KR101753694B1 - Rf 측정, 처리 및 제어를 동반하는 rf 펄스 신호의 동기화 - Google Patents

Rf 측정, 처리 및 제어를 동반하는 rf 펄스 신호의 동기화 Download PDF

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래리 제이. 피스크 Ii
애런 티. 라돔스키
김재현
이상원
조너선 스미카
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엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
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Abstract

무선 주파수(RF) 시스템이 개시된다. 상기 RF 시스템은 RF 센서, 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈, 처리 모듈, 및 동기화 모듈을 포함한다. RF 센서는 RF 출력의 파라미터를 측정하고 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성한다. ADC 모듈은 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환한다. 처리 모듈은 상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성한다. 동기화 모듈은 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력한다.

Description

RF 측정, 처리 및 제어를 동반하는 RF 펄스 신호의 동기화{SYNCHRONIZATION OF RF PULSING WITH RF METROLOGY, PROCESSING, AND CONTROL}
본 발명은 플라즈마 챔버, 및 무선 주파수(RF) 측정 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 란에 제공된 배경기술 설명은 본 발명의 상황을 일반적으로 제시하기 위해 제공된 것이다. 출원시에 선행 기술로 인정되지 않을 수 있는 설명 측면뿐 아니라 본 배경 기술 란에 개시된 정도까지, 본원의 발명자의 업적이, 명시적으로나 암시적으로 본 발명에 대한 선행 기술로 인정되어서는 안된다.
무선 주파수(RF) 생성기는 교류 전류(AC) 입력 전력을 수신하고 RF 출력을 생성한다. RF 출력은, 예를 들어, 플라즈마 챔버의 플라즈마 전극에 인가될 수 있다. 플라즈마 챔버는 박막 제조 시스템 및 다른 유형의 시스템에 사용될 수 있다.
일부 상황에서, 플라즈마 챔버는 복수의 플라즈마 전극을 포함할 수 있다. 예를 들어, 처리되는 표면적이 단일 플라즈마 전극이 서비스할 수 있는 영역보다 더 큰 경우에 하나 이상의 플라즈마 전극이 구현될 수 있다.
따라서, 다수의 RF 생성기가 일부 상황에서 사용될 수 있다. 각 RF 생성기는 RF 출력을 생성하고 이 RF 출력을 플라즈마 전극들 중 하나에 인가한다. RF 생성기는 동일한 RF 출력을 생성하도록 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 특징에서, 무선 주파수(RF) 시스템이 개시된다. 상기 RF 시스템은 RF 센서, 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈, 처리 모듈, 및 동기화 모듈을 포함한다. 상기 RF 센서는 RF 출력의 파라미터를 측정하고 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성한다. 상기 ADC 모듈은 상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환한다. 상기 처리 모듈은 상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성한다. 상기 동기화 모듈은 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력한다.
다른 특징에서, 상기 RF 시스템은 RF 출력을 생성하는 드라이버; 레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈; 드라이버 제어 설정점에 기초하여 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및 상기 처리된 값들 중 하나에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈을 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 ADC 모듈은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링한다.
더 다른 특징에서, 상기 출력 제어 모듈은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트한다. 상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만이다.
추가적인 특징에서, 상기 동기화 모듈은 RF 신호의 증가가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력한다.
또 다른 특징에서, 상기 동기화 모듈은 RF 신호의 감소가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력한다.
더 다른 특징에서, 상기 동기화 모듈은 상기 레일 전압의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력한다.
추가적인 특징에서, 상기 동기화 모듈은 드라이버 제어 모듈의 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 센서는 RF 출력의 제2 파라미터를 더 측정하고 상기 제2 파라미터에 기초하여 제2 RF 신호를 생성하며; 상기 RF 시스템은 제2 RF 신호의 샘플을 제2 디지털 값으로 변환하는 제2 ADC 모듈을 더 포함하고; 상기 처리 모듈은 상기 제2 디지털 값에 기초하여 제2 처리된 값을 생성하고; 상기 동기화 모듈은 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 제2 처리된 값들 중 하나를 출력하고; 및 상기 출력 제어 모듈은 상기 제2 처리된 값들 중 하나에 더 기초하여 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절한다.
더 다른 특징에서, 플라즈마 챔버 시스템은 상기 RF 시스템; 상기 RF 출력을 필터링하는 필터; 및 상기 필터링된 RF 출력을 수신하는 플라즈마 전극을 포함한다.
제2 특징에서, 무선 주파수(RF) 제어 방법이 개시된다. 상기 RF 제어 방법은 RF 센서를 사용하여 RF 출력의 파라미터를 측정하는 단계; 상기 RF 센서를 사용하여 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 단계; 상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 단계; 상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성하는 단계; 및 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계를 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 드라이버를 사용하여 상기 RF 출력을 생성하는 단계; 레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 단계; 드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 단계; 및, 상기 처리된 값들 중 하나에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계를 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 단계를 더 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하는 단계를 더 포함한다. 상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만이다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 신호의 증가가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 신호의 감소가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 레일 전압의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 드라이버의 입력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 센서를 사용하여 상기 RF 출력의 제2 파라미터를 측정하는 단계; 상기 RF 센서를 사용하여 상기 제2 파라미터에 기초하여 제2 RF 신호를 생성하는 단계; 상기 제2 RF 신호의 샘플을 제2 디지털 값으로 변환하는 단계; 상기 제2 디지털 값에 기초하여 제2 처리된 값을 생성하는 단계; 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 제2 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계; 및 상기 제2 처리된 값들 중 하나에 더 기초하여 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계를 더 포함한다.
