JP2008254431A - 溶液製膜方法及び溶液製膜設備 - Google Patents

Abstract

【課題】光学特性にすぐれたフイルムを製造する。
【解決手段】流延バンドの上に流延ドープを流延して流延膜を形成する。流延膜を流延バンドから剥ぎ取って湿潤フイルム１８を得る。湿潤フイルム１８は、渡り部９０を介してテンタ乾燥室４５へ案内される。テンタ乾燥室４５は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３を有する。第１ゾーン１２１では、湿潤フイルムに乾燥処理と予備加熱を行う。第２ゾーン１２２では、湿潤フイルムに乾燥処理と延伸処理を行う。第３ゾーン１２３では、湿潤フイルムに乾燥処理と緩和処理を行い、フイルム２２とする。第２ゾーン１２２における温度をＴ２とし、第３ゾーン１２３における温度をＴ３としたときに、Ｔ２−Ｔ３が０より大きく５０未満とする。

【選択図】図３

Description

本発明は、溶液製膜方法及び溶液製膜設備に関するものである。

ポリマーフイルム（以下、フイルムと称する）は、優れた光透過性や柔軟性および軽量薄膜化が可能であるなどの特長から光学機能性フイルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレート、特に５７．５％〜６２．５％の平均酢化度を有するセルローストリアセテート（以下、ＴＡＣと称する）から形成されるＴＡＣフイルムは、その強靭性と難燃性とから写真感光材料のフイルム用支持体として利用されている。また、ＴＡＣフイルムは、光学等方性に優れていることから、近年市場の拡大している液晶表示装置の偏光板の保護フイルム，光学補償フイルム（例えば、視野角拡大フイルムなど）などの光学フイルムとして用いられている。

主なフイルムの製造方法としては、溶融押出方法と溶液製膜方法とがある。溶融押出方法とは、ポリマーをそのまま加熱溶解させた後、押出機で押し出してフイルムを製造する方法であり、生産性が高く、設備コストも比較的低額であるなどの特徴を有する。しかし、フイルムの厚さの精度を調節することが難しく、また、フイルム上に細かいスジ（ダイライン）ができるために、光学フイルムの製造方法に適していない。一方、溶液製膜方法は、ポリマーと溶媒とを含んだポリマー溶液（以下、ドープと称する）を支持体上に流延して形成した流延膜が自己支持性を有するものとなった後、これを支持体から剥がして湿潤フイルムとし、湿潤フイルムの両端部をテンタで担持し、所定の方向に搬送しながら、延伸処理や緩和処理を行うと同時に、乾燥し、十分に乾燥した湿潤フイルムをフイルムとして巻き取る方法である。この溶液製膜方法は、溶融押出方法と比べて、光学等方性や厚み均一性に優れるとともに、含有異物の少ないフイルムを得ることができるため、フイルム、特に光学フイルムの製造方法として、溶液製膜方法が採用されている。

上述した溶液製膜方法では、湿潤フイルムに、湿潤フイルムを所定の方向に延伸する延伸処理と、延伸処理で湿潤フイルム内に生じる残留応力を緩和する緩和処理とを行う。これら延伸処理や緩和処理を湿潤フイルムに施すことより、最終形態であるフイルムの表面の平滑化、及び、レターデーション値や遅相軸の向きなどを調整し、光学特性の向上を図っている。テンタ等を用いた延伸処理や緩和処理では、湿潤フイルムにボーイング現象が発生する。そして、このボーイング現象により、湿潤フイルムの幅方向において、遅相軸にばらつきが生じることが知られている。近年では、液晶表示装置のコントラスト比の向上、画面輝度向上といった品質向上などの光学特性の要求が強くなってきている。こうした背景から、光学フイルムにも遅相軸のばらつきの低減等の光学特性の向上が要求され、光学フイルムを製造する製造方法の改良方法が望まれている。特に、偏光板の保護フイルムにおいては、直線偏光の楕円化を防止するため、非常に低いレターデーションＲｔｈ値（０ｎｍ〜５ｎｍ）が要求される。したがって、溶液製膜方法を用いて光学用途のフイルムを製造する場合において、フイルム内の遅相軸を均一にすることが大きな課題となっている。

溶液製膜方法におけるボーイング現象の発生を防止する手段として、（１）フイルム中央部よりフイルム端部の温度を高くする。（２）フイルム中央部よりフイルム端部の残留溶媒量を大きくする。（３）テンタ式乾燥機内に温度の異なるゾーンを設けるといった手法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−３１４５２９号公報

しかしながら、特許文献１に記載される手法では、延伸処理や緩和処理において、湿潤フイルムの幅方向における温度や残留溶媒量の分布を所定のものに制御する必要がある。延伸処理や緩和処理において、このような複雑な制御を行う当該手法を用いると、製造に要する時間やコストなどが膨大になるだけでなく、品質の安定が困難になり、大量生産には適していない。更に、特許文献１に記載される手法では、ボーイング現象の抑制を抑えることができるが、延伸処理時にフィルムに生成し、光学特性の劣化を誘発するムラを消失することができない。

本発明者は、鋭意検討の結果、緩和処理における処理温度を延伸処理における処理温度より低くすることにより、ボーイング現象の発生を抑制し、延伸時に生成し、光学特性の劣化を誘発するムラを消滅することができることを見出しだした。本発明は、優れた光学特性のフィルムを製造しうる溶液製膜方法及び溶液製膜設備を提供することを目的とする。

本発明の溶液製膜方法は、ポリマーと溶媒とを含むドープを支持体上に流出する流出工程と、前記支持体上の前記ドープから流延膜を形成する流延膜形成工程と、自己支持性を有する前記流延膜を湿潤フイルムとして剥ぎ取る剥取工程と、前記溶媒を含む前記湿潤フイルムの延伸を行いながら、前記溶媒の蒸発を行う第１空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥する第１乾燥工程と、前記延伸を止め、前記溶媒の蒸発を行う第２空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥し、フイルムを得る第２乾燥工程と、を備え、下記式３を満たすことを特徴とする。
（式３）０（℃）＜（前記第１乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）−（前記第２乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）＜５０（℃）

また、残留溶媒量が２５重量％未満、且つ、剥ぎ取り時の前記流延膜の残留溶媒量との差が２０重量％より大きい前記湿潤フイルムを延伸しながら乾燥することが好ましい。

また、本発明の溶液製膜設備は、支持体と、ポリマーと溶媒とを含むドープを前記支持体上に流出する流出手段と、前記支持体上に流延膜を形成する流延膜形成手段と、自己支持性を有する前記流延膜を湿潤フイルムとして剥ぎ取る剥取手段と、前記溶媒を含む前記湿潤フイルムの延伸を行いながら、前記溶媒の蒸発を行う第１空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥する第１乾燥手段と、前記延伸を止め、前記溶媒の蒸発を行う第２空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥し、フイルムを得る第２乾燥手段と、を備え、下記式４を満たすことを特徴とする。
（式４）０（℃）＜（前記第１乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）−（前記第２乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）＜５０（℃）

また、残留溶媒量が４０重量％より大きい前記流延膜を剥ぎ取る前記剥取手段と、残留溶媒量が２５重量％未満、且つ、剥ぎ取り時の前記流延膜の残留溶媒量との差が２０重量％より大きい前記湿潤フイルムを延伸しながら乾燥する前記第１乾燥手段と、を有することが好ましい。

本発明の溶液製膜方法によれば、ポリマーと溶媒とを含むドープを支持体上に流出する流出工程と、前記支持体上の前記ドープから流延膜を形成する流延膜形成工程と、自己支持性を有する前記流延膜を湿潤フイルムとして剥ぎ取る剥取工程と、前記溶媒を含む前記湿潤フイルムの延伸を行いながら、前記溶媒の蒸発を行う第１空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥する第１乾燥工程と、前記延伸を止め、前記溶媒の蒸発を行う第２空気をあて、前記湿潤フイルムを乾燥し、フイルムを得る第２乾燥工程と、を備え、前記第１空気の温度をＴ１とし、前記第２空気の温度をＴ２とするときに、式３を満たすため、ボーイングと共にムラの発生を抑えることが可能になり、結果として、フイルムの表面欠陥の発生や遅相軸のばらつきが抑えられ、レターデーションや表面の平滑性に優れたフイルムを容易且つ安価に製造することができる。したがって、本発明により得られるフイルムは、液晶表示装置などの光学フイルムとして好適に用いることができる。

また、本発明は、残留溶媒量が４０重量％より大きい前記流延膜を剥ぎ取り、２５重量％未満、且つ、剥ぎ取り時の前記流延膜の残留溶媒量との差が２０重量％より大きい残留溶媒量の前記湿潤フイルムを延伸しながら乾燥するため、レターデーションの優れたフイルムを製造することができる。

本発明の溶液製膜設備によれば、支持体と、ポリマーと溶媒とを含むドープを前記支持体上に流出する流出手段と、前記支持体上に流延膜を形成する流延膜形成手段と、自己支持性を有する前記流延膜を湿潤フイルムとして剥ぎ取る剥取手段と、前記溶媒を含む前記湿潤フイルムの延伸を行いながら、前記溶媒の蒸発を行う第１空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥する第１乾燥手段と、前記延伸を止め、前記溶媒の蒸発を行う第２空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥し、フイルムを得る第２乾燥手段と、を備え、式４を満たすため、ボーイングと共にムラの発生を抑えることが可能になり、結果として、フイルムの表面欠陥の発生や遅相軸のばらつきが抑えられ、レターデーションや表面の平滑性に優れたフイルムを容易且つ安価に製造することができる。したがって、本発明は、光学フイルムの大量生産に適している。

以下に、本発明の実施態様について詳細に説明する。ただし、本発明はここに挙げる実施態様に限定されるものではない。

［原料］
本実施形態においては、ポリマーとしてセルロースアシレートを用いており、セルロースアシレートとしては、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）が特に好ましい。そして、セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基の水素原子に対するアシル基の置換度が下記式(I)〜(III)の全てを満足するものがより好ましい。なお、以下の式(I)〜(III)において、Ａ及びＢは、セルロースの水酸基の水素原子に対するアシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ） ２．５≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（II） ０≦Ａ≦３．０
（III） ０≦Ｂ≦２．９
また、本発明に用いられるポリマーはセルロースアシレートに限定されるものではない。

セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位及び６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位及び６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化は置換度１である）を意味する。

全アシル化置換度、即ち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６は２．００〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）は０．２８以上が好ましく、より好ましくは
０．３０以上、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２はグルコース単位の２位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「２位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ３は３位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「３位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ６は６位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「６位のアシル置換度」とも言う）である。

本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位及び６位の水酸基による置換度の総和をＤＳＡとし、２位，３位及び６位の水酸基のアセチル基以外のアシル基による置換度の総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳＢは０．３０以上であり、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢはその２０％以上が６位水酸基の置換基であるが、より好ましくは２５％以上が６位水酸基の置換基であり、３０％以上がさらに好ましく、特には３３％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましい。また更に、セルロースアシレートの６位の置換度が０．７５以上であり、さらには０．８０以上であり特には０．８５以上であるセルロースアシレートも挙げることができる。これらのセルロースアシレートにより溶解性の好ましい溶液（ドープ）が作製できる。特に非塩素系有機溶媒において、良好な溶液の作製が可能となる。さらに粘度が低く、濾過性の良い溶液の作製が可能となる。

セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター綿，パルプ綿のどちらから得られたものでも良いが、リンター綿から得られたものが好ましい。

本発明のセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル、ブタノイル、ペンタノイル、ヘキサノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、トリデカノイル、テトラデカノイル、ヘキサデカノイル、オクタデカノイル、ｉｓｏ−ブタノイル、ｔ−ブタノイル、シクロヘキサンカルボニル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイル基などを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル、ブタノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、ｔ−ブタノイル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル、ブタノイルである。

