JP2008281535A - プローブ付き顕微鏡及びプローブ駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブが試料方向に接近している最中に、顕微鏡から得られる画像を認識して、認識領域内のプローブ面積を計算することによってプローブから試料までの距離を計算する。
【選択図】図1
Description
θ1=tan−1((L/2)WD1) (1)
ここでLは画像認識領域18の端におけるプローブ2の太さを表す。
θi=tan−1((L/2)WDi) (2)
A∝φ (3)
の関係があり、また、θをプローブ2の断面図の端とZ軸情報の基準点とを結ぶ線分と、Z軸情報の基準点から試料部位6に下ろした垂線との成す角とし、プローブ2を円で近似すると、
φ=α×2π(1−cosθ) (4)
の関係がある。ここでαは定数である。
A1=β×2π(1−cosθ1) (5)
Ai=β×2π(1−cosθi) (6)
ここで、βは比例定数である。
WDi=(L/2)/tan(cos−1(1−(Ai/A1)(1−cos(tan−1((L/2)/WD1))) (7)
の関係が導ける。
また、図8(b)の状態におけるプローブ先端7と試料部位6との間の距離Ziは、次式(8)のように求まる。
Zi=WD0−WDi (8)
したがって、式(7)及び(8)を用いて、画像認識領域18内でプローブ2が占める面積から、プローブ先端7と試料部位6との間の距離Ziの値を求めることができる。
2 プローブ
3 信号検出器
4 アナログ信号線
5 試料
6 試料部位
7 プローブ先端
8 A/D変換器
9 画像表示器
10 倍率変更部
11 画像処理部
12 測長処理部
13 測長データ処理部
14 記憶部
15 プローブ駆動コントローラ
16 プローブ駆動機構
17 試料台
18 画像認識領域
19 画像中心
Claims (9)
- 試料を載置する試料台と、
試料を観察する顕微鏡と、
プローブと、
前記プローブを駆動するプローブ駆動手段と、
前記顕微鏡による観察画像を処理し、所定の画像認識領域内で前記プローブが占める面積を測定する画像処理手段と、
基準位置から前記プローブの先端と前記画像認識領域内の試料部位の各々までの距離をフォーカス条件に基づいて測定する測長処理手段と、
前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積の前記プローブの駆動による変化と、前記基準位置から前記プローブの先端と前記画像認識領域内の試料部位の各々までの距離とに基づいて、前記プローブの先端と、前記画像認識領域内の試料部位との間の距離を計算する測長データ処理手段とを備えることを特徴とするプローブ付き顕微鏡。 - 前記プローブ駆動手段は、前記プローブの先端が前記試料部位に接近するほど駆動速度が遅くなるように、前記プローブの先端と前記試料部位との間の距離に応じて複数の速度を段階的に切り替えて前記プローブを前記試料部位に接近する方向に駆動することを特徴とする請求項1記載のプローブ付き顕微鏡。
- 前記プローブを前記試料部位に接近する方向に駆動させ、所定の時間間隔で測定した前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積が変化しなくなった場合、前記プローブの駆動を停止することを特徴とする請求項1に記載のプローブ付き顕微鏡。
- 試料を載置する試料台と、
試料を観察する顕微鏡と、
プローブと、
前記プローブを駆動するプローブ駆動機構と、
前記顕微鏡による観察画像を処理し、所定の画像認識領域内で前記プローブが占める面積を計算し、
基準位置から前記プローブの先端と前記画像認識領域内の試料部位の各々までの距離をフォーカス条件に基づいて計算し、
前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積の前記プローブの駆動による変化と、前記基準位置から前記プローブの先端と前記画像認識領域内の試料部位の各々までの距離とに基づいて、前記プローブの先端と、前記画像認識領域内の試料部位との間の距離を計算する演算装置とを備えることを特徴とするプローブ付き顕微鏡。 - 前記プローブ駆動機構は、前記プローブの先端が前記試料部位に接近するほど駆動速度が遅くなるように、前記プローブの先端と前記試料部位との間の距離に応じて複数の速度を段階的に切り替えて前記プローブを前記試料部位に接近する方向に駆動することを特徴とする請求項4記載のプローブ付き顕微鏡。
- 前記プローブを前記試料部位に接近する方向に駆動させ、所定の時間間隔で測定した前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積が変化しなくなった場合、前記プローブの駆動を停止することを特徴とする請求項4に記載のプローブ付き顕微鏡。
- 顕微鏡画像において画像認識領域として選択された試料の所定の部位の前記顕微鏡画像に対して垂直方向における位置をフォーカス条件に基づいて測定し、
前記画像認識領域の直上にプローブの先端を配置し、
前記プローブ先端の前記顕微鏡画像に対して垂直方向における位置をフォーカス条件に基づいて測定し、
前記プローブを前記プローブを前記試料部位に接近する方向に駆動させ、
顕微鏡画像において前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積を測定し、
前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積の前記プローブの駆動による変化と、前記プローブ先端と前記試料部位の垂直方向の位置とに基づいて、前記プローブの先端と前記試料部位との間の距離を計算することを特徴とするプローブ駆動方法。 - 前記プローブの駆動において、前記プローブの先端が前記試料部位に接近するほど駆動速度が遅くなるように、計算された前記プローブの先端と前記試料部位との間の距離に応じて複数の速度を段階的に切り替えて前記プローブを前記試料部位に接近する方向に駆動することを特徴とする請求項7記載のプローブ駆動方法。
- 前記プローブの駆動において、所定の時間間隔で測定した前記画像認識領域内で前記プローブが占める面積が変化しなくなった場合、前記プローブの駆動を停止することを特徴とする請求項7に記載のプローブ駆動方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012014935A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査方法及び装置 |