제3 특징에서, 무선 주파수(RF) 시스템이 개시된다. RF 센서는 RF 출력의 파라미터를 측정하고 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성한다. 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈은 상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환한다. 동기화 모듈은 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력한다. 처리 모듈은 상기 디지털 값들 중 하나에 기초하여 처리된 값을 생성한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 시스템은 상기 RF 출력을 생성하는 드라이버; 레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈; 드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및 상기 처리된 값에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈을 더 포함한다.
더 추가적인 특징에서, 상기 ADC 모듈은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링한다.
또 다른 특징에서, 상기 출력 제어 모듈은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트한다. 상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만이다.
추가적인 특징에서, 상기 동기화 모듈은 상기 RF 신호의 증가가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력한다.
더 다른 특징에서, 상기 동기화 모듈은 상기 RF 신호의 감소가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력한다.
또 다른 특징에서, 상기 동기화 모듈은 상기 레일 전압의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력한다.
추가적인 특징에서, 상기 동기화 모듈은 상기 드라이버 제어 모듈의 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 센서는 상기 RF 출력의 제2 파라미터를 더 측정하고 상기 제2 파라미터에 기초하여 제2 RF 신호를 생성하고; 상기 RF 시스템은 상기 제2 RF 신호의 샘플을 제2 디지털 값으로 변환하는 제2 ADC 모듈을 더 포함하고; 상기 동기화 모듈은 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 제2 디지털 값들 중 하나를 출력하고; 상기 처리 모듈은 상기 제2 디지털 값들 중 하나에 기초하여 제2 처리된 값을 생성하고; 및 상기 출력 제어 모듈은 상기 제2 디지털 값들 중 하나에 더 기초하여 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절한다.
또 다른 특징에서, 플라즈마 챔버 시스템은 상기 RF 시스템; 상기 RF 출력을 필터링하는 필터; 및 상기 필터링된 RF 출력을 수신하는 플라즈마 전극을 포함한다.
제4 특징에서, 무선 주파수(RF) 제어 방법이 개시된다. 상기 RF 제어 방법은 RF 센서를 사용하여 RF 출력의 파라미터를 측정하는 단계; 상기 RF 센서를 사용하여 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 단계; 상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 단계; 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계; 및 상기 디지털 값들 중 하나에 기초하여 처리된 값을 생성하는 단계를 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 드라이버를 사용하여 RF 출력을 생성하는 단계; 레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 단계; 드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 단계; 및, 상기 처리된 값에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계를 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 단계를 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하는 단계를 더 포함한다. 상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만이다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 신호의 증가가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 신호의 감소가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 레일 전압의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 드라이버의 입력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 센서를 사용하여 상기 RF 출력의 제2 파라미터를 측정하는 단계; 상기 RF 센서를 사용하여 상기 제2 파라미터에 기초하여 제2 RF 신호를 생성하는 단계; 상기 제2 RF 신호의 샘플을 제2 디지털 값으로 변환하는 단계; 상기 RF 출력의 전이에 응답하여 상기 제2 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계; 상기 제2 디지털 값들 중 하나에 기초하여 제2 처리된 값을 생성하는 단계; 및 상기 제2 디지털 값들 중 하나에 더 기초하여 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계를 더 포함한다.
제5 특징에서, 무선 주파수(RF) 시스템이 개시된다. RF 센서는 RF 출력의 파라미터를 측정하고 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성한다. 샘플 주파수 모듈은 상기 RF 출력에서 제1 및 제2 전이들 사이의 기간에 기초하여 샘플링 주파수를 결정한다. An아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈은 상기 샘플링 주파수에 기초하여 상기 RF 신호를 샘플링하고 상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환한다. 처리 모듈은 상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 시스템은 상기 RF 출력을 생성하는 드라이버; 레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈; 드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및 상기 처리된 값에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈을 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 샘플링 주파수 모듈은 상기 RF 신호의 증가가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출한다.
또 다른 특징에서, 상기 샘플링 주파수 모듈은 상기 RF 신호의 감소가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출한다.
추가적인 특징에서, 상기 샘플링 주파수 모듈은 상기 레일 전압의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출한다.
더 다른 특징에서, 상기 샘플링 주파수 모듈은 상기 드라이버 제어 모듈의 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출한다.
또 다른 특징에서: 상기 RF 센서는 상기 RF 출력의 제2 파라미터를 더 측정하고 상기 제2 파라미터에 기초하여 제2 RF 신호를 생성하고; 상기 RF 시스템은 상기 샘플링 주파수에서 상기 제2 RF 신호를 샘플링하고 상기 제2 RF 신호의 샘플을 제2 디지털 값으로 변환하는 제2 ADC 모듈을 더 포함하고; 상기 처리 모듈은 상기 제2 디지털 값에 기초하여 제2 처리된 값을 생성하고; 및 상기 출력 제어 모듈은 상기 제2 처리된 값들 중 하나에 더 기초하여 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절한다.
추가적인 특징에서, 플라즈마 챔버 시스템은 상기 RF 시스템; 상기 RF 출력을 필터링하는 필터; 및 상기 필터링된 RF 출력을 수신하는 플라즈마 전극을 포함한다.
제6 특징에서, 무선 주파수(RF) 제어 방법이 개시된다. 상기 RF 제어 방법은 RF 센서를 사용하여 RF 출력의 파라미터를 측정하는 단계; 상기 RF 센서를 사용하여 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 단계; 상기 RF 출력의 제1 및 제2 전이들 사이의 기간에 기초하여 샘플링 주파수를 결정하는 단계; 상기 샘플링 주파수에 기초하여 상기 RF 신호를 샘플링하는 단계; 상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 단계; 및 상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성하는 단계를 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 드라이버를 사용하여 상기 RF 출력을 생성하는 단계; 레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 단계; 드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 단계; 및, 상기 처리된 값에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계를 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 신호의 증가가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출하는 단계를 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 신호의 감소가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출하는 단계를 더 포함한다.