ドープを調製する溶媒としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマーを溶媒に溶解または分散して得られるポリマー溶液，分散液を意味している。

これらの中でも炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フイルムの機械的強度など及びフイルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶媒全体に対し２重量％〜２５重量％が好ましく、５重量％〜２０重量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。

ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶媒組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素数１〜１２のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶媒が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶媒として用いることができる。

なお、セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４０］段落から［０１９５］段落に記載されている。これらの記載も本発明にも適用できる。また、溶媒及び可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤（ＵＶ剤），光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤，剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されている。

（レターデーション制御剤）
本発明では、製造したフィルムに所望のレターデーションを発現させるために、レターデーション制御剤を用いることが好ましい。本発明において用いることができるレターデーション制御剤としては、棒状化合物または円盤状化合物からなるものを挙げることができる。上記棒状化合物または円盤状化合物としては、少なくとも二つの芳香族環を有する化合物をレターデーション制御剤として用いることが好ましい。

棒状化合物からなるレターデーション制御剤の添加量は、セルロースアシレートを含むポリマー成分１００重量部に対して、０．１重量部以上３０重量部以下であることが好ましく、０．５重量部以上２０重量部以下であることがより好ましい。円盤状化合物からなるレターデーション制御剤の添加量は、セルロースアシレートを含むポリマー成分１００重量部に対して、０．０５重量部以上２０重量部以下であることが好ましく、１．０重量部以上１５重量部以下であることがより好ましく、３．０重量部以上１０重量部以下であることが更に好ましい。

円盤状化合物は、棒状化合物に比べ、レターデーション（Ｒｔｈ）の発現性が優れているため、大きなレターデーション（Ｒｔｈ）を必要とする場合には、レターデーション制御剤として円盤状化合物を用いることが好ましい。なお、二種類以上のレタでーション制御剤を併用しても良い。レターデーション制御剤としては、２５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下の波長領域に最大吸収波長を有することが好ましい。また、可視領域での吸収が実質的に起こらないものであることが好ましい。

円盤状化合物について説明する。円盤状化合物としては少なくとも二つの芳香族環を有する化合物を用いることができる。本明細書において、「芳香族環」とは、芳香族炭化水素環に加え、芳香族性ヘテロ環を含む。芳香族炭化水素環は、６員環（すなわち、ベンゼン環）、或いは６員環を含むもの（縮合ベンゼン環やビフェニール環）であることが好ましい。芳香族性ヘテロ環は、一般に不飽和へテロ環である。芳香族性ヘテロ環は、５員環、６員環または７員環であることが好ましく、５員環または６員環であることがより好ましい。ヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が好ましく、窒素原子が特に好ましい。芳香族性へテロ環の例には、フラン環、チオフェン環、ピロール環、オキサゾール環、イソオキサゾール環、チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、トリアゾール環、ピラン環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、ピラジン環及び１、３、５−トリアジン環が含まれる。

上記の芳香族環のうち、ベンゼン環、縮合ベンゼン環、ビフェニール環、及び１、３、５−トリアジン環であることが好ましく、１、３、５−トリアジン環であることがより好ましい。したがって、レターデーション制御剤として、例えば、化１や化２に示す化合物を用いることが好ましい。

［ドープ製造方法］
上記原料を用いて、まずドープを製造する。ドープ製造ラインには、溶媒を貯留するための溶媒タンクと溶媒とＴＡＣなどとを混合するための溶解タンクとＴＡＣを供給するためのホッパと添加剤を貯留するための添加剤タンクとが備えられている。さらに、後述する膨潤液を加熱するための加熱装置と調製されたドープの温度を調整する温調機と濾過装置とを備えている。また、溶媒を回収するための回収装置と、回収された溶媒を再生するための再生装置とが備えられている。そして、このドープ製造ラインは、ストックタンク３９を介してフイルム製造設備４０と接続されている。

まず始めに、バルブを開き、溶媒が溶媒タンクから溶解タンクに送られる。次にホッパに入れられているが、計量されながら溶解タンクに送り込まれる。また、添加剤溶液（主に可塑剤が含まれている）は、バルブの開閉操作により必要量が添加剤タンクから溶解タンクに送り込まれる。添加剤は、溶液として送り込む方法の他に、例えば添加剤が常温で液体の場合には、その液体の状態で溶解タンクに送り込むことが可能である。また、添加剤が固体の場合には、ホッパなどを用いて溶解タンクに送り込む方法も可能である。添加剤を複数種類添加する場合には、添加剤タンクの中に複数種類の添加剤を溶解させた溶液を入れておくこともできる。または、多数の添加剤タンクを用いてそれぞれに添加剤が溶解している溶液を入れて、それぞれ独立した配管により溶解タンクに送り込むこともできる。

前述した説明においては、溶解タンクに入れる順番が、溶媒（混合溶媒の場合も含めた意味で用いる）、ＴＡＣ、添加剤であったが、この順番に限定されるものではない。例えば、ＴＡＣを計量しながら溶解タンクに送り込んだ後に、好ましい量の溶媒を送液することもできる。また、添加剤は必ずしも溶解タンクに予め入れる必要はなく、後の工程でＴＡＣと溶媒との混合物（以下、これらの混合物もドープと称する場合がある）に混合させることもできる。

溶解タンクには、その外面を包み込むジャケットと、モータにより回転する第１攪拌機とが備えられている。さらに、モータにより回転する第２攪拌機が取り付けられていることが好ましい。なお、第１攪拌機は、アンカー翼が備えられたものであることが好ましく、第２攪拌機は、ディゾルバータイプの偏芯型撹拌機であることが好ましい。そして、溶解タンクには、ジャケットの内部に伝熱媒体を流すことにより温度調整されており、その好ましい温度範囲は−１０℃〜５５℃の範囲である。第１攪拌機，第２攪拌機のタイプを適宜選択して使用することにより、ＴＡＣが溶媒中で膨潤した膨潤液を得る。

次に、膨潤液は、ポンプにより加熱装置に送られる。加熱装置は、ジャケット付き配管であることが好ましく、さらに、膨潤液を加圧することができる構成のものが好ましい。このような加熱装置を用いることにより、加熱条件下または加圧加熱条件下で膨潤液中の固形分を溶解させてドープを得る。以下、この方法を加熱溶解法と称する。なお、この場合に膨潤液の温度は、５０℃〜１２０℃であることが好ましい。また、膨潤液を−１００℃〜−３０℃の温度に冷却する冷却溶解法を行うこともできる。加熱溶解法及び冷却溶解法を適宜選択して行うことでＴＡＣを溶媒に充分溶解させることが可能となる。ドープを温調機により略室温とした後に、濾過装置により濾過してドープ中に含まれる不純物を取り除く。濾過装置に使用される濾過フィルタは、その平均孔径が１００μｍ以下であることが好ましい。また、濾過流量は、５０Ｌ／ｈｒ以上であることが好ましい。濾過後のドープ１１は、フイルム製造設備４０中のストックタンク３９に送られここに貯留される。

ところで、上記のように、一旦膨潤液を調製し、その後にこの膨潤液をドープとする方法は、ＴＡＣの濃度を上昇させるほど要する時間が長くなり、製造コストの点で問題となる場合がある。その場合には、目的とする濃度よりも低濃度のドープを調製し、その後に目的の濃度とするための濃縮工程を行うことが好ましい。このような方法を用いる際には、濾過装置で濾過されたドープをフラッシュ装置に送り、フラッシュ装置内でドープ中の溶媒の一部を蒸発させる。蒸発により発生した溶媒ガスは、凝縮器（図示しない）により凝縮されて液体となり回収装置により回収される。回収された溶媒は再生装置によりドープ調製用の溶媒として再生されて再利用される。この再利用はコストの点で効果がある。

また、濃縮されたドープは、ポンプによりフラッシュ装置から抜き出される。さらに、ドープに発生した気泡を抜くために泡抜き処理が行われることが好ましい。この泡抜き方法としては、公知の種々の方法が適用され、例えば超音波照射法が挙げられる。ドープは続いて濾過装置に送られて、異物が除去される。なお、濾過する際のドープの温度は、０℃〜２００℃であることが好ましい。そして、濾過後のドープ１１は、ストックタンク３９に送られ、貯蔵される。

以上の方法により、ＴＡＣ濃度が５重量％〜４０重量％であるドープ１１を製造することができる。より好ましくはＴＡＣ濃度が１５重量％以上３０重量％以下であり、最も好ましくは１７重量％以上２５重量％以下の範囲とすることである。また、添加剤（主には可塑剤である）の濃度は、ドープ中の固形分全体を１００重量％とした場合に１重量％以上２０重量％以下の範囲とすることが好ましい。なお、ＴＡＣフイルムを得る溶液製膜法における素材、原料、添加剤の溶解方法及び添加方法、濾過方法、脱泡などのドープの製造方法については、特開２００５−１０４１４８号の［０５１７］段落から［０６１６］段落が詳しい。これらの記載も本発明に適用できる。

（フイルム製造工程）
次に、上記で得られたドープ１１を用いてフイルムを製造するフイルム製造工程１０について説明する。図１のように、本発明のフイルム製造工程１０は、ドープ１１から流延ドープ１４を調製する流延ドープ調製工程１５と、流延ドープ１４を支持体上に流延して流延膜１６を形成する流延工程１７と、自己支持性を有する流延膜１６を支持体から剥ぎ取って湿潤フイルム１８とする剥取工程１９と、湿潤フイルム１８を乾燥する第１乾燥工程２０と、湿潤フイルム１８を延伸しながら乾燥するテンタ乾燥工程２１と、湿潤フイルム１８を十分に乾燥し、フイルム２２を得る第２乾燥工程２３とを有する。なお、このフイルム２２を巻き取り、フイルムロールとする巻取工程を行っても良い。

また、テンタ乾燥工程２１は、無端走行する担持手段を用いて両側端部で担持しながら、所定条件下で湿潤フイルム１８を乾燥する予熱工程３１と、延伸工程３２と、緩和工程３３とを有する。予熱工程３１の主たる目的は、延伸工程３２を行う前に、湿潤フィルム１８を乾燥するとともに、延伸工程３２のために湿潤フィルム１８を予熱することにある。

延伸工程３２では、所定方向に延伸しながら、湿潤フイルム１８を乾燥する。この延伸工程３２の主たる目的は、延伸処理と乾燥処理を同時に行いながら、ボーイング現象の発生を抑えつつ、レターデーション値などの光学特性の付与若しくはその調節、及び湿潤フイルム１８の表面の平滑化を行うことにある。

本明細書でいうレターデーションとは、面内レターデーション（Ｒｅ）値及び厚み方向レターデーション（Ｒｔｈ）値のいずれかをいい、それぞれ、次のように定義される。
Ｒｅ＝｜ｎＭＤ−ｎＴＤ｜・ｄ
Ｒｔｈ＝{（ｎＭＤ＋ｎＴＤ）／２−ｎＴＨ} ・ｄ
（ｎＭＤ；フイルムの長手方向の屈折率、ｎＴＤ；フイルムの幅方向の屈折率、ｎＴＨ；フイルムの厚み方向の屈折率、ｄ；フイルムの厚さ）

緩和工程３３では、幅方向の延伸を行わずに湿潤フイルム１８を乾燥する。緩和工程３３の主たる目的は、延伸工程３２にて湿潤フイルム１８に生成する残留応力やムラの発生を除去しながら、ボーイング現象の発生を抑えることにある。なお、緩和工程３３を、湿潤フイルム１８の両端部の担持しながら行っても良いし、両端部の担持を解放してから行っても良い。

