においては、圧電素子50が、逆圧電効果を利用して電極71、72、73、74および75に印加された交流電界によって振動する。圧電素子50の振動は、振動板21に伝達される。その結果、角部S1およびS2が、それぞれ、矢印E1およびE2で示される楕円軌道を描くように、振動板21が振動する。その結果、角部S1およびS2に接触しているロータ200が円軌道Cに沿って移動する。すなわち、ロータ200が回転する。なお、ロータ200の内径は10mmである。
<超音波振動子>
次に、矩形平板タイプの超音波振動子11の構造がより詳細に説明される。
図1〜図3に示されるように、超音波振動子11は、上側主板部40および下側主板部41からなる振動板21、電極75、2つの圧電素子50、および電極71、72、73および74を備えている。
振動板21を構成する上側主板部40と下側主板部41とは上下方向において互いの一方の主表面同士が接触するように設けられている。上側主板部40および下側主板部41のそれぞれの他方の主表面上には電極75の一方の主表面が接着されている。圧電素子50上の2つの電極75のそれぞれの他方の主表面上には電極71、72、73および74が接着されている。
上側主板部40および下側主板部41は、それぞれ、幅1.35mm、長さ6.0mm、かつ厚さ0.2mmの平板状部材からなり、図3におけるxy平面に平行であるものとする。また、上側接続部材30は、上側主板部40の長辺の中央位置からxy平面に対して斜め上方に延びている。また、下側接続部材31は、下側主板部41の長辺の中央位置からxy平面に対して斜め下方に延びている。
上側接続部材30は、1.0mm×1.0mmの正方形の貫通孔を有する上側のプレート80の一の辺およびその一の辺に対向する他の辺に接続されている。下側接続部材31は、1.0mm×1.0mmの正方形の貫通孔を有する下側のプレート80の一の辺およびその一の辺に対向する他の辺に接続されている。上側のプレート80の正方形の貫通孔と下側のプレート80の正方形の貫通孔とは、xy平面に対して垂直な方向の平面視において、同一位置に設けられている。2つのプレート80のそれぞれの貫通孔の形状は、シャフト100の外形とほぼ同一である。また、xy平面に対して垂直な方向の平面視において、プレート80の貫通孔の中心から超音波振動子11とロータ200との接触点までの距離が、ロータ200の半径と一致する、すなわち、貫通孔80の中心はロータ200の中心と一致するように、上側接続部材30および下側接続部材31の長さが設定されている。上側主板部40と下側主板部41とは互いに接着されている。振動板21の反対側の端には、前述の接触機構が設けられている。接触機構は円盤部材61および円盤支持部材60を有する。円盤部材61がロータ200の内周面に接触するように設けられている。円盤部材61は、ロータ200の内周面に接触して、ロータ200を支持するものであり、それとロータ200との間に生じる摩擦によってロータ200の回転を阻害しないように、円盤支持部材60によって、z軸周まわりに回転可能に支持されている。圧電素子50は、幅1.35mm、長さ5.35mm、かつ幅0.2mmの長方形の平面形状を有する平板状部材である。また、xy平面に対して垂直な方向の平面視において、圧電素子50の長辺と上側主板部40の長辺とが重なるように、圧電素子50は上側主板部40に対して電極75が互いの間に介在する状態で固定されている。また、xy平面に対して垂直な方向の平面視において、圧電素子50の長辺と下側主板部41の長辺とが重なるように、圧電素子50は下側主板部41に対して電極75が互いの間に介在する状態で固定されている。
なお、振動板21および圧電素子50のそれぞれの寸法および形状は、上述の寸法および形状に限定されず、上述のように、ロータ200の回転に必要な楕円運動を生じさせることができ、かつ、ロータ200の内周面に接触することによってロータ200を回転させることができるのであれば、他の寸法および形状であってもよい。また、振動板21の材料は、振動の減衰が小さく、共振により大きな振幅の楕円運動が得られるのであれば特に限定されないが、ステンレス等の導電性を有する材料であることが望ましい。また、上側接続部材30および下側接続部材31と上側主板部40および下側主板部41とは別個の部材からなっていてもよいが、それらが1つの部材で一体的に形成されていることが望ましい。
圧電素子50は、チタン酸ジルコニウム酸鉛(PZT)からなっているが、電圧が印加されて振動する素子であれば、いかなる材料からなっていてもよい。圧電素子50の一方の主表面上には、電極71、72、73、および74が取り付けられている。電極71、72、73、および74は圧電素子50の一方の主表面が実質的に同一の4つの長方形の領域に分割されたとすると、4つの長方形の領域のそれぞれに設けられている。また、圧電素子50の他方の主表面上には、実質的に長方形の電極75が設けられている。電極75は圧電素子50の他方の主表面と同一の長方形の平面形状を有する平板状部材である。
本実施の形態の矩形平板タイプの超音波振動子11においては、一方の圧電素子50は、上側主板部40に接着された主表面に対向する主表面に対して、電極75が互いの間に介在する状態で固定されている。他方の圧電素子50は、下側主板部41に接着された主表面に対向する主表面に対して、電極75が互いの間に介在する状態で固定されている。
上側の電極75は、その長辺と上側主板部40の長辺とがz軸方向に沿って見たときに重なるように、上側主板部40の主表面に固定されている。下側の電極75は、その長辺と下側主板部41の長辺とがz軸方向に沿って見たときに重なるように、下側主板部41の主表面に固定されている。上側の電極75および下側の電極75は、それぞれ、銀ペーストなどの導電性接着剤によって上側主板部40および下側主板部41に接着されている。なお、導電性接着剤自体に上側の電極75および下側の電極75の役割を果たさせることが可能である。この場合、上述の2つの主板部40および41と圧電素子50との接着、および電極75の形成が同時に行われる。
