JP2008252125A - 光学部品の洗浄機構を備えた液浸投影露光装置および液浸光学部品洗浄方法 - Google Patents
光学部品の洗浄機構を備えた液浸投影露光装置および液浸光学部品洗浄方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】アルコールまたはケトンを洗浄液体として用いて、光学部品の接液面における液体媒体の残留液体を除去可能とする。これにより、光学部品の接液面の洗浄除去を自動的に行うことができるため、光学部品の接液面の水シミ等を確実に除去できる。
【選択図】図1
Description
ここで、kはプロセス係数である。(1)式より、光源の波長λが短いほど、投影レンズの開口数NAが大きいほど高い解像度Rが得られることがわかる。
[発明の実施の形態1]
[発明の実施の形態2]
[発明の実施の形態3]
11 投影光学系
12 光学部品
12a 接液面
13 純水
14 シリコンウエハー
15 プロパノール
21 液体媒体供給タンク
21a バルブ
22 洗浄液体供給タンク
22a バルブ
23a 管路
24 ノズル
25 乾燥窒素
31 ステージ
31a 排水溝
32 拭き取り装置
32a 拭き布
Claims (2)
- 光学部品と露光対象物との間を液体媒体で満たして解像度を高めた液浸投影露光装置において、
アルコールまたはケトンを洗浄液体として用いて前記光学部品の接液面における前記液体媒体の残留液体を除去可能としたことを特徴とする光学部品の洗浄機構を備えた液浸投影露光装置。 - 光学部品と露光対象物との間を液体媒体で満たして解像度を高めた液浸投影露光装置において、前記光学部品の接液面の残留液体を洗浄除去する方法であって、
露光終了後、前記光学部品と前記露光対象物の間にある前記液体媒体を除去する第一工程と、
洗浄液体を染み込ませた拭き布で拭く事によって前記液体媒体を洗浄除去する第二工程とを有する液浸光学部品洗浄方法。
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