JP2008264929A - 電解研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】金属管の内面の酸洗肌、微小表面欠陥層、溶接変形部等の研磨を低コストで、高速に行電解研磨装置の提供。
【解決手段】支持軸３５と、砥石４０と、第１電極３８とを備えた研磨ヘッド４、前記研磨ヘッド４が挿入される金属管９に接続される第２電極、前記研磨ヘッド４が前記金属管９内で、前記金属管９に対して前記支持軸３５回りに相対的に回転するように、前記研磨ヘッド４と前記金属管９とのうち少なくともどちらか一方を回転させる駆動手段、および、前記金属管９の一端から前記金属管９内に電解液を送り込み、前記金属管９内に送り込まれた前記電解液を前記金属管９の他端側から外部に送り出す液流通手段、を有する電解研磨装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、金属表面を研磨する電解研磨装置に関する。さらに具体的には、金属管の内面を電解研磨する電解研磨装置に関するものである。

金属管の内面を研磨するための、研磨装置が従来から知られている。具体的な研磨装置として、たとえば、金属管内に挿入される砥石、この砥石を金属管の内面に沿って動かす駆動制御装置、砥石を回転させる回転機構等を有する、金属管の内面を研磨する研磨装置がある（特公平６−２６７８２号公報（特許文献１））。当該研磨装置では、研磨装置の砥石は、金属管内に挿入された後に、予め固定された金属管の内面をなぞるように金属管の軸周りに回転して、金属管の内面が研磨される。

しかしながら、上記のように、金属管の内面をなぞるように砥石を動かして研磨する方式では砥石が管内に深く挿入されるほど、砥石を内面に対して正確に配置することが難しくなり、このために金属管の内面に未研磨の部分を生じさせてしまうことがあった。また、内面に沿って砥石を動かすためには、砥石の位置を検知し、この検知結果に基づいて砥石の動きをコントロールしなければならず、このために研磨装置の低コスト化や研磨スピードの高速化などが困難となっていた。
また、砥石だけを用いる研磨では、研磨のスピードが充分ではなく、また研磨面の表面も粗くなる傾向があった。

特公平６−２６７８２号公報

上記の状況の下、金属管の内面の酸洗肌、微小表面欠陥層、溶接変形部等の研磨を低コストで、高速に行うことが求められている。

本発明者等は、金属内面の研磨に電解研磨を用いることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成した。本発明は以下のような電解研磨装置等を提供する。

［１］ 支持軸と、
前記支持軸周りに放射方向に配置された砥石と、
前記支持軸に対して放射方向に露呈し、前記砥石の研磨面よりも前記支持軸側に退いた第１電極とを備えた研磨ヘッド、
前記研磨ヘッドが挿入される金属管に接続される第２電極、
前記研磨ヘッドが前記金属管内で、前記金属管に対して前記支持軸回りに相対的に回転するように、前記研磨ヘッドと前記金属管とのうち少なくともどちらか一方を回転させる駆動手段、および、
前記金属管の一端から前記金属管内に電解液を送り込み、前記金属管内に送り込まれた前記電解液を前記金属管の他端側から外部に送り出す液流通手段、を有する電解研磨装置。
駆動手段によって、前記研磨ヘッドと前記金属管とのうち少なくともどちらか一方を回転させるから、前記研磨ヘッドと前記金属管の両方を回転させてもよい。
［２］ 前記第１電極と前記砥石が交互に配置されている、［１］に記載の電解研磨装置。
［３］ 前記第１電極が互いに等間隔に配置され、さらに、前記砥石が互いに等間隔に配置されている、［１］または［２］に記載の電解研磨装置。
［４］ 砥石が弾性砥石である、［１］〜［３］のいずれかに記載の電解研磨装置。
［５］ 前記砥石が、前記砥石の前記支持軸側に設けられた弾性部材によって前記放射方向に付勢されている［１］〜［４］のいずれか１つに記載の電解研磨装置。
［６］ 前記弾性部材がネである、［５］に記載の電解研磨装置。
［７］ 第１電極と金属管の内面との間を流れる電流の電流密度が、５〜１００Ａ／ｃｍ²である、請求項１〜６のいずれかに記載の電解研磨装置。
［８］ 砥石が金属内面に０．２〜５ｋｇｆ／ｃｍ²の力で付勢されている、［１］〜［７］のいずれかに記載の電解研磨装置。

