JP2008256629A - 測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】連続測定を行う際の処理速度を高速化する。
【解決手段】チャンネルCH1〜CH8から入力した測定対象信号Sm1〜Sm8を1つずつ切替出力する切替部2と、測定対象信号Sm1〜Sm8に対して増幅処理を含む所定の信号処理を実行する信号処理部3と、切替部2にチャンネル切替えを実行させつつ信号処理された測定データDmに基づいてその電圧値を算出すると共に信号処理部3の電気的特性に起因するオフセット値を各チャンネルCH1〜CH8毎に特定して算出した電圧値を調整する制御部5とを備えて、電圧値の測定を繰り返して実行可能に構成され、制御部5は、各測定対象信号Sm1〜Sm8に基づく電圧値の測定を1回ずつ実行する一巡測定を1回行う間に一部のチャンネルについてのみオフセット値を新たに特定し、かつ一巡測定を複数回行う間に全てのチャンネルCH1〜CH8についてのオフセット値を新たに特定する。
【選択図】図1

Description

本発明は、複数チャンネルから入力した測定対象信号に基づく所定の物理量の測定をチャンネル切替を行いつつ繰り返して実行可能に構成された測定装置に関するものである。
この種の測定装置として、特許3178944号公報に開示された入力装置が知られている。この入力装置は、入力切替器、フィルタ回路、増幅器、A−D変換器および処理手段を備えて、複数チャンネルで入力した測定入力信号を測定可能に構成されている。この場合、この入力装置では、入力切替器のゼロ入力スイッチを切り替えてゼロ入力信号をフィルタ回路に供給して、増幅器の特性に起因するドリフト分(オフセット値)を特定し、そのドリフト分を測定値から差し引くことによってドリフト分の影響を排除している。
特許3178944号公報(第2頁、第1図)
ところが、上記の入力装置には、以下の問題点がある。すなわち、この入力装置では、ドリフト分の影響を排除するために、ゼロ入力スイッチを切り替えてゼロ入力信号を供給してドリフト分を特定している。この場合、複数チャンネルで測定入力信号を入力可能なこの種の入力装置では、測定入力信号の種類、つまりチャンネル毎に増幅率が異なるため、チャンネル毎にドリフト分を特定する必要がある。したがって、上記の入力装置を含むこの種の入力装置では、チャンネルを切り替える度、つまり増幅率を変更する度にゼロ入力スイッチを切り替えてドリフト分を特定する必要があるため、その分処理速度が低下するという問題点が存在する。この場合、例えば、この入力装置を組み込んだ自動監視システム等を用いて、監視対象機器における複数の測定点における電圧等の物理量を、上記したようにスイッチ切替を行いつつ連続的に測定する際には、処理速度の低下に起因して、自動監視の機能に支障を来すおそれもある。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、連続測定を行う際の処理速度を向上し得る測定装置を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の測定装置は、複数チャンネルからそれぞれ入力した複数の測定対象信号をチャンネル切替によって1つずつ切替出力する切替部と、当該切替部から出力される前記測定対象信号に対してチャンネルに応じた増幅率での増幅処理を含む所定の信号処理を実行する信号処理部と、前記切替部に前記チャンネル切替えを実行させつつ前記信号処理部によって信号処理された処理信号に基づいて所定の物理量を算出すると共に当該信号処理部の電気的特性に起因するオフセット値を前記各チャンネル毎に特定して当該オフセット値に基づいて前記物理量の算出値を調整する制御部とを備えて、前記物理量の測定を繰り返して実行可能に構成された測定装置であって、前記制御部は、所定の条件が満たされたときに、全ての前記チャンネルについての前記各処理信号に基づく前記物理量の測定を1回ずつ実行する一巡測定を1回行う間に当該全てのチャンネルのうちの一部のチャンネルについてのみ前記オフセット値を新たに特定し、かつ前記一巡測定を複数回行う間に前記全てのチャンネルについての前記オフセット値を新たに特定する第1モードで前記物理量の測定を実行する。この場合、前記各測定対象信号に基づく前記物理量の測定を一巡測定において1回ずつ実行する全てのチャンネルとは、測定装置の有するチャンネルのうちの測定対象となっているチャンネルの全てを意味する。したがって、例えば、8チャンネルを備え、その8チャンネルのうちの6チャンネルを測定対象としている場合には、全てのチャンネルとは、その測定対象となっている6つのチャンネルの全てを意味する。
