JP2008252038A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 オン抵抗が低く基板表面の占有面積が小さい半導体装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半導体装置は、第1方向に互いに連結されて配置された第1及び第2領域5a、5bを有する第1のトレンチ5と、この第1のトレンチ5の一端に連結する第2のトレンチ6と、第1のトレンチ5の他端に連結する第3のトレンチ7を備えた半導体基板1と、第1及び第2領域5a、5b内にそれぞれn型半導体層9及びp型半導体層10が互いに接して、且つトレンチ開口面まで埋め込まれてなり、n型半導体層9とp型半導体層10との接合部にp−n接合面11を有するダイオード部15と、第2のトレンチ6内に形成され、ダイオード部15の一端と電気的接続された第1の電極部16と、第3のトレンチ7内に形成され、ダイオード部15の他端と電気的接続された第2の電極部17とを具備している。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明の半導体装置は、第1方向に互いに連結されて配置された第1及び第2領域5a、5bを有する第1のトレンチ5と、この第1のトレンチ5の一端に連結する第2のトレンチ6と、第1のトレンチ5の他端に連結する第3のトレンチ7を備えた半導体基板1と、第1及び第2領域5a、5b内にそれぞれn型半導体層9及びp型半導体層10が互いに接して、且つトレンチ開口面まで埋め込まれてなり、n型半導体層9とp型半導体層10との接合部にp−n接合面11を有するダイオード部15と、第2のトレンチ6内に形成され、ダイオード部15の一端と電気的接続された第1の電極部16と、第3のトレンチ7内に形成され、ダイオード部15の他端と電気的接続された第2の電極部17とを具備している。
【選択図】 図1
Description
本発明は整流作用やツェナー効果を有する半導体装置に係わり、例えばESD(Electrostatic Discharge)によるゲート絶縁膜の破壊を防止するために用いられるESD保護ダイオードに関する。
p−n接合を有する半導体素子は、整流作用素子、ツェナー効果による低電圧動作素子、あるいは他の半導体素子のESD保護用素子として用いられ、特に2以上のp−n接合を有する半導体素子は、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Efect Transistor)やIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)などを有する半導体装置に対するESD保護ダイオードとして用いられる。
MOSFETやIGBTでは、ゲート絶縁膜破壊を起こさないようにESDから保護する必要があり、MOSFETの場合には、ゲートとソース間に、また、IGBTの場合には、ゲートとエミッタ間にESD保護ダイオードが接続される。ゲートに所定電圧以上の過電圧が印加されたときに、ESD保護ダイオードがオン状態となり、MOSFETやIGBTのゲートに過電圧が印加されないようにしてゲート絶縁膜を保護する。
従来のESD保護ダイオードは、一般に、半導体基板上に基板の面内方向にプレーナー型に半導体のp−n接合領域を形成した構造となっている。近年、半導体プロセスの微細化が進み素子のサイズが小さくなってきたことにより、ESD保護ダイオードのチップ上での占有面積を小さくすることが求められる。
一方、保護作用のためには、ESD保護ダイオードのオン抵抗が極力小さいことが重要となる。
しかしながら、上記従来の保護ダイオードでは、占有面積を小さくするとp−n接合部分の断面積が小さくなり、ESD保護ダイオードのオン抵抗が増大する問題が生じる。この問題を解決するために、半導体基板上にU字型のトレンチを形成し、p−n接合ダイオードの各半導体層の少なくとも一部をU字型トレンチの内表面に沿って形成し、占有面積縮小によるp−n接合構造の断面積減少を抑制するようなESD保護ダイオードが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
上記提案の半導体装置では、電流経路の断面積は、トレンチ内表面に沿って覆っている部分と、そのトレンチ周辺部で基板表面を覆っている部分との断面積で決まる。しかし、トレンチ内の半導体層は、トレンチ内表面を覆うように形成されているだけであり、オン抵抗を余り小さくできない。また、今後の半導体プロセスの更なる微細化を図るためには、上記トレンチ周辺部で基板表面を覆っている部分の表面積を減少させることが必要であり、この結果、上記p−n接合構造の断面積が減少するために、半導体装置のオン抵抗がさらに増大することが見込まれる。
特開平10−294475号公報(第5頁、図2)
本発明は上記問題点に鑑み発明されたもので、その目的とするところは、オン抵抗および占有面積を減少させることが可能な半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の一態様の半導体装置は、第1方向に互いに連結されて配置された第1領域及び第2領域を有する第1のトレンチ、前記第1のトレンチの一端に連結する第2のトレンチ、及び前記第1のトレンチの他端に連結する第3のトレンチを備えた半導体基板と、前記第1のトレンチの前記第1領域及び第2領域内にそれぞれ第1導電型半導体層及び第2導電型半導体層が互いに接して埋め込まれてなり、前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との接合部に、p−n接合面を有するダイオード部と、前記第2のトレンチ内に形成され、前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、前記第3のトレンチ内に形成され、前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、を具備することを特徴としている。