また、上側主板部40および下側主板部41は、振動板21を構成しており、xy面について鏡面対称に配置されている。さらに、振動板21の一方の主表面に取り付けられている圧電素子50およびそれに取り付けられている電極71、72、73、74および75と、振動板21の他方の主表面に取り付けられている圧電素子50およびそれに取り付けられている電極71、72、73、74および75とは、振動板21のxy面について鏡面対称に配置されている。そのため、振動板21の一方の主表面上の圧電素子50の振動特性と、振動板21の他方の主表面上の圧電素子50の振動特性とは実質的に同一である。したがって、本実施の形態の振動板21は、その面内方向において振動する。また、振動板21の上側主板部40および下側主板部41は長方形であるため、前述の面内方向において、振動板21の角部S1およびS2は楕円振動する。
次に、図4〜図7を用いて、本実施の形態の矩形平板タイプの超音波振動子11の駆動方法が説明される。矩形平板タイプの超音波振動子11が駆動されるときには、所定の信号が、外部に設けられた制御装置(図示せず)から電極71、72、73、74 および75へ入力される。なお、振動板21の一方の主表面側に位置づけられた電極71、72、73、および74に入力される信号(印加電圧)は、振動板21の他方の主表面側に位置づけられた電極71、72、73、および74に入力される信号(印加電圧)に対して、xy平面に鏡面対称の態様で入力される。
図3に示されるように、電極71と電極73とは結線されており、同一の信号(φ1)が入力される。電極72と電極74とは、結線されており、同一の信号(φ2)が入力される。したがって、電極71、72、73、74および75に入力される信号は、図4に示されるように、4つのモード(A),(B),(C)および(D)を有している。また、図5に示されるように、電極71および電極73に入力される信号と電極72および電極74に入力される信号とは、その位相において90度のズレを有しているが、同一の振幅および周波数を有している。
上述の超音波振動子11の振動板21は、図6に示される伸縮振動および図7に示される屈曲運動との組み合わせの振動を行う。図6に示される伸縮振動によれば、振動板21は、白抜き矢印で示されるように、長辺方向において圧縮されたり伸張されたりする。それにより、角部S1およびS2のそれぞれは長辺方向に振動する。一方、図7に示される屈曲振動によれば、振動板21は一のS字形状からそれに鏡面対称な他のS字形状へ変化する。それにより、振動板21の角部は、白抜き矢印で示すように、短辺方向において振動する。
伸縮振動の共振周波数と同じ周波数の電圧が、電極71、72、73および74のそれぞれに同位相で印加されると、振動板21は図6に矢印で示される方向において、伸縮振動を行う。また、屈曲振動の共振周波数と同一の位相および周波数で変化する電圧(正)が、電極71および73それぞれに印加され、電極71および73とは逆位相の電圧(負)が、電極72および74のそれぞれに印加されると、振動板21は図7に矢印で示されるように、屈曲振動を行う。なお、2つの電極75のそれぞれには、常に、基準電位(0V)が与えられている。また、各電極の形状は、長方形に限定されず、超音波振動子11が伸縮振動および屈曲振動の双方を生じされることができる形状であれば、いかなる形状であってもよい。
伸縮振動の共振周波数aおよび屈曲振動の共振周波数bのそれぞれと同一の周波数および位相の電圧が電極71および73に印加され、電極71および73と同一の周波数であってかつ位相が+90度ずれた電圧が電極72および74に印加される。それにより、矩形平板タイプの超音波振動子11の伸縮振動および屈曲振動が互いの位相が90度ずれた状態で振動板21に生じる。その結果、ロータ200に接触している振動板21の角部S1およびS2が、図1に矢印E1およびE2で示されるように、楕円振動を行う。
また、電極71および73に印加される電圧の周波数と同一の周波数で、電極71および73に印加される電圧の位相から−90度だけずれた位相を有する電圧が電極72および74に印加されると、角部S1およびS2は、図1に矢印E1およびE2で示された方向とは逆方向の楕円振動を行う。また、ある一方向にロータ200が回転している状態で、電極71、73および電極72、74に入力されている信号のうちいずれか一方の位相が180度だけ変化すれば、矩形平板タイプの超音波振動子11の角部S1およびS2に当接しているロータ200の回転方向が反転する。
図8にxz断面図が示されている超音波モータ1において、上側主板部40、下側主板部41、上側接続部材30、下側接続部材31、および円盤支持部材60は、2枚のステンレス板により形成されている。2枚のステンレス板は、振動板21の位置および上側主板部60の位置において接着されている。上側接続部材30および下側接続部材31は、それらによってパンタグラフ形状が構成されるように、それぞれ、xy平面に対して45度だけ、折り曲げられている。なお、上側主板部40、下側主板部41、上側接続部材30、下側接続部材31、および円盤支持部材60のそれぞれの寸法は、図8に示されたようなものであり、円盤部材61および振動板21の2つの角部S1およびS2の合計3箇所において、ロータ200の内周面に接触している。