추가적인 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 레일 전압의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출하는 단계를 더 포함한다.
또 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 드라이버의 입력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과할 때 상기 RF 출력의 전이를 검출하는 단계를 더 포함한다.
더 다른 특징에서, 상기 RF 제어 방법은 상기 RF 센서를 사용하여 상기 RF 출력의 제2 파라미터를 측정하는 단계; 상기 RF 센서를 사용하여 상기 제2 파라미터에 기초하여 제2 RF 신호를 생성하는 단계; 상기 샘플링 주파수에서 상기 제2 RF 신호를 샘플링하는 단계; 상기 제2 RF 신호의 샘플을 제2 디지털 값으로 변환하는 단계; 상기 제2 디지털 값에 기초하여 제2 처리된 값을 생성하는 단계; 및 상기 제2 처리된 값들 중 하나에 더 기초하여 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 이용가능성의 추가적인 영역은 상세한 설명, 청구범위 및 도면으로부터 명백할 것이다. 상세한 설명과 특정 예는 단지 예시를 위하여 의도된 것일 뿐 본 발명의 범위를 제한하려고 의도된 것이 아니다.
본 발명은 상세한 설명과 첨부 도면으로부터 보다 완전히 이해될 수 있을 것이다:
도 1은 본 발명에 따른 예시적인 무선 주파수(RF) 플라즈마 챔버 시스템의 기능 블록도;
도 2는 RF 생성기의 출력 전력 대.(versus) 시간의 예시적인 그래프;
도 3은 본 발명에 따른 RF 플라즈마 챔버 시스템의 예시적인 부분의 기능 블록도;
도 4는 RF 생성기의 출력 전력 대. 시간의 다른 예시적인 그래프;
도 5는 본 발명에 따른 RF 플라즈마 생성기 시스템의 예시적인 부분의 다른 기능 블록도;
도 6은 본 발명에 따른 RF 플라즈마 생성기 시스템의 예시적인 부분의 다른 기능 블록도;
도 7은 본 발명에 따른 RF 센서의 측정값을 샘플링하고 디지털화하는 예시적인 방법을 도시하는 흐름도;
도 8은 본 발명에 따라 RF 출력의 레벨 전이에 대응하는 RF 센서의 측정 값을 제공하고 이 값에 기초하여 RF 출력을 제어하는 예시적인 방법을 도시하는 흐름도;
도 9는 본 발명에 따라 RF 출력의 레벨 전이에 대응하는 RF 센서의 측정 값을 제공하고 이 값에 기초하여 RF 출력을 제어하는 다른 예시적인 방법을 도시하는 흐름도; 및
도 10은 본 발명에 따라 RF 출력의 레벨 전이에 대응하는 RF 센서의 측정 값을 제공하고 이 값에 기초하여 RF 출력을 제어하는 다른 예시적인 방법을 도시하는 흐름도.
도면에서, 참조 부호는 유사하거나 및/또는 동일한 요소를 식별하는데 재사용될 수 있다.
이제 도 1을 참조하면, 예시적인 무선 주파수(RF) 플라즈마 챔버 시스템의 기능 블록도가 제시된다. 무선 주파수(RF) 생성기 모듈(104)은 교류 전류(AC) 입력 전력을 수신하고 이 AC 입력 전력을 사용하여 RF 출력을 생성한다. RF 출력은 플라즈마 챔버(112)의 플라즈마 전극(108)에 인가된다. 다른 유형의 시스템에서, RF 출력은 상이하게 사용될 수 있다. 플라즈마 전극(108)은, 예를 들어, 박막 증착(thin film deposition), 박막 에칭(thin film etching), 및 다른 유형의 시스템에 사용될 수 있다.
출력 제어 모듈(116)은, RF 생성기 모듈(104)에 의해 생성되고 플라즈마 전극(108)으로 전달되는 RF 출력을 위한 전력 설정점(P 설정)을 수신한다. 전력 설정점은, 예를 들어, 외부 인터페이스(120) 또는 다른 적절한 소스를 통해 제공될 수 있다. 외부 인터페이스(120)는, 예를 들어, 범용 표준(US)(232) 연결을 통해, 이더넷 연결을 통해, 무선 연결을 통해, 또는 프론트 패널 인터페이스를 통해 제공된 진단 또는 유저 입력에 기초하여 전력 설정점을 출력 제어 모듈(116)에 제공할 수 있다.
RF 센서(124)는 RF 출력의 하나 이상의 파라미터를 측정하고 측정된 파라미터(들)에 기초하여 RF 신호를 생성한다. 예를 들어, RF 센서(124)는 전압-전류(VI) 센서, RF 프로브, 지향성 커플러, 감마 센서, 위상-크기 센서, 또는 다른 적절한 유형의 RF 센서를 포함할 수 있다.
측정 제어 모듈(128)은 미리 결정된 샘플링 주파수에서 RF 신호를 샘플링한다. 측정 제어 모듈(128)은 (아날로그)샘플을 대응하는 디지털 값으로 변환한다. 측정 제어 모듈(128)은 또한 하나 이상의 신호 처리 기능을 디지털 값에 인가하여 처리된 값을 생성한다.