本発明の好ましい態様に係る電解研磨装置は、たとえば、電極と砥石を有する研磨ヘッドが金属の内面の凹部も凸部も擦過し、当該擦過された表面を電解研磨することによって、内面全体を効率よく、滑らかに研磨することが可能になった。
本発明の好ましい態様に係る電解研磨装置では、研磨能力が増大した結果、研磨速度が向上し、金属管の内面の酸洗肌、微小表面欠陥層、溶接変形部等の研磨を低コストで行うことが可能になった。

以下、本発明の電解研磨装置について、図面を用いて具体的に説明する。ただし、本発明は発明を実施するための最良の形態の記載に限定されるものではない。

１．本発明の電解研磨装置
本発明の電解研磨装置全体を概略的に示した図１を用いて、本発明の研磨装置を説明する。
図１に示すように、本発明の研磨装置２は、研磨ヘッド４、研磨ヘッド４を回転させるためのモータ（駆動手段）６、研磨ヘッド４およびモータ６をスライド移動させるスライド移動機構８、研磨装置２に装着された金属管９内に電解液を送りこむための電解液送液機構（液流通手段）１０、および電源装置３０等から構成される。
被研磨物である金属管９としては、たとえば、ステンレス鋼管が用いられる。

スライド移動機構８は、モータ保持体１２、スクリューシャフト１４、シャフト駆動用モータ１６等によって構成されている。モータ保持体１２はモータ６を保持し、研磨装置２にはこのモータ保持体１２をスライド移動させるための移動平面１７が形成されている。スクリューシャフト１４は、この移動平面１７と平行に配置され、その両軸端部が軸支されている。

スライド移動機構８は、モータ保持体１２、スクリューシャフト１４、シャフト駆動用モータ１６等によって構成されている。モータ保持体１２はモータ６を保持し、研磨装置２にはこのモータ保持体１２をスライド移動させるための移動平面１７が形成されている。スクリューシャフト１４は、この移動平面１７と平行に配置され、その両軸端部が軸支されている。

シャフト駆動用モータ１６の回転軸にはスクリューシャフト１４が組み付けられ、シャフト駆動用モータ１６の作動に応じてスクリューシャフト１４が回転する。モータ保持体１２にはスクリューシャフト１４に螺合するナット部が形成され、モータ保持体１２はスクリューシャフト１４が回転したときにスクリューシャフト１４の軸方向に前後に移動する。これによって、モータ６が前後に移動して、研磨ヘッドが金属管内で前後に移動できる。
なお、上記実施態様では、研磨ヘッドを金属管内で前後に移動するために、モータ６自体を前後に移動させているが、モータを移動させずに、モータに接続された支持軸３５を前後に移動させてもよい。

シャフト駆動用モータ１６としては、たとえば、ステッピングモータが用いられ、これにより、モータ保持体１２の正確な位置決めが可能となっている。

電解液送液機構１０は、使用前の電解液を貯留する第１貯留タンク２０、第１貯留タンク２０内の電解液を金属管９内に流し込むための送液ポンプ２２、金属管９から排出される電解液を貯留する第２貯留タンク２４、密封具２５、２６等によって構成される。金属管９の両端は密封具２５、２６によって固定される。被研磨対象である金属管９の一端を保持する密封具２５は、ポンプ２２を介して第１貯留タンク２０と連通し、この密封具２５によって第１貯留タンク２０と金属管９の一端とが液密的に連通する。金属管９の他端を保持する密封具２６は、第２貯留タンク２４と連通し、この密封具２６によって金属管９の他端と第２貯留タンク２４とが液密的に連通する。このような構造によって、送液ポンプ２２によって第１貯留タンク２０から送り出された電解液は、密封具２５を通して金属管９の端から金属管内に供給され、研磨ヘッドによって電解研磨に用いられる。電解研磨に用いられた電解液は、金属管９のもう一方の端から排出され、密封具２６を通して第２貯留タンク２４に送られる。