上述の本実施の形態の超音波モータ1においては、下側接続部材31のプレート80とシャフト100とは固定されているが、上側接続部材30は、図2に示される押付機構1000によって押されて、シャフト100の長さ方向(z方向)に沿って下方へ移動することができる。したがって、押付機構1000が上側接続部材30を下側に向かって押し付け、それにより、上側支持部材30および下側支持部材31が弾性変形した状態で上側接続部材30の位置が固定されれば、超音波振動子11の角部S1およびS2からなる2点ならびに円盤部材61の円周上の1点が、ロータ200の内周面に向かって、強く押し付けられる。そのため、ロータ200と超音波振動子11との接触の状態が安定する。なお、本実施の形態の押付機構1000は、上方から下方への力を上側接続部材30にかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させているが、上述の上側接続部材30と下側接続部材31との拘束関係が上下逆になるように、上側接続部材30および下側接続部材31をシャフト100に取り付け、下方から上方への力を下側接続部材31にかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させてもよい。また、上側接続部材30および下側接続部材31の両方を、それぞれ、上述の5つの運動が拘束された状態で、シャフト100に取り付けてもよい。この場合、押付機構1000により、上側接続部材30に対しては上方から下方への力、下側接続部材31に対しては下方から上方への力をそれぞれかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させる。さらに、本発明の押付機構は、上側接続部材30および下側接続部材31のような超音波振動子11および接触機構に接続された接続部材に力をかけることにより、それらを弾性変形させることができるものであれば、いかなるものであってもよい。要するに、本発明の押付機構は、超音波振動子11および接触機構をロータ200の内周面に向かって押し付けることができる機構であれば、いかなるものであってもよい。さらに、2つのプレート80のそれぞれがx−y面に対して平行に広がっているという状態が維持され、押し付け機構1000とプレート80との間における摩擦力またはそれらの接着等によって、押付機構1000とプレート80との間におけるz軸周りの回転すべりが防止されており、かつ、押付機構1000またはプレート80がシャフト100の代わりに本体に接続されていれば、シャフト100は設けられていなくてもよい。
発明者らの行った圧電解析シミュレーションの結果、縦1次振動および屈曲2次振動が同一の共振周波数で生じる矩形平板タイプの超音波振動子11においては、電極71,72,73および74に上述の信号を入力することによって、4つの角部が、図9に示されるように、楕円運動する。このとき、角部S1の楕円軌道の位相と角部S2の楕円軌跡との差が約180度であることが明らかになっている。
図10に示されるように、一方の角部S1に着目すれば、楕円振動の後半の半周期WOKにおいて、超音波振動子11がロータ200の内周面に接触するが、楕円振動の前半の半周期WNOにおいては、超音波振動子11がロータ200の内周面に接触しない。また、他方の角部S2に着目すれば、楕円振動の前半の半周期WOKにおいて、超音波振動子11がロータ200の内周面に接触するが、楕円振動の後半の半周期WNOにおいては、超音波振動子11がロータ200の内周面に接触しない。したがって、角部S1および角部S2からなる2点がロータ200の内周面に接触する場合には、角部S1の後半の半周期および角部S2の前半の半周期において、超音波振動子11がロータ200の内周面に接触する。そのため、超音波振動子11の1周期の全体にわたって、超音波振動子11は、ロータ200の内周面に振動を伝達することができる。
また、矩形平板タイプの超音波振動子11とロータ200の内周面との間に生じる動摩擦力は、ロータ200の内周面に対して垂直な方向における力、すなわち内周面の法線方向の力(垂直抗力)と動摩擦係数との積に比例する。ロータ200のパワーを大きくするために摩擦力を大きくすれば、前述の垂直抗力を大きくする必要がある。ただし、前述の垂直抗力を大きくすると、ロータ200と超音波振動子11とが接触する位置において、矩形平板タイプの超音波振動子11およびロータ200は、互いの間に生じる垂直抗力に比例して弾性変形する。
例えば、楕円運動の振幅が大きくなると、前述の弾性変形の量が大きくなってしまう。この場合、楕円運動の1周期の間の全てにおいて、ロータ200と矩形平板タイプの超音波振動子11とが接触してしまうような事態が生じることも考えられる。このような事態が生じれば、ロータ200は回転できない。したがって、超音波振動子11からロータ200へ加えることができる垂直抗力は、超音波振動子11およびロータ200の弾性変形能力を考慮することによって決定された所定値以下の値でなければならない。
本実施の形態においては、ロータ200と超音波振動子11とが2点で接触する。そのため、超音波振動子11からロータ200へ加えることができる垂直抗力は、ロータ200と超音波振動子11とが1点で接触する場合の2倍になる。また、本実施の形態の1つの矩形平板タイプの超音波振動子11から取り出せる最大パワーは、ロータ200と超音波振動子11とが1点で接触する場合に超音波振動子から取り出せる最大パワーの2倍になる。
なお、本実施の形態においては、接触機構として、可動である円盤部材61が用いられているが、円形の先端を有し、摩擦抵抗が極めて小さな部材であれば、固定された円盤部材が用いられてもよい。接触機構は、ロータ200を中心から外部へ向かって押すことができかつロータ200の回転を妨げないものであれば、いかなるものであってもよい。
また、本実施の形態においては、矩形平板タイプの超音波振動子11の2つの角部S1およびS2のそれぞれおよび円盤部材61がロータ200の内周面に接触している。角部S1およびS2に、突起94および95が設けられており、突起94および95を媒介として超音波振動子11とロータ200の内周面とが接触していてもよい。また、図11に示されるように、矩形平板タイプの超音波振動子11の1つの角部S1またはS1に設けられた突起92および2つの円盤部材61がロータ200の内周面に接触する超音波モータであってもよい。これによっても、ロータ200と超音波振動子11および2つの円盤部材61とが3点で接触しているため、安定した接触状態が維持され易い。