また、本発明の別態様の半導体装置は、第1方向に互いに連結されて配置された第1領域及び第2領域を有し、且つ前記第1方向と直交する第2方向に並置された複数の第1のトレンチ、複数の前記第1のトレンチの一端に共通に連結する第2のトレンチ、及び複数の前記第1のトレンチの他端に共通に連結する第3のトレンチを備えた半導体基板と、複数の前記第1のトレンチにおける前記第1領域及び第2領域内にそれぞれ第1導電型半導体層及び第2導電型半導体層が互いに接して埋め込まれてなり、前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との接合部に、p−n接合面を有する複数のダイオード部と、
前記第2のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、前記第3のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、を具備することを特徴としている。
前記第2のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、前記第3のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、を具備することを特徴としている。
また、本発明の別態様の半導体装置は、第1方向に交互に配置されて互いに連結された第1領域及び第2領域を有し、且つ前記第1方向と直交する第2方向に並置された複数の第1のトレンチ、複数の前記第1のトレンチの一端に共通に連結する第2のトレンチ、及び複数の前記第1のトレンチの他端に共通に連結する第3のトレンチを備えた半導体基板と、複数の前記第1のトレンチにおける前記第1領域及び第2領域内にそれぞれ第1導電型半導体層および第2導電型半導体層が互いに接して埋め込まれてなり、複数の前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との接合部にp−n接合を有する複数のダイオード部と、前記第2のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、前記第3のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、を具備することを特徴としている。
本発明によれば、オン抵抗及び占有面積を減少させることが可能な半導体装置を提供できる。
以下、本発明をESD保護ダイオードに適用した実施例により説明する。
本発明の第1の実施例に係るESD保護ダイオードを図1及び図2を用いて説明する。図1(a)は、第1の実施例のESD保護ダイオードの平面図、図1(b)は図1(a)のESD保護ダイオードのA−A面で切断した断面図、図2は、図1(a)のESD保護ダイオードの平面図である。なお、図2はESD保護ダイオードの平面構造をわかりやすくするために、第1の電極層20、第2の電極層21及び第2の絶縁膜12を取り除いている。また、第1の絶縁膜8のうち、第1乃至第3のトレンチ5、6、7内表面以外の部分を取り除いている。
本実施例は、2個のp−n接合ダイオード部(以下、単にダイオード部と称す)をトレンチ構造に、しかも並列接続構造にしたことを特徴とするものである。
図1及び図2に示すように、本実施例におけるESD保護ダイオードは、半導体基板1の上面に、ダイオード部を形成するための第1のトレンチ5、ダイオード部の一方の電極部を形成するための第2のトレンチ6、及びダイオード部の他方の電極部を形成するための第3のトレンチ7を有する。この第1のトレンチ5はU字型の断面構造で、第1方向(X方向)に延伸するストライプ型の平面構造に形成されており、ここでは、2つの第1のトレンチ5が第1方向と直交する第2方向(Y方向)に互いに離間して並置されている。
第1のトレンチ5は、後述の第1導電型半導体層が埋め込まれる第1領域5aと第2導電型半導体層が埋め込まれる第2領域5bとを有し、第1領域5aと第2領域5bとは互いに連結している。
第2のトレンチ6は第1のトレンチ5の一端側、即ち第1領域5aの一端側に形成され、第3のトレンチ7は第1のトレンチ5の他端側、即ち第2領域5bの他端側に形成されている。この第2及び第3のトレンチ6、7は、U字型の断面構造で、矩形型の平面構造に形成されてなり、2個の第1のトレンチ5の両方に跨って、しかも第1のトレンチ5の一端とそれぞれ連結している。
また、これらの第1乃至第3のトレンチ5、6、7の内表面を含む半導体基板1上面には、例えば酸化膜からなる第1の絶縁膜8が形成されている。
上記2個の第1のトレンチ5には、ダイオード部15がそれぞれ形成され、第2及び第3のトレンチ6、7には、ダイオード部15と電気的に接続する第1及び第2の電極部16、17が形成されている。
このダイオード部15の各々は、図1(b)に示すように、第1のトレンチ5内に第1の絶縁膜8を介して埋め込まれた第1導電型半導体層、例えばn型半導体層9と第2導電型半導体層、例えばp型半導体層10とを有する。
