JP2008265543A

JP2008265543A - 無人搬送台車

Info

Publication number: JP2008265543A
Application number: JP2007111600A
Authority: JP
Inventors: Teruo Urasaki; 輝夫浦崎; Toshimasa Kawagoe; 敏昌川越; Yoshihiro Kotaba; 善宏甲把
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2007-04-20
Filing date: 2007-04-20
Publication date: 2008-11-06

Abstract

【課題】カセットとフリーローラの摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃によるカセット内部やクリーンルームの汚染を防止するようにした無人搬送台車を提供すること。
【解決手段】部品等を収容するカセット１と、カセット１を載置するフリーローラ２と、フリーローラ２とステーション３のフリーローラ２との間でカセット１を移動させるプッシュプル移載装置４とを備えた無人搬送台車において、フリーローラ２の下方に、フリーローラ２の上方から空気を取り込む空気清浄装置５を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、プッシュプル移載式の無人搬送台車に関し、特に、カセットとフリーローラの摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃によるカセット内部やクリーンルームの汚染を防止するようにした無人搬送台車に関するものである。

従来、半導体や液晶の製造工場等のクリーンルームにおいては、半導体や液晶の製造設備を設置したクリーンルーム内で無人搬送台車を走行させ、部品を収容したカセットの搬送を行っている。
無人搬送台車は、前輪と後輪を有する自走式の箱状のものからなり、通常はステーションとの間でカセットの受け渡しを行うスライドフォークを備えているが、近年では、プッシュプル移載式の無人搬送台車も提案されている。

プッシュプル移載式の無人搬送台車は、カセットを載置するフリーローラと、該フリーローラとステーションとの間でカセットを移動させるプッシュプル移載装置とを備えている。
プッシュプル移載装置は、移載方向に伸縮するアームに、カセットの前後に出没する可動ストッパを備え、この可動ストッパによりフリーローラで受けたカセットを押し引きし、別途フリーローラを備えたステーションとの間で移載を行う。

このようなプッシュプル移載式の無人搬送台車は、カセットをフリーローラで支持するためモーメント荷重がかからず、カセット重量を支持するだけなので無人搬送台車の軽量化を図ることができる。
しかし、その一方で、カセットとフリーローラがベアリングの抵抗及びローライナーシャ分だけ摩擦接触することから、この接触部付近から発塵する可能性を有している。

本発明は、上記従来の無人搬送台車が有する問題点に鑑み、カセットとフリーローラの摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃によるカセット内部やクリーンルームの汚染を防止するようにした無人搬送台車を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の無人搬送台車は、部品等を収容するカセットと、該カセットを載置するフリーローラと、該フリーローラとステーションのフリーローラとの間でカセットを移動させるプッシュプル移載装置とを備えた無人搬送台車において、フリーローラの下方に、フリーローラの上方から空気を取り込む空気清浄装置を設けたことを特徴とする。

この場合において、空気清浄装置がカセットの内部から空気を取り込むとともに、フリーローラに支持されるカセットの底桟の上に外部と連通する吸気孔を設け、該吸気孔の上に、吸い込まれた空気をフリーローラ側に下降させる風向板を設けることができる。

本発明の無人搬送台車によれば、部品等を収容するカセットと、該カセットを載置するフリーローラと、該フリーローラとステーションのフリーローラとの間でカセットを移動させるプッシュプル移載装置とを備えた無人搬送台車において、フリーローラの下方に、フリーローラの上方から空気を取り込む空気清浄装置を設けることから、カセットとフリーローラの摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃を吸い込んで回収することができ、カセット内部やクリーンルームの汚染を防止することができる。

この場合、空気清浄装置がカセットの内部から空気を取り込むとともに、フリーローラに支持されるカセットの底桟の上に外部と連通する吸気孔を設け、該吸気孔の上に、吸い込まれた空気をフリーローラ側に下降させる風向板を設けることにより、カセット側からフリーローラの下方へダウンフローを形成し、カセット底部における塵埃の巻き上げを防止することができる。