また、本発明の超音波モータは、1または2以上の円盤部材61と1または2以上の超音波振動子11を有し、それらとロータ200とが3以上の点でロータ200の内周面と接触していれば、押付機構1000を用いて、1または2以上の円盤部材61および1または2以上の超音波振動子11のそれぞれとロータ200とは安定した接触状態を維持することができる。ただし、1または2以上の円盤部材61および1または2以上の超音波振動子11のそれぞれとロータ200とが安定した接触状態を維持するためには、図12に示されるように、たとえば、接点が3つである場合には、それらの3つの接点H、I、およびJがロータ200の中心Oを囲むような位置に配置されることが必要である。また、接点が4以上である場合(たとえば、図25参照)も同様に、4以上の接点がロータ200の中心Oを囲むように設けられていなければ、ロータ200を安定して保持することはできない。
また、本実施の形態においては、超音波振動子11および円盤部材61が装置本体に固定されており、ロータ200が回転する超音波モータ1が説明されたが、ロータ200が、装置本体に固定された固定部材であり、超音波振動子11および円盤部材61が固定部材としてのロータ200の中心まわりにロータ200の内周面に接触しながら回転する超音波モータであっても、前述の押付機構1000を用いれば、超音波振動子11および円盤部材61と固定部材としてのロータ200との安定的な接触状態が維持される。
(実施の形態2)
次に、図13〜図16を用いて、本発明の実施の形態2の超音波モータを説明する。
図13に示されるように、超音波モータ2は、2つの矩形平板タイプの超音波振動子11、シャフト100、およびロータ200を備えている。なお、実施の形態1に示された超音波モータ1と同一構成および同一機能を実現する構成要素には同一参照符号が付され、その説明は繰り返さない。
本実施の形態における2つの矩形平板タイプの超音波振動子11は、実施の形態1において説明された矩形平板タイプの超音波振動子11と同一サイズおよび形状を有する振動板21、電極71、72、73、74および75を備えている。2つの矩形平板タイプの超音波振動子11は、図14〜図16に示されるように、シャフト100の中心軸を含む平面、すなわち、ロータ200の回転中心軸を含む平面に対して、鏡面対称に配置されている。
次に、本実施の形態2の超音波モータ2の駆動方法を説明する。
電極71、72、73、74および75へ入力される信号は、実施の形態1の電極へ入力される信号と同一である。つまり、電圧は、図4および図5に示される態様で、電極71、72、73および74に印加される。2つの振動板21が、それぞれ、角部S5,S6、および、角部S7,S8を有している。それらの4つの角部S5,S6,S7,およびS8がロータ200の内周面に接触している。
本実施の形態2においては、ロータ200の内周面に接触する点は、すべて超音波振動子11上の点である。そのため、本実施の形態の超音波モータ2によれば、実施の形態1の超音波モータ1のような接触機構としての円盤部材61がロータ200に接触するものと比較して、ロータ200の回転抵抗として働く接点が存在しないため、ロータ200の回転の効率が高い。
図16に示される超音波モータ2のxz断面図において、上側主板部40、下側主板部41、上側接続部材30、および下側接続部材31は、2枚のステンレス板によって形成されている。2枚のステンレス板は2つの振動板21の位置において接着されている。上側接続部材40および下側接続部材41は、それぞれ、それらによってパンタグラフ形状が形成されるように、xy平面に対して45度だけ折り曲げられている。なお、上側主板部40、下側主板部41、上側接続部材30、および下側接続部材31のそれぞれの寸法は、図16に示されているようなものである。
上述の本実施の形態の超音波モータ2においては、下側接続部材31のプレート80とシャフト100とは固定されており、上側接続部材30は、図14に示される押付機構1000によって押されて、シャフト100の長さ方向(z方向)に沿って下方へ移動することが可能である。したがって、押付機構1000が上側接続部材30を下側に向かって押し付け、上側接続部材30の位置が固定されれば、2つの超音波振動子11の4つの角部S5,S6,S7およびS8が、ロータ200の内周面を押し付けることができる。そのため、ロータ200と2つの超音波振動子11の4つの角部との接触状態が安定する。なお、本実施の形態の超音波モータにおいては、2つの超音波振動子11の4つの角部S5,S6,S7およびS8に、それぞれ突起96および97を設け、突起96および97を媒介として超音波振動子11とロータ200の内周面とが接触してもよい。なお、本実施の形態の押付機構1000は、上方から下方への力を上側接続部材30にかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させているが、上側接続部材30と下側接続部材31との拘束関係が上下逆になるように、上側接続部材30および下側接続部材31がシャフト100に取り付けられ、下方から上方への力を下側接続部材31にかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させてもよい。また、上側接続部材30および下側接続部材31の両方を、上述の5つの運動を拘束するように、シャフト100に取り付けてもよい。この場合、押付機構1000により、上側接続部材30に対しては上方から下方への力、下側接続部材31に対しては下方から上方への力をそれぞれかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させる。さらに、本発明の押付機構は、上側接続部材30および下側接続部材31のような超音波振動子11および接触機構に接続された接続部材に力をかけることにより、それらを弾性変形させることができるものであれば、いかなるものであってもよい。要するに、本発明の押付機構は、超音波振動子11および接触機構をロータ200の内周面に向かって押し付けることができる機構であれば、いかなるものであってもよい。さらに、2つのプレート80のそれぞれがx−y面に対して平行である状態が維持され、押し付け機構1000とプレート80との間における摩擦力またはそれらの接着等によって、押付機構1000とプレート80との間におけるz軸周りの回転すべりが防止されており、かつ、押付機構1000またはプレート80がシャフト100の代わりに本体に接続されていれば、シャフト100が設けられていなくてもよい。