このn型半導体層9は、例えば第1のトレンチ5の第1領域5aに埋め込まれ、p型半導体層10は、例えばn型半導体層9と接して第1のトレンチ5の第2領域5b内に埋め込まれてなり、n型半導体層9とp型半導体層10との接合部にp−n接合面11を有する。
また、n型半導体層9及びp型半導体層10は、第1のトレンチ5内の空隙を満たし、且つその上面が半導体基板1の上面における第1の絶縁膜8の上面と略同一平面を形成するように埋め込まれている。
n型半導体層9及びp型半導体層10の上面並びに第1の絶縁膜8の上面には、例えば酸化膜からなる第2の絶縁膜12が形成され、n型半導体層9及びp型半導体層10は、第1の絶縁膜8及び第2の絶縁膜12により囲まれている。
第1の電極部16は、第1のコンタクト層18と第1の電極層20とで構成されている。
この第1のコンタクト層18は、例えば、n型半導体層9よりもn型不純物を高濃度に添加したn型の高不純物濃度半導体層からなり、第2のトレンチ6内に第1の絶縁膜8を介してその上面が半導体基板1の表面における第1の絶縁膜8の上面と略同一平面をなすように埋め込まれ、2個のダイオード部15のn型半導体層9とそれぞれ電気的に接続している。
また、第1のコンタクト層18は、第1の絶縁膜8により半導体基板1と電気的に絶縁され、その上面は、開口部を有した第2の絶縁膜12により覆われている。
第1の電極層20は、Al等の金属からなり、この第2の絶縁膜12の開口部を通じて第1のコンタクト層18の上面に形成されている。
第2の電極部17は、第1の電極部16と同様に、第3のトレンチ7内に形成された第2のコンタクト層19と、この第2のコンタクト層19上に形成された第2の電極層21とで構成されている。
第2のコンタクト層19は、第1のコンタクト層18と同様に、例えば、p型半導体層10よりもp型不純物を高濃度に添加したp型の高不純物濃度半導体層からなり、第3のトレンチ7内に第1の絶縁膜8を介してその上面が半導体基板1の表面における第1の絶縁膜8の上面と略同一平面をなすように埋め込まれ、ダイオード部15のp型半導体層10とそれぞれ電気的に接続している。
また、第2のコンタクト層19は、第1のコンタクト層18と同様に、第1の絶縁膜8により半導体基板1と電気的に絶縁され、その上面は、開口部を有した第2の絶縁膜12により覆われている。
第2の電極層21は、Alなどの金属からなり、この第2の絶縁膜12の開口部を通じて第2のコンタクト層19の上面に形成されている。
次に、上記第1の実施例のESD保護ダイオードの製造方法について図3を用いて説明する。図3は図1(a)のA−A線に沿う工程断面図である。
まず、同図(a)に示すように、半導体基板、例えばシリコン基板1上に、図2に示すような、第1乃至第3のトレンチ5、6、7を形成するためのマスク部材(図示せず)を形成し、このマスク部材をマスクにして、RIE(Reactive Ion Etching)にて第1乃至第3のトレンチ5、6、7を深さ1乃至5μm、例えば3μmに形成する。ここで、2個の第1のトレンチ5は、U字型の断面構造で、ストライプ型の平面構造で、Y方向に互い離間して並置され、第2及び第3のトレンチ6、7は、2個の第1のトレンチ5の両端に、それぞれ2個の第1のトレンチ5と連結し、且つU字型の断面構造で、第1のトレンチ5に比べてY方向の開口幅が広い矩形型の平面構造に形成される。なお、ここでは、第1乃至第3のトレンチ5、6、7を同じ深さに形成したが、それぞれの深さは、設計に応じて変更可能である。
その後、第1乃至第3のトレンチ5、6、7内の表面を含むシリコン基板1の表面全面に、熱酸化膜からなる第1の絶縁膜8を厚さ、50乃至100nm、例えば100nmに形成する。次に、この第1の絶縁膜8を介して第1乃至第3のトレンチ5、6、7内の空隙を完全に埋め込むように、シリコン基板1の全面に多結晶シリコン膜22をCVD(Chemical Vapor Deposition)等により形成する。
次に、多結晶シリコン膜22を形成した後、多結晶シリコン膜22の堆積時に、トレンチ形状に起因して多結晶シリコン膜22に凹凸が発生するために、第1の絶縁膜8をストッパーとして、CMP(Chemical Mechanical Etching)、CDE(Chemical Dry Etching)、またはRIEにより第1の絶縁膜8が露出するまで多結晶シリコン膜22を研磨あるいはエッチングし、シリコン基板1の上面全体が平坦になるようにする。
その後、第1乃至第3のトレンチ5、6、7内に平坦に埋め込まれた多結晶シリコン22に選択的にイオン注入等を行うことにより、同図(b)に示したように、各々の第1のトレンチ5の第1領域5a内にn型半導体層9、各々の第1のトレンチ5の第2領域5b内にp型半導体層10、第2のトレンチ6内にn型の高不純物濃度半導体層よりなる第1のコンタクト層18、及び第3のトレンチ7内にp型の高不純物濃度半導体層よりなる第2のコンタクト層19をそれぞれ形成する。
この後、CVD等により酸化シリコンの第2の絶縁膜12をシリコン基板1の表面全面に形成した後に、第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19上の第2の絶縁膜12に開口部をそれぞれ形成し、この開口部に、例えばアルミニウム等の金属膜をパターン形成することにより、開口部より露出された第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19上に第1の電極層20及び第2の電極層21をそれぞれ形成し、図1に示した構造のESD保護ダイオードを得る。