출력 제어 모듈(116)은 RF 출력의 크기, 주파수, 및 위상을 제어한다. 출력 제어 모듈(116)은 미리 결정된 업데이트 주파수에서 RF 출력을 제어하는데 사용되는 하나 이상의 파라미터를 선택적으로 업데이트할 수 있다. 미리 결정된 업데이트 주파수는 미리 결정된 샘플링 주파수 미만이다. 다시 말해, 측정 제어 모듈(128)은 출력 제어 모듈(116)이 RF 출력을 제어하는데 사용되는 하나 이상의 파라미터를 업데이트할 수 있을 때 연속적인 시간들 사이의 다수의 시기(occasion)에 RF 신호를 샘플링할 수 있다.
출력 제어 모듈(116)은, 예를 들어, 측정 제어 모듈(128)로부터 처리된 값에 기초하여 하나 이상의 파라미터를 선택적으로 업데이트할 수 있다. 그러나, 처리된 값을 생성하도록 수행되는 신호 처리 기능(들)과 측정 제어 모듈(128)의 샘플링 주파수와 연관된 지연으로 인해 처리된 값은 업데이트와 시간적으로 정렬되지 않을 수 있다.
처리된 값이 업데이트와 시간적으로 정렬되지 않는 것으로 인해 출력 제어 모듈(116)은 RF 출력을 제어하는데 사용되는 하나 이상의 파라미터를 부정확하게 조절할 수 있다. 예를 들어, 도 2는 처리된 값이 출력 제어 모듈(116)에 의해 수행되는 업데이트와 시간적으로 정렬되지 않는 시스템에서 전력 대(versus) 시간의 그래프이다. 실선 궤적(204)은 RF 출력의 타깃 전력을 나타내고, 점선 궤적(208)은 RF 출력의 실제 전력을 나타낸다. 도 2에 도시된 바와 같이, 출력 제어 모듈(116)은 처리된 값이 업데이트와 정렬되지 않는 것에 기초하여 RF 출력이 타깃을 오버슈트(overshoot)하게 할 수 있다. 오버슈트의 예가 제공되지만, 다른 출력 제어기들이 처리된 값이 정렬되지 않는 것에 기초하여 타깃을 언더슈트(undershoot)하거나 또는 타깃을 언더슈트하고 오버슈트할 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 측정 제어 모듈(128)은 그리하여 RF 출력의 전이가 검출될 때마다 처리된 값을 출력 제어 모듈(116)에 제공한다. 이 전이는 RF 출력의 증가 또는 감소일 수 있다. 이런 방식으로, 처리된 값을 제공하는 것은 RF 출력의 전이와 시간적으로 동기화된다. 처리된 값이 RF 출력의 전이와 시간적으로 정렬된 것에 기초하여 및 설정점 값이 이 처리된 값을 초래하는 것에 기초하여, 출력 제어 모듈(116)은 RF 출력을 보다 정확히 제어할 수 있다.
이제 도 3을 참조하면, RF 플라즈마 챔버 시스템의 예시적인 부분을 포함하는 기능 블록도가 제시된다. 출력 제어 모듈(116)은 전력 설정점에 기초하여 레일 전압 설정점(레일 설정)과 드라이버 제어 설정점(드라이버 설정)을 생성할 수 있다. 이 레일 전압 설정점에 기초하여, 전력 공급 모듈(304)은 AC 입력 전력으로부터 레일 전압을 생성한다. 전력 공급 모듈(304)은 레일 전압을 드라이버(308)에 인가한다.
드라이버 제어 모듈(312)은 드라이버 제어 설정점에 기초하여 드라이버(308)를 구동한다. 드라이버 제어 설정점은 타깃 듀티 사이클(즉, 각 미리 결정된 기간 동안 ON 시간의 퍼센트)을 나타낼 수 있다. 드라이버 제어 모듈(312)은 타깃 듀티 사이클을 가지는 펄스 폭 변조(PWM) 신호를 생성하고 이 PWM 신호를 드라이버(308)에 인가할 수 있다. 드라이버(308)는 PWM 신호와 레일 전압에 기초하여 RF 출력을 생성한다. 필터(316)는 RF 출력이 플라즈마 전극(108)에 인가되기 전에 드라이버(308)의 출력을 필터링하도록 구현될 수 있다.
제1 및 제2 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈(330 및 334)은 RF 센서(124)에 의해 측정된 RF 출력의 제1 및 제2 파라미터(X1 및 X2)를 수신한다. 예를 들어, 제1 및 제2 파라미터는 RF 센서에 의해 측정된 전압과 전류 또는 다른 적절한 파라미터일 수 있다. 여러 구현에서, 1개의 파라미터 또는 2개를 초과하는 파라미터들이 측정될 수 있다.
제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 미리 결정된 샘플링 주파수(Ts- 1)에서 제1 및 제2 파라미터를 샘플링하고 샘플을 디지털화하여 제1 및 제2 디지털 값(D1 및 D2)을 생성한다. 처리 모듈(338)은 제1 및 제2 디지털 값에 하나 이상의 신호 처리 기능을 수행하여 제1 및 제2 처리된 값(P1 및 P2)을 생성한다. 처리 모듈(338)은, 예를 들어, 하나 이상의 필터(예를 들어, 대역 통과 필터)를 적용하거나 및/또는 하나 이상의 다른 적절한 신호 처리 기능을 수행할 수 있다. 대역 통과 필터는, 예를 들어, RF 센서(124)로부터 대역외(out of band) 측정값을 제거하도록 적용될 수 있다.
동기화 모듈(342)은 RF 출력의 레벨 전이가 검출될 때 현재 처리된 값을 동기화된 값(S1 및 S2)으로 출력 제어 모듈(116)에 출력한다. 미리 결정된 샘플링 주파수가 출력 제어 모듈(116)이 RF 출력의 레벨을 전이하는 주파수보다 더 빠르므로, 처리된 값은 레벨 전이가 검출되기 전에 한번 이상 업데이트될 수 있다.
