JP2006343283A - 解析装置、プローブの制御方法および解析システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プローブに負の電圧を印加し、試料の輝度を計測する。プローブによって試料から微小サンプルを切り出す場合には、輝度が減少したときに、プローブが試料に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブが試料に接触したと判定する。プローブに接続された微小サンプルを試料台に配置する場合には、輝度が減少したときに、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接触したと判定する。
【選択図】 図1
Description
Claims (19)
- 荷電粒子ビームを観察対象に照射する荷電粒子ビーム部と、荷電粒子ビームの照射領域から放出される電子を検出する電子検出部と、該電子検出部からの検出信号に基づいて観察対象の像を得る制御部と、観察対象に対して相対的に移動でき、負の電圧が印加されることができるプローブと、を有する解析装置。
- 請求項1記載の解析装置において、観測対象における輝度を計測し、その輝度が減少した時にプローブが観察対象に接近したと判定し、プローブの移動速度を低下させ、その後に輝度が急激に大きくなった時にプローブが観察対象に接触したと判定し、プローブの移動を停止させることを特徴とする解析装置。
- 請求項2記載の解析装置において、プローブが観察対象に接近したときに上記電子検出部から見てプローブの背後の位置に計測領域を設定し、該計測領域における輝度を測定することを特徴とする解析装置。
- 請求項1記載の解析装置において、観測対象における帯電状態を検出する帯電計測部を設け、該帯電計測部によって検出された帯電状態に基づいて、プローブに印加する負の電圧値を設定することを特徴とする解析装置。
- 請求項4記載の解析装置において、上記帯電電位の絶対値が大きい場合には、プローブに印加する負の電圧値を大きくし、帯電電位の絶対値が小さい場合には、プローブに印加する負の電圧値を小さくすることを特徴とする解析装置。
- 請求項4載の解析装置において、上記帯電電位とプローブに印加する負の電圧値の関係を示すテーブルに基づいて、プローブに印加する負の電圧値を設定することを特徴とする解析装置。
- 請求項1記載の解析装置において、プローブに印加する負の電圧値の絶対値は5V以下であることを特徴とする解析装置。
- 請求項1記載の解析装置において、上記制御部は、上記観察対象の像を画像処理することによってプローブの先端の位置を検出するように構成されており、上記画像処理によってプローブの先端の位置を検出することができない場合には、プローブに印加する負の電圧値を増加させることを特徴とする解析装置。
- 請求項1記載の解析装置において、上記プローブにマイクロサンプルが物理的に接続されているとき、該プローブに接続されたマイクロサンプルを上記観察対象である試料台に自動的に接触させるための制御機構が設けられていることを特徴とする解析装置。
- 請求項1記載の解析装置において、上記観察対象の像を表示するモニターが設けられ、該モニターの表示画面には、上記観察対象の像、上記観察対象の帯電状態、上記プローブの負の電圧値、上記観察対象の輝度を表示することを特徴とする解析装置。
- 試料の帯電状態を検出することと、該試料が正又は負に帯電している場合にはプローブに負の初期電圧を印加することと、試料の輝度を計測することと、試料の輝度が所定の値より小さくなったら観察対象に対するプローブの相対的な移動速度を低下させることと、試料の輝度が更に減少してから急激に増加したときプローブの相対的な移動を停止させることと、を含むプローブの制御方法。
- 請求項11記載のプローブの制御方法において、上記試料の帯電電圧の絶対値が大きいときはプローブに印加する負の初期電圧値を大きくし、上記試料の帯電電圧の絶対値が小さいときはプローブに印加する負の初期電圧値を小さくすることを特徴とするプローブの制御方法。
- 請求項11記載のプローブの制御方法において、上記試料が帯電していない場合にはプローブの電圧をアース電圧に設定することを特徴とするプローブの制御方法。
- 請求項11記載のプローブの制御方法において、プローブの移動中に画像認識によってプローブの先端の位置を検出することと、該プローブの先端の位置を検出することが困難な場合に、プローブに印加する負の電圧値を上記初期電圧より増加させることと、を含むプローブの制御方法。
- 請求項14記載のプローブの制御方法において、プローブに印加する負の電圧値を増加させることによって該プローブの先端の位置を検出することができた場合には、プローブに印加する負の電圧値を上記初期電圧に戻すことを特徴とするプローブの制御方法。
- 試料に荷電粒子ビームを照射して試料の像を生成する荷電粒子ビーム装置と、観察対象に対して相対的に移動でき、負の電圧を印加されることができるプローブと、上記荷電粒子ビーム装置によって生成された観察画像を表示するモニター手段と、を有し、該モニター手段は、試料に接近したプローブの先端の像、試料の帯電状態、試料の輝度、プローブに印加された負の電圧値を表示することを特徴とする解析システム。
- 請求項16記載の解析システムにおいて、画像処理によって上記プローブの先端の位置を検出する画像処理部を有し、上記プローブが移動中に上記画像処理部によって上記プローブの先端の位置を検出することができないとき、上記プローブに印加された電圧を増加させることを特徴とする解析システム。
- 請求項16記載の解析システムにおいて、上記モニター手段は、プローブが試料に接近したときの試料の輝度の変化を示すグラフを表示することを特徴とする解析システム。
- 請求項17記載の解析システムにおいて、画像処理部は、プローブが試料に接触する前の試料の像、及び、プローブが試料に接触した後の試料の像、を有し、上記プローブが移動中の試料の像と、画像処理部に格納された試料の像を比較することによって、プローブの先端の位置を検出することを特徴とする解析システム。
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