上記第1の実施例のESD保護ダイオードでは、n型半導体層9及びp型半導体層10は第1のトレンチ5内の空隙を完全に埋め尽くすように埋め込まれている。従って、ダイオード部15の断面積が大きくなるために、ESD保護ダイオードのオン抵抗が低減できる。また、ダイオード部15は、第1のトレンチ5内に埋め込まれ、このトレンチ5周辺のシリコン基板1の表面には延在しないので、ESD保護ダイオードの占有面積を低減できる。
また、図3(b)に示したように、トレンチ内に多結晶シリコン膜22を埋め込んだ後に、CMP等で半導体基板1上面の平坦化を実施し、この後イオン注入等によりダイオード部15と第1及び第2のコンタクト層18、19を形成しているので、トレンチによる半導体基板1上面の凹形状及びダイオード部15とコンタクト層18、19による凸形状が発生しない。これにより、本実施例のESD保護ダイオードをMOSFETやIGBT等の他の半導体素子とともに集積回路に組み込む際のプロセスにおいて、半導体基板表面の平坦性が高く、マスク合わせ時の焦点深度のマージンが少ないことによる不具合を防止できる。この結果、半導体プロセスの微細化に対応して素子サイズを小さくしていくこと、及び半導体装置の単位面積当たりの特性向上が可能となる。
なお、本実施例では、ダイオード部15を2個としているが、このダイオード数を増やすことによって、電流経路の断面積が実質的に増加するのでオン抵抗が低減できる。この結果、ESD保護用半導体装置としての耐圧が上がる。
また、本実施例では、ダイオード部を構成しているn型半導体層9とp型半導体層10のp−n接合面11の数を1としているが、n型半導体層9及びp型半導体層10の多段構成としてp−n接合面11の数を増やすことができる。本実施例の場合は、接合面数が1なので、一方向のツェナーダイオードとして機能するが、これを多段構成とすることにより双方向のツェナーダイオードとして機能させることができる。
多段構成のツェナーダイオードでは、各p−n接合面でのブレークダウン電圧を加算した電圧が、ツェナーダイオードとしてのブレークダウン電圧となるので、ESD保護ダイオードの耐圧が上がる。
また、本実施例では第1のトレンチ5におけるn型半導体層9部分の第1領域5aとp型半導体層10部分の第2領域5bとの開口幅を同一としているが、p型半導体層10部分の第2領域5bの開口幅がn型半導体層9部分の第1領域5aの開口幅よりも広くしてもよい。特に、ESD耐圧をあげるためにp型半導体層の不純物濃度を低くした場合には、素子抵抗を下げるために断面積を大きくする必要があり、上記のような構造が有効となる。また、設計に応じて、逆にn型半導体層9の第1領域5aの開口幅のほうが広くなるように、第1のトレンチ5の第1領域5a及び第2領域5bを形成してもよい。
上記ダイオード部の数とその中のp−n接合面数、及びn及びp型半導体層の各々のトレンチ開口幅は、ESD保護用ダイオードの耐圧の設計により任意の値とすればよい。また、p−n接合面数が複数の場合は、ダイオード部の両端はn型どうし、p型どうし、あるいはn型とp型の半導体層の組み合わせとなるが、双方向ツェナーダイオードとしてはいずれも問題なく機能する。第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19の導電型は、これらダイオード部の両端の半導体層の導電型に応じて決定してもよい。
本実施例は、本発明の一例を示したものであり、構成する材料及び形成方法は、上記効果が得られるように任意のものとすることができる。例えば、半導体基板1は、シリコン基板以外にも、シリコン基板に半導体膜を形成したものや、SOI(Silicon On Insulator)基板等を用いてもよい。化合物半導体系の集積回路作成の際には、その用途に合わせてGaAs基板やInP基板、SiC基板、あるいはGaN基板などの化合物半導体基板なども使用可能である。
第1の絶縁膜8は、本実施例では熱酸化膜を例に挙げたが、絶縁膜として機能するものであればよく、CVDによる酸化シリコンや窒化シリコン等でも良い。第2の絶縁膜12も同様に絶縁膜として機能するものであれば、本実施例以外の絶縁膜を使用可能である。
本実施例では、予めCVDにより多結晶シリコンを形成し、その後選択的にイオン注入することにより、n型半導体層9、p型半導体層10、第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19を形成したが、用途に応じて多結晶シリコン以外のものでも可能であり、また、各層への不純物注入は、選択イオン注入によらなくても、選択熱拡散等の他の方法や、結晶成長で個別に各不純物を含んだ層をそれぞれ埋め込んでいくことによっても可能である。
本実施例では、第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19をそれぞれ、単一のn型の高不純物濃度半導体層及びp型の高不純物濃度半導体層としていたが、第1の電極層20との接続部及び第2の電極層21との接続部でそれぞれ、同じ導電型で不純物濃度が高い半導体層をさらに有した構造とすることも可能である。
(実施例1の変形例)