また、請求項2記載の測定装置は、請求項1記載の測定装置において、前記制御部は、前記第1モードにおいて、前記一巡測定を1回行う間に1つの前記チャンネルについてのみ前記オフセット値を新たに特定する。
また、請求項3記載の測定装置は、請求項1または2記載の測定装置において、当該測定装置の内部および周囲の少なくとも一方の温度を検出する温度検出部を備え、前記制御部は、前記温度検出部によって検出された前記温度の変化率が第1の所定値を超えているときには前記一巡測定を1回行う度に前記全てのチャンネルについての前記オフセット値を新たに特定する第2モードで前記物理量の測定を実行し、前記温度の変化率が前記第1の所定値以下のときには前記所定の条件を満たしたとして前記第1モードで前記物理量の測定を実行する。
さらに請求項4記載の測定装置は、請求項3記載の測定装置において、前記制御部は、前記温度の変化率が前記第1の所定値よりも小さい第2の所定値以下のときには前記オフセット値の新たな特定を省略する第3モードで前記物理量の測定を実行する。
請求項1記載の測定装置によれば、一巡測定を1回行う間に全てのチャンネルのうちの一部のチャンネルについてのみオフセット値を新たに特定し、かつ一巡測定を複数回行う間に全てのチャンネルについてのオフセット値を新たに特定する第1モードで物理量(一例として電圧値)を測定することにより、新たな特定対象のチャンネルを除くチャンネルについてのオフセット値の新たな特定を省略することができる。このため、一巡測定に要する処理時間を十分に短縮することができる結果、連続測定を行う際の処理速度を十分に向上させることができる。したがって、この測定装置によれば、例えば、測定対象体における複数の測定点における物理量(一例として電圧値)をチャンネル切替を行いつつ連続的に測定して測定対象体を自動監視する場合においても、処理速度の低下に起因して自動監視の機能に支障を来す事態を確実に防止することができる。
また、請求項2記載の測定装置によれば、一巡測定を1回行う間に1つのチャンネルについてのみオフセット値を新たに特定することにより、一巡測定を1回行う間に2つ以上(全てのチャンネルの数未満)のチャンネルについてのオフセット値を新たに特定する構成と比較して、一巡測定に要する処理時間をさらに短縮することができるため、連続測定を行う際の処理速度をさらに向上させることができる。
また、請求項3記載の測定装置によれば、温度検出部によって検出された温度の変化率が第1の所定値を超えているときには第2モードで物理量(一例として電圧値)を測定し、温度の変化率が第1の所定値以下のときには第1モードで物理量(一例として電圧値)を測定することにより、温度の変化率が大きくて、これに伴ってオフセット値も大きく変化する可能性があるときには、一巡測定を1回行う度に全てのチャンネルについてのオフセット値が新たに特定されるため、たとえオフセット値が大きく変化したとしても、オフセット調整処理を十分正確に行うことができる。
また、請求項4記載の測定装置によれば、温度の変化率が第1の所定値よりも小さい第2の所定値以下のときには第3モードで物理量(一例として電圧値)を測定することにより、温度の変化率が十分に小さくて、オフセット値の変化も十分に小さいときには、全てのチャンネルについてのオフセット値の新たな特定が省略されるため、処理時間をさらに短縮することができる結果、連続測定を行う際の処理速度を一層向上させることができる。
以下、本発明に係る測定装置の最良の形態について、図面を参照して説明する。
最初に、測定装置1の構成について、図面を参照して説明する。図1に示す測定装置1は、本発明に係る測定装置の一例であって、切替部2、信号処理部3、温度検出部4、制御部5、記憶部6およびデータ送信部7を備えて構成されている。切替部2は、複数(一例として、8つ)の測定対象信号Sm1〜Sm8(以下、区別しないときには「測定対象信号Sm」ともいう)を入力する入力端子対21a〜21h(以下、区別しないときには「入力端子対21」ともいう)を有する8チャンネルCH1〜CH8(以下、区別しないときには、「チャンネルCH」ともいう)の入力部11と、各チャンネルCHの測定対象信号Smのうちの1つを切り替えて出力するためのスイッチ22a〜22p(以下、区別しないときには「スイッチ22」ともいう)を有する切替回路12と、信号処理部3の入力部をグランド電位に接続するためのオフセット調整用スイッチ13とを備えて構成されて、複数(この例では8つ)のチャンネルCHからそれぞれ入力した複数の測定対象信号Smをチャンネル切替(つまり、スイッチ22の切替)によって1つずつ切替出力する。