ボーイング現象は、幅方向の両端部を担持手段で担持し、担持手段を所定方向に搬送することにより発生し、幅方向における湿潤フイルム１８の中央部分が、両端部に比べて遅れが生じる状態をいう。つまり、湿潤フイルム１８の両端部を担持しながら、搬送することにより、湿潤フイルム１８の中央部分に遅れが生ずる。この遅れは、両端部に加わっていた幅方向の張力を除するときにも、湿潤フイルム１８に発生する。ボーイング現象により生成する遅れは、遅相軸のずれとして湿潤フイルム１８に生成する。

（溶液製膜方法）
次に、上記で得られたドープ１１を用いてフイルム２２を製造する方法を説明する。図２はフイルム製造設備４０を示す概略図である。ただし、本発明は、図２に示すようなフイルム製造設備に限定されるものではない。フイルム製造設備４０には、ストックタンク３９、流延ダイ４１、回転ローラ４２，４３に掛け渡された流延バンド４４、テンタ乾燥室４５、耳切装置４６、乾燥室４７、冷却室４８及び巻取室４９などが備えられている。

ストックタンク３９には、モータ５５で回転する攪拌機５６が取り付けられている。そして、ストックタンク３９は、ポンプ５８と濾過装置５９とスタティックミキサ６０とを備える配管６１を介して、流延ダイ４１と接続する。

第１タンク６５にはマット剤液が貯留している。マット剤液はドープ１１を構成する溶媒とポリマーと添加剤などとを含みドープ１１に混合し易いように調製されている。第１タンク６５は、ポンプ６６が設けられている配管６７が接続されている。なお、本発明に用いられるマット剤は特に限定されるものではないが、シリカ，アルミナなどが好ましく用いられる。また、濃度も特に限定されるものではないが、０．０１重量％〜０．５０重量％の範囲であることが好ましい。

第２タンク７０には紫外線吸収剤溶液が貯留している。紫外線吸収剤溶液はドープ１１を構成する溶媒とポリマーと添加剤などとを含みドープ１１に混合し易いように調製されている。第２タンク７０は、ポンプ７１が設けられている配管７２が接続されている。この配管７２には前記マット剤液が送液されている配管６７と接続している。また、配管７２と接続する部分よりも下流側の配管６７にはスタティックミキサ７４が取り付けられている。さらに、配管６７は、スタティックミキサ７４の下流側でドープ１１が送液されている配管６１と接続されている。なお、本発明に用いられる紫外線吸収剤は特に限定されるものではないが、ベンゾトリアゾール系，ベンゾフェノン系などが好ましく用いられる。また、濃度も特に限定されるものではないが、０．１重量％〜３．０重量％の範囲であることが好ましい。

マット剤液は、配管６７を通り紫外線吸収剤溶液に混合される。その後にスタティックミキサ７４により均一に混合攪拌される。以下、混合攪拌された液を添加液と称する。

添加液は、配管６１内を送液しているドープ１１に混合される。その後にスタティックミキサ６０で混合攪拌されて均一な液となる。以下、この液を流延ドープ１４と称する。

流延ダイ４１の材質としては、析出硬化型のステンレス鋼が好ましく、その熱膨張率が２×１０^−５（℃^−１）以下であることが好ましい。そして、電解質水溶液での強制腐食試験でＳＵＳ３１６と略同等の耐腐食性を有するものも、この流延ダイ４１の材質として用いることができ、さらに、ジクロロメタン、メタノール、水の混合液に３ヵ月浸漬しても気液界面にピッティング（孔開き）が生じない耐腐食性を有するものを用いられる。さらに、鋳造後１ヶ月以上経過したものを研削加工して流延ダイ４１を作製することが好ましい。これにより流延ダイ４１内を流延ドープ１４が一様に流れ、後述する流延膜にスジなどが生じることが防止される。流延ダイ４１の接液面の仕上げ精度は、表面粗さで１μｍ以下、真直度はいずれの方向にも１μｍ／ｍ以下であることが好ましい。流延ダイ４１のスリットのクリアランスは、自動調整により０．５ｍｍ〜３．５ｍｍの範囲で調整可能とされている。流延ダイ４１のリップ先端の接液部の角部分について、そのＲは全巾にわたり５０μｍ以下とされている。また、流延ダイ４１内部における流延ドープ１４の剪断速度が１（１／秒）〜５０００（１／秒）となるように調整されていることが好ましい。

流延ダイ４１の幅は、特に限定されるものではないが、最終製品となるフイルムの幅の１．１倍〜２．０倍であることが好ましい。また、製膜中の温度が所定温度に保持されるように、流延ダイ４１に温調機を取り付けることが好ましい。また、流延ダイ４１にはコートハンガー型のものを用いることが好ましい。さらに、厚み調整ボルト（ヒートボルト）を流延ダイ４１の幅方向において所定の間隔で設け、ヒートボルトによる自動厚み調整機構が流延ダイ４１に備えられていることがより好ましい。ヒートボルトは予め設定されるプログラムによりポンプ（高精度ギアポンプが好ましい）５８の送液量に応じてプロファイルを設定し製膜を行うことが好ましい。また、フイルム製造設備４０中に図示しない厚み計（例えば、赤外線厚み計）のプロファイルに基づく調整プログラムによってフィードバック制御を行っても良い。流延エッジ部を除いて製品フイルムの幅方向の任意の２点の厚み差は１μｍ以内に調整し、幅方向厚みの最小値と最大値との差が３μｍ以下となるように調整することが好ましく、２μｍ以下に調整することがより好ましい。また、厚み精度は±１．５μｍ以下に調整されているものを用いることが好ましい。

流延ダイ４１のリップ先端には、硬化膜が形成されていることがより好ましい。硬化膜の形成方法は、特に限定されるものではないが、セラミックスコーティング、ハードクロムメッキ、窒化処理方法などが挙げられる。硬化膜としてセラミックスを用いる場合には、研削でき気孔率が低く脆くなく耐腐食性が良く、かつ流延ダイ４１と密着性が良く、ドープとの密着性がないものが好ましい。具体的には、タングステン・カーバイド（ＷＣ），Ａｌ₂Ｏ₃，ＴｉＮ，Ｃｒ₂Ｏ₃などが挙げられるが、なかでも特に好ましくはＷＣである。ＷＣコーティングは、溶射法で行うことができる。

流延ダイ４１のスリット端に流出する流延ドープ１４が、局所的に乾燥固化することを防止するために溶媒供給装置（図示しない）をスリット端に取り付けることが好ましい。この場合には、流延ドープ１４を可溶化する溶媒（例えば、ジクロロメタン８６．５重量部，メタノール１３重量部，ｎ−ブタノール０．５重量部の混合溶媒）を流延ビードの両端部、ダイスリット端部及び外気が形成する三相接触線の周辺部付近に供給することが好ましい。端部の片側それぞれに０．１ｍＬ／分〜１．０ｍＬ／分で供給することが、流延膜中への異物混合を防止するために好ましい。なお、この液を供給するポンプとしては、脈動率が５％以下のものを用いることが好ましい。

流延ダイ４１の下方には、回転ローラ４２，４３に掛け渡された流延バンド４４が設けられている。回転ローラ４２，４３は図示しない駆動装置により回転し、この回転に伴い流延バンド４４は無端で走行する。流延バンド４４は、その移動速度、すなわち流延速度が１０ｍ／分〜２００ｍ／分で移動できるものであることが好ましい。また、流延バンド４４の表面温度を所定の値にするために、回転ローラ４２，４３に伝熱媒体循環装置８０が取り付けられていることが好ましい。流延バンド４４は、その表面温度が−２０℃〜４０℃に調整可能なものであることが好ましい。本実施形態において用いられている回転ローラ４２，４３内には伝熱媒体流路（図示しない）が形成されており、その中を所定の温度に保持されている伝熱媒体が通過することにより、回転ローラ４２，４３の温度を所定の値に保持されるものとなっている。

流延バンド４４の幅は、特に限定されるものではないが、流延ドープ１４の流延幅の１．１倍〜２．０倍の範囲のものを用いることが好ましい。また、長さは２０ｍ〜２００ｍ、厚みは０．５ｍｍ〜２．５ｍｍであり、表面粗さは０．０５μｍ以下となるように研磨されていることが好ましい。流延バンド４４は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有するようにＳＵＳ３１６製であることがより好ましい。また、流延バンド４４の全体の厚みムラは０．５％以下のものを用いることが好ましい。

なお、回転ローラ４２，４３を直接支持体として用いることも可能である。この場合には、回転ムラが０．２ｍｍ以下となるように高精度で回転できるものであることが好ましい。この場合には、回転ローラ４２，４３の表面の平均粗さを０．０１μｍ以下とすることが好ましい。そこで、回転ローラの表面にクロムメッキ処理などを行い、十分な硬度と耐久性を持たせる。なお、支持体（流延バンド４４や回転ローラ４２，４３）の表面欠陥は最小限に抑制する必要がある。具体的には、３０μｍ以上のピンホールが無く、１０μｍ以上３０μｍ未満のピンホールは１個／ｍ²以下であり、１０μｍ未満のピンホールは２個／ｍ²以下であることが好ましい。

流延ダイ４１、流延バンド４４などは流延室８１に収められている。流延室８１には、その内部温度を所定の値に保つための温調設備（図示しない）と、揮発している有機溶媒を凝縮回収するための凝縮器（コンデンサ）８２とが設けられている。そして、凝縮液化した有機溶媒を回収するための回収装置８３が流延室８１の外部に設けられている。また、流延ダイ４１から流延バンド４４にかけて形成される流延ビードの背面部を圧力制御するための減圧チャンバ８５が配されていることが好ましく、本実施形態においてもこれを使用している。

流延膜１６に含まれる溶媒を蒸発させるため送風口８７ａ，８７ｂ，８７ｃが流延バンド４４の周面近くに設けられている。また、遮風板８７ｄが、流延ダイ４１近傍の下流側に設けられていることが好ましい。遮風板８７ｄは、乾燥風を遮るため、流延直後の流延膜１６の面状変動を防ぐことができる。また、流延室８１には、流延バンド４４の走行により流延膜１６が搬送される路（以下、搬送路と称する）が形成される。下流側の搬送路の近傍には、剥取ローラ８９が設けられる。剥取ローラ８９は、流延バンド４４によって搬送される流延膜１６を剥ぎ取り、湿潤フイルム１８として流延室８１の外部へ送り出す。

流延室８１とテンタ乾燥室４５との間には、渡り部９０が設けられる。渡り部９０には、送風機９１が備えられる。テンタ乾燥室４５では、湿潤フイルム１８に所定の条件の乾燥処理と所定の条件の延伸処理を施し、湿潤フイルム１８からフイルム２２が生成される。また、テンタ乾燥室４５の下流の耳切装置４６には、切り取られたフイルム２２の側端部（耳と称される）の屑を細かく切断処理するためのクラッシャ９３が接続されている。テンタ乾燥室４５の詳細については後述する。

乾燥室４７には、多数のローラ１００が備えられており、蒸発して発生した溶媒ガスを吸着回収するための吸着回収装置１０１が取り付けられている。そして、乾燥室４７の下流に冷却室４８が設けられているが、乾燥室４７と冷却室４８との間に調湿室（図示しない）を設けても良い。冷却室４８の下流には、フイルム２２の帯電圧を所定の範囲（例えば、−３ｋＶ〜＋３ｋＶ）となるように調整するための強制除電装置（除電バー）１０２が設けられている。強制除電装置１０２は、冷却室４８の下流側とされている例を図示しているが、この設置位置に限定されるものではない。さらに、本実施形態においては、フイルム２２の両縁にエンボス加工でナーリングを付与するためのナーリング付与ローラ１０３が、強制除電装置１０２の下流に適宜設けられる。また、巻取室４９の内部には、フイルム２２を巻き取るための巻取ローラ１１０と、その巻き取り時のテンションを制御するためのプレスローラ１１１とが備えられている。