また、本発明の超音波モータは、複数の超音波振動子11を有し、それらとロータ200とが3以上の点でロータ200の内周面と接触していれば、押付機構1000を用いて、複数の超音波振動子11とロータ200のとは安定した接触状態を維持することができる。ただし、複数の超音波振動子11とロータ200とが安定した接触状態を維持するためには、図12に示されるように、たとえば、接点が3つである場合には、それらの接点H、I、およびJは、ロータ200の中心Oを囲むような位置に設定されることが必要である。また、接点が4以上である場合(たとえば、図25参照)も同様に、4つの接点がロータ200の中心Oを囲むように設けられていなければ、ロータ200を安定して保持することはできない。
(実施の形態3)
次に、図17〜図25を用いて、本発明の実施の形態3の超音波モータ3を説明する。超音波モータ3は、2つの円弧状平板タイプの超音波振動子13、シャフト100、およびロータ200を備えている。なお、実施の形態1および実施の形態2において説明された超音波モータと同一の構成および同一の機能を実現する構成要素には同一参照符号が付され、その説明は特に必要がなければ繰り返さない。
<超音波振動子>
ここで、円弧状平板タイプの超音波振動子13の構造がより詳細に説明される。
図17〜図19に示されるように、円弧状平板タイプの超音波振動子13は振動板22を備えている。振動板22は、シャフト100にz軸方向の並進運動以外の5つの運動が拘束されるように接続された上側接続部材30と、5つの運動に加えてz軸方向の並進運動を含む6つの運動のすべてが拘束されるようにシャフト100に接続された下側接続部材31と、上側接続部材30および下側接続部材31と一体的に形成された上側主板部42および下側主板部43を有している。
上側主板部42および下側主板部43は、内径5.8mm、外径9.8mm、かつ角度90度を有する円弧状平板によって形成されている。ここで、外側の扇形の円弧に相当する部分を外周部と呼び、外側の扇形と同心の内側の扇形の円弧に相当する部分を内周部と呼ぶ。また、上側接続部材30および下側接続部材31は、それぞれ、上側主板部42および下側主板部43の内周部の中央位置から延びている。上側接続部材30および下側接続部材31の中央位置には、xy平面に対して垂直な方向から見たときに、一辺0.6mm角の正方形の貫通孔を有するプレート80が設けられている。プレート80の貫通孔はシャフト100の外形とほぼ同一の形状を有している。xy平面に対して垂直な方向に見たときに、プレート80の貫通孔の中心から円弧状平板タイプの超音波振動子13とロータ200との接触点までの距離が、ロータ200の半径と一致するように、すなわち、プレート80の貫通孔の中心はロータ200の回転中心と一致するように、上側接続部材30および下側接続部材31の長さが設定されている。
上側接続部材30および下側接続部材31のそれぞれの上側主板部42および43は互いに接着されている。圧電素子51は、内径5.2mm、外径9.8mm、かつ角度90度の円弧状平板部材である。また、xy平面に垂直な方向において見たときに圧電素子51の外周部と上側主板部42の外周部とが重なるように、上側の圧電素子51は、上側主板部42に対して電極70が間に介在する状態で固定されている。一方、xy平面に垂直な方向において見たときに下側の圧電素子51の外周部と下側主板部43の外周部とが重なるように、下側の圧電素子51は、下側主板部43に対して電極70が間に介在する状態で固定されている。
なお、振動板22および圧電素子51のそれぞれの寸法および形状は、上述の寸法および形状に限定されず、他の寸法および形状であってもよい。また、振動板22の材料は、振動の減衰が小さく、共振により大きな振幅の楕円運動が得られるのであれば、特に限定されないが、ステンレス等の導電性を有する材料であることが望ましい。また、上側接続部材30および下側接続部材31と上側主板部42および下側主板部43とは別個の部材からなっていてもよいが、それらが1つの部材で一体的に形成されていることが望ましい。
圧電素子51は、チタン酸ジルコニウム酸鉛(PZT)からなっているが、電圧が印加されて振動する素子であれば、いかなる材料からなっていてもよい。2つの圧電素子51のそれぞれの一方の主表面上には、電極76、77、78、および79が取り付けられている。電極76、77、78、および79の寸法は図24に示されているようなものである。また、2つの圧電素子51のそれぞれの他方の主表面上には電極70が設けられている。電極70は圧電素子51の他方の主表面と同一の円弧状の平面形状を有する平板状部材である。
本実施の形態の円弧状平板タイプの超音波振動子13においては、上側の圧電素子51は、上側主板部42に接着されている主表面とは反対側の主表面に対して、電極70が間に介在する状態で固定されている。下側の圧電素子51は、下側主板部43に接着されている主表面とは反対側の主表面に対して、電極70が間に介在する状態で固定されている。
上側の電極70は、xy平面に垂直な方向に沿って見たときに、その外周部が上側主板部42の外周部が重なるように、上側主板部42の一方の主表面に固定されている。下側の電極70は、xy平面に垂直な方向に沿って見たときに、その外周部が下側主板部43の外周部が重なるように、下側主板部43の一方の主表面に固定されている。2つの電極70は、それぞれ、銀ペーストなどの導電性接着剤によって上側主板部42および下側主板部43に接着されている。なお、導電性接着剤自体に上側の電極70および下側の電極70の役割を果たさせてもよい。この場合、上述の2つの主板部40および41と圧電素子50との接着および電極75の形成が同時に行われる。
また、振動板22を構成する上側主板部42および下側主板部43は、xy平面に対して鏡面対称に配置されている。さらに、振動板22の一方の主表面に取り受けられている圧電素子51と、振動板22の他方の主表面に取り付けられている圧電素子51とも、xy平面に対して鏡面対称に配置されている。上側主板部42に接着されている電極76、77、78、79および80と下側主板部43に接着されている電極76、77、78、79および70とも、xy面に対して鏡面対称に配置されている。