信号処理部3は、切替部2から出力された測定対象信号Smをフィルタ処理するフィルタ回路31と、フィルタ処理された測定対象信号Smを所定の増幅率で増幅するアンプ32と、増幅された測定対象信号Smをアナログ−デジタル変換して測定データDm(本発明における処理信号)を出力するA/D変換部33とを備えて構成されている。この場合、アンプ32は、例えば演算増幅器などの増幅回路を多段に接続して構成されており、制御部5から出力される利得制御信号Sgに従って各増幅回路がそれぞれの利得で増幅動作を行うことにより、アンプ32全体として予め規定された各チャンネルCH毎の総合利得(本発明におけるチャンネルに応じた増幅率)で測定対象信号Smを増幅する(本発明における増幅処理の実行)。なお、アンプ32としては、増幅回路を1段で構成することもできる。また、アンプ32を複数備え、チャンネルCHに応じて複数のアンプ32から1つを選択切り替えして作動させることもできる。また、増幅回路と、抵抗などの受動素子によるアッテネータとを組み合わせてアンプ32を構成することもできる。さらに、増幅回路(能動素子)によるアッテネータでアンプ32を構成して利得を1以上または1以下に規定することもできる。また、フィルタ回路31、アンプ32およびA/D変換部33による各処理が本発明における所定の信号処理に相当する。温度検出部4は、測定装置1内部の温度(本発明における測定装置の内部および周囲の少なくとも一方の温度の一例)を検出して検出信号Stを出力する。この場合、温度検出部4を測定装置1の外部に設置して測定装置の周囲の温度を測定させることもできる。
制御部5は、後述する測定処理50を実行することにより、信号処理部3から出力された測定データDmに基づいて各チャンネルCHの測定対象信号Smについての所定の物理量(一例として、電圧値V)の測定を繰り返して行う。この場合、制御部5は、制御信号Scを出力して切替部2の切替回路12を制御することにより、各チャンネルCHの測定対象信号Smのうちの1つの測定対象信号Smを所定の順序(例えば、チャンネルCH番号順)で切り替えて出力させると共に、信号処理部3によって処理された測定対象信号Sm(言い換えれば、測定対象信号Smが処理されて信号処理部3によって出力された測定データDm)に基づいて測定対象信号Smの電圧値Vを測定する。なお、チャンネル切替を行いつつ各チャンネルCH1〜CH8のうちの測定対象となる全てのチャンネルCHの測定対象信号Smに基づく電圧値Vを1回ずつ測定することを、以下「一巡測定」ともいう。また、制御部5は、利得制御信号Sgを出力してアンプ32の増幅率を各チャンネルCH毎に予め規定されている増幅率に設定する。また、制御部5は、信号処理部3を構成するフィルタ回路31、アンプ32およびA/D変換部33の電気的特性に起因する上記した物理量(この例では電圧値V)についてのオフセット値(測定対象信号Smについての実際の物理量との差分値)を特定すると共に、測定した上記の物理量を特定したオフセット値で調整するオフセット調整処理を実行する。この場合、制御部5は、特定したオフセット値についてのオフセットデータDoを記憶部6に記憶させる。
さらに、制御部5は、温度検出部4から出力された検出信号Stに基づいて測定装置1内部の温度の変化率(以下、「温度変化率Tr」ともいう)を測定して、その温度変化率Trに応じて、後述する第1モード、第2モードおよび第3モードのうちのいずれかの測定モードで測定処理50を実行する。この場合、制御部5は、温度変化率Trが第1基準値(本発明における第1の所定値:一例として、0.2℃/sec)以下となったとき(本発明における、所定の条件が満たされたとき)に第1モードで測定処理50を実行し、温度変化率Trが第1基準値を超えているときに第2モードで測定処理50を実行する。また、制御部5は、温度変化率Trが第2基準値(本発明における第2の所定値:一例として0.1℃/sec)以下となったときに第3モードで測定処理50を実行する。
記憶部6は、各チャンネルCH毎に予め規定されているアンプ32の増幅率を記憶する。また、記憶部6は、制御部5の制御に従ってオフセットデータDoを記憶する。データ送信部7は、制御部5によって測定された物理量のデータ(この例では、電圧値Vについての電圧データDv)を図外の外部機器に送信する。
