JP2008279356A - ガラス基板洗浄機のエアナイフ - Google Patents

Abstract

【課題】Ｖ字状のエアナイフであっても、ガラス基板の幅方向中央部に液残りが発生することのない基板洗浄機のエアナイフを提供する。
【解決手段】１）Ｖ字状のエアナイフ４１は、ガラス基板の幅方向中央位置（Ｘ軸）上方にて、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）をガラス基板の搬送方向に対向させて取り付けられており、２）頂点（Ｃ）には、ガラス基板の表面から洗浄液を取り除く際に、エアナイフによる洗浄液の取り除きに先駆けて、ガラス基板の幅方向中央部の洗浄液を取り除く中央エア噴出部４２がはり４３を介して設けられていること。中央エア噴出部の幅Ｗ１は４０ｍｍ以上、はりの幅Ｗ２は５０ｍｍ以下であること。
【選択図】図７

Description

本発明は、ガラス基板を水平方向に搬送するガラス基板洗浄機のエアナイフに関するものであり、特に、エアナイフがＶ字状のエアナイフであっても、ガラス基板の幅方向中央部に液残りが発生することのないエアナイフに関する。

ガラス基板を水平方向に搬送するガラス基板洗浄機においては、薬液、純水などの洗浄液でガラス基板を洗浄した後に、ガラス基板の表面からその洗浄液を取り除くために、ガラス基板の搬送方向に対して、斜めに１本、ガラス基板の全体に作用するようにエアナイフが設置されることが多い。

図１は、エアナイフが設けられた洗浄機の一例の平面図である。図１に示すように、この洗浄機（１０）は、ガラス基板の搬送路上方に、ガラス基板の搬送方向（図１中、Ｘ軸方向）に直交する垂線（Ｙ軸方向）を基準として、４５度の角度でエアナイフ（１）の１本が取付具（１１）によって、例えば、フレームに直結したはり（図示せず）に固定されている例である。図１中、符号（２０Ｂ）は、洗浄液が取り除かれている途上のガラス基板を表している。

図８は、図１に示すエアナイフ（１）のＰ−Ｐ線での断面図である。図８に示すように、エアナイフ（１）には、その内部にエアを供給するエア供給管（３）が設けられている。また、ガラス基板に向けられた先端部にはエア噴出口（２）が設けられている。
図１に白太矢印で示すように、図１中、左方から搬送手段、例えば、コロコンベア（図示せず）によって搬送されてきたガラス基板（２０Ｂ）面にエア（矢印）が噴出され、洗浄液が取り除かれるよになっている。

図２は、ガラス基板の進行方向の先端部の一隅（ａ）が、エアナイフ（１）のエア噴出口（２）に達し、洗浄液の取り除きが開始される時点を示したものである。
符号（２０Ａ）は、洗浄液の取り除きが開始された時点のガラス基板を表している。また、図３は、ガラス基板の進行方向の末端部の一隅（ｃ）が、エアナイフ（１）のエア噴出口（２）から離れ、洗浄液の取り除きが終了される時点を示したものである。符号（２０Ｃ）は、洗浄液の取り除きが終了される時点のガラス基板を表している。
つまり、ガラス基板は、図２→図１→図３で示す順で搬送されエアナイフ（１）による洗浄液の取り除きが行われる。

図１中、点線で示すように、１本のエアナイフ（１）で洗浄液を取り除く場合には、噴出したエアによって洗浄機（１０）内の片側に洗浄液を落とすことになる。しかし、ガラス基板のサイズの大型化、搬送速度の高速化に伴い、片側に落とす液量が増えるため、洗浄液を完全にガラス基板から取り除けない場合が発生することがある。

特に、エアナイフが抜けるガラス基板の進行方向の末端部（ｃ、ｄ）にいくほど、固定されたエアナイフの下に押し寄せる洗浄液の液膜が厚くなり、ガラス基板の進行方向の先端部（ａ、ｂ）において、洗浄液面に対してエアナイフが最適な高さに配置され、液残りがない状態であったとしても、ガラス基板の進行方向の末端部（ｃ、ｄ）では最適な高さではなくなり、図３中、×印で示す部位に液残りが発生する。

このような問題を解決するために、例えば、実開平５−３０１６４号公報には、Ｖ字状のエアナイフが提案されている。図４は、Ｖ字状のエアナイフの一例を示す平面図である
。図４に示すように、このＶ字状のエアナイフ（４１）は、ガラス基板（２０Ｂ）の幅方向中央位置（Ｘ軸）を境にして、ガラス基板（２０Ｂ）の両幅端に洗浄液を落とすために（点線矢印）、水平面内でＶ字状に折り曲げて加工されているエアナイフである。