そのため、振動板22の一方の主表面上の圧電素子51の振動特性と、振動板22の他方の主表面上の圧電素子51の振動特性とは実質的に同一である。したがって、本実施の形態の振動板22は、その面内方向において振動する。また、振動板22の上側主板部42および下側主板部43の外周部の両端に位置付けられた2つの角部には、それぞれ、一辺0.2mmの突起90および91が設けられている。2つの振動板22のそれぞれの突起90および91が、図17における位置S9、S10、S11およびS12の合計4か所で、ロータ200の内周面に接触している。2つの突起90および91は、図17において矢印E9およびE10で示されるように、面内方向において楕円運動する。
次に、図20〜図24を用いて、本実施の形態の円弧状平板タイプの超音波振動子13の駆動方法が説明される。円弧状平板タイプの超音波振動子13が駆動されるときには、所定の信号が、外部に設けられた制御装置(図示せず)から電極76、77、78、79および70へ入力される。なお、振動板22の一方の主表面側に位置づけられた電極76、77、78、79に入力される信号(印加電圧)は、振動板22の他方の主表面側に位置づけられた電極76、77、78、79に入力される信号(印加電圧)に対して、xy面に対して鏡面対称に入力される。
図17に示されるように、電極76と電極78とは結線されており、同一の信号(φ1)が入力される。電極77と電極79とは、結線されており、同一の信号(φ2)が入力される。したがって、電極76、77、78および79に入力される信号は、図22および図23に示されるように、4つのモード(A),(B),(C)および(D)を有している。また、図23に示されるように、電極76および電極78に入力される信号と電極77および電極79に入力される信号とは、その位相において90度のズレを有しているが、同一の振幅および周波数を有している。
上述の円弧状平板タイプの超音波振動子11の振動板22は、図20に示される伸縮振動および図21に示される屈曲運動との組み合わせの振動を行う。図20に示される伸縮振動によれば、振動板22は、白抜き矢印で示されるように、ロータ200の内周面の接線方向において圧縮されたり伸張されたりする。それにより、角部S1およびS2、すなわち突起90および91は、振動板22の外周部に沿って、すなわちロータ200の内周面の接線方向に振動する。一方、図21に示される屈曲振動によれば、振動板22は、白抜き矢印で示されるように、撓み振動をする。それにより、振動板22の角部S1およびS2は、すなわち振動板22の突起90および91は、それぞれ、白抜き矢印で示すように、短辺方向、すなわちロータの内周面の法線方向に沿って振動する。
伸縮振動の共振周波数および位相と同一の周波数および位相で変化する電圧が、電極76、77、78および79のそれぞれに印加されると、振動板22は、図20に矢印で示される方向において、伸縮振動を行う。また、屈曲振動の共振周波数および位相と同一の周波数および位相で変化する電圧(正)が、電極76および78それぞれに印加され、電極76および78とは同一の周波数でかつ逆位相の電圧(負)が、電極77および79のそれぞれに印加されると、振動板22は、図21に矢印で示されるように、屈曲振動を行う。また、2つの電極70のそれぞれには、常に、基準電位(0V)が与えられている。
なお、電極の形状は、円弧形状に限定されず、円弧状平板タイプの超音波振動子11が伸縮振動および屈曲振動の双方を生じされることができる形状であれば、いかなる形状であってもよい。
伸縮振動の共振周波数aおよび屈曲振動の共振周波数bのそれぞれと同一の周波数および位相の電圧が電極76および78に印加され、電極76および78と同一の周波数であってかつ位相が+90度だけずれた電圧が電極77および79に印加される。それにより、円弧状平板タイプの超音波振動子11の伸縮振動および屈曲振動が同時に振動板22に生じる。その結果、4つの突起90および91が、図17に矢印E9、E10、E11、およびE12で示されるように、楕円振動を行う。4つの突起90および91は、2つの振動板22のそれぞれの角部S9,S10,S11,およびS12に設けられており、ロータ200の内周面に接触しているため、ロータ200は円周方向に回転する。
また、電極77および79に電極76および78と同一周波数であってかつ位相が−90度だけずれた電圧が印加されると、図17に矢印E9、E10、E11、およびE12で示された方向とは逆方向の楕円振動が生じる。また、ある一方向にロータ200が回転している状態で、電極76、78および電極77、79に入力されている信号のうちいずれか一方の位相が180度だけ変化すれば、円弧状平板タイプの超音波振動子11の突起90および91に当接しているロータ200の回転方向が反転する。
次に、表1を用いて、前述の円弧状平板タイプの超音波振動子11の振動特性のシミュレーション結果を説明する。
表1は、それぞれが同一の体積を有する円弧状平板タイプの超音波振動子13および矩形平板タイプの超音波振動子11の周波数応答解析結果を示している。表1において、Vnは1次縦振動の速度成分および2次屈曲振動のそれぞれのロータ法線方向の振動速度成分を示し、Vtは1次縦振動および2次屈曲振動のそれぞれの接線方向の振動速度成分を示している。表1に示されるように、円弧状平板タイプの超音波振動子13によれば、縦1次振動および屈曲2次振動のいずれにおいても、接線方向および法線方向のそれぞれの振動速度成分が矩形平板タイプの超音波振動子11の接線方向および法線方向のそれぞれの振動速度成分よりも大きくなっている。
以上のことから、円弧状平板タイプの超音波振動子13を駆動源として用いる超音波モータ3によれば、矩形平板タイプの超音波振動子11を駆動源として用いる超音波モータ1よりも大きなパワーを発生させることが可能になる。