以下、本発明の無人搬送台車の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図４に、本発明の無人搬送台車の一実施例を示す。
この無人搬送台車は、例えば、大型液晶基板等を収容するカセット１と、該カセット１を載置するフリーローラ２と、該フリーローラ２とステーション３のフリーローラ２との間でカセット１を移動させるプッシュプル移載装置４とを備えている。
そして、この無人搬送台車は、フリーローラ２の下方に、フリーローラ２の上方からローラの間を通して空気を取り込む空気清浄装置５を設けている。

カセット１は、フリーローラ２に支持される底桟１１の上に外部と連通する吸気孔１２を設けるとともに、該吸気孔１２の上に、吸い込まれた空気をフリーローラ２側に下降させる風向板１３を設けている。
これにより、空気清浄装置５による空気の流れを利用し、カセット側からフリーローラ２の下方へダウンフローを形成して、カセット底部における塵埃の巻き上げを防止するようにしている。
また、カセット１の底桟１１の底面には、摩擦による粉塵の発生を防止する樹脂ライナー（図示省略）が固定されている。
一方、カセット１の底桟１１は、変形や製作誤差等に起因して、フリーローラ２に乗り上げるように移動することが予想されるので、底桟１１の端部は面取りを行い、ショックを吸収できるようにし、カセット１がフリーローラ２上をスムーズに移動できるようにしている。
また、カセット１は、フリーローラ２上での移動防止や位置決めのために、プッシュプル移載装置４の可動ストッパ４２で固定されるが、可動ストッパ４２の当たり部分には桟を入れて変形等を防止するようにしている。

無人搬送台車のフリーローラ２は、カセット１の両側の底桟１１を支持できるように２列のローラコンベアを形成し、その上でカセット１が押し引きされることにより自由に回転する。
金属同士の接触は粉塵が発生するので、フリーローラ２は樹脂製とされ、この樹脂製ローラで受けることによる静電気帯電が発生する場合は、除電ブラシやイオナイザ等の静電気防止対策を施すようにしている。
また、走行中のカセット１の横揺れによる発塵を防止するため、プッシュプル移載装置４の可動ストッパ４２で、移載方向の前後から付勢した状態でカセット１を押さえ込むようにしている。
なお、移載方向の両側にカセットガイド（図示省略）は設けるが、通常運用では接触しない隙間を取り、目的は非常停止時のカセット落下防止としている。

ステーション３は、例えば、ロード・アンロード置台からなり、無人搬送台車と同様の２列のフリーローラ２を備えている。
フリーローラ２は樹脂製とされ、この樹脂製ローラで受けることによる静電気帯電が発生する場合は、除電ブラシやイオナイザ等の静電気防止対策を施すようにしている。
加工処理設備側には固定ストッパ（図示省略）を設け、ロボットとの相対距離を一定に保つ。無人搬送台車側には、カセット１をばね付の可動ストッパ４２で固定ストッパに押し付けて位置決めを行う。
このステーション３においても、フリーローラ２の下方には、フリーローラ２の上方から空気を取り込む空気清浄装置（図示省略）が設けられている。

プッシュプル移載装置４は、２列のフリーローラ２の間に配設されており、移載方向に伸縮するアーム４１に、カセット１の前後に出没する可動ストッパ４２を備え、この可動ストッパ４２によりフリーローラ２で受けたカセット１を押し引きし、別途フリーローラ２を備えたステーション３との間で移載を行う。
具体的には、無人搬送台車の上にカセット１があるときは、図３（ａ）に示すように、可動ストッパ４２をカセット１の前後に突出させておき、走行中にカセット１がフリーローラ上を移動しないようにしている。
カセット１をステーション３に移載するときは、図３（ｂ）〜（ｃ）に示すように、可動ストッパ４２が突出した状態でアーム４１を伸ばし、カセット１を押してステーション３の所定位置まで移動させる。
そして、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、可動ストッパ４２を退入させ、カセット１をステーション３に残した状態でアーム４１を元に縮める。
なお、プッシュプル移載装置４は、移載方向を１８０°変換するように、フリーローラ２と共に旋回可能に設けることもできる。