（テンタ乾燥室）
次に、テンタ乾燥室４５の詳細について説明する。図３のように、テンタ乾燥室４５の内部は、３つの温度ゾーン（以下、第１ゾーン１２１〜第３ゾーン１２３と称する）を有する。これら第１ゾーン１２１〜第３ゾーン１２３では、前述した図１の各工程３１〜３３が行われる。なお、本発明は、テンタ乾燥室４５に限られない。

テンタ乾燥室４５の内部には、テンタ１３０が配される。テンタ１３０は、無端走行する１対のチェーン１３１ａ、１３１ｂと、このチェーン１３１ａ、１３１ｂに所定のピッチで取り付けられ、湿潤フイルム１８の把持手段となるクリップ１３２ａ、１３２ｂと、チェーン１３１ａ、１３１ｂの走行を案内するレール１３３ａ、１３３ｂと、チェーン１３１ａ、１３１ｂが巻き掛けられるチェーンスプロケット１３４ａ、１３４ｂと、チェーンスプロケット１３４ａ、１３４ｂを回転駆動する駆動部１３５ａ、１３５ｂとを備えている。駆動部１３５ａ、１３５ｂにより、チェーン１３１ａ、１３１ｂに備え付けられるクリップ１３２ａ、１３２ｂは、レール１３３ａ、１３３ｂに沿って、所定の速度で走行する。更に、テンタ１３０は、入口１３０ａと出口１３０ｂとを備える。そして、入口１３０ａが第１ゾーン１２１内に、出口１３０ｂが第３ゾーン１２３内になるように、テンタ１３０がテンタ乾燥室４５内に配される。

入口１３０ａでは、クリップ１３２ａ、１３２ｂが湿潤フイルム１８の両端部を担持する。そして、このクリップ１３２ａ、１３２ｂの走行により、湿潤フイルム１８は、テンタ１３０の入口１３０ａから、出口１３０ｂに向けて送られる。出口１３０ｂでは、湿潤フイルム１８の両端部がクリップ１３２ａ、１３２ｂの担持から開放され、出口１３０ｂの下流側に配される図示しないローラにより、湿潤フイルム１８は耳切装置４６へ送られる。なお、駆動部１３５ａ、１３５ｂは、入口１３０ａおよび出口１３０ｂのいずれか一方に設置し、かつ、対面するチェーンスプロケット１３４ａ、１３４ｂを連動させるように設置する。ただし、駆動部１３５ａ、１３５ｂの設置箇所は、特に限定されるものではない。

また、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３には、空調機１４１〜１４３がそれぞれ配される。空調機１４１〜１４３は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の温度などの条件（以下、空調条件と称する）を所定の範囲（例えば、１００℃以上１６０℃以下）に保持する。また、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３には図示しない循環機が備えられる。この循環器は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３内の空気を循環させて、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３内の空調条件を均一にする。こうして、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３を通過する湿潤フイルム１８の乾燥の進行度を所望のものにすることができる。

また、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３には、回収機１５１〜１５３がそれぞれ配される。回収機１５１〜１５３は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３内の空気を回収し、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３に含まれる溶媒を回収する。そして、溶媒が除去された空気は、当該ゾーン１２１〜１２３内へ送風される。また、回収した溶媒は、ドープ調整ラインなどに送られ、再利用することが好ましい。この回収機１５１〜１５３により、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の気体に含まれる溶媒の濃度を、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３における乾燥に適した範囲に調節する。各ゾーン１２１〜１２３の気体における溶媒の濃度として、−１０℃以上０℃以下における溶媒の飽和濃度とすることが好ましい。

第１ゾーン１２１のテンタ１３０の入口１３０ａにおいて、湿潤フイルム１８の両端部は、クリップ１３２ａ、１３２ｂにより担持される。クリップ１３２ａ、１３２ｂにより担持される湿潤フイルム１８は、第１ゾーン１２１から第３ゾーン１２３へかけて案内される。湿潤フイルム１８の搬送中において、空調機１４１〜１４３や駆動部１３５ａ、１３５ｂは、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３における空調条件を所望の範囲に保持しつつ、残留溶媒量が所望の範囲になるまで湿潤フイルム１８を乾燥する。そして、出口１３０ｂでは、湿潤フイルム１８の両端部が、クリップ１３２ａ、１３２ｂの担持から開放される。クリップ１３２ａ、１３２ｂの担持から解放された湿潤フイルム１８は、所定の条件で乾燥されながら、図示しないローラによりフイルム２２として耳切装置４６へ送られる。

レール１３３ａ、１３３ｂは、各ゾーン１２１〜１２３における１対のレール１３３ａ、１３３ｂの間隔が、徐々に変化しながら所定の幅となるように配される。具体的には、第１ゾーン１２１と第２ゾーン１２２との境界における湿潤フイルム１８の幅がＬ１、第２ゾーン１２２と第３ゾーン１２３との境界における湿潤フイルム１８の幅がＬ２、となるように、１対のレール１３３ａ、１３３ｂが配される。また、Ｌ３は、テンタ乾燥室４５の出口４５ｂにおける湿潤フイルム１８の幅である。なお、各ゾーン１２１〜１２３におけるレール間隔の変更装置としては、例えば、特開２００３−２７６０８２号公報などに、詳しく説明されている。

こうして、湿潤フイルム１８は、テンタ乾燥室４５内の通過中に、幅方向における延伸処理、緩和処理及び乾燥処理が段階的に施される。なお、延伸処理とは、湿潤フイルム１８を所定の方向に延伸する処理をいい、緩和処理は、延伸処理で湿潤フイルム内に生じる残留応力を緩和する処理である。この緩和処理としては、湿潤フイルム１８の両端部をクリップ１３２ａ、１３２ｂで担持しながら行うケースと、両端部の担持を解除して行うケースのいずれであっても良い。また、この緩和処理における湿潤フイルム１８の幅は、延伸処理後の幅、すなわち幅Ｌ２と同一、或いは、小さい幅のいずれで行っても良い。

次に、以上のようなフイルム製造設備４０を使用してフイルム２２を製造する方法の一例を以下に説明する。

ドープ１１は、攪拌機５６の回転により常に均一化されている。ドープ１１には、この攪拌の際にも可塑剤などの添加剤を混合させることもできる。ドープ１１は、ポンプ５８により濾過装置５９に送られてここで濾過される。マット剤液はポンプ６６で配管６７内に送液される。紫外線吸収剤溶液はポンプ７１で配管７２内を送液される。配管６７内のマット剤液は配管６７内の紫外線吸収剤溶液内に混合される。その後にスタティックミキサ７４で攪拌混合されて均一な添加液となる。添加液は配管６７内を送液され、配管６１内に送液されているドープ１１に混合される。その後にスタティックミキサ６０で攪拌混合されて組成が略均一な流延ドープ１４となる。ドープ１１とマット剤液と紫外線吸収剤溶液との混合比は特に限定されるものではないが、９０重量％：５重量％：５重量％〜９９重量％：０．５重量％：０．５重量％の範囲であることが好ましい。

流延ドープ１４は、流延ダイ４１から流延バンド４４上に流延される。回転ローラ４２，４３の駆動は、流延バンド４４に生じるテンションが１０^４Ｎ／ｍ〜１０^５Ｎ／ｍとなるように調整されることが好ましい。また、流延バンド４４と回転ローラ４２，４３との相対速度差は、０．０１ｍ／分以下となるように調整する。流延バンド４４の速度変動を０．５％以下とし、流延バンド４４が一回転する際に生じる幅方向の蛇行は１．５ｍｍ以下とすることが好ましい。この蛇行を制御するために流延バンド４４の両端の位置を検出する検出器（図示しない）を設け、その測定値に基づき流延バンド４４の位置制御機（図示しない）にフィードバック制御を行い、流延バンド４４の位置の調整を行うことがより好ましい。さらに、流延ダイ４１直下における流延バンド４４について、回転ローラ４２，４３の回転に伴う上下方向の位置変動が２００μｍ以下となるように調整することが好ましい。また、流延室８１の温度は、温調設備（図示しない）により−１０℃〜５７℃とされていることが好ましい。なお、流延室８１の内部で蒸発した溶媒は凝縮器８２で凝縮液化した後に回収装置８３により回収された後に、再生させてドープ調製用溶媒として再利用される。

流延ダイ４１から流延バンド４４にかけては流延ビードが形成され、流延バンド４４上には流延膜１６が形成される。流延時の流延ドープ１４の温度は、−１０℃〜５７℃であることが好ましい。また、流延ビードを安定させるために、この流延ビードの背面が減圧チャンバ８５により所望の圧力値に制御されることが好ましい。ビード背面は、前面よりも−２０００Ｐａ〜−１０Ｐａの範囲で減圧することが好ましい。さらに、減圧チャンバ８５にはジャケット（図示しない）を取り付けて、内部温度が所定の温度を保つように温度制御されることが好ましい。減圧チャンバ８５の温度は特に限定されるものではないが、用いられている有機溶媒の凝縮点以上にすることが好ましい。また、流延ビードの形状を所望のものに保つために流延ダイ４１のエッジ部に吸引装置（図示しない）を取り付けることが好ましい。このエッジ吸引風量は、１Ｌ／分〜１００Ｌ／分の範囲であることが好ましい。

流延膜１６は、流延バンド４４の走行とともに移動し、このときに送風口８７ａ〜８７ｃにより流延膜１６に乾燥風があてられて溶媒の蒸発が促進される。そして、この乾燥風の吹き付けにより流延膜１６の面状が変動することがあるが、遮風板８７ｄがこの変動を抑制している。なお、流延バンド４４の表面温度は、−２０℃〜４０℃であることが好ましい。

流延膜１６は、自己支持性を有するものとなった後に、湿潤フイルム１８として剥取ローラ８９で支持されながら流延バンド４４から剥ぎ取られ、渡り部９０へ送られる。剥ぎ取り時の流延膜１６残留溶媒量Ｚ０は、乾量基準で４０重量％より大きく２５０重量％未満であることが好ましく、４０重量％より大きく１５０重量％未満であることがより好ましい。残留溶媒量Ｚ０が乾量基準で４０重量％以下の場合には、後の延伸処理による効果、すなわち、湿潤フイルム１８にレターデーションの付与や平面性の向上が困難になるため好ましくなく、残留溶媒量Ｚ０が乾量基準で２５０重量％以上の場合には、流延膜１６に剥取ローラ８９による剥ぎ取りに耐えうる十分な強度が発現しないため好ましくない。なお、本明細書における残留溶媒量は、サンプリング時におけるフイルム（流延膜１６、湿潤フイルム１８やフイルム２２）の重量をｘ、そのサンプリングフイルムの乾燥後の重量をｙとするとき｛（ｘ−ｙ）／ｙ｝×１００で算出される値である。

渡り部９０では、送風機９１から所望の温度（５０℃以上１５０℃以下）の乾燥風を送風することで湿潤フイルム１８の乾燥を進行させながら、多数のローラを用いて、湿潤フイルム１８をテンタ乾燥室４５に送る。なお、渡り部９０では下流側のローラの回転速度を上流側のローラの回転速度より速くすることにより湿潤フイルム１８にドローテンションを付与させることも可能である。

テンタ乾燥室４５に送られている湿潤フイルム１８は、入口１３０ａでクリップ１３２ａ、１３２ｂにより両端部を担持され、レール１３３ａ、１３３ｂに沿って第１ゾーン１２１から第３ゾーン１２３へかけて搬送される。そして第３ゾーン１２３において、湿潤フイルム１８の両端部がクリップ１３２ａ、１３２ｂの担持から開放される。そして、湿潤フイルム１８は、所定の条件で乾燥されながら、図示しないローラにより、クラッシャ９３へ送り出される。なお、テンタ乾燥室４５における湿潤フイルム１８の乾燥については後に詳細に説明する。