次に、図24に示される上述の超音波モータ3のxz断面図を用いて、上側主板部42、下側主板部43、上側接続部材30、および下側接続部材31が説明される。上側主板部42、下側主板部43、上側接続部材30、および下側接続部材31は、2枚のステンレス板を用いて形成されている。2枚のステンレス板は、2つの振動板22のそれぞれの位置において接着されている。
上側接続部材30および下側接続部材31は、それらによってパンタグラフ形状が形成されるように、それぞれxy平面に対して45度だけ折り曲げられている。なお、上側主板部42、下側主板部43、上側接続部材30、および下側接続部材31の寸法は、図24に示されたようなものである。2つの振動板22の角部S1およびS2に設けられた4つの突起90および91の合計4個所がロータ200の内周面に接触している。
上述の本実施の形態の超音波モータ3においては、下側接続部材31のプレート80とシャフト100とは固定されており、図18に示される押付機構1000によって押されるが、上側接続部材30はシャフト100の長さ方向(z方向)に沿って移動することが可能である。したがって、押付機構1000が上側接続部材30を下側に向かって押し付け、その位置が固定されれば、2つの超音波振動子11の4つの角部S5,S6,S7およびS8をロータ200に強く押し付けることができる。なお、本実施の形態の押付機構1000は、上方から下方への力を上側接続部材30にかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させているが、上述の上側接続部材30と下側接続部材31との拘束関係が上下逆になるように、上側接続部材30および下側接続部材31をシャフト100に取り付け、下方から上方への力を下側接続部材31にかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させてもよい。また、上側接続部材30および下側接続部材31の両方を、上述の5つの運動が拘束されるように、シャフト100に取り付けてもよい。この場合、押付機構1000により、上側接続部材30に対しては上方から下方への力、下側接続部材31に対しては下方から上方への力をそれぞれかけることにより、上側接続部材30および下側接続部材31を弾性変形させてもよい。さらに、本発明の押付機構は、上側接続部材30および下側接続部材31のような超音波振動子11および接触機構に接続された接続部材に力をかけることにより、それらを弾性変形させることができるものであれば、いかなるものであってもよい。要するに、本発明の押付機構は、超音波振動子11および接触機構をロータ200の内周面に向かって押し付けることができる機構であれば、いかなるものであってもよい。さらに、2つのプレート80のそれぞれがx−y面に対して平行な状態が維持され、押し付け機構1000とプレート80との間における摩擦力またはそれらの間の接着等によって、押付機構1000とプレート80との間におけるz軸周りの回転すべりが防止されており、かつ、押付機構1000またはプレート80がシャフト100の代わりに本体に接続されていれば、シャフト100が設けられていなくてもよい。
また、本発明の超音波モータは、複数の超音波振動子13を有し、それらとロータ200とが3以上の点でロータ200の内周面と接触していれば、押付機構1000を用いて、複数の超音波振動子13とロータ200のとの安定した接触状態を維持することができる。ただし、複数の超音波振動子13とロータ200のとは安定した接触状態を維持するためには、図25に示されるように、接点が4以上である場合には、4つの接点がロータ200の中心Oを囲むように設けられていなければ、ロータ200を安定して保持することはできない。
(実施の形態4)
次に、図26を用いて、本実施の形態4の超音波モータ4を説明する。超音波モータ4は、矩形平板タイプの超音波振動子11、シャフト100、およびリニア可動子400を備えている。なお、実施の形態1において説明された超音波モータと同一の構成および同一の機能を実現する構成要素には同一参照符号が付され、その説明は特に必要がなければ繰り返さない。
上記実施の形態1の超音波モータ1が回転運動を生じさせるが、本実施の形態の超音波モータ4は、リニア可動子2000に直線運動を生じさせる。そのため、本実施の形態においては、ロータ200の代わりに、4つの内壁面によって囲まれた平面的に見て長方形の開口を有するリニア可動子2000が設けられており、この開口内に超音波振動子11および接触部材としての円盤部材61が設けられている。また、超音波振動子11の一方の長辺の両端にはそれぞれ突起92および93が設けられている。これらの事項以外は、本実施の形態の超音波モータ4は、上記実施の形態1の超音波モータ1と同一である。より具体的には、超音波振動子11、シャフト100、プレート80、上側接続部材30および下側接続部材31等の構造および機能は、図8に示される上記実施の形態1のそれと同一である。
したがって、押付機構1000を用いて、プレート80を上から下、もしくは下から上へ向かって押せば、超音波振動子11の角部S1およびS2に設けられた2つの突起92および93がリニア可動子2000の内壁面に向かって押し付けられる。なお、2つの押付機構1000を用いて上側接続部材30を上から下、および下側接続部材31を下から上に向かってそれぞれ押してもよい。また、2つのプレート80のそれぞれがx−y面に対して平行な状態が維持され、かつ押付機構1000またはプレート80がシャフト100の代わりに本体に接続されていれば、シャフト100が設けられていなくてもよい。また、2つの突起92および93は、互いに平行な2つの内壁面に接触しながらその2つの内壁面に沿って移動する。したがって、図26に矢印Gで示す方向にリニア可動子2000が往復直線運動する。
なお、本実施の形態においては、接触機構として、可動である円盤部材61が用いられているが、円形の先端を有し、摩擦抵抗が極めて小さな部材であれば、固定された円盤部材が用いられてもよい。接触機構は、リニア可動子2000を内壁面に向かって押すことができかつリニア可動子2000の往復直線運動を妨げないものであれば、いかなるものであってもよい。