なお、電解液としては、金属管９として用いられるステンレス鋼管に対応させて硝酸ソーダ水溶液を用いることが好ましいが、これに限らず適宜他の電解液を用いてよい。

研磨ヘッド４は後述する支持軸３５を備え、支持軸３５はモータ６の回転軸に取り付けられている。支持軸３５は、導電性材料によって形成され、密封具２５に備えられた軸受けによって軸支される。支持軸３５は、密封具２５による軸支のほか少なくとも数ヶ所で軸支され、これによって支持軸３５の振れ回り現象などが低減される。
また、支持軸３５は、支持軸に対して垂直な方向（たとえば下方向）に押圧し、金属管９内の一部の研磨面に所定の圧力を印加してもよい。

研磨装置２に固定された金属管９には第２電極であるプラス電極３１が接触し、このプラス電極３１は電源装置３０に接続されている。また、一端に研磨ヘッド４を備えた支持軸３５の他端側にはカーボン製のブラシ３２が接触し、このブラシ３２は電源装置３０に接続されている。これによって、研磨ヘッドを構成する第１電極（−）と金属管に接続する第２電極（＋）との間に電位差が生じ、電解研磨が可能となる。

モータ６の作動時、電源装置３０は、金属管９が、たとえば、１ｃｍ²あたり５〜１００Ａの電流密度で通電するように電流制御する。

なお、上記実施態様では、金属管９は密封具２５、２６によって固定され、支持軸３５を回転軸として研磨ヘッドが回転するが、金属管９をモータ６に接続して回転させ、研磨ヘッド４を固定して電解研磨を行ってもよい。

２．研磨ヘッド
本件発明の電解研磨装置が有する研磨ヘッドを、金属管内に挿入された研磨ヘッドについて、金属管を部分的に切断して示した部分斜視図である図２を用いて説明する。
図２に示すように、研磨ヘッド４は、支持軸３５、第１電極であるマイナス電極３８、砥石４０、第１ガイド部材４２、第２ガイド部材４３等から構成される。マイナス電極３８および砥石４０は、支持軸３５に沿って延びて設けられ、支持軸３５回りにそれぞれ交互に配置されている。さらに、マイナス電極３８および砥石４０は、それぞれ支持軸３５周りに等間隔に配置されている。各マイナス電極３８の長手方向の長さは、各砥石４０の長手方向の長さよりも短く形成されている。各砥石４０は各マイナス電極３８よりも支持軸３５に対する放射方向に突出している。すなわち、各マイナス電極３８は各砥石４０よりも支持軸３５側に退いて配置されている。これによって、マイナス電極３８と金属管９の内面との間に所定の距離を保つことができ、電解減面中のスパークを防止すると共に電解液の流路を確保することができる。
なお、上記態様では、研磨ヘッドの第一電極をマイナス電極とし、後述の第２電極をプラス電極としたが、これらを入れ替えて、研磨ヘッドの第一電極をプラス電極とし、後述の第２電極をマイナス電極としてもよい。
砥石４０は、支持軸３５からの放射方向上で揺動可能に設けられており、研磨時は外側に向けて付勢されるように構成されている。このため研磨ヘッド４が金属管９内に挿入されたとき、金属管９の内面９ａは、支持軸３６周りに等間隔に配置された各砥石４０によって押圧される。