湿潤フイルム１８は、テンタ乾燥室４５で所定の残留溶媒量まで乾燥された後、フイルム２２として下流側の耳切装置４６に送り出される。フイルム２２の両側端部は、耳切装置４６によりその両縁が切断される。切断された側端部は、図示しないカッターブロワによりクラッシャ９３に送られる。クラッシャ９３により、フイルム側端部は粉砕されてチップとなる。このチップはドープ調製用に再利用されるので、この方法はコストの点において有効である。なお、このフイルム両側端部の切断工程については省略することもできるが、前記流延工程から前記フイルムを巻き取る工程までのいずれかで行うことが好ましい。

両側端部を切断除去されたフイルム２２は、乾燥室４７に送られ、さらに乾燥される。乾燥室４７内におけるフイルム２２の温度は、特に限定されるものではないが、５０℃〜１６０℃の範囲であることが好ましい。乾燥室４７においては、フイルム２２は、ローラ１００に巻き掛けられながら搬送されており、ここで蒸発して発生した溶媒ガスは、吸着回収装置１０１により吸着回収される。溶媒成分が除去された空気は、乾燥室４７の内部に乾燥風として再度送風される。なお、乾燥室４７は、乾燥温度を変えるために複数の区画に分割されていることがより好ましい。また、耳切装置４６と乾燥室４７との間に予備乾燥室（図示しない）を設けてフイルム２２を予備乾燥すると、乾燥室４７においてフイルム温度が急激に上昇することが防止されるので、これによりフイルム２２の形状変化をより抑制することができる。

フイルム２２は、冷却室４８で略室温まで冷却される。なお、乾燥室４７と冷却室４８との間に調湿室（図示しない）を設けても良く、この調湿室において、所望の湿度及び温度に調整された空気をフイルム２２に吹き付けることが好ましい。これにより、フイルム２２のカールの発生や巻き取る際の巻き取り不良の発生を抑制することができる。

また、強制除電装置（除電バー）１０２により、フイルム２２が搬送されている間の帯電圧が所定の範囲（例えば、−３ｋＶ〜＋３ｋＶ）とされる。図３では冷却室４８の下流側に設けられている例を図示しているがその位置に限定されるものではない。さらに、ナーリング付与ローラ１０３を設けて、フイルム２２の両縁にエンボス加工でナーリングを付与することが好ましい。なお、ナーリングされた箇所の凹凸が、１μｍ〜２００μｍであることが好ましい。

最後に、フイルム２２を巻取室４９内の巻取ローラ１１０で巻き取る。この際には、プレスローラ１１１で所望のテンションを付与しつつ巻き取ることが好ましい。なお、巻き取り時のテンションは巻取開始時から終了時まで徐々に変化させることがより好ましい。巻取ローラ１１０に巻き取られるフイルム２２は、長手方向（流延方向）に少なくとも１００ｍ以上とすることが好ましい。また、フイルム２２の幅が６００ｍｍ以上であることが好ましく、１４００ｍｍ以上１８００ｍｍ以下であることがより好ましい。また、本発明は、１８００ｍｍより大きい場合にも効果がある。フイルム２２の厚みが１５μｍ以上１００μｍ以下の薄いフイルムを製造する際にも本発明は適用される。

次に、テンタ乾燥室４５内の湿潤フイルム１８に施す各処理の詳細について説明する。

図３に示すように、渡り部９０から送り出された湿潤フイルム１８は、第１ゾーン１２１内のテンタ１３０の入口１３０ａで、クリップ１３２ａ、１３２ｂで両端部が把持される。チェーン１３１ａ、１３１ｂの移動に伴い、湿潤フイルム１８は、入口１３０ａから出口１３０ｂに向かって送られる。出口１３０ｂでは、湿潤フイルム１８の両端部がクリップ１３２ａ、１３２ｂによる担持から開放される。両端部の担持から開放される湿潤フイルム１８は、図示しないローラにより、第３ゾーン１２３を通過する。こうして、湿潤フイルム１８は、第１ゾーン１２１から第３ゾーン１２３の各ゾーンを順次通過する。第３ゾーン１２３を通過した湿潤フイルム１８、フイルム２２となって、図示しないローラにより耳切装置４６へ送られる。

第１ゾーン１２１から第３ゾーン１２３に配される空調機１４１〜１４３は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の空調条件を所定の範囲に保持する。なお、本実施形態では、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の空調条件として、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の温度Ｔ１〜Ｔ３を用いている。

（第１ゾーン）
第１ゾーン１２１では、第２ゾーン１２２以降の各ゾーンにおける乾燥のための予熱工程を行う。この第１ゾーンにおける湿潤フイルム１８の残留溶媒量Ｚ１や温度Ｔ１は、次工程で要求される残留溶媒量Ｚ２や温度Ｔ２に応じて適宜調整すればよい。例えば、温度Ｔ１は、１００℃以上１６０℃以下とすることが好ましい。温度Ｔ１が１００℃未満の場合には、湿潤フィルム１８の予熱を十分に行うことができないため好ましくない。一方、温度Ｔ１が１６０℃を超えると、湿潤フィルム１８が急激に収縮し、湿潤フィルム１８にシワが発生するため好ましくない。また、残留溶媒量Ｚ１は、３０重量％以上７０重量％以下であることが好ましい。残留溶媒量Ｚ１が３０重量％未満である場合には、流延バンド４４における乾燥時間が長くなり、生産効率が低下するため好ましくない。一方、残留溶媒量Ｚ１が７０重量％を超えると、次の延伸工程において湿潤フィルム１８を延伸が困難となるため、或いは、湿潤フィルム１８の延伸が可能となっても湿潤フィルム１８にレターデーションの付与や表面の平滑化を行うことが困難となる好ましくない。

（第２ゾーン）
第２ゾーン１２２では、本発明に係る第１乾燥工程（延伸処理及び乾燥処理）を湿潤フイルム１８に施し、湿潤フイルム１８のレターデーションの付与や表面の平滑化を行う。第２ゾーン１２２における湿潤フイルム１８の温度Ｔ２は、製造条件に応じて適宜決定すればよい。例えば、温度Ｔ２は温度１００℃以上１６０℃以下であることが好ましい。温度Ｔ２が１００℃未満では、延伸により湿潤フィルム１８が裂けてしまい、搬送が困難となるため好ましくない。一方、温度Ｔ２が１６０℃を超えると、遅相軸の配向や表面の平滑化を行うことができないため好ましくない。また、高温雰囲気下による湿潤フイルム１８の急速な乾燥は、湿潤フイルム１８における弾性率のばらつきを生じ、このばらつきによりボーイング現象が誘発するため好ましくない。

第２ゾーン１２２における湿潤フイルム１８の残留溶媒量Ｚ２は、２５重量％未満であり、且つ、残留溶媒量Ｚ０と残留溶媒量Ｚ２との差が２０重量％より大きいことが好ましい。残留溶媒量Ｚ２が２５重量％以上である場合や、残留溶媒量Ｚ０と残留溶媒量Ｚ２との差が２０重量％以下である場合には、遅相軸の配向や表面の平滑化を行うことができないため好ましくない。こうして、ボーイング現象の発生を抑えながら、湿潤フイルム１８に延伸処理及び乾燥処理を施すことが可能になり、湿潤フイルム１８の遅相軸の配向と湿潤フイルム１８の表面の平滑化を行うことができる。

（第３ゾーン）
第３ゾーン１２３では、湿潤フイルム１８に本発明に係る第２乾燥工程（緩和処理及び乾燥処理）を施す。第３ゾーン１２３における湿潤フイルム１８の温度Ｔ３は、式５を満たす。（Ｔ２−Ｔ３）が０℃以下である場合には、延伸処理に生成したムラが湿潤フイルム１８に残ってしまう。一方、（Ｔ２−Ｔ３）が５０℃以上である場合には、湿潤フィルム１８中のポリマー分子の流動性が大きくなりボーイング現象が起こりやすくなること、及び延伸により湿潤フィルム１８が裂けてしまい、搬送が困難となるため好ましくない。なお、（Ｔ２−Ｔ３）が３℃より大きく３０℃より小さい場合はより好ましく、５℃より大きく１５℃より小さい場合は特に好ましい。このようにして、延伸処理で湿潤フイルム１８に生成したムラを緩和処理で消失することが可能となり、結果として、光学特性に優れたフイルムを製造することができる。なお、温度Ｔ２は、本発明に係る第１乾燥工程における湿潤フィルム１８の温度であり、温度Ｔ３は、本発明に係る第２乾燥工程における湿潤フィルム１８の温度である。

（式５）０（℃）＜Ｔ２−Ｔ３＜５０（℃）

また、第３ゾーン１２３における湿潤フイルム１８の残留溶媒量Ｚ３は、５重量％以下であることが好ましい。また、残留溶媒量Ｚ３が５重量％を超える場合には、湿潤フィルム１８の表面が均一に平滑化されないため好ましくない。

なお、第２ゾーン１２２における延伸処理の倍率（以下、延伸倍率と称する）Ｒ１は、５％以上６０％以下であることが好ましい。延伸倍率Ｒ１が５％未満である場合には、湿潤フイルム１８のレターデーションの調節や表面の平滑化を十分に行うことができないため好ましくない。一方、延伸倍率Ｒ１が６０％を超えると、延伸により湿潤フィルム１８が裂けてしまい、搬送が困難となるため好ましくない。また、第３ゾーン１２３における緩和処理の倍率（以下、緩和率と称する）Ｒ２は、０．５％以上５％以下であることが好ましい。緩和率Ｒ２が０．５％未満である場合には、湿潤フィルム１８が不均一に収縮する結果、湿潤フィルム１８にシワが発生するため好ましくない。一方、緩和率Ｒ２が５％を超えると、湿潤フィルム１８にタルミが発生する結果、搬送不良となるため、好ましくない。ここで、延伸倍率Ｒ１は、１００・（Ｌ２−Ｌ１）／Ｌ１で表され、緩和率Ｒ２は、１００・（Ｌ２−Ｌ３）／Ｌ３で表される。

本発明は、延伸時或いは緩和時にフィルムに生成するボーイング現象やムラの生成を抑制しながら、テンタ乾燥工程２１（図１）を行うことができる。したがって、本発明によって製造されるフイルムは、レターデーションの調節や表面の平滑化と同時に、遅相軸のばらつきが抑えられるため、光学特性に優れ、光学フイルムとして用いることができる。また、本発明のテンタ乾燥工程２１は、従来用いられるテンタ乾燥室４５やテンタ１３０に適用可能であるため、設備に膨大コストを掛けずに、光学特性の優れたフイルム２２を製造することができる。

第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の溶媒残留量Ｚ１〜Ｚ３は、湿潤フイルム１８の搬送速度や空調機１４１〜１４３からの空気２００、２０２、２０４により調節することが可能である。テンタ乾燥室４５における湿潤フィルム１８の搬送速度は、１０ｍ／分以上１５０ｍ／分以下であることが好ましい。湿潤フイルム１８の搬送速度を上記範囲に保持するためには、駆動部１３５ａ、１３５ｂを用いてクリップ１３２ａ、１３２ｂの移動速度を制御すればよい。また、この空調機１４１〜１４３は、単に第１〜第３ゾーン１２１〜１２３における雰囲気を空調条件に基づいて調節するだけでなく、所望の空調条件に調節される風を直接湿潤フイルム１８にあててもよい。この場合には、空調機１４１〜１４３から送り出される風の送風速度や湿度などを空調条件に含めて、湿潤フイルム１８を乾燥することが好ましい。更に、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３を通過する湿潤フイルム１８の雰囲気の気圧を制御する減圧機を用いても良い。空調機１４１〜１４３と共に減圧機を用いて、湿潤フイルム１８の乾燥の進行を制御することも可能である。