本実施例のESD保護ダイオードの変形例を図4に示す。本変形例の各部について、実施例1のESD保護ダイオードと同一部分は同一符号で示す。本変形例が、実施例1と異なる点は、シリコン基板1上の第1の絶縁膜8を除去した構造にある。これは、図3(b)に示すように、多結晶シリコン22のCMP等による平坦化工程において、第1の絶縁膜8が表面に出現したところで研磨あるいはエッチングを停止するところを、そのまま研磨あるいはエッチングを続けて半導体基板1の上面が出現したところで研磨を停止することにより得られる。
本実施例のESD保護ダイオードの変形例を図4に示す。本変形例の各部について、実施例1のESD保護ダイオードと同一部分は同一符号で示す。本変形例が、実施例1と異なる点は、シリコン基板1上の第1の絶縁膜8を除去した構造にある。これは、図3(b)に示すように、多結晶シリコン22のCMP等による平坦化工程において、第1の絶縁膜8が表面に出現したところで研磨あるいはエッチングを停止するところを、そのまま研磨あるいはエッチングを続けて半導体基板1の上面が出現したところで研磨を停止することにより得られる。
上記変形例のESD保護ダイオードにおいても、上記実施例1と同様の効果が得られる。また、この構造とすることにより、第1の絶縁膜8を極薄膜にした場合や図3(a)で半導体基板表面の凹凸が顕著のときに、プロセスのマージンを大きくとることができる。
(実施例1の別の変形例)
本実施例のESD保護ダイオードの別の変形例を図5に示す。本変形例の各部について、実施例1のESD保護ダイオードと同一部分は同一符号で示す。本変形例が、実施例1と異なる点は、第1のコンタクト層18と第2のコンタクト層19の中に、第1の電極層20と第2の電極層21がそれぞれ埋め込み形成されている点にある。
本実施例のESD保護ダイオードの別の変形例を図5に示す。本変形例の各部について、実施例1のESD保護ダイオードと同一部分は同一符号で示す。本変形例が、実施例1と異なる点は、第1のコンタクト層18と第2のコンタクト層19の中に、第1の電極層20と第2の電極層21がそれぞれ埋め込み形成されている点にある。
この構造のESD保護ダイオードは、一例として次のようにして得られる。図3(b)に示した状態で、シリコン基板1の表面に第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19の上面を露出する開口部を備えたマスクを形成した後に、RIEにより第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19の露出部にそれぞれ凹部を形成する。
この凹部に、例えばメッキ等により電極金属を埋め込んで第1の電極層20及び第2の電極層21をそれぞれ形成し、CMP等により凹部外のシリコン基板1上の電極金属を研磨することにより、シリコン基板1の表面を平坦化する。
この後、図5に示したように、シリコン基板1の表面全面にプラズマCVD法などの低温CVD法により第2の絶縁膜12を形成した後に、第1の電極層20及び第2の電極層21の上面が露出するように、第2の絶縁膜12にRIE等により開口部を形成する。
また、以下のような他の方法で製造することも可能である。即ち、図3(b)で示した構造とした後に、CVD法などにより第2の絶縁膜12をシリコン基板1の表面全面に形成し、第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19の一部が露出するようにRIE等により第2の絶縁膜12に開口部を形成する。
その後、第2の絶縁膜12をマスクとして、開口部に露出した第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19をRIE等でエッチングして、第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19のそれぞれに凹部を形成する。次に、メッキ等の方法により、この凹部に第1の電極層19及び第2の電極層21をそれぞれ埋め込んで、図5に示した構造を得る。
この方法の場合、第2の絶縁膜12の開口部において第1の電極層20及び第2の電極層21は、第2の絶縁膜12の上面より突出することも有り得るが、その場合には、CMP等により突出した第1の電極層20及び第2の電極層21の部分を研磨あるいはエッチングし、シリコン基板1の表面を平坦化すればよい。また、図5では、第1の電極層20及び第2の電極層21の幅は、第2の絶縁膜12のそれぞれの開口部の幅より広くなっているが、この例の場合では、第1の電極層20及び第2の電極層21の幅と第2の絶縁膜12のそれぞれの開口部の幅が略一致する断面形状となる。この程度の断面の幅の違いは、ESD保護ダイオードの特性に影響しない。
本変形例のESD保護ダイオードでは、第1の電極層20及び第2の電極層21と、第1のコンタクト層18及び第2のコンタクト層19のそれぞれの接触面積が大きくなっているため、ESD保護ダイオードのオン抵抗のさらなる低減につながる。
本発明の第2の実施例に係るESD保護ダイオードを図6の平面図を用いて説明する。図6は、図2と同様に平面構造をわかりやすくするために、第1の電極層20、第2の電極層21及び第2の絶縁膜12を取り除いている。また、第1の絶縁膜8の第1乃至第3のトレンチ31、6、7内表面以外の部分を取り除いている。
本実施例の各部について、実施例1のESD保護ダイオードと同一部分は同一符号で示す。本実施例は、n型半導体層9とp型半導体層10を交互に配置した2個のダイオード部30をY方向に離間して並置し、隣接するダイオード部30におけるp型半導体層10どうしを互いに連結し、1つのp型半導体層33とすることにより、ESD保護ダイオードのオン抵抗を低くするようにしたことを特徴としている。