砥石４０としては、たとえば、ステンレス等の金属の研磨に用いられる砥石であれば特に限定されない。一般的には、アルミナ製、シリカ製、ジルコニア製等の砥石を用いることが好ましいが、これらの砥石に限定されるものではない。また、これらの一般的な砥石以外の他に、弾性を有する弾性砥石を用いることができる。本明細書において、弾性砥石はそれ自体が弾性を有する狭義の弾性砥石のみならず、発泡ゴム等の弾性体に研磨用の布を貼り付けたユニットも含む。狭義の弾性砥石は、たとえば、研磨粒子が混ぜ込まれた高分子材料を金型に圧入して固めて熱処理等を施して作製することができる。砥石４０に弾性砥石を用いると、内面９ａに凹凸がある場合でも接触面積を十分に確保することができ、研削性能を良好に保つことができる。
弾性砥石の弾性によって、弾性砥石が金属管の内面に付勢される力は、０．２〜５ｋｇｆ／ｃｍ²が好ましく、０．５〜３ｋｇｆ／ｃｍ²が特に好ましい。
第一電極（マイナス電極）３８としては、銅製、ステンレス製等の電極を用いることが好ましいが、これらの電極に限定されるものではない。

第１ガイド部材４２と第２ガイド部材４３は、研磨ヘッド４の両側に設けられ、砥石４０とマイナス電極３８を外側に飛び出さないように保持するとともに、揺動自在な各砥石４０の移動範囲を制限する。第１ガイド部材４２と第２ガイド部材４３は、たとえば４つのビス４５によって、後述するヘッドベースに固定される。

研磨ヘッド４は支持軸３５の一端に設けられているが、支持軸のもう一端はモータ６に組み付けられている。モータ６としては、たとえば、５０〜５００ｒｐｍで回転可能なモータを使用することが好ましい。モータの型式はＤＣモータが好ましいがＤＣモータに限らず、たとえば、ＡＣモータやステッピングモータなど、用途に応じて適宜変更してよい。

２．１ 砥石がバネによって放射方向に付勢されている研磨ヘッド
上述のとおり、研磨ヘッドの砥石は弾性砥石を用いることが好ましいが、その弾性砥石の代わりに一般的な砥石を用いながら、当該砥石がバネによって放射方向に付勢されている研磨ヘッドを用いてもよい。通常、一般的な砥石の方が、弾性砥石よりも耐久性に優れ、研磨コストの低減が期待できるが、このような研磨ヘッドにおいても、砥石に弾性砥石を用いることができる。
そこで、以下に、砥石がバネによって放射方向に付勢されている研磨ヘッドを、第１ガイド部材が取り外された研磨ヘッドを支持軸方向から観察した研磨ヘッドを示す図３を用いて説明する。

図３に示すように、砥石がバネによって放射方向に付勢されている研磨ヘッド４は、１１個のマイナス電極３８、１１個の砥石４０のほか、ヘッドベース３６、取り付けベース５０を備える。支持軸３５、ヘッドベース３６および各マイナス電極３８は、たとえばアルミ合金やステンレス合金などの導電性材料によって一体的に形成されている。各マイナス電極３８間には取り付けベース５０を装着するための装着スペースが形成されている。取り付けベース５０は、各砥石４０の支持軸３５側に配置され、バネ５２を介して砥石４０と組み合わせられている。

各砥石４０は、第１ガイド部材４２と第２ガイド部材４３に対面する２つの端面４０ａと、これら２つの端面の間にある４つの側面とからなる略四角柱形状に形成されている。４つの側面のうち１面は研磨面４０ｂである。各研磨面４０ｂの縁部は丸みを帯びるように面取りがなされ、これにより砥石４０が、凹凸に引っかかることを減らし、もしくは内面９ａへの鋭い傷の形成を減らしている。また、４つの側面のうち、研磨面４０ｂと向かい合う支持面４０ｃは、取り付けベース５０と対向するように形成されている。