RF 출력의 레벨 전이는 RF 출력의 하나 이상의 파라미터의 증가 또는 감소일 수 있다. 2-레벨 RF 출력의 예가 도 2의 예에 제공되지만, 출력 제어 모듈(116)은 여러 구현에서 RF 출력을 3개 이상의 상이한 레벨로 변조할 수 있다. 동기화 모듈(342)은, 예를 들어, RF 센서(124)에 의해 측정된 제1 파라미터 및/또는 제2 파라미터가 증가 또는 감소할 때 레벨 전이를 검출할 수 있다. 동기화 모듈(342)은 이 증가 또는 감소가 미리 결정된 양을 초과할 것을 요구할 수 있다. 여러 구현에서, 동기화 모듈(342)은, RF 출력, 예를 들어, 드라이버 제어 모듈(312)의 출력, 레일 전압 등의 전이의 다른 적절한 지시자에 기초하여 RF 출력의 전이를 검출할 수 있다.
출력 제어 모듈(116)은 동기화된 값에 기초하여 레일 전압 설정점 및/또는 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 조절할 수 있다. 이들 값에 기초하여, 출력 제어 모듈(116)은 RF 출력을 보다 정확히 제어할 수 있다. 예를 들어, 도 4는 처리된 값을 제공하는 것이 RF 출력의 레벨 전이와 정렬된 경우 전력 대 시간의 예시적인 그래프이다. 실선 궤적(404)은 RF 출력의 타깃 전력을 나타내고, 점선 궤적(408)은 RF 출력의 실제 전력을 나타낸다. 도 2의 예시적인 그래프를 참조하면, 시간 정렬된 값의 사용이 오버슈트를 감소시킬 수 있다는 것을 볼 수 있다. 코히런트(coherent) 펄스 생성기는 측정과 제어가 레벨 전이와 동기화되기 때문에 펄스 프론트의 반복가능성을 개선시킬 수 있다.
이제 도 5를 참조하면, RF 플라즈마 챔버 시스템의 예시적인 부분을 도시하는 다른 기능 블록도가 제시된다. 도 3의 예와 같이, 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 미리 결정된 샘플링 주파수(Ts-1)에서 제1 및 제2 파라미터를 샘플링하고 샘플을 디지털화하여 제1 및 제2 디지털 값(D1 및 D2)을 생성한다.
동기화 모듈(504)은 RF 출력의 레벨 전이가 검출될 때 현재 디지털 값을 동기화된 값(S1 및 S2)으로 출력한다. 동기화 모듈(504)은 전술된 바와 같이 레벨 전이의 발생을 검출할 수 있다.
처리 모듈(508)은 제1 및 제2 디지털 값에 하나 이상의 신호 처리 기능을 수행하여 제1 및 제2 처리된 값(P1 및 P2)을 생성한다. 처리 모듈(508)은, 예를 들어, 하나 이상의 필터(예를 들어, 대역 통과 필터)를 적용하거나 및/또는 하나 이상의 다른 적절한 신호 처리 기능을 수행할 수 있다. 처리 모듈(508)은 처리된 값을 출력 제어 모듈(116)에 출력하고, 출력 제어 모듈(116)은 처리된 값에 기초하여 레일 전압 설정점 및/또는 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 조절할 수 있다.
이제 도 6을 참조하면, RF 플라즈마 챔버 시스템의 예시적인 부분을 포함하는 다른 기능 블록도가 제시된다. 샘플링 주파수 모듈(604)은 RF 출력의 레벨 전이들 사이의 기간에 기초하여 샘플 주파수(Ts-1)를 결정한다. 샘플링 주파수 모듈(604)은, 예를 들어, RF 센서(124)에 의해 측정된 제1 파라미터 및/또는 제2 파라미터가 증가 또는 감소할 때 RF 출력의 전이를 검출할 수 있다. 샘플링 주파수 모듈(604)은 증가 또는 감소가 미리 결정된 양을 초과할 것을 요구할 수 있다. 여러 구현에서, 샘플링 주파수 모듈(604)은, RF 출력, 예를 들어, 드라이버 제어 모듈(312)의 출력, 레일 전압 등의 전이의 다른 적절한 지시자에 기초하여 RF 출력의 전이를 검출할 수 있다.
제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 RF 센서(124)에 의해 측정된 RF 출력의 제1 및 제2 파라미터(X1 및 X2)를 수신한다. 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 샘플링 주파수 모듈(604)에 의해 설정된 샘플링 주파수(Ts-1)에서 제1 및 제2 파라미터를 샘플링하고 샘플을 디지털화하여 제1 및 제2 디지털 값(D1 및 D2)을 생성한다. 샘플링 주파수 모듈(604)이 레벨 전이들 사이의 기간에 기초하여 샘플링 주파수를 설정할 때, 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 각 레벨 전이와 거의 동시에 디지털 값을 생성할 수 있다.
처리 모듈(616)은 제1 및 제2 디지털 값에 하나 이상의 신호 처리 기능을 수행하여 제1 및 제2 처리된 값(P1 및 P2)을 생성한다. 처리 모듈(616)은, 예를 들어, 하나 이상의 필터(예를 들어, 대역 통과 필터)를 적용하거나 및/또는 하나 이상의 다른 적절한 신호 처리 기능을 수행할 수 있다. 처리 모듈(616)은 처리된 값을 출력 제어 모듈(116)에 출력하고, 출력 제어 모듈(116)은 처리된 값에 기초하여 레일 전압 설정점 및/또는 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 조절할 수 있다.