空気清浄装置５は、無人搬送台車及びステーション３にそれぞれ設置されており、カセット１とフリーローラ２の接触部を局所的に吸気するように、フリーローラ２の周囲にダクト５１を設け、該ダクト５１を介して、フリーローラ２の上方から空気を取り込むようにしている。
各空気清浄装置５は、１列のフリーローラ２に対し、特に限定されるものではないが、例えば、３台のＦＦＵ（ファンフィルタユニット）を配設することにより構成されており、発塵を上部へ巻き上げないよう吸引するとともに、排気は無人搬送台車又はステーション３の下側にクリーンエアとして排気する。
また、各空気清浄装置５は、載置したカセット１の内外から空気を取り込むようにしており、フリーローラ２に支持されるカセット１の底桟１１の上に外部と連通する吸気孔１２を設け、該吸気孔１２の上に、吸い込まれた空気をフリーローラ２側に下降させる風向板１３を設けることにより、カセット側からフリーローラ２の下方へダウンフローを形成し、カセット底部における塵埃の巻き上げを防止している。

かくして、本実施例の無人搬送台車によれば、部品等を収容するカセット１と、該カセット１を載置するフリーローラ２と、該フリーローラ２とステーション３のフリーローラ２との間でカセット１を移動させるプッシュプル移載装置４とを備えた無人搬送台車において、フリーローラ２の下方に、フリーローラ２の上方から空気を取り込む空気清浄装置５を設けることから、カセット１とフリーローラ２の摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃を吸い込んで回収することができ、カセット内部やクリーンルームの汚染を防止することができる。

そして、空気清浄装置５がカセット１の内部から空気を取り込むとともに、フリーローラ２に支持されるカセット１の底桟１１の上に外部と連通する吸気孔１２を設け、該吸気孔１２の上に、吸い込まれた空気をフリーローラ２側に下降させる風向板１３を設けることにより、カセット側からフリーローラ２の下方へダウンフローを形成し、カセット底部における塵埃の巻き上げを防止することができる。

以上、本発明の無人搬送台車について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。

本発明の無人搬送台車は、カセットとフリーローラの摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃によるカセット内部やクリーンルームの汚染を防止するという特性を有していることから、クリーンルームで使用するプッシュプル移載式の無人搬送台車の用途に広く好適に用いることができる。

本発明の無人搬送台車の一実施例を示し、（ａ）はフリーローラと空気清浄装置を移載方向の断面図、（ｂ）は同移載方向に直交する断面図、（ｃ）はカセットとフリーローラを示す拡大断面図である。同無人搬送台車を示す斜視図である。プッシュプル移載装置によるカセットの移載を示し、（ａ）はその第１工程図、（ｂ）は第２工程図、（ｃ）は第３工程図である。プッシュプル移載装置によるカセットの移載を示し、（ａ）はその第４工程図、（ｂ）は第５工程図、（ｃ）は第６工程図である。

符号の説明

１カセット
１１底桟
１２吸気孔
１３風向板
２フリーローラ
３ステーション
４プッシュプル移載装置
４１アーム
４２可動ストッパ
５空気清浄装置
５１ダクト

Claims

部品等を収容するカセットと、該カセットを載置するフリーローラと、該フリーローラとステーションのフリーローラとの間でカセットを移動させるプッシュプル移載装置とを備えた無人搬送台車において、フリーローラの下方に、フリーローラの上方から空気を取り込む空気清浄装置を設けたことを特徴とする無人搬送台車。
空気清浄装置がカセットの内部から空気を取り込むとともに、フリーローラに支持されるカセットの底桟の上に外部と連通する吸気孔を設け、該吸気孔の上に、吸い込まれた空気をフリーローラ側に下降させる風向板を設けたことを特徴とする請求項１記載の無人搬送台車。