また、本実施の形態においては、矩形平板タイプの超音波振動子11の2つの角部S1およびS2のそれぞれに設けられた2つの突起92,93および円盤部材61がリニア可動子2000の互いに平行な2つの内壁面に接触している。しかしながら、図11に示されるような矩形平板タイプの超音波振動子11の1つの角部S1および2つの円盤部材61がリニア可動子2000の互いに平行な2つの内壁面に接触する超音波モータであっても、リニア可動子2000と超音波振動子11および2つの円盤部材61とが3点で接触しているため、安定した接触状態が維持される。
また、本発明の超音波モータは、1または2以上の円盤部材61と1または2以上の超音波振動子11を有し、それらとリニア可動子2000の2つの互いに平行な2つの内壁面とが3以上の点で接触していれば、押付機構1000を用いて、1または2以上の円盤部材61と1または2以上の超音波振動子11とリニア可動子2000とは安定した接触状態を維持することができる。
また、本実施の形態においては、超音波振動子11および円盤部材61が装置本体に固定されており、リニア可動子2000が往復直線運動する超音波モータ4が説明されたが、リニア可動子2000が、装置本体に固定された固定部材であり、超音波振動子11および円盤部材61が固定部材としてのリニア可動子2000の互いに平行な2つの内壁面に接触しながら移動する超音波モータであっても、前述の押付機構1000を用いれば、超音波振動子11および円盤部材61と固定部材としてのリニア可動子2000との安定的な接触状態が維持される。
(実施の形態5)
次に、図27を用いて、本発明の実施の形態5の超音波モータ5を説明する。超音波モータ5は、2つの矩形平板タイプの超音波振動子11、シャフト100、およびリニア可動子2000を備えている。なお、実施の形態1において説明された超音波モータと同一の構成および同一の機能を実現する構成要素には同一参照符号が付され、その説明は特に必要がなければ繰り返さない。
本実施の形態の超音波モータ5は、超音波振動子11および円盤部材61が2つの超音波振動子11に置き換えられている点において、実施の形態4の超音波モータ4と異なっている。
本実施の形態の超音波モータ5は、2つの矩形平板タイプの超音波振動子11、シャフト100、およびリニア可動子2000を備えている。なお、実施の形態1において説明された超音波モータと同一の構成および同一の機能を実現する構成要素には同一参照符号が付され、その説明は特に必要がなければ繰り返さない。
上記実施の形態2の超音波モータ2が回転運動を生じさせるが、本実施の形態の超音波モータ4は、リニア可動子2000に直線運動を生じさせる。そのため、本実施の形態においては、ロータ200の代わりに、4つの内壁面によって囲まれた平面的に見て長方形の開口を有するリニア可動子2000が設けられており、この開口内に2つの超音波振動子11が設けられている。また、2つの超音波振動子11のそれぞれの一方の長辺の両端にはそれぞれ突起92および93が設けられている。これらの事項以外は、本実施の形態の超音波モータ5は、上記実施の形態2の超音波モータ2と同一である。より具体的には、超音波振動子11、シャフト100、プレート80、上側接続部材30および下側接続部材31等の構造および機能は、図16に示される上記実施の形態1のそれと同一である。
したがって、押付機構1000を用いて、プレート80を上から下、もしくは下から上へ向かって押せば、超音波振動子11の角部S1およびS2に設けられた2つの突起92および93がリニア可動子2000の内壁面に向かって押し付けられる。なお、2つの押付機構1000を用いて上側接続部材30を上から下、および下側接続部材31を下から上に向かってそれぞれ押してもよい。なお、2つのプレート80のそれぞれがx−y面に対して平行な状態が維持され、かつ押付機構1000またはプレート80がシャフト100の代わりに本体に接続されていれば、シャフト100が設けられていなくてもよい。また、2つの突起92および93は、互いに平行な2つの内壁面に接触しながらその2つの内壁面に沿って移動する。したがって、図27に矢印で示す方向にリニア可動子2000が往復直線運動する。
上述の本実施の形態の超音波モータ5によれば、下側接続部材31のプレート80とシャフト100とは固定されており、上側接続部材30は、押付機構1000に押されることによって、シャフト100の長さ方向に沿って移動することが可能である。したがって、押付機構1000が上側接続部材30を下側に向かって押し付け、その位置が固定されれば、2つの超音波振動子11の4つの角部S5,S6,S7およびS8が、リニア可動子2000の互いに平行な2つの内壁面に押し付けられる。それにより、リニア可動子2000と超音波振動子11との接触状態が安定する。
また、本発明の超音波モータは、複数の超音波振動子11を有し、それらとリニア可動子2000とが3以上の点でリニア可動子2000の互いに平行な2つの内壁面に接触していれば、押付機構1000を用いて、複数の超音波振動子11とリニア可動子2000との安定した接触状態を維持することができる。
また、本実施の形態においては、2つの超音波振動子11が装置本体に固定されており、リニア可動子2000が直線往復する超音波モータ5が説明されたが、リニア可動子2000が、装置本体に固定された固定部材であり、2つの超音波振動子11が固定部材としてのリニア可動子2000の互いに平行な2つの内壁面に接触しながら移動する超音波モータであっても、前述の押付機構1000を用いれば、2つの超音波振動子11と固定部材としてのリニア可動子2000との安定的な接触状態が維持される。なお、この場合においても、超音波モータ5は、3以上の超音波振動子11を有し、3以上の超音波振動子11が3点以上で互いに平行な2つの内壁面に接触していてもよい。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 超音波モータ、11,12 矩形平板タイプの超音波振動子、13 円弧状平板タイプの超音波振動子、30 上側支持部、31 下側支持部、60 円盤支持部、61 円盤部材、100 シャフト、200 ロータ。