本実施例のESD保護ダイオードでは、複数個、ここでは2個の第1のトレンチ31がY方向に離間して並置されている。第1のトレンチ31の各々は、X方向に交互に配置されて互いに連結された第1領域31aと第2領域31bとを有する。また、第1のトレンチ31の各々における第2領域31bどうしは、互いに連結されて1つの第2領域32bを構成している。この連結された第2領域32bは、矩形型の平面構造を有する。
第2のトレンチ6は第1のトレンチ31の一端側において第1領域31aと連結し、第3のトレンチ7は第1のトレンチ31の他端側における第2領域32bと連結している。
上記第1のトレンチ31の第1領域31a内にはn型半導体層9が埋め込まれ、第2領域32b内にはp型半導体層33が埋め込まれ、これにより3個のp-n接合面11を有するダイオード部30を2個並置し、各々のダイオード30はp型半導体層33を隣接するダイオード部30と共有している。
第2及び第3のトレンチ6、7には、実施例1と同様に、それぞれ第1及び第2の電極部16、17が形成されている。
なお、このESD保護ダイオードは、第1のトレンチ31を形成するためのマスク部材のパターンが異なるが、主要な製造工程は実施例1と同様である。
本実施例のESDダイオードは、第1の実施例と同様の効果が得られることのほか、以下の効果を有する。ツェナーダイオードとしてブレークダウン電圧を上げるためには、通常、p型半導体層の不純物濃度を下げてn型半導体層とp型半導体層の接合面11に生じる空間電荷領域をp型半導体層側に広げるようにすることが多い。空間電荷領域となっていないp型半導体層の部分は不純物濃度が低く設定されているために、素子抵抗が高くなり、ツェナーダイオードとしてのオン抵抗が大きくなってしまう。
しかし、本実施例のように、各々の第1のトレンチ31の第2領域31bを連結して共有の第2領域32bとすることで、互いに離間して並置されているダイオード部30におけるp型半導体層10どうしが連結して1つのp型半導体層33となるので、各n型半導体層9に対して各p型半導体層33の幅が広くなり、p型半導体層33の中で電流が広がるため、実施例1よりも電流経路の断面積が大きくなる。
この結果、p型半導体層33での抵抗値が下がり、実施例1よりもオン抵抗の低いESD保護用ダイオードが得られる。なお、ダイオード部の数と各ダイオード部におけるp−n接合面数は、オン抵抗低減と耐圧の設計により任意の値を取りうるのは実施例1と同様である。
本発明の第3の実施例に係るESD保護ダイオードを図7の平面図を用いて説明する。図2と同様に平面構造をわかりやすくするために、第1の電極層20、第2の電極層21及び第2の絶縁膜12を取り除いている。また、第1の絶縁膜8の第1乃至第3のトレンチ41、6、7内表面以外の部分を取り除いている。本実施例の各部について、実施例2のESD保護ダイオードと同一部分は同一符号で示す。
本実施例は、n型半導体層9とp型半導体層10を交互に配置した複数個(ここでは3個)のダイオード部40をY方向に離間して並置し、その並置した各々のダイオード部40のp型半導体層10どうしを互いに連結して1つのp型半導体層43とするための第1のトレンチ41における第2領域42bを、格子型の平面構造にすることにより、p型半導体層43の埋め込み性を改善するようにしたことを特徴としている。
即ち、本実施例では、図7中に示すように、X方向に交互に配置されて互いに連結した第1領域41a及び第2領域41bを有する第1のトレンチ41が、
Y方向に複数個、ここでは3個並置されており、第1のトレンチ41における第2領域41bどうしを互いに連結して1つの四角形状の第2領域42bを形成している。この連結された第2領域42bは、四角形内に3個の短冊状の島が形成された格子型の平面構造を有する。
Y方向に複数個、ここでは3個並置されており、第1のトレンチ41における第2領域41bどうしを互いに連結して1つの四角形状の第2領域42bを形成している。この連結された第2領域42bは、四角形内に3個の短冊状の島が形成された格子型の平面構造を有する。
そして、各々の第1のトレンチ41の第1トレンチ領域41a内にはn型半導体層9が埋め込まれ、格子構造の第2領域42b内にはp型半導体層43が埋め込まれ、これにより2個のp-n接合面を有するダイオード部40が3個並置された構造となる。
なお、その他の構造並びに製造方法は第1のトレンチを形成するマスク部材のパターンが異なる以外は、実施例1と同様である。
本実施例のESD保護ダイオードは、シリコン基板1の表面の平坦性の効果を有しながら、実施例1よりもオン抵抗の低減が実現できる。
また、上記実施例2においてダイオード部の数を増やすと、隣接する第1のトレンチ31におけるp型半導体層33を埋め込む第2領域32bの開口幅が大きくなるため、第2領域32b内にp型半導体層33が十分に埋め込まれず、トレンチの凹形状が残る場合がある。
しかし、本実施例のように、p型半導体層43の部分が埋め込まれる四角形状の第2領域42bを、四角形内に短冊状の島が残るような格子構造に形成することにより、p型半導体層43の埋め込み性が改善される。
なお、本実施例では、p型半導体層43部分が形成される第1のトレンチ41の第2領域42bは、四角形内に短冊状の島が残るような格子構造に溝を形成しているが、碁盤目状の島を残すような十字格子構造に形成しても同様な効果が得られる。