次に、測定装置1の動作について、図面を参照して説明する。この場合、測定装置1は、切替部2における入力部11の各入力端子対21を介して8つの測定対象信号Sm1〜Sm8を入力して、各測定対象信号Sm1〜Sm8についての電圧値Vを測定するものとする。
この測定装置1では、図外の操作部による測定開始操作や、外部装置からの測定開始指示信号に従い、制御部5が図3に示す測定処理50を開始する。この測定処理50では、制御部5は、各チャンネルCH毎に予め規定されているアンプ32の増幅率を記憶部6から読み出す(ステップ51)。次いで、制御部5は、各チャンネルCHについてのオフセット値を特定する(ステップ52)。具体的には、制御部5は、制御信号Scを出力してオフセット調整用スイッチ13をオン状態に移行させることにより、信号処理部3(フィルタ回路31)の入力部をグランド電位に接続させる。
続いて、制御部5は、利得制御信号Sgを出力してアンプ32の増幅率をチャンネルCH1に対応する増幅率に設定する。この際に、その増幅率における信号処理部3の電気的特性に起因するオフセット値についての測定データDmがA/D変換部33から出力される。次いで、制御部5は、その測定データDmに基づいてオフセット値を特定してオフセットデータDo(チャンネルCH1についてのオフセットデータDo)を記憶部6に記憶させる。続いて、制御部5は、利得制御信号Sgを出力してアンプ32の増幅率をチャンネルCH2に対応する増幅率に設定して、上記した処理と同様の処理を実行することにより、チャンネルCH2についてのオフセットデータDoを記憶部6に記憶させる。次いで、制御部5は、同様にして、チャンネルCH3〜CH8についてのオフセットデータDoを記憶部6に記憶させる。
続いて、制御部5は、各チャンネルCH1〜CH8の測定対象信号Smについての電圧値Vの測定、および電圧値Vに対するオフセット調整処理を実行する(ステップ53)。具体的には、制御部5は、制御信号Scを出力して切替部2における切替回路12のスイッチ22a,22bをオン状態に移行させることにより、チャンネルCH1の測定対象信号Sm1を出力させる。次いで、制御部5は、利得制御信号Sgを出力してアンプ32の増幅率をチャンネルCH1に対応する増幅率に設定する。この際に、フィルタ回路31が測定対象信号Sm1をフィルタ処理し、アンプ32が設定された増幅率で測定対象信号Sm1を増幅する。続いて、A/D変換部33が増幅された測定対象信号Smをアナログ−デジタル変換して測定データDmを出力する。
次いで、制御部5は、測定データDmに基づいて測定対象信号Sm1についての電圧値Vを測定すると共に、記憶部6に記憶されているチャンネルCH1についてのオフセットデータDoに基づいて電圧値Vに対してオフセット調整処理を実行して、オフセット調整処理後の電圧値Vについての電圧データDvをデータ送信部7に出力する。続いて、制御部5は、データ送信部7を制御して、電圧データDvを外部装置に送信させる。次いで、制御部5は、同様の処理を実行することにより、チャンネルCH2〜CH8の測定対象信号Sm2〜Sm8についての電圧データDvを出力すると共に、データ送信部7を制御して各電圧データDvを送信させる(ステップ54)。
続いて、制御部5は、一巡測定を1回行った時点で、温度検出部4から出力されている検出信号Stに基づいて、測定装置1内部の温度変化率Trを測定する(ステップ55)。次いで、制御部5は、測定した温度変化率Trと第1基準値(0.2℃/sec)および第2基準値(0.1℃/sec)とを比較して測定モードを決定する(ステップ56)。この際に、例えば、温度変化率Trが第1基準値(0.2℃/sec)を超えているとき、つまり温度変化が大きくて、これに伴ってオフセット値も大きく変化する可能性があるときには、制御部5は、測定モードを第2モードに決定する。
この第2モードでは、制御部5は、一巡測定を1回行う度に上記したステップ52において、測定対象となる全てのチャンネルCH(この例ではチャンネルCH1〜チャンネルCH8)についてのオフセット値を新たに特定して更新し、続いて、ステップ53〜56を実行する。したがって、この第2モードでは、オフセット値が大きく変化したとしても、オフセット調整処理を正確に行うことが可能となっている。以後、制御部5は、温度変化率Trが第1基準値を超えているときには、第2モードでステップ52〜ステップ56を繰り返して実行する。