各端面４０ａには、第１ガイド部材４２と第２ガイド部材４３に設けられたガイドピン５４を受け入れるためのガイドスロット５５が支持軸３５に対する放射方向に沿って形成されている。それぞれのガイドスロット５５にガイドピン５４が嵌入されると、砥石４０は支持軸３５から最も突き出た突出位置と支持軸３５側に最も退いた沈み位置との間で移動範囲が制限される。バネ５２が縮み、各砥石４０が沈み位置に位置するときでも、各砥石４０はマイナス電極３８よりも外側に突出するため、マイナス電極３８が内面９ａに接触することはない。ガイドピン５４がガイドスロット５５内に嵌入するように、第１、第２ガイド部材４２、４３がヘッドベース３６に取り付けられる。第１、第２ガイド部材４２、４３の固定は、４つのビス４５がビス穴４６に回し入れられることで行われる。

図４は研磨ヘッド４を支持軸３５に対して垂直な平面で切断した断面図である。図４に示すように、砥石４０の支持面４０ｃにはバネ嵌合穴６２が形成されており、このバネ嵌合穴６２の底には、支持面４０ｃよりも突出した取り付けベース５０に受け入れられる嵌入ロッド６０が形成されている。取り付けベース５０には嵌入ロッド６０を受け入れる嵌入穴６４と、嵌入穴６４の周囲で窪んだバネ嵌合穴６７とが形成されている。

砥石４０を外側に付勢するためのバネ５２は、コイル内を嵌入ロッド６０が貫くようにしてその一端が砥石４０側のバネ嵌合穴６２に嵌入され、他端は嵌入穴６４への嵌入ロッド６０の挿入に合わせて、取り付けベース５０側のバネ嵌合穴６７に嵌入される。これによって、各砥石４０は支持軸３５に対する放射方向に沿って外側に付勢される。

マイナス電極３８に対する各砥石４０の突出高さは、取り付けベース５０の上面と砥石４０の支持面４０ｃとの間隔よりも大きく設けられており、砥石４０が支持軸３５側に最大限に退いたときでも、マイナス電極３８は，砥石４０の研磨面４０ｂよりも支持軸３５側に退いた位置に配置され、このため内面９ａに接触することはない。
バネやゴム等の弾性部材によって、砥石が金属管の内面に付勢される力は、０．２〜５ｋｇｆ／ｃｍ²が好ましく、０．５〜３ｋｇｆ／ｃｍ²が特に好ましい。

なお、上記の実施形態では、砥石４０に設けられたガイドスロット５５に、第１、第２ガイド部材４２，４３に設けられたガイドピン５４を嵌合させて砥石４０の移動範囲を制限するとともにその移動方向をガイドしたが、砥石の移動をガイドする方法はこれに限らず、適宜他の形態を用いてよい。

また、上記の実施形態では、支持軸３５周りに１１個の砥石４０と１１個のマイナス電極３８とを交互に配置した研磨ヘッド４を例示したが、砥石およびマイナス電極の個数はこれに限らず用途に応じて適宜変更してよい。たとえば、砥石の個数を減らす一方で砥石の研磨面を広くして、研磨面と金属管内面との接触期間を長くすることができる。

また、上記の実施形態では、砥石４０の個数とマイナス電極３８の個数とを同数としたが、砥石とマイナス電極との個数が異なる構成にしてもよい。たとえば、１０個の砥石を支持軸周りに配置し、５個のマイナス電極を１つおきに砥石間のスペースに配置する。このように砥石の個数と電極の個数とを変えることで金属管内面の研削処理と電解処理とのバランスを調節することができる。

また、上記の実施形態では、取り付けベース５０と砥石４０との間にバネ５２を介在させて各砥石４０を支持軸３５の放射方向に付勢したが、研磨面を金属管の内面に押し付ける方法はこの方法に限らず、その他の適当な方法を選択して用いてよい。たとえば、バネの代わりにゴムを用いることができる。支持軸周りに等間隔をなして配置された複数のゴムの外側にそれぞれ砥石を接着して固定する。ゴムは弾性を有し、これによって砥石は常時は支持軸に対する放射方向に付勢される。このように、バネの代わりにゴムを用いることで、砥石等の形状をより単純化することができ、コストの低減ができる。