また、第2のコンタクト層19の導電型は、実施例1と同様のp型でも動作上問題は生じないが、電気的に接続するn型半導体層9にあわせてn型とすることが好ましい。
本発明の第4の実施例に係るESD保護ダイオードを図8の平面図を用いて説明する。図2と同様に平面構造をわかりやすくするために、第1の電極層20、第2の電極層21及び第2の絶縁膜12を取り除いている。また、第1の絶縁膜8の第1乃至第3のトレンチ51、6、7内表面以外の部分を取り除いている。
本実施例では、ダイオード部50を構成するストライプ型の平面構造を有する複数のn型半導体層9と矩形型の平面構造を有する複数のp型半導体層10とをX方向に交互に配置し、p型半導体層10のY方向における開口幅をn型半導体層9の開口幅よりも広く形成し、しかもY方向に離間して並置したダイオード部50のn型半導体層9とp型半導体層10とが相対向するように、即ち隣接するp型半導体層10を千鳥足状に配置したことを特徴としている。
図8に示すように、本実施例では、第1のトレンチ51のn型半導体層9が埋め込まれる第1領域51aはストライプ型の平面構造に形成され、p型半導体層10が埋め込まれる第2領域51bは矩形型の平面構造に形成されている。この第2領域51bは、第1領域51aのY方向の開口幅よりも広く形成されている。また、第1領域51aと第2領域51bとは、互いに連結して交互に配置されており、隣接する第1のトレンチ51における第1領域51aと第2領域51bとが相対向するように配置、即ち隣接する第2領域51bが互い違いとなる千鳥足状に配置している。
この第1のトレンチ51における第1領域51a内にはn型半導体層9が埋め込まれ、第2領域51b内にはp型半導体層10が埋め込まれている。この実施例のESD保護ダイオードでは、6個のp−n接合面11を有する2個のダイオード部50が並列接続された構造を有する。その他の構成は、上記実施例1と同様である。
本実施例のESD保護ダイオードにおいても、上記実施例1と同様の効果を得ることができる。また、隣接するダイオード部50における矩形型のp型半導体層10を千鳥足状に配置することにより、ダイオード部50を近接して並置することができるので、上記実施例2及び3のESD保護ダイオードと略同じオン抵抗及び略同じ耐圧であっても、これらの実施例のESD保護ダイオードに比べてシリコン基板表面上に占める面積を小さくできる。
なお、上記実施例3と同様に、第2のコンタクト層19はp導電型の半導体層でもよいが、n型半導体層9と電気的に接続することから、導電型をn型とすることが好ましい。
また、他の実施例と同様に、Y方向に並置するダイオード部の数、各々のダイオード部のp−n接合面数、及びn型及びp型半導体層を埋め込む第1のトレンチの第1及び第2領域の開口幅は、設計により任意に選べる。
上述した実施例1乃至4及びそれらの変形例は、これらを組み合わせることにより、多様な構造をとることも可能である。また、実施例に挙げた材料やプロセス条件に拘束されることは無く、本発明の構成及び趣旨を逸脱しない範囲内で変更可能である。なお、上述の各実施例や変形例においては、第1の電極層20及び第2の電極層21を金属電極として説明したが、半導体基板表面の配線の都合上、多結晶シリコンなど、その他の電極として使用できる材料に変更することも可能である。
また、上記各実施例においては、第1のトレンチの第1領域にはn型半導体層を、第1のトレンチの第2領域にはp型半導体層を形成した場合で説明したが、ESD保護ダイオードの設計に応じて、それぞれ逆の導電型の半導体層とすることも可能である。
上記実施例及びその変形例によりESD保護ダイオードが得られるが、整流素子やサイリスタなどの素子も得ることも可能である。
さらに、上記実施例及び変形例での製造工程を、MOSFETやIGBTを含む集積回路のプロセスに組み入れることにより、ESD保護ダイオードが組み込まれた集積回路を得ることも可能である。
1 半導体基板
5、31、41、51 第1のトレンチ
5a、31a、41a、51a 第1領域
5b、31b、32b、41b、42b、51b 第2領域
6 第2のトレンチ
7 第3のトレンチ
8 第1の絶縁膜
9 n型半導体層
10、33、43 p型半導体層
11 p−n接合面
12 第2の絶縁膜
15、30、40、50 ダイオード部
16 第1の電極部
17 第2の電極部
18 第1のコンタクト層
19 第2のコンタクト層
20 第1の電極層
21 第2の電極層
22 多結晶シリコン
5、31、41、51 第1のトレンチ
5a、31a、41a、51a 第1領域
5b、31b、32b、41b、42b、51b 第2領域
6 第2のトレンチ
7 第3のトレンチ
8 第1の絶縁膜
9 n型半導体層
10、33、43 p型半導体層
11 p−n接合面
12 第2の絶縁膜
15、30、40、50 ダイオード部
16 第1の電極部
17 第2の電極部
18 第1のコンタクト層
19 第2のコンタクト層
20 第1の電極層
21 第2の電極層
22 多結晶シリコン
Claims (9)
- 第1方向に互いに連結されて配置された第1領域及び第2領域を有する第1のトレンチ、前記第1のトレンチの一端に連結する第2のトレンチ、及び前記第1のトレンチの他端に連結する第3のトレンチを備えた半導体基板と、
前記第1のトレンチの前記第1領域及び第2領域内にそれぞれ第1導電型半導体層及び第2導電型半導体層が互いに接して埋め込まれてなり、前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との接合部に、p−n接合面を有するダイオード部と、