次に、例えば、ステップ55において測定した温度変化率Trが第1基準値以下となったとき、つまり温度変化が小さくて、オフセット値の変化も小さいときには、制御部5は、測定モードを第1モードに決定(変更)する。この第1モードでは、制御部5は、ステップ52において、全てのチャンネルCHのうちの一部のチャンネルCH(例えば1つのチャンネルCH)についてのみオフセット値を新たに特定して更新し、次いで、ステップ53〜56を実行する。つまり、この第1モードでは、制御部5は、一巡測定を1回行う間に(一巡測定の1回の実行に対して)チャンネルCH1〜CH8のうちの一部のチャンネルCHについてのみオフセット値を新たに特定して更新する。
この場合、制御部5は、ステップ53において、新たな特定(更新)対象のチャンネルCHについては、新たに特定した最新のオフセット値に基づいてオフセット調整処理を実行し、他のチャンネルCHについては、直前に特定したオフセット値を用いてオフセット調整処理を実行する。また、この第1モードでは、制御部5は、図3に示すように、一巡測定を1回行う度に新たな特定対象のチャンネルCHを変更して、一巡測定を複数回(この例では8回)行う間に全てのチャンネルCH1〜CH8についてのオフセット値を新たに特定して更新する。以後、制御部5は、温度変化率Trが第1基準値以下のときには、第1モードでステップ52〜ステップ56を繰り返して実行する。この場合、第1モードでは、一巡測定を1回行う間において、一部のチャンネルCH(この例では7つのチャンネルCH)についてのオフセット値の新たな特定(更新)が省略されるため、処理時間を十分に短縮することが可能となっている。
次に、例えば、ステップ55において測定した温度変化率Trが第2基準値以下(0.1℃/sec)となったとき、つまり温度変化が十分に小さくて、オフセット値の変化も十分に小さいときには、制御部5は、測定モードを第3モードに決定(変更)する。この第3モードでは、制御部5は、ステップ52を実行することなく、つまりオフセット値の変更を省略して、上記したステップ53〜ステップ56を実行する。この場合、制御部5は、ステップ53において、直前に特定したオフセット値を用いてオフセット調整処理を実行する。この第3モードでは、全てのチャンネルCH1〜CH8についてのオフセット値の新たな特定(更新)が省略されるため、処理時間をさらに短縮することが可能となっている。
以後、制御部5は、上記のステップ52〜56を繰り返して実行し、第1モード、第2モードおよび第3モードのいずれかの処理モードでの測定処理を繰り返して実行する。
このように、この測定装置1によれば、温度変化率Trが第1基準値以下のときに、一巡測定を1回行う間に全てのチャンネルCHのうちの一部のチャンネルCHについてのみオフセット値を新たに特定して更新し、かつ一巡測定を複数回行う間に全てのチャンネルCH1〜CH8についてのオフセット値を新たに特定して更新する第1モードで電圧値Vを測定することにより、温度変化率Trが小さくて、オフセット値の変化も小さいときには、新たな特定(更新)対象のチャンネルCHを除くチャンネルCHについてのオフセット値の新たな特定(更新)を省略することができる。このため、一巡測定に要する処理時間を十分に短縮することができる結果、連続測定を行う際の処理速度を十分に向上させることができる。したがって、この測定装置1によれば、例えば、測定対象体における複数の測定点における電圧値Vをチャンネル切替を行いつつ連続的に測定して測定対象体を自動監視する場合においても、処理速度の低下に起因して自動監視の機能に支障を来す事態を確実に防止することができる。
また、この測定装置1によれば、一巡測定を1回行う間に1つのチャンネルCHについてのみオフセット値を新たに特定することにより、一巡測定を1回行う間に2つ以上(全てのチャンネルCHの数未満)のチャンネルCHについてのオフセット値を新たに特定する構成と比較して、一巡測定に要する処理時間をさらに短縮することができるため、連続測定を行う際の処理速度をさらに向上させることができる。
さらに、この測定装置1によれば、温度変化率Trが第1基準値を超えているときには第2モードで電圧値Vを測定し、温度変化率Trが第1基準値以下のときには第1モードで電圧値Vを測定することにより、温度変化率Trが大きくて、これに伴ってオフセット値も大きく変化する可能性があるときには、一巡測定を1回行う度に全てのチャンネルCH1〜CH8についてのオフセット値が新たに特定されるため、たとえオフセット値が大きく変化したとしても、オフセット調整処理を十分正確に行うことができる。