なお、上記実施形態における第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の残留溶媒量Ｚ１〜Ｚ３は、所定の乾燥条件により決定される。この乾燥条件は、空調条件、湿潤フイルム１８の搬送速度、レール１３３ａ、１３３ｂの長さなどを調整して行う製造実験から求めることができる。また、残留溶媒量の測定方法は、上述した製造実験を行い、各工程における湿潤フイルム１８と実験で製造されたフイルムとの同一面積当たり重量の計測から測定することができる。

また、本発明に用いられるポリマーはセルロースアシレートに限定されるものではなく、例えば、ポリオレフィン系のポリマーを含む。

流延ダイ、減圧チャンバ、支持体などの構造、共流延、剥離法、延伸、各工程の乾燥条件、ハンドリング方法、カール、平面性矯正後の巻取方法から、溶媒回収方法、フイルム回収方法まで、特開２００５−１０４１４８号の［０６１７］段落から［０８８９］段落に詳しく記述されている。これらの記載も本発明に適用できる。

［性能・測定法］
巻き取られたセルロースアシレートフイルムの性能及びそれらの測定法は、特開２００５−１０４１４８号の［０１１２］段落から［０１３９］段落に記載されている。これらも本発明にも適用できる。

［表面処理］
前記セルロースアシレートフイルムの少なくとも一方の面が表面処理されていることが好ましい。前記表面処理が真空グロー放電処理、大気圧プラズマ放電処理、紫外線照射処理、コロナ放電処理、火炎処理、酸処理またはアルカリ処理の少なくとも一種であることが好ましい。

［機能層］
（帯電防止・硬化層・反射防止・易接着・防眩）
前記セルロースアシレートフイルムの少なくとも一方の面が下塗りされていても良い。

さらに前記セルロースアシレートフイルムをベースフイルムとして、他の機能性層を付与した機能性材料として用いることが好ましい。前記機能性層が帯電防止層、硬化樹脂層、反射防止層、易接着層、防眩層及び光学補償層から選択される少なくとも１層を設けることが好ましい。

前記機能性層が、少なくとも一種の界面活性剤を０．１ｍｇ／ｍ^２〜１０００ｍｇ／ｍ^２含有することが好ましい。また、前記機能性層が、少なくとも一種の滑り剤を０．１ｍｇ／ｍ^２〜１０００ｍｇ／ｍ^２含有することが好ましい。さらに、前記機能性層が、少なくとも一種のマット剤を０．１ｍｇ／ｍ^２〜１０００ｍｇ／ｍ^２含有することが好ましい。さらには、前記機能性層が、少なくとも一種の帯電防止剤を１ｍｇ／ｍ^２〜１０００ｍｇ／ｍ^２含有することが好ましい。セルロースアシレートフイルムに、種々様々な機能、特性を実現するための表面処理機能性層の付与方法は、上記以外にも、特開２００５−１０４１４８号の［０８９０］段落から［１０８７］段落に詳細な条件、方法も含めて記載されている。これらも本発明に適用できる。

（用途）
前記セルロースアシレートフイルムは、特に偏光板保護フイルムとして有用である。セルロースアシレートフイルムを偏光子に貼り合わせた偏光板を、液晶層に通常は２枚貼って液晶表示装置を作製する。ただし、液晶層と偏光板との配置は限定されるものではなく、公知の各種配置とすることができる。特開２００５−１０４１４８号には、液晶表示装置として、ＴＮ型，ＳＴＮ型，ＶＡ型，ＯＣＢ型，反射型、その他の例が詳しく記載されている。この方法は、本発明にも適用できる。また、同出願には光学的異方性層を付与した、セルロースアシレートフイルムや、反射防止、防眩機能を付与したセルロースアシレートフイルムについての記載もある。更には適度な光学性能を付与し二軸性セルロースアシレートフイルムとして光学補償フイルムとしての用途も記載されている。これは、偏光板保護フイルムと兼用して使用することもできる。これらの記載は、本発明にも適用できる。特開２００５−１０４１４８号の［１０８８］段落から［１２６５］段落に詳細が記載されている。

また、本発明の製造方法により光学特性に優れるセルローストリアセテートフイルム（ＴＡＣフイルム）を得ることができる。前記ＴＡＣフイルムは、偏光板保護フイルムや写真感光材料のベースフイルムとして用いることができる。さらにテレビ用途の液晶表示装置の視野角依存性を改良するための光学補償フイルムとしても使用可能である。特に偏光板の保護膜を兼ねる用途に効果的である。そのため、従来のＴＮモードだけでなくＩＰＳモード、ＯＣＢモード、ＶＡモードなどに用いられる。また、前記偏光板保護膜用フイルムを用いて偏光板を構成しても良い。

次に、本発明の実施例を説明する。なお、以下の各実験において、実験１〜１４は本発明の実施様態の例であり、比較実験１〜１０は実験１〜１４に対する比較実験である。また、実施例の説明は実験１で詳細に行い、本発明に係る実験２〜１４、及び比較実験１〜１０については、実験１と同じ条件の箇所の説明は省略する。

［実験１］
次に、本発明の実験１を説明する。フイルム製造に使用したポリマー溶液（ドープ）の調製に際しての配合を下記に示す。

［組成］
セルローストリアセテート（置換度２．８１（平均酢化度６０．２％）、粘度平均重合度３０６、含水率０．２重量％、ジクロロメタン溶液中６重量％の粘度 ３１５ｍＰａ・ｓ、平均粒子径１．５ｍｍであって標準偏差０．５ｍｍである粉体） １００重量部
ジクロロメタン（第１溶媒） ４４１重量部
メタノール（第２溶媒） ６６重量部
可塑剤Ａ（トリフェニルフォスフェート：ＴＰＰ） ７重量部
可塑剤Ｂ（ビフェニルジフェニルフォスフェート：ＢＤＰ） ３重量部
化１のレターデーション制御剤 ７重量部
微粒子（二酸化ケイ素（平均粒径１５ｎｍ）、モース硬度 約７） ０．０３重量部

［セルローストリアセテート］
なお、ここで使用したセルローストリアセテートは、残存酢酸量が０．１重量％以下であり、Ｃａ含有率が５８ｐｐｍ、Ｍｇ含有率が４２ｐｐｍ、Ｆｅ含有率が０．５ｐｐｍであり、遊離酢酸４０ｐｐｍ、さらに硫酸イオンを１５ｐｐｍ含むものであった。また６位水酸基の水素に対するアセチル基の置換度は０．９１であった。また、全アセチル基中の３２．５％が６位の水酸基の水素が置換されたアセチル基であった。また、このＴＡＣをアセトンで抽出したアセトン抽出分は８重量％であり、その重量平均分子量／数平均分子量比は２．５であった。また、得られたＴＡＣのイエローインデックスは１．７であり、ヘイズは０．０８、透明度は９３．５％であり、Ｔｇ（ガラス転移温度；ＤＳＣにより測定）は１６０℃、結晶化発熱量は６．４Ｊ／ｇであった。このＴＡＣは、綿から採取したセルロースを原料として合成されたものである。以下の説明において、これを綿原料ＴＡＣと称する。

（１−１）ドープ仕込み
攪拌羽根を有する４０００Ｌのステンレス製溶解タンクで前記複数の溶媒を混合してよく攪拌し、混合溶媒とした。なお、溶媒の各原料としては、すべてその含水率が０．５重量％以下のものを使用した。次に、ＴＡＣのフレーク状粉体をホッパから徐々に添加した。ＴＡＣ粉末は、溶解タンクに投入されて、最初は５ｍ／秒の周速で攪拌するディゾルバータイプの偏芯攪拌機及び中心軸にアンカー翼を有する攪拌機を周速１ｍ／秒で攪拌する条件下で３０分間分散した。分散開始時の温度は２５℃であり、最終到達温度は４８℃となった。さらに、予め調製された添加剤溶液を添加剤タンク送液量を調整して、全体が２０００ｋｇとなるように送液した。添加剤溶液の分散を終了した後に、高速攪拌は停止した。そして、アンカー翼の周速を０．５ｍ／秒としてさらに１００分間攪拌し、ＴＡＣフレークを膨潤させて膨潤液を得た。膨潤終了までは窒素ガスにより溶解タンク内を０．１２ＭＰａになるように加圧した。この際の溶解タンクの内部は、酸素濃度が２ｖｏｌ％未満であり防爆上で問題のない状態を保った。また膨潤液中の水分量は０．３重量％であった。

（１−２）溶解・濾過
膨潤液を溶解タンクジャケット付配管に送液した。ジャケット付き配管で膨潤液を５０℃まで加熱して、更に２ＭＰａの加圧下で９０℃まで加熱し、完全溶解した。このときの加熱時間は１５分であった。次に溶解された液を温調機で３６℃まで温度を下げ、公称孔径８μｍの濾材を有する濾過装置を通過させドープ（以下、濃縮前ドープと称する）を得た。この際、濾過装置における１次側圧力は１．５ＭＰａ、２次側圧力を１．２ＭＰａとした。高温にさらされるフィルタ、ハウジング及び配管はハステロイ（商品名）合金製で耐食性の優れたものを利用し保温加熱用の伝熱媒体を流通させるジャケットを備えたものを使用した。

（１−３）濃縮・濾過・脱泡・添加剤
このようにして得られた濃縮前ドープを８０℃で常圧とされたフラッシュ装置内でフラッシュ蒸発させて、蒸発した溶媒を凝縮器で回収した。フラッシュ後のドープの固形分濃度は、２１．８重量％となった。なお、凝縮された溶媒はドープ調製用溶媒として再利用すべく回収装置で回収した。再生装置で再生した後に溶媒タンクに送液した。回収装置，再生装置では、蒸留や脱水を行った。フラッシュ装置のフラッシュタンクには攪拌軸にアンカー翼を備えた攪拌機（図示しない）を設け、その攪拌機により周速０．５ｍ／秒でフラッシュされたドープを攪拌して脱泡を行った。このフラッシュタンク内のドープの温度は２５℃であり、タンク内におけるドープの平均滞留時間は５０分であった。このドープを採取して２５℃で測定した剪断粘度は、剪断速度１０（秒^−１）で４５０Ｐａ・ｓであった。

次に、このドープに弱い超音波を照射することにより泡抜きを実施した。その後にポンプを用いて１．５ＭＰａに加圧した状態で、濾過装置を通過させた。濾過装置では、最初公称孔径１０μｍの焼結繊維金属フィルタを通過させ、ついで同じく１０μｍの焼結繊維フィルタを通過させた。それぞれの１次側圧力は１．５ＭＰａ，１．２ＭＰａであり、２次側圧力は１．０ＭＰａ，０．８ＭＰａであった。濾過後のドープ温度を３６℃に調整して２０００Ｌのステンレス製ストックタンク３９内にドープ１１を送液して貯蔵した。ストックタンク３９は中心軸にアンカー翼を備えた攪拌機５６を有しており、周速０．３ｍ／秒で常時攪拌を行った。なお、濃縮前ドープからドープを調製する際に、ドープ接液部には、腐食などの問題は全く生じなかった。

（１−４）吐出・直前添加・流延・ビード減圧
図２に示すフイルム製造設備４０を用いてフイルム２２を製造した。ストックタンク３９内のドープを高精度のギアポンプ５８で濾過装置５９へ送った。このギアポンプ５８は、ポンプ５８の１次側を増圧する機能を有しており、１次側の圧力が０．８ＭＰａになるようにインバーターモータによりギアポンプ５８の上流側に対するフィードバック制御を行い送液した。ギアポンプ５８は容積効率９９．２％、吐出量の変動率０．５％以下の性能であるものを用いた。また、吐出圧力は１．５ＭＰａであった。そして、濾過装置５９を通ったドープを流延ダイ４１に送液した。