단일-채널 RF 플라즈마 챔버 시스템이 도시되고 설명되었으나, 본 발명은 다중-채널 RF 생성기 시스템에도 적용 가능하다. 예를 들어, 도 3, 도 5, 또는 도 6의 예시적인 측정 제어 모듈(128)과 유사하거나 동일한 측정 제어 모듈이 다중-채널 RF 생성기의 각 채널에 제공될 수 있다. 추가적으로, 본 발명은 RF 생성기 시스템의 상황에서 설명되었으나, 본 발명은 RF 출력을 측정하고 이 측정에 기초하여 RF 출력의 레벨을 선택적으로 전이하는, 매칭 시스템/네트워크와 같은, 다른 유형의 시스템에도 적용가능하다.
이제 도 7을 참조하면, RF 센서(124)의 측정값을 샘플링하고 디지털화하는 예시적인 방법을 도시하는 흐름도가 제시된다. 제어는 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)이 제1 및 제2 타이머를 각각 리셋하고 시작하는 단계 704에서 시작할 수 있다. 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 제1 및 제2 타이머를 미리 결정된 샘플링 주파수(즉, 1/미리 결정된 샘플링 주파수)에 대응하는 미리 결정된 기간으로 리셋한다. 2개의 타이머들이 설명되었으나, 하나의 타이머가 여러 구현에서 사용될 수 있다.
단계 708에서, 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 제1 및 제2 타이머의 값이 0인지 여부를 결정한다. 단계 708이 거짓(false)인 경우, 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 단계 712에서 제1 및 제2 타이머를 감분(decrement)하고, 제어는 단계 708로 리턴한다. 단계 708이 참(true)인 경우, 제어는 단계 716에서 계속된다. 미리 결정된 기간에 기초하여 타이머를 리셋하고, 타이머를 감분하고, 이 타이머를 0과 비교하는 것이 설명되었으나, 0으로 리셋하고, 증분(increment)하고, 이 타이머가 미리 결정된 기간 이상인지 여부를 결정하는 것이 사용될 수 있다.
단계 716에서, 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 RF 센서(124)에 의해 측정된 제1 및 제2 파라미터를 샘플링하고 샘플을 디지털화하여 제1 및 제2 디지털 값을 생성한다. 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)은 제1 및 제2 파라미터가 샘플링되고 디지털화되는 그 다음 시간 때까지 제1 및 제2 디지털 값을 홀딩한다. 제어는 단계 716 후에 단계 704로 리턴한다.
이제 도 8을 참조하면, RF 출력의 레벨 전이에 대응하는 RF 센서(124)의 측정 값을 제공하고 이 값에 기초하여 RF 출력을 제어하는 예시적인 방법을 도시하는 흐름도가 제시된다. 상기 방법은, 예를 들어, 도 3의 측정 제어 모듈(128)에 의해 수행될 수 있고 도 7의 방법의 실행과 병렬로 실행될 수 있다.
제어는 처리 모듈(338)이 제1 및 제2 ADC 모듈(330 및 334)에 의해 출력된 제1 및 제2 디지털 값을 처리하여 제1 및 제2 처리된 값을 생성하는 단계 804에서 시작할 수 있다. 단계 808에서, 동기화 모듈(342)은 RF 출력의 레벨의 전이가 발생하였는지 여부를 결정한다. 단계 808이 거짓인 경우, 제어는 단계 804로 리턴할 수 있다. 단계 808이 참인 경우, 제어는 단계 812에서 계속될 수 있다.
단계 812에서, 동기화 모듈(342)은 제1 및 제2 처리된 값을 제1 및 제2 동기화된 값으로 출력한다. 출력 제어 모듈(116)은 제1 및/또는 제2 동기화된 값에 기초하여 단계 816에서 레일 전압 설정점 및/또는 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 조절할 수 있다. 제어는 단계 804로 리턴할 수 있다.
이제 도 9를 참조하면, RF 출력의 레벨 전이에 대응하는 RF 센서(124)의 측정값을 제공하고 이 값에 기초하여 RF 출력을 제어하는 다른 예시적인 방법을 도시하는 흐름도가 제시된다. 상기 방법은, 예를 들어, 도 5의 측정 제어 모듈(128)에 의해 수행될 수 있고 도 7의 방법의 실행과 병렬로 실행될 수 있다.
제어는 동기화 모듈(504)이 RF 출력의 레벨의 전이가 발생하였는지 여부를 결정하는 단계 904에서 시작할 수 있다. 단계 904가 거짓인 경우, 제어는 단계 904에서 유지될 수 있다. 단계 904가 참인 경우, 제어는 단계 908에서 계속될 수 있다. 단계 908에서, 동기화 모듈(504)은 제1 및 제2 디지털 값을 제1 및 제2 동기화된 값으로 출력한다. 처리 모듈(508)은 단계 912에서 제1 및 제2 동기화된 값을 처리하여 제1 및 제2 처리된 값을 생성한다. 단계 916에서, 출력 제어 모듈(116)은 제1 및/또는 제2 처리된 값에 기초하여 단계 816에서 레일 전압 설정점 및/또는 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 조절할 수 있다. 제어는 단계 904로 리턴할 수 있다.
이제 도 10을 참조하면, RF 출력의 레벨 전이에 대응하는 RF 센서(124)의 측정 값을 제공하고 이 값에 기초하여 RF 출력을 제어하는 다른 예시적인 방법을 도시하는 흐름도가 제시된다. 상기 방법은, 예를 들어, 도 6의 측정 제어 모듈(128)에 의해 수행될 수 있다.