また、この測定装置1によれば、温度変化率Trが第1基準値よりも小さい第2基準値以下のときには第3モードで電圧値Vを測定することにより、温度変化率Trが十分に小さくて、オフセット値の変化も十分に小さいときには、全てのチャンネルCH1〜CH8についてのオフセット値の新たな特定(更新)が省略されるため、処理時間をさらに短縮することができる結果、連続測定を行う際の処理速度を一層向上させることができる。
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、8チャンネルCH1〜CH8の入力部11を備えた測定装置1に適用した例について上記したが、任意の複数チャンネルCHの入力部を備えた各種の測定装置に適用することができる。また、第1モードにおいて一巡測定を1回行う間に1つチャンネルCHについてのみオフセット値を新たに特定する例について上記したが、一巡測定を1回行う間にオフセット値を新たに特定するチャンネルCHの数はこれに限定されず、測定対象のチャンネル(この例では8つ)のうちの2つ以上7つ(測定対象となる全てのチャンネル数−1)以下の範囲内で任意に変更することができる。この場合、本例では、チャンネルCH1〜CH8の全てを測定対象としているが、8つのチャンネルCH1〜CH8のうち、測定に用いるチャンネルが6つ(例えばチャンネルCH1〜CH6)のときには、測定対象のチャンネル(この例では6つ)のうちの2つ以上5つ(測定対象となる全てのチャンネル数−1)以下の範囲内で任意に変更することができる。また、電圧を測定する例について上記したが、本発明における物理量には、電流、温度、抵抗、湿度および流量等の各種の物理量が含まれる。
測定装置1の構成を示す構成図である。 測定処理50のフローチャートである。 オフセット調整処理の方法を説明するための説明図である。
符号の説明
1 測定装置
2 切替部
3 信号処理部
4 温度検出部
5 制御部
11 入力部
Dm 測定データ
Do オフセットデータ
Sm1〜Sm8 測定対象信号
Tr 温度変化率
V 電圧値

Claims (4)

  1. 複数チャンネルからそれぞれ入力した複数の測定対象信号をチャンネル切替によって1つずつ切替出力する切替部と、当該切替部から出力される前記測定対象信号に対してチャンネルに応じた増幅率での増幅処理を含む所定の信号処理を実行する信号処理部と、前記切替部に前記チャンネル切替えを実行させつつ前記信号処理部によって信号処理された処理信号に基づいて所定の物理量を算出すると共に当該信号処理部の電気的特性に起因するオフセット値を前記各チャンネル毎に特定して当該オフセット値に基づいて前記物理量の算出値を調整する制御部とを備えて、前記物理量の測定を繰り返して実行可能に構成された測定装置であって、
    前記制御部は、所定の条件が満たされたときに、全ての前記チャンネルについての前記各処理信号に基づく前記物理量の測定を1回ずつ実行する一巡測定を1回行う間に当該全てのチャンネルのうちの一部のチャンネルについてのみ前記オフセット値を新たに特定し、かつ前記一巡測定を複数回行う間に前記全てのチャンネルについての前記オフセット値を新たに特定する第1モードで前記物理量の測定を実行する測定装置。
  2. 前記制御部は、前記第1モードにおいて、前記一巡測定を1回行う間に1つの前記チャンネルについてのみ前記オフセット値を新たに特定する請求項1記載の測定装置。
  3. 当該測定装置の内部および周囲の少なくとも一方の温度を検出する温度検出部を備え、
    前記制御部は、前記温度検出部によって検出された前記温度の変化率が第1の所定値を超えているときには前記一巡測定を1回行う度に前記全てのチャンネルについての前記オフセット値を新たに特定する第2モードで前記物理量の測定を実行し、前記温度の変化率が前記第1の所定値以下のときには前記所定の条件を満たしたとして前記第1モードで前記物理量の測定を実行する請求項1または2記載の測定装置。
  4. 前記制御部は、前記温度の変化率が前記第1の所定値よりも小さい第2の所定値以下のときには前記オフセット値の新たな特定を省略する第3モードで前記物理量の測定を実行する請求項3記載の測定装置。
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