流延ダイ４１は、幅が１．８ｍであり乾燥されたフイルム２２の膜厚が８０μｍとなるように、流延ダイ４１の吐出口でドープの流量を調整して流延を行った。また流延ダイ４１の吐出口からのドープの流延幅を１７００ｍｍとした。なお、流延速度は、１００ｍ／分とした。ドープの温度を３６℃に調整するために、流延ダイ４１にジャケット（図示しない）を設けてジャケット内に供給する伝熱媒体の入口温度を３６℃とした。

流延ダイ４１と配管とはすべて、製膜中には３６℃に保温した。流延ダイ４１は、コートハンガータイプのダイを用いた。流延ダイ４１には、厚み調整ボルトが２０ｍｍピッチに設けられており、ヒートボルトによる自動厚み調整機構を具備しているものを使用した。このヒートボルトは、予め設定したプログラムによりギアポンプ５８の送液量に応じたプロファイルを設定することもでき、フイルム製造設備４０に設置した赤外線厚み計（図示しない）のプロファイルに基づいた調整プログラムによってフィードバック制御も可能な性能を有するものを用いた。端部２０ｍｍを除いたフイルムにおいては、５０ｍｍ離れた任意の２点の厚み差は１μｍ以内であり、幅方向における厚みのばらつきが３μｍ／ｍ以下となるように調整した。また、全体厚みは±１．５％以下に調整した。

また、流延ダイ４１の１次側には、この部分を減圧するための減圧チャンバ８５を設置した。この減圧チャンバ８５の減圧度は、流延ビードの前後で１Ｐａ〜５０００Ｐａの圧力差が生じるように調整され、この調整は流延速度に応じてなされる。その際に、流延ビードの長さが２０ｍｍ〜５０ｍｍとなるように流延ビードの両面側の圧力差を設定した。また、減圧チャンバ８５は、流延部周囲のガスの凝縮温度よりも高い温度に設定できる機構を具備したものを用いた。ダイ吐出口におけるビードの前面部、背面部にはラビリンスパッキン（図示しない）を設けた。また、流延ダイのダイ吐出口の両端には開口部を設けた。さらに、流延ダイ４１には、流延ビードの両縁の乱れを調整するためのエッジ吸引装置（図示しない）を取り付けた。

（１−５）流延ダイ
流延ダイ４１の材質は、熱膨張率が２×１０^−５（℃^−１）以下の析出硬化型のステンレス鋼を用いた。これは、電解質水溶液での強制腐食試験でＳＵＳ３１６製と略同等の耐腐食性を有するものであった。また、ジクロロメタン，メタノール，水の混合液に３ヶ月浸漬しても気液界面にピッティング（孔開き）が生じない耐腐食性を有していた。流延ダイ４１の接液面の仕上げ精度は表面粗さで１μｍ以下、真直度はいずれの方向にも１μｍ／ｍ以下であり、スリットのクリアランスは１．５ｍｍに調整した。流延ダイ４１のリップ先端の接液部の角部分については、Ｒはスリット全巾に亘り５０μｍ以下になるように加工されているものを用いた。流延ダイ４１内部でのドープの剪断速度は１（１／秒）〜５０００（１／秒）の範囲であった。また、流延ダイ４１のリップ先端には、溶射法によりＷＣ（タングステンカーバイト）コーティングをおこない硬化膜を設けた。

また、ジクロロメタンが８６．５重量部、メタノールが１３重量部、ｎ−ブタノールが０．５重量部の混合溶媒Ａを作製した。

さらに流延ダイ４１の吐出口には、流出するドープが局所的に乾燥固化することを防止するために、ドープを可溶化するための混合溶媒Ａを流延ビードの両側端部と吐出口との界面部に対し、それぞれ０．５ｍｌ／分ずつ供給した。混合溶媒を供給するポンプの脈動率は５％以下であった。また、減圧チャンバ８５により流延ビード背面側の圧力を前面部よりも１５０Ｐａ低くした。減圧チャンバ８５の内部温度を所定の温度で一定にするためにジャケット（図示しない）を取り付けた。そのジャケット内には３５℃に調整された伝熱媒体を供給した。前記エッジ吸引装置は、１Ｌ／分〜１００Ｌ／分の範囲となるようにエッジ吸引風量を調整することができるものであり、本実施例ではこれを３０Ｌ／分〜４０Ｌ／分の範囲となるように適宜調整した。

（１−６）金属支持体
支持体として幅２．１ｍで長さが７０ｍのステンレス製のエンドレスバンドを流延バンド４４として利用した。流延バンド４４は、厚みが１．５ｍｍ、表面粗さが０．０５μｍ以下になるように研磨した。その材質はＳＵＳ３１６製であり、十分な耐腐食性と強度を有するものを用いた。流延バンド４４の全体の厚みムラは０．５％以下であった。流延バンド４４は、２個の回転ローラ４２，４３により駆動させた。その際の流延バンド４４の搬送方向における張力は１．５×１０⁵ Ｎ／ｍ² となるように調整した。また、流延バンド４４と回転ローラ４２、４３との相対速度差が０．０１ｍ／分以下になるように調整した。このときに、流延バンド４４の速度変動を０．５％以下とした。また１回転の幅方向の蛇行が、１．５ｍｍ以下に制限されるように流延バンド４４の両端位置を検出して制御した。流延ダイ４１の直下におけるダイリップ先端と流延バンド４４との上下方向の位置変動は２００μｍ以下にした。流延バンド４４は、風圧変動抑制手段（図示しない）を有した流延室８１内に設置した。この流延バンド４４上に流延ダイ４１からドープを流延した。

回転ローラ４２，４３は、流延バンド４４の温度調整を行うことができるように、内部に伝熱媒体を送液できるものを用いた。流延ダイ４１側の回転ローラ４２には５℃の伝熱媒体を流し、他方の回転ローラ４３には乾燥のために４０℃の伝熱媒体を流した。流延直前の流延バンド４４中央部の表面温度は１５℃であり、その両側端の温度差は６℃以下であった。なお、流延バンド４４には、表面欠陥がないものが好ましく、３０μｍ以上のピンホールは皆無であり、１０μｍ〜３０μｍのピンホールは１個／ｍ²以下、１０μｍ未満のピンホールは２個／ｍ²以下であるものを用いた。

（１−７）流延乾燥
流延室８１の温度は、図示しない温調設備を用いて３５℃に保った。流延バンド４４上に流延されたドープから形成された流延膜１６には、最初に流延膜１６に対して平行に流れる乾燥風を送り、流延膜１６を乾燥した。この乾燥風からの流延膜１６への総括伝熱係数は２４ｋｃａｌ／（ｍ²・ｈｒ・℃）であった。乾燥風の温度は、流延バンド４４上部の上流側の送風口８７ａからは１３５℃の乾燥風を送風した。また下流側の送風口８７ｂからは１４０℃の乾燥風を送風し、流延バンド４４下部の送風口８７ｃからは６５℃の乾燥風を送風した。それぞれの乾燥風の飽和温度は、いずれも−８℃付近であった。流延バンド４４上での乾燥雰囲気における酸素濃度は５ｖｏｌ％に保持した。なお、この酸素濃度を５ｖｏｌ％に保持するために空気を窒素ガスで置換した。また、流延室８１内の溶媒を凝縮回収するために、回収装置８３と、回収装置８３に接続する凝縮器（コンデンサ）８２を設け、その出口温度を−１０℃に設定した。

流延後５秒間は乾燥風が、直接に流延ビード及び流延膜１６に当たらないように遮風板８７ｄを設置して、流延ダイ４１近傍の静圧変動を±１Ｐａ以下に抑制した。流延膜１６中の残留溶媒量Ｚ０が乾量基準で略４５重量％になった時点で流延バンド４４から剥取ローラ８９で支持しながらフイルム（以下、湿潤フイルムと称する）１８として剥ぎ取った。また、剥取テンションは１×１０²Ｎ／ｍ²であり、剥取不良を抑制するために流延バンド４４の速度に対して剥取速度（剥取ローラドロー）は１００．１％〜１１０％の範囲で適切に調整した。剥ぎ取った湿潤フイルム１８の表面温度は１５℃であった。流延バンド４４上での乾燥速度は、平均６０重量％（乾量基準溶媒）／分であった。乾燥により発生した溶媒ガスは−１０℃の凝縮器８２で凝縮液化して回収装置８３で回収した。回収された溶媒は、水分量が０．５％以下となるように調整した。また、溶媒が除去された乾燥風は、再度加熱して乾燥風として再利用した。

湿潤フイルム１８を渡り部９０のローラを介して搬送し、テンタ乾燥室４５に送った。この渡り部９０では送風機９１から４０℃の乾燥風を湿潤フイルム１８に送風した。なお、渡り部９０のローラで搬送している際に、湿潤フイルム１８に約３０Ｎのテンションを付与した。この乾燥風に含まれる溶媒の濃度は、−１０℃における飽和濃度に保持した。

（１−８）テンタ搬送・乾燥・耳切
テンタ乾燥室４５に送られた湿潤フイルム１８は、クリップでその両端を固定されながらテンタ乾燥室４５の乾燥ゾーン内を搬送され、この間に乾燥風により乾燥された。クリップは、２０℃の伝熱媒体の供給により冷却した。クリップの搬送は、チェーンで行い、そのスプロケットの速度変動は０．５％以下であった。また、テンタ乾燥室４５内を第１〜第３ゾーン１２１〜１２３に分けた。空調機１４１〜１４３は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の温度Ｔ１〜Ｔ３を、略１２０℃、略１４５℃、略１００℃に保持した。循環器は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３内の空気を循環させて、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３内の空調条件を均一にした。回収機１５１〜１５３は、第１〜第３ゾーン１２１〜１２３の気体に含まれる溶媒の濃度を、−１０℃における飽和濃度に保持した。テンタ乾燥室４５内での平均乾燥速度は１２０重量％（乾量基準溶媒）／分であった。剥取ローラ８９からテンタ乾燥室４５の入口に至るまでの延伸率（テンタ駆動ドロー）は１０２％とした。

テンタ乾燥室４５において、残留溶媒量Ｚ１が３０〜３５重量％の湿潤フイルム１８を、第１ゾーン１２１へ案内し、湿潤フイルム１８の予備加熱を行った。次に、残留溶媒量Ｚ２が略２０重量％の湿潤フイルム１８を第２ゾーン１２２へ案内し、湿潤フイルム１８の乾燥処理を行った。そして、残留溶媒量Ｚ３が略５重量％の湿潤フイルム１８を第３ゾーン１２３へ案内し、湿潤フイルム１８の乾燥処理を行った。

また、テンタ乾燥室４５では、延伸倍率Ｒ１＝３０％、緩和率Ｒ２＝５％、延伸速度Ｖ１＝１００％／分で、湿潤フイルム１８に延伸処理、及び緩和処理を行った。ここで、本明細書では、延伸速度Ｖ１は、単位時間あたりの延伸倍率Ｒ１である。

なお、残留溶媒量は、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ−１８Ａ，島津製作所（株）製）を用いて、サンプリングフイルムからサンプリング時におけるフイルムの重量ｘと、サンプリングフイルムの乾燥後の重量ｙとの測定結果より算出した。サンプリングフイルムとして、７ｍｍ×３５ｍｍに切断された湿潤フイルムやフイルム２２を用いた。

テンタ乾燥室４５内で蒸発した溶媒は−１０℃の温度で凝縮させ液化して回収した。凝縮回収用に凝縮器（コンデンサ）を設け、その出口温度は−８℃に設定した。そして凝縮溶媒は、含まれる水分量が０．５重量％以下に調整されて再使用された。そして、テンタ乾燥室４５からフイルム２２として送り出した。