前記第2のトレンチ内に形成され、前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、
前記第3のトレンチ内に形成され、前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 第1方向に互いに連結されて配置された第1領域及び第2領域を有し、且つ前記第1方向と直交する第2方向に並置された複数の第1のトレンチ、複数の前記第1のトレンチの一端に共通に連結する第2のトレンチ、及び複数の前記第1のトレンチの他端に共通に連結する第3のトレンチを備えた半導体基板と、
複数の前記第1のトレンチにおける前記第1領域及び第2領域内にそれぞれ第1導電型半導体層及び第2導電型半導体層が互いに接して埋め込まれてなり、前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との接合部に、p−n接合面を有する複数のダイオード部と、
前記第2のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、
前記第3のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 第1方向に交互に配置されて互いに連結された第1領域及び第2領域を有し、且つ前記第1方向と直交する第2方向に並置された複数の第1のトレンチ、複数の前記第1のトレンチの一端に共通に連結する第2のトレンチ、及び複数の前記第1のトレンチの他端に共通に連結する第3のトレンチを備えた半導体基板と、
複数の前記第1のトレンチにおける前記第1領域及び第2領域内にそれぞれ第1導電型半導体層および第2導電型半導体層が互いに接して埋め込まれてなり、複数の前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との接合部にp−n接合を有する複数のダイオード部と、
前記第2のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の一端と電気的接続された第1の電極部と、
前記第3のトレンチ内に形成され、複数の前記ダイオード部の他端と電気的接続された第2の電極部と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のトレンチにおける前記第2領域は、前記第1のトレンチにおける前記第1領域の前記第2方向の開口幅よりも広い前記第2方向の開口幅を有し、隣接する前記第1のトレンチにおける前記第1領域と相対向して配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置
- 隣接する前記第1のトレンチにおける前記第2領域が互いに連結されていることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置。
- 前記第1のトレンチにおける前記連結された第2領域は、格子型の平面構造を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の電極部は、前記第2及び第3のトレンチ内にそれぞれ形成されて前記ダイオード部の端部と連結された第1及び第2のコンタクト層と、前記第1及び第2のコンタクト層表面にそれぞれ形成された第1及び第2の電極層とを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1のコンタクト層と第1の電極層、及び第2のコンタクト層と第2の電極層の間に、それぞれ第1及び第2のコンタクト層よりも導電性不純物を高濃度に添加した半導体層を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のコンタクト層は、凹型の断面構造を有し、前記第1及び第2の電極層は、前記第1及び第2のコンタクト層の凹部に埋設されていることを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007094923A JP2008252038A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 半導体装置 |
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Family
ID=39976589
Family Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114171646A (zh) * | 2020-09-11 | 2022-03-11 | 成都辰显光电有限公司 | 微发光二极管及其制备方法 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007094923A patent/JP2008252038A/ja active Pending
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CN114171646B (zh) * | 2020-09-11 | 2023-05-26 | 成都辰显光电有限公司 | 微发光二极管及其制备方法 |
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