JP2008277483A - 半導体装置および半導体装置の冷却方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明の半導体装置600は、半導体チップ601と、半導体チップ601が実装されるチップ実装金属電極603と、外部バスバー617と接続される電極端子607とを備えるパワーモジュール616、半導体チップ601を冷却するためのヒートシンク605およびパワーモジュール616とヒートシンク605を絶縁する絶縁シート604を有する。電極端子607は、パワーモジュール616の側面で外部バスバー617と接続される端子接続部613と、半導体チップ601またはチップ実装金属電極603と接続される通電用電極部分609と、絶縁シート604と接触する電極端子冷却部608とを備える。
【選択図】図2
Description
まず、第1の実施形態に係る半導体装置600(図2参照)を含むモーター制御システムについて図1を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置600を含むモーター制御システムの回路図である。図1に示すように、第1の実施形態に係る半導体装置600を含むモーター制御システムは、直流電源103、交流モーター105、交流モーター105を駆動するインバーター104、交流モーター105とインバーター104を接続する外部バスバー(出力側)108、直流電源103とインバーター104を接続する外部バスバー(P側)106および外部バスバー(N側)107を備えている。当該インバーター104は、電力変換用半導体素子であるIGBT101、IGBT101と逆並列接続されたFWD102、外部バスバー(P側)106と接続するP電極端子109、外部バスバー(N側)107と接続するN電極端子110および外部バスバー(出力側)108と接続する出力電極端子111を備えている。図1では、1ハーフアームにIGBT101とFWD102が対をなして接続されている。インバーター104は、1ハーフアームを一組として、6ハーフアーム分、備えている。
次に、第2の実施形態に係る半導体装置900について、第1の実施形態に係る半導体装置600と異なる点を中心に図5および図6を参照して説明する。また、第2の実施形態に係る半導体装置900について、第1の実施形態に係る半導体装置600と同様の構造には同じ番号を付し、説明を省略する。図5は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置900の内部構造を示す側面透視図、図6は、図5に示すパワーモジュール904および絶縁シート604の斜視図である。第1の実施形態と同様に、第2の実施形態に係る半導体装置900も図1に示すインバーター104に使用される。第2の実施形態に係る半導体装置900が、第1の実施形態と異なる点は、電極端子901の形状が異なることだけである。すなわち、第2の実施形態に係る半導体装置900の冷却方法は、第1の実施形態に係る半導体装置600の冷却方法と同じである。これにより、第1の実施形態と同様の効果を取得することができる。
次に、第3の実施形態に係る半導体装置1100について、第2の実施形態に係る半導体装置900と異なる点を中心に図7を参照して説明する。また、第3の実施形態に係る半導体装置1100について、第2の実施形態に係る半導体装置900と同様の構造には同じ番号を付し、説明を省略する。図7は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置1100の内部構造を示す側面透視図である。第1および第2の実施形態と同様に、第3の実施形態に係る半導体装置1100も図1に示すインバーター104に使用される。第3の実施形態に係る半導体装置1100が、第2の実施形態と異なる点は、電極端子1101の電極端子冷却部1102の形状が異なることだけである。すなわち、第3の実施形態に係る半導体装置1100の冷却方法は、第2の実施形態に係る半導体装置900の冷却方法と同じである。これにより、第2の実施形態と同様の効果を取得することができる。
104 インバーター、105 交流モーター、
106 外部バスバー(P側)、107 外部バスバー(N側)、
108 外部バスバー(出力側)、109 P電極端子、110 N電極端子、
111 出力電極端子、
600 半導体装置、601 半導体チップ、602 ハンダ、
603 チップ実装金属電極、604 絶縁シート、605 ヒートシンク、
606 モジュールケース、607 電極端子、608 電極端子冷却部、
609 通電用電極部分、610 ワイヤー、611 ネジ、612 ナット、
613 端子接続部、614 放熱経路、615 ネジ、
616 パワーモジュール、617 外部バスバー、
900 半導体装置、901 電極端子、902 電極端子冷却部、
903 通電用電極部分、904 パワーモジュール、
905 電極-端子間接続導体部分、
1100 半導体装置、1101 電極端子、1102 電極端子冷却部、
1103 放熱経路、1104 パワーモジュール
Claims (10)
- 半導体素子と、当該半導体素子が実装される電極と、外部導体と接続される電極端子とを備えるパワーモジュール、前記半導体素子を冷却するための冷却部材および前記パワーモジュールと前記冷却部材を絶縁する絶縁部材を有する半導体装置において、
前記電極端子は、前記パワーモジュールの側面で前記外部導体と接続される端子接続部と、前記半導体素子または前記電極と接続される通電用電極部分と、電極端子冷却部とを備え、
前記電極端子冷却部は、前記絶縁部材と接触することを特徴とする半導体装置。 - 前記電極端子冷却部における絶縁部材接触面は、前記パワーモジュールにおける絶縁部材接触面と同一面上に配置されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記端子接続部は、前記パワーモジュールの側面で固定され、
前記パワーモジュールを前記冷却部材に固定することにより、前記電極端子冷却部は、前記絶縁部材に押し付けられることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記電極における絶縁部材接触面は、前記パワーモジュールにおける絶縁部材接触面と同一面上に配置され、
前記パワーモジュールを前記冷却部材に固定することにより、前記電極は、前記絶縁部材に押し付けられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記電極および前記電極端子冷却部における絶縁部材と反対側の面も露出させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記絶縁部材は、弾性材料からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記電極端子冷却部は、導電性材料からなる平板をU字状にして形成され、
前記端子接続部は、前記U字状の前記平板の一方から形成され、
前記通電用電極部分は、前記U字状の前記平板の他方を折り曲げて形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記電極端子は、前記端子接続部と前記通電用電極部分を接続する電極-端子間接続導体部分を備え、
前記電極端子冷却部は、導電性材料からなる平板をJ字状にして形成され、
前記端子接続部は、前記J字状の前記平板から形成され、
前記通電用電極部分は、導電性材料からなる平板から形成され、
前記電極-端子間接続導体部分は、導電性材料からなる平板からなり、前記端子接続部における前記端子接続部と前記電極端子冷却部との接合部以外の位置に接合されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記電極端子は、前記端子接続部と前記通電用電極部分を接続する電極-端子間接続導体部分を備え、
前記端子接続部は、導電性材料からなる平板から形成され、
前記電極端子冷却部は、前記平板の前記端子接続部と反対側の端部であり、
前記通電用電極部分は、導電性材料からなる平板から形成され、
前記電極-端子間接続導体部分は、導電性材料からなる平板からなり、前記端子接続部における前記端子接続部と前記電極端子冷却部との接合部以外の位置に接合されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置。 - 半導体素子または前記半導体素子が実装された電極と電極端子の通電用電極部分を接続してパワーモジュールを形成し、
絶縁部材を介して冷却部材を前記パワーモジュールと固定して半導体装置を形成し、
前記パワーモジュールの側面で外部導体と接続された前記電極端子の電極端子冷却部を、前記絶縁部材と接触させることを特徴とする半導体装置の冷却方法。
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