テンタ乾燥室４５の出口から３０秒以内にフイルム２２の両端の耳切を耳切装置４６で行った。ＮＴ型カッターにより両側５０ｍｍの耳をカットし、カットした耳はカッターブロワ（図示しない）によりクラッシャ９３に風送して平均８０ｍｍ² 程度のチップに粉砕した。このチップは、再度ドープ調製用原料としてＴＡＣフレークと共にドープ製造の際の原料として利用した。テンタ乾燥室４５の乾燥雰囲気における酸素濃度は５ｖｏｌ％に保持した。なお、酸素濃度を５ｖｏｌ％に保持するため空気を窒素ガスで置換した。後述する乾燥室４７で高温乾燥させる前に、１００℃の乾燥風が供給されている予備乾燥室（図示しない）でフイルム２２を予備加熱した。

（１−９）後乾燥・除電
フイルム２２を乾燥室４７で高温乾燥した。乾燥室４７を４区画に分割して、上流側から１２０℃，１３０℃，１３０℃，１３０℃の乾燥風を送風機（図示しない）から給気した。フイルム２２のローラ１００による搬送テンションを１００Ｎ／ｍとして、最終的に残留溶媒量が０．３重量％になるまで約１０分間乾燥した。ローラ１００のラップ角度（フイルムの巻き掛け中心角）は、９０度および１８０度とした。ローラ１００の材質はアルミ製もしくは炭素鋼製であり、表面にはハードクロム鍍金を施した。ローラ１００の表面形状はフラットなものとブラストによりマット化加工したものとを用いた。ローラ１００の回転によるフイルム位置の振れは、全て５０μｍ以下であった。また、テンション１００Ｎ／ｍでのローラ撓みは０．５ｍｍ以下となるように選定した。

乾燥風に含まれる溶媒ガスは、吸着回収装置１０１を用いて吸着回収除去した。ここに使用した吸着剤は活性炭であり、脱着は乾燥窒素を用いて行った。回収した溶媒は、水分量を０．３重量％以下に調整してドープ調製用溶媒として再利用した。乾燥風には、溶媒ガスの他、可塑剤，ＵＶ吸収剤，その他の高沸点物が含まれるので冷却除去する冷却器およびプレアドソーバでこれらを除去して再生循環使用した。そして、最終的に屋外排出ガス中のＶＯＣ（揮発性有機化合物）は１０ｐｐｍ以下となるよう、吸脱着条件を設定した。また、全蒸発溶媒のうち、凝縮法で回収する溶媒量は９０重量％であり、残りのものの大部分は吸着回収により回収した。

乾燥されたフイルム２２を第１調湿室（図示しない）に搬送した。乾燥室４７と第１調湿室との間の渡り部には、１１０℃の乾燥風を給気した。第１調湿室には、温度５０℃、露点が２０℃の空気を給気した。さらに、フイルム２２のカールの発生を抑制する第２調湿室（図示しない）にフイルム２２を搬送した。第２調湿室では、フイルム２２に直接９０℃，湿度７０％の空気をあてた。

（１−１０）ナーリング、巻取条件
調湿後のフイルム２２は、冷却室４８で３０℃以下に冷却した後に耳切装置（図示しない）で再度両端の耳切りを行った。搬送中のフイルム２２の帯電圧は、常時−３ｋＶ〜＋３ｋＶの範囲となるように強制除電装置（除電バー）１０２を設置した。さらにフイルム２２の両端にナーリング付与ローラ１０３でナーリングの付与を行った。ナーリングはフイルム２２の片側からエンボス加工を行うことで付与し、ナーリングを付与する幅は１０ｍｍであり、凹凸の高さがフイルム２２の平均厚みよりも平均１２μｍ高くなるようにナーリング付与ローラ１０３による押し圧を設定した。

そして、フイルム２２を巻取室４９に搬送した。巻取室４９は、室内温度２８℃，湿度７０％に保持した。巻取室４９の内部には、フイルム２２の帯電圧が−１．５ｋＶ〜＋１．５ｋＶとなるようにイオン風除電装置（図示しない）も設置した。このようにして得られたフイルム（厚さ８０μｍ）８２の製品幅は、１４７５ｍｍとなった。巻取ローラ１１０の径は１６９ｍｍのものを用いた。巻き始めテンションは３００Ｎ／ｍであり、巻き終わりが２００Ｎ／ｍになるようなテンションパターンとした。巻き取り全長は３９４０ｍであった。巻き取りの際の巻きズレの変動幅（オシレート幅と称することもある）を±５ｍｍとした、巻取ローラ１１０に対する巻きズレ周期を４００ｍとした。また、巻取ローラ１１０に対するプレスローラ１１１の押し圧は、５０Ｎ／ｍに設定した。巻き取り時のフイルム２２の温度は２５℃、含水量は１．４重量％、残留溶媒量は０．３重量％であった。全工程を通しても平均乾燥速度は２０重量％（乾量基準溶媒）／分であった。また巻き緩み、シワもなく、１０Ｇでの衝撃テストにおいても巻きずれが生じなかった。また、ロール外観も良好であった。

フイルム２２のフイルムロールを２５℃、５５％ＲＨの貯蔵ラックに１ヶ月保管して、さらに上記と同様に検査した結果、いずれも有意な変化は認められなかった。さらにロール内においても接着も認められなかった。また、フイルム２２を製膜した後に、流延バンド４４上にはドープから形成された流延膜１６の剥げ残りは全く見られなかった。

得られたフィルム２２の面内レターデーションＲｅは５１ｎｍであり、厚み方向レターデーションＲｔｈは１９５ｎｍであった。なお、面内レターデーションＲｅ及び厚み方向レターデーションＲｔｈの測定方法は次の通りである。

（面内レターデーションＲｅの測定方法）
得られたフイルムを７０ｍｍ×１００ｍｍに切断し、温度２５℃，湿度６０％ＲＨで２時間調湿し、自動複屈折率計（ＫＯＢＲＡ２１ＤＨ 王子計測（株））にて６３２．８ｎｍにおける垂直方向から測定したレターデーション値の外挿値より次式に従い算出した。
Ｒｅ＝｜ｎＭＤ−ｎＴＤ｜×ｄ
ｎＭＤは、長手方向（流延方向）の屈折率，ｎＴＤは流延幅方向の屈折率，ｄはフイルムの厚み（膜厚）を意味している。なお、測定波長には、６３２．８ｎｍ以外の波長を用いた場合もある。

（厚み方向レターデーションＲｔｈの測定方法）
得られたフイルムを３０ｍｍ×４０ｍｍに切断し、温度２５℃，湿度６０％ＲＨで２時間調湿し、エリプソメータ（Ｍ１５０ 日本分光（株）製）で６３２．８ｎｍにより垂直方向から測定した値と、フイルム面を傾けながら同様に測定したレターデーション値の外挿値とから下記式に従い算出した。
Ｒｔｈ＝｛（ｎＭＤ＋ｎＴＤ）／２−ｎＴＨ｝×ｄ
ｎＭＤは長手方向（流延方向）の屈折率，ｎＴＤは流延幅方向の屈折率，ｎＴＨはフィルム厚み方向の屈折率，ｄはフイルムの厚み（膜厚）を意味している。

フイルムの厚みｄは次のようにして求めた。アンリツ電気社製の電子マイクロメーターを用いて６００ｍｍ／分の速度にて連続的にフイルム２２の厚みを測定した。測定により得られたデータは、縮尺１／２０、チャート速度３０ｍｍ／分にてチャート紙上に記録された。そして定規によりデータ曲線に関して計測を実施したのちに、その計測値を基に厚みの平均値とを求め、この値をフイルムの厚みｄとした。

［実験２〜１４、比較実験１〜１０］
表１及び表２に記載される条件以外は、実験１と同様にして、溶液製膜方法によりフイルムを製造した。

上述した実験１〜１４及び比較実験１〜１０で得られたフィルムの光のムラの有無について評価を行った。この評価方法について下記に示す。

測定用試料として、全幅×１．５ｍのフイルムを用いた。偏光軸が９０°異なる偏光板でフイルムをはさんだ。そして、シャカステンを用いて、一の偏光板から入射した光が他の偏光板から出射する光のムラを調べた。
◎：光のムラが全くなかった。
○：光のムラがわずかにみられた。
△：光のムラが発生しているが、光学フィルムとして実用上の問題ないレベルであった。
×：光のムラが発生しており、光学フィルムとして用いることができないレベルであった。

各実験、及び比較実験における製造条件及び光のムラの有無についての評価結果を、表１、表２に纏めて示す。

表１、表２からも明らかなように、本発明により、ボーイング現象の発生や光ムラを抑え、優れた光学特性を有するフイルムを製造することができることを確認した。

本発明に係るフイルム製造工程の概要を示す説明図である。 本発明に係るフイルム製造設備の概要を示す説明図である。 第１の実施形態のテンタ乾燥室の概要を示す説明図である。

符号の説明

１０ フイルム製造工程
１６ 流延膜
１８ 湿潤フイルム
２１ テンタ乾燥工程
２２ フイルム
３２ 延伸工程
３３ 緩和工程
４０ フイルム製造設備
４５ テンタ乾燥室
１２１〜１２３ 第１〜第３ゾーン
１３０ テンタ
１４１〜１４４ 空調機
Ｚ０〜Ｚ３ 残留溶媒量
Ｔ１〜Ｔ３ 温度

Claims (4)

1. ポリマーと溶媒とを含むドープを支持体上に流出する流出工程と、
   前記支持体上の前記ドープから流延膜を形成する流延膜形成工程と、
   自己支持性を有する前記流延膜を湿潤フイルムとして剥ぎ取る剥取工程と、
   前記溶媒を含む前記湿潤フイルムの延伸を行いながら、前記溶媒の蒸発を行う第１空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥する第１乾燥工程と、
   前記延伸を止め、前記溶媒の蒸発を行う第２空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥し、フイルムを得る第２乾燥工程と、
   を備え、
   下記式１を満たすことを特徴とする溶液製膜方法。
   （式１）０（℃）＜（前記第１乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）−（前記第２乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）＜５０（℃）
   
2. 残留溶媒量が４０重量％より大きい前記流延膜を剥ぎ取り、 残留溶媒量が２５重量％未満、且つ、剥ぎ取り時の前記流延膜の残留溶媒量との差が２０重量％より大きい前記湿潤フイルムを延伸しながら乾燥することを特徴とする請求項１記載の溶液製膜方法。
3. 支持体と、
   ポリマーと溶媒とを含むドープを前記支持体上に流出する流出手段と、
   前記支持体上に流延膜を形成する流延膜形成手段と、
   自己支持性を有する前記流延膜を湿潤フイルムとして剥ぎ取る剥取手段と、
   前記溶媒を含む前記湿潤フイルムの延伸を行いながら、前記溶媒の蒸発を行う第１空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥する第１乾燥手段と、
   前記延伸を止め、前記溶媒の蒸発を行う第２空気をあてて、前記湿潤フイルムを乾燥し、フイルムを得る第２乾燥手段と、
   を備え、
   下記式２を満たすことを特徴とする溶液製膜設備。
   （式２）０（℃）＜（前記第１乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）−（前記第２乾燥工程における前記湿潤フイルムの温度）＜５０（℃）
4. 残留溶媒量が４０重量％より大きい前記流延膜を剥ぎ取る前記剥取手段と、
   残留溶媒量が２５重量％未満、且つ、剥ぎ取り時の前記流延膜の残留溶媒量との差が２０重量％より大きい前記湿潤フイルムを延伸しながら乾燥する前記第１乾燥手段と、
   を有することを特徴とする請求項３記載の溶液製膜設備。

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