제어는 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)이 샘플링 주파수를 수신하는 단계 1004에서 시작할 수 있다. 샘플링 주파수 모듈(604)은 RF 출력의 레벨 전이들 사이의 기간을 결정하고 레벨 전이들 사이의 기간에 기초하여 샘플링 주파수를 결정한다. 샘플링 주파수 모듈(604)은 도 10의 방법의 실행과 병렬로 샘플링 주파수를 결정 및/또는 업데이트할 수 있다.
단계 1008에서, 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 제1 및 제2 타이머를 각각 리셋하고 시작한다. 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 제1 및 제2 타이머를 샘플링 주파수에 대응하는 기간(즉, 1/샘플링 주파수)으로 리셋한다. 2개의 타이머가 설명되었으나, 하나의 타이머가 여러 구현에서 사용될 수 있다.
단계 1012에서, 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 제1 및 제2 타이머의 값이 0인지 여부를 결정한다. 단계 1012가 거짓인 경우, 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 단계 1016에서 제1 및 제2 타이머를 감분하고, 제어는 단계 1012로 리턴한다. 단계 1012가 참인 경우, 제어는 단계 1020에서 계속된다. 이 기간에 기초하여 타이머를 리셋하고, 타이머를 감분하고, 이 타이머를 0과 비교하는 동안, 0으로 리셋하고, 증분하고, 이 타이머가 이 기간 이상인지 여부를 결정하는 것이 사용될 수 있다.
단계 1020에서, 제1 및 제2 ADC 모듈(608 및 612)은 RF 센서(124)에 의해 측정된 제1 및 제2 파라미터를 샘플링하고 샘플을 디지털화하여 제1 및 제2 디지털 값을 생성한다. 단계 1024에서, 처리 모듈(616)은 제1 및 제2 디지털 값을 처리하여 제1 및 제2 처리된 값을 생성한다. 출력 제어 모듈(116)은 제1 및/또는 제2 처리된 값에 기초하여 단계 1028에서 레일 전압 설정점 및/또는 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 조절할 수 있다. 제어는 단계 1004로 리턴할 수 있다.
상기 설명은 단지 예시를 위한 것일 뿐, 본 발명, 그 응용, 또는 사용을 제한하려고 의도된 것이 전혀 아니다. 본 발명의 넓은 설명은 여러 형태로 구현될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 특정 예를 포함하고 있으나, 본 발명의 진정한 범위는 도면, 명세서, 및 이하 청구범위를 판독하면 다른 변형이 이루어질 수 있는 것이 명백하므로 이것으로 제한되어서는 안된다. 본 명세서에 사용된 바와 같이, A, B, 및 C 중 적어도 하나라는 어구는 비-배타적 논리적 OR을 사용하여 논리적 연산(A 또는 B 또는 C)을 의미하는 것으로 해석되어야 한다. 방법 내 하나 이상의 단계는 본 발명의 원리를 변경함이 없이 상이한 순서(또는 동시에) 실행될 수 있는 것으로 이해된다.
아래 정의를 포함하여 본 출원에서, 모듈이라는 용어는 회로라는 용어로 대체될 수 있다. 모듈이라는 용어는 특정 응용 집적 회로(Application Specific Integrated Circuit: ASIC); 디지털, 아날로그, 또는 혼합된 아날로그/디지털 이산 회로; 디지털, 아날로그, 또는 혼합된 아날로그/디지털 집적 회로; 조합 논리 회로; 전계 프로그래밍가능한 게이트 어레이(field programmable gate array: FPGA); 코드를 실행하는 프로세서(공유된, 전용, 또는 그룹); 프로세서에 의해 실행되는 코드를 저장하는 메모리(공유된, 전용, 또는 그룹); 개시된 기능을 제공하는 다른 적절한 하드웨어 성분; 또는 예를 들어, 시스템-온-칩(system-on-chip)에서 상기 요소들의 일부 또는 전부가 조합된 것을 말하거나, 그 일부이거나, 이를 포함할 수 있다.
상기 사용된 바와 같이 코드라는 용어는, 소프트웨어, 펌웨어, 및/또는 마이크로코드를 포함할 수 있고, 프로그램, 루틴, 기능, 등급, 및/또는 객체를 말할 수 있다. 공유된 프로세서라는 용어는 다수의 모듈로부터 일부 또는 모든 코드를 실행하는 단일 프로세서를 포함한다. 그룹 프로세서라는 용어는 추가적인 프로세서와 조합하여, 하나 이상의 모듈로부터 일부 또는 모든 코드를 실행하는 프로세서를 포함한다. 공유된 메모리라는 용어는 다수의 모듈로부터 일부 또는 모든 코드를 저장하는 단일 메모리를 포함한다. 그룹 메모리라는 용어는 추가적인 메모리와 조합하여, 하나 이상의 모듈로부터 일부 또는 모든 코드를 저장하는 메모리를 포함한다. 메모리라는 용어는 컴퓨터-판독가능한 매체라는 용어의 서브셋일 수 있다. 컴퓨터-판독가능한 매체라는 용어는 매체를 통해 전파되는 일시적인 전기 및 전자기 신호를 포함하지 않고, 그리하여 유형적이고 비-일시적인 것으로 고려될 수 있다. 비-일시적인 유형적인 컴퓨터 판독가능한 매체의 비-제한적인 예는 비휘발성 메모리, 휘발성 메모리, 자기 저장매체, 및 광 저장매체를 포함한다.
본 출원에서 설명된 장치 및 방법은 하나 이상의 프로세서에 의해 실행되는 하나 이상의 컴퓨터 프로그램에 의해 부분적으로 또는 전체적으로 구현될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 적어도 하나의 비-일시적인 유형적인 컴퓨터 판독가능한 매체에 저장된 프로세서-실행가능한 명령을 포함한다. 컴퓨터 프로그램은 또한 저장된 데이터를 포함하거나 및/또는 이에 의존할 수 있다.