３．本件電解研磨装置を用いた電解研磨
次に、本件電解研磨装置を用いた電解研磨を説明する。金属管９内の一端にセットされた研磨ヘッド４が回転を開始すると、研磨ヘッド４の作動開始とともに金属管９の一端から他端に流路７０を通して電解液が送液され、さらに金属管９ａが通電する。研磨ヘッド４の回転によって研磨面４０ｂが内面９ａを摺動し、これにより内面９ａが切削される。流路７０には電解液が流されて金属管９は通電しているため、切削された内面９ａは即座に電解処理される。

研磨ヘッド４の金属管９内の移動はスライド移動機構８によって制御されており、この機構によって、研磨ヘッド４は次第に金属管９の他端側に移動しながら、内面９ａに対して研磨処理と電解処理とを繰り返し実行していくことができる。このように、支持軸３５周りに等間隔をなして複数の砥石４０を配置し、さらに各砥石４０間にマイナス電極３８を配置したことで、内面９ａの切削と切削された内面９ａの電解とを、交互に小刻みに行うことができる。また、研磨ヘッド４の回転数を上げることなく、これら内面９ａの切削と切削された内面９ａの電解とを実行できる。

図５は金属管内に挿入された研磨ヘッドを支持軸と垂直な平面で金属管とともに切断した断面図である。図５を用いて、本件電解研磨装置を用いた電解研磨をさらに具体的に説明する。

図５に示すように、研磨ヘッド４が金属管９内に挿入されると、各砥石４０の研磨面４０ｂが金属管９の内面９ａに当接する。このとき、各マイナス電極３８の両隣に位置した砥石４０の側面４０ｄ、マイナス電極３８、および金属管９の内面９ａとの間にトンネル状の流路７０が形成される。この流路７０は金属管９の一端側から他端側に通じている。流路７０に電解液が充たされると、マイナス電極３８と金属管９に接続されたプラス電極３１との間で通電し、電解研磨が可能となる。
プラス電極３１は、金属管９の外面に接触させるだけでもよいが、研磨ヘッドのマイナス電極３８と対向するように配置されることが好ましい。

内面９ａに凸部が形成されていた場合、この凸部に対応して砥石４０は支持軸３５側に沈み込み、凸部との接触で発生する衝撃力がバネ５２によって吸収される。このような緩衝作用のため、砥石４０が凸部に対して非常に大きな押圧力を加えることが回避されている。内面９ａに凹部が形成されていた場合、この凹部に対応して砥石４０が外側に突き出るため、砥石４０が凹部の形状に合わせて摺動する。このように、各砥石４０は放射方向に付勢されているため、内面９ａには砥石４０が一定の押圧力で押し付けられ、これによりクラックや研磨もれの発生が低減されている。

金属管９は一方の端部が第１貯留タンク２０に、もう一方の端部が第２貯留タンク２４に連通している。研磨ヘッド４の回転時は、第１貯留タンク２０から第２貯留タンク２４に流路７０を介して電解液が送液され、これによって電解時に内面９ａの金属表面から発生するガスが流路７０内に滞留することなく、第２貯留タンク２４側に送られて除去される。これにより、内面９ａの電解処理を滞ることなく行うことができる。この際、発生するガスを効率的に除去するために、電解液は、ポンプ等によって、加圧して送液されることが好ましい。

なお、上記の実施形態では、第１貯留タンク２０から第２貯留タンク２４に一方的に電解液を流したが、第２貯留タンクから第１貯留タンクに電解液を送る流路を別途設けて、電解液の一部または全部を循環させてもよい。

研磨ヘッドを固定し、金属管を回転されること以外は、図２〜図５に示す研磨ヘッドを有する図１の電解研磨装置と同じ電解研磨装置を用いて、金属管の内面を研磨し、研磨性能の評価実験を行った。

砥石には、長さ１１ｃｍ、研磨面の幅が２ｃｍのアルミナ製の砥石を用いた。また、電極には、長さ１０ｃｍ、露出している面の幅がｃｍ１．８の銅製の電極を用いた。また、バネによって、砥石が金属管の内面に対して付勢される力は、１ｋｇｆ／ｃｍ²であった。