このこのＶ字状のエアナイフ（４１）は、ガラス基板の幅方向中央位置（Ｘ軸）上方にて、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）を、白太矢印で示すガラス基板（２０Ｂ）の搬送方向に対向させて配置されている。
ガラス基板（２０Ｂ）の搬送方向左側（Ｌ）に対応したＶ字状のエアナイフの部分（４１Ｌ）は、ガラス基板の搬送方向（Ｘ軸方向）に直交する垂線（Ｙ軸方向）を基準とした角度で、時計回り４５度に折れ曲がっており、また、搬送方向右側（Ｒ）に対応したＶ字状のエアナイフの部分（４１Ｒ）は、逆時計回り４５度に折れ曲がっており、頂点（Ｃ）での内角は９０度の例である。

図４に示すＶ字状のエアナイフを用いることにより、前記図３に示す液残りは解消されたものとなる。しかし、図５に示すように、Ｖ字状のエアナイフ（４１）を通過した後のガラス基板（２０Ｂ）の幅方向中央部には、図５中に×印で示すように、液残りがあるといった、新たな問題が発生する。
これは、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）から噴出されるエアが、エアナイフの他の部分から噴出されるエアに比較して少ないためと推量されている。
特開平１０−２１１４７３号公報 実開平５−３０１６４号公報

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板を水平方向に搬送するガラス基板洗浄機において、エアナイフが、上述したＶ字状のエアナイフであっても、ガラス基板の幅方向中央部に液残りが発生することのない、すなわち、エアナイフの洗浄液の取り除き効果を向上させたガラス基板洗浄機のエアナイフを提供することを課題とするものである。

本発明は、ガラス基板を薬液、純水などの洗浄液で洗浄した後に、ガラス基板の表面から該洗浄液を取り除くため、ガラス基板を水平方向に搬送するガラス基板洗浄機に設けられるＶ字状のエアナイフであって、
１）前記Ｖ字状のエアナイフは、ガラス基板の幅方向中央位置（Ｘ軸）上方にて、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）をガラス基板の搬送方向に対向させて取り付けられており、２）前記頂点（Ｃ）には、ガラス基板の表面から洗浄液を取り除く際に、エアナイフによる洗浄液の取り除きに先駆けて、ガラス基板の幅方向中央部の洗浄液を取り除く中央エア噴出部が、はりを介してガラス基板の搬送方向に対向させて設けられていることを特徴とするガラス基板洗浄機のエアナイフである。

また、本発明は、上記発明によるガラス基板洗浄機のエアナイフにおいて、前記頂点（Ｃ）での内角は、６０度〜１２０度の範囲であり、中央エア噴出部の幅は４０ｍｍ以上、はりの幅は５０ｍｍ以下であることを特徴とするガラス基板洗浄機のエアナイフである。

本発明は、１）Ｖ字状のエアナイフは、ガラス基板の幅方向中央位置（Ｘ軸）上方にて、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）をガラス基板の搬送方向に対向させて取り付けられており、２）頂点（Ｃ）には、ガラス基板の表面から洗浄液を取り除く際に、エアナイフによる洗浄液の取り除きに先駆けて、ガラス基板の幅方向中央部の洗浄液を取り除く中央エア噴出部がはりを介して設けられているガラス基板洗浄機のエアナイフであるので、Ｖ字状のエアナイフであっても、ガラス基板の幅方向中央部に液残りが発生することのないガラス基板洗浄機のエアナイフとなる。

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図６は、本発明によるガラス基板洗浄機のエアナイフの一実施例の平面図である。また、図７は、図６に示すエアナイフ（４１）のＶ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）近傍を拡大して示す平面図である。
図６、及び図７に示すように、このＶ字状のエアナイフ（４１）は、ガラス基板の幅方向中央位置（Ｘ軸）上方にて、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）をガラス基板（２０Ｂ）の搬送方向（白太矢印）に対向させて取り付けられている。

Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）には、ガラス基板（２０Ｂ）の表面から洗浄液を取り除く際に、エアナイフ（４１）による洗浄液の取り除きに先駆けて、ガラス基板の幅方向中央部の洗浄液を取り除く中央エア噴出部（４２）が、はり（４３）を介してガラス基板の搬送方向に対向させて設けられている。
中央エア噴出部（４２）のＱ−Ｑ線での断面は、図８に示すエアナイフ（４１）の部分と同様であり、その内部には、エアを供給するエア供給管（２３）が設けられている。また、ガラス基板（２０Ｂ）の搬送方向に対向した先端部には噴出口（２）が設けられている。

中央エア噴出部（４２）は、エアナイフ（４１）による洗浄液の取り除きに先駆けて、ガラス基板の幅方向中央部の洗浄液を中央部からガラス基板（２０Ｂ）の両端部方向へと取り除き、中央エア噴出部（４２）によって取り除かれる洗浄液がエアナイフ（４１）によってガラス基板（２０Ｂ）の両端部へと取り除かれる。

ガラス基板（２０Ｂ）の搬送方向左側（Ｌ）に対応したＶ字状のエアナイフの部分（４１Ｌ）は、ガラス基板の搬送方向（Ｘ軸方向）に直交する垂線（Ｙ軸方向）を基準とした角度で、時計回り６０度〜３０度に折れ曲がっており、また、搬送方向右側（Ｒ）に対応したＶ字状のエアナイフの部分（４１Ｒ）は、逆時計回り６０度〜３０度に折れ曲がっており、頂点（Ｃ）での内角は６０度〜１２０度９０度の範囲である。この角度は、作業内容により適宜に設定されるものである。

中央エア噴出部（４２）の幅（Ｗ１）を４０ｍｍ以上とし、はり（４３）の幅（Ｗ２）を５０ｍｍ以下とすることにより、ガラス基板（２０Ｂ）の幅方向中央部の、幅（Ｗ３、Ｗ３＝２０ｍｍ）の範囲にて、液残りを良好に解消することができる結果が得られている。

エアナイフが設けられた洗浄機の一例の平面図である。 ガラス基板の進行方向の先端部の一隅が、エアナイフのエア噴出口に達した時点の説明図である。 ガラス基板の進行方向の末端部の一隅が、エアナイフのエア噴出口から離れる時点の説明図である。 Ｖ字状のエアナイフの一例を示す平面図である。 Ｖ字状のエアナイフを通過した後のガラス基板 本発明によるガラス基板洗浄機のエアナイフの一実施例の平面図である。 図６に示すエアナイフのＶ字状の折れ曲がり部の頂点近傍の平面図である。 図１に示すエアナイフのＰ−Ｐ線、図４に示すエアナイフのＳ−Ｓ線、図７に示す中央エア噴出部のＱ−Ｑ線での断面図である。

符号の説明

１・・・エアナイフ
２・・・エア噴出口
３、２３・・・エア供給管
１０・・・洗浄機
１１・・・取付具
２０Ｂ・・・洗浄液が取り除かれている途上のガラス基板
２０Ｃ・・・洗浄液の取り除きが終了される時点のガラス基板
４１・・・Ｖ字状のエアナイフ
４２・・・中央エア噴出部
４３・・・はり
Ｃ・・・Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点
Ｌ・・・ガラス基板の搬送方向左側
Ｒ・・・ガラス基板の搬送方向右側
Ｗ１・・・中央エア噴出部の幅
Ｗ２・・・はりの幅
Ｗ３・・・液残りの良好なガラス基板上の幅

Claims (2)

1. ガラス基板を薬液、純水などの洗浄液で洗浄した後に、ガラス基板の表面から該洗浄液を取り除くため、ガラス基板を水平方向に搬送するガラス基板洗浄機に設けられるＶ字状のエアナイフであって、
   １）前記Ｖ字状のエアナイフは、ガラス基板の幅方向中央位置（Ｘ軸）上方にて、Ｖ字状の折れ曲がり部の頂点（Ｃ）をガラス基板の搬送方向に対向させて取り付けられており、２）前記頂点（Ｃ）には、ガラス基板の表面から洗浄液を取り除く際に、エアナイフによる洗浄液の取り除きに先駆けて、ガラス基板の幅方向中央部の洗浄液を取り除く中央エア噴出部が、はりを介してガラス基板の搬送方向に対向させて設けられていることを特徴とするガラス基板洗浄機のエアナイフ。
2. 前記頂点（Ｃ）での内角は、６０度〜１２０度の範囲であり、中央エア噴出部の幅は４０ｍｍ以上、はりの幅は５０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のガラス基板洗浄機のエアナイフ。

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