JP2008251475A - 負極基材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含有するポジ型ホトレジスト組成物により形成された有機膜を備えた支持体に、金属膜を形成してなることを特徴とする負極基材、又は前記有機膜をパターン露光により所定形状にパターン化したパターン化有機膜を備えたことを特徴とする負極基材によれば、高い出力電圧と高いエネルギー密度を有し、且つ充放電サイクル特性に優れた電池を提供できる。
【選択図】図1
Description
本発明に係る負極基材10の模式図を図1に示す。図1に示される通り、本発明に係る負極基材10は、支持体11と、有機膜12と、金属膜13とから構成される。より詳しくは、パターン露光により所定形状にパターン化された有機膜12を備えた支持体10に対して、金属膜13を形成してなることを特徴とする。
本発明に係る負極基材10に用いられる支持体11は、その表面上に有機膜12を形成できるものであればよく、特に限定されない。例えば、電子部品用の基板等の従来公知のものが用いられる。具体的には、シリコンウエハ、有機系又は無機系の反射防止膜が設けられたシリコンウエハ、磁性膜が形成されたシリコンウエハ、銅、クロム、鉄、アルミニウム等の金属製の基板や、ガラス基板等が挙げられる。なお、これらの支持体は、銅、ニッケル、ステンレス、モリブデン、タングステン、チタン、及びタンタルから選ばれる少なくとも1種の元素を含む材料、金属箔、不織布、三次元構造を有する金属集電体等の集電体を兼ねてもよいし、これらの集電体上に形成されてもよい。
本発明に係る負極基材10における有機膜12は、後述する(A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含有するポジ型ホトレジスト組成物により形成されるものであり、さらには、このポジ型ホトレジスト組成物からなる有機膜をパターン露光により所定形状にパターン化したパターン化有機膜であることが好ましい。
本発明に係る負極基材10における有機膜12の形成に用いられるポジ型ホトレジスト組成物としては、(A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含有するポジ型ホトレジスト組成物であれば特に限定されない。
〔1〕Q1がRb9の末端と結合しておらず、Rb9が水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、Q1が前記化学式(b2)で表される残基を表し、nが0を表すトリスフェノール型化合物、及び
〔2〕Q1がRb9の末端と結合しておらず、Rb9が水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、Q1が水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、nが1〜3の整数を表すリニア型ポリフェノール化合物が好ましい。
有機膜12は、前記ポジ型ホトレジスト