JP2012220282A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体チップの検査選別装置及び検査選別方法 |
CN102785252A (zh) * | 2011-05-19 | 2012-11-21 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 机械手及检测装置 |
EP2545358A1 (en) * | 2010-03-12 | 2013-01-16 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
US8781631B2 (en) | 2011-05-18 | 2014-07-15 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Robot arm and detecting device having same |
CN116168996A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-05-26 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 一种电子显微镜及其工作方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228071A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Olympus Optical Co Ltd | 表面測定器と組み合わされた走査型プローブ顕微鏡 |
JP2005189239A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-07-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 不良検査装置並びにプローブ位置決め方法およびプローブ移動方法 |
JP2006343283A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 解析装置、プローブの制御方法および解析システム |
JP2007018935A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | プローブ付き顕微鏡及びプローブ接触方法 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228071A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Olympus Optical Co Ltd | 表面測定器と組み合わされた走査型プローブ顕微鏡 |
JP2005189239A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-07-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 不良検査装置並びにプローブ位置決め方法およびプローブ移動方法 |
JP2006343283A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 解析装置、プローブの制御方法および解析システム |
JP2007018935A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | プローブ付き顕微鏡及びプローブ接触方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2545358A1 (en) * | 2010-03-12 | 2013-01-16 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
EP2545358A4 (en) * | 2010-03-12 | 2013-07-31 | Cascade Microtech Inc | SYSTEM FOR TESTING SEMICONDUCTORS |
US9435858B2 (en) | 2010-03-12 | 2016-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Focusing optical systems and methods for testing semiconductors |
WO2012014935A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査方法及び装置 |
JP2012032205A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査方法及び装置 |
US8754664B2 (en) | 2010-07-29 | 2014-06-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection method and device |
JP2012220282A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体チップの検査選別装置及び検査選別方法 |
US8781631B2 (en) | 2011-05-18 | 2014-07-15 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Robot arm and detecting device having same |
CN102785252A (zh) * | 2011-05-19 | 2012-11-21 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 机械手及检测装置 |
CN116168996A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-05-26 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 一种电子显微镜及其工作方法 |
CN116168996B (zh) * | 2023-04-24 | 2023-06-27 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 一种电子显微镜及其工作方法 |
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