Claims (35)

  1. 무선 주파수(RF) 시스템으로서,
    RF 출력에 따라 변화하는 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈;
    상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성하는 처리 모듈; 및
    상기 처리된 값 중 하나의 출력을 상기 RF 출력의 전이와 동기화하는 동기화 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 RF 출력을 생성하는 드라이버;
    레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈;
    드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및
    상기 처리된 값들 중 하나에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 ADC 모듈은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 출력 제어 모듈은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하고,
    상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만인 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 동기화 모듈은 상기 RF 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  6. 무선 주파수(RF) 제어 방법으로서,
    제1 RF 출력의 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 단계;
    상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 단계;
    상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성하는 단계; 및
    상기 처리된 값 중 하나의 출력을 제2 RF 출력의 전이와 동기화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    드라이버를 사용하여 상기 RF 출력을 생성하는 단계;
    레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 단계;
    드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 단계; 및
    상기 처리된 값들 중 하나에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하는 단계를 더 포함하고,
    상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만인 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제2 RF 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  11. 무선 주파수(RF) 시스템으로서,
    RF 출력에 따라 변화하는 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈;
    상기 디지털 값 중 하나의 출력을 상기 RF 출력의 전이와 동기화하는 동기화 모듈; 및
    상기 디지털 값 중 하나에 기초하여 처리된 값을 생성하는 처리 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 RF 출력을 생성하는 드라이버;
    레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈;
    드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및
    상기 처리된 값에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 ADC 모듈은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 출력 제어 모듈은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하고,
    상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만인 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 동기화 모듈은 상기 RF 신호의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  16. 무선 주파수(RF) 제어 방법으로서,
    RF 출력의 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 단계;
    상기 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 단계;
    상기 디지털 값 중 하나의 출력을 상기 RF 출력의 전이와 동기화하는 단계; 및,
    상기 디지털 값 중 하나에 기초하여 처리된 값을 생성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    드라이버를 사용하여 RF 출력을 생성하는 단계;
    레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 단계;
    드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 단계; 및,
    상기 처리된 값에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 상기 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하는 단계를 더 포함하고,
    상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만인 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  20. 제17항에 있어서,
    상기 RF 신호의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값들 중 하나를 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  21. 무선 주파수(RF) 생성기로서,
    제1 RF 출력에 따라 변화하는 RF 신호의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈;
    상기 디지털 값에 기초하여 처리된 값을 생성하는 처리 모듈; 및
    상기 처리된 값 중 하나의 출력을 제2 RF 출력의 전이와 동기화하는 동기화 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 생성기.
  22. 제21항에 있어서,
    (a) 상기 제1 RF 출력과 제2 RF 출력은 동일한 출력이거나, 또는 (b) 상기 제1 RF 출력과 제2 RF 출력은 다른 출력인 것을 특징으로 하는 RF 생성기.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 제1 RF 출력을 생성하는 드라이버;
    레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈;
    드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및
    상기 처리된 값 중 하나에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 생성기.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 ADC 모듈은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 RF 생성기.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 출력 제어 모듈은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하고,
    상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만인 것을 특징으로 하는 RF 생성기.
  26. 제23항에 있어서,
    상기 동기화 모듈은 상기 제2 RF 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 처리된 값들 중 하나를 출력하는 것을 특징으로 하는 RF 생성기.
  27. 무선 주파수(RF) 시스템으로서,
    제1 RF 출력의 샘플을 디지털 값으로 변환하는 아날로그-디지털 컨버터(ADC) 모듈;
    상기 디지털 값 중 하나의 출력을 제2 RF 출력의 전이와 동기화하는 동기화 모듈; 및
    상기 디지털 값 중 하나에 기초하여 처리된 값을 생성하는 처리 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  28. 제27항에 있어서,
    (a) 상기 제1 RF 출력과 제2 RF 출력은 동일한 출력이거나, 또는 (b) 상기 제1 RF 출력과 제2 RF 출력은 다른 출력인 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 제1 RF 출력 또는 제2 RF 출력 중 하나를 생성하는 드라이버;
    레일 전압 설정점에 기초하여 레일 전압을 상기 드라이버에 인가하는 전력 공급 모듈;
    드라이버 제어 설정점에 기초하여 상기 드라이버를 구동하는 드라이버 제어 모듈; 및
    상기 처리된 값 중 하나에 기초하여, 상기 레일 전압 설정점과 드라이버 제어 설정점 중 적어도 하나를 선택적으로 조절하는 출력 제어 모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 ADC 모듈은 제1 미리 결정된 주파수에서 상기 RF 출력을 샘플링하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 출력 제어 모듈은 제2 미리 결정된 주파수에서 상기 레일 전압 설정점과 드라이버 제어 설정점을 선택적으로 업데이트하고,
    상기 제2 미리 결정된 주파수는 상기 제1 미리 결정된 주파수 미만인 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  32. 제28항에 있어서,
    상기 동기화 모듈은 상기 제2 RF 출력의 증가와 감소 중 하나가 미리 결정된 값을 초과하는 것에 응답하여 상기 디지털 값 중 하나를 출력하는 것을 특징으로 하는 하는 RF 시스템.
  33. 제1항에 있어서,
    상기 RF 신호의 파라미터를 측정하고 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 RF 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
  34. 제6항에 있어서,
    RF 센서를 사용하여 제1 RF 출력의 파라미터를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 제어 방법.
  35. 제11항에 있어서,
    상기 RF 신호의 파라미터를 측정하고 상기 파라미터에 기초하여 RF 신호를 생성하는 RF 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 시스템.
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