このような研磨装置において、内径１１４．３ｍｍ、肉厚２ｍｍを有する酸洗い仕上げされたＳ３０４ステンレス鋼管の内面を研磨した。

ステンレス鋼は中心軸を中心に２００ｒｐｍで回転させ、ステンレス鋼管の一端側から他端側に分速１ｍで移動させた。マイナス電極とステンレス鋼管の内面とのギャップは１．５ｍｍであり、このスペースに電解液としてＮａＮＯ₃を流した。通電時の電流密度は１ｃｍ²あたり２０Ａに設定した。

その結果、金属管の内面を研磨ヘッドで研磨した結果、当該内面が平均して２６μｍ減面された。そして、研磨後の金属内面の表面のＲａ（中心線平均粗さ）は０．３１μｍ、Ｒｙ（最大粗さ）は１．６μｍであった。

本発明の活用法として、たとえば、金属管の内面の研磨、内面の表面欠陥の除去等を挙げることができる。

本発明の研磨装置全体を概略的に示した概略図である。 金属管内に挿入された研磨ヘッドについて、金属管を部分的に切断して示した部分斜視図である。 第１ガイド部材が取り外された研磨ヘッドを支持軸方向から観察した研磨ヘッドの説明図である。 研磨ヘッドを支持軸と垂直な平面で切断した断面図である。 金属管内に挿入された研磨ヘッドを支持軸と垂直な平面で金属管とともに切断した断面図である。

符号の説明

２ 研磨装置
４ 研磨ヘッド
６ モータ（駆動手段）
９ 金属管
１０ 電解液送液機構（液流通手段）
２０ 第１貯留タンク（液流通手段）
２２ ポンプ（液流通手段）
２４ 第２貯留タンク（液流通手段）
２５、２６ 密封具（液流通手段）
３０ 電源装置
３１ プラス電極（第２電極）
３２ ブラシ
３５ 支持軸
３６ ヘッドベース
３８ マイナス電極（第１電極）
４０ 砥石
４０ｂ 研磨面
５０ 取り付けベース
５２ バネ
５４ ガイドピン
５５ ガイドスロット

Claims (8)

1. 支持軸と、
   前記支持軸周りに放射方向に配置された砥石と、
   前記支持軸に対して放射方向に露呈し、前記砥石の研磨面よりも前記支持軸側に退いた第１電極とを備えた研磨ヘッド、
   前記研磨ヘッドが挿入される金属管に接続される第２電極、
   前記研磨ヘッドが前記金属管内で、前記金属管に対して前記支持軸回りに相対的に回転するように、前記研磨ヘッドと前記金属管とのうち少なくともどちらか一方を回転させる駆動手段、および、
   前記金属管の一端から前記金属管内に電解液を送り込み、前記金属管内に送り込まれた前記電解液を前記金属管の他端側から外部に送り出す液流通手段、を有する電解研磨装置。
2. 前記第１電極と前記砥石が交互に配置されている、請求項１に記載の電解研磨装置。
3. 前記第１電極が互いに等間隔に配置され、さらに、前記砥石が互いに等間隔に配置されている、請求項１または２に記載の電解研磨装置。
4. 砥石が弾性砥石である、請求項１〜３のいずれかに記載の電解研磨装置。
5. 前記砥石が、前記砥石の前記支持軸側に設けられた弾性部材によって前記放射方向に付勢されている請求項１〜４のいずれか１つに記載の電解研磨装置。
6. 前記弾性部材がバネである、請求項５に記載の電解研磨装置。
7. 第１電極と金属管の内面との間を流れる電流の電流密度が、５〜１００Ａ／ｃｍ²である、請求項１〜６のいずれかに記載の電解研磨装置。
8. 砥石が金属内面に０．２〜５ｋｇｆ／ｃｍ²の力で付勢されている、請求項１〜７のいずれかに記載の電解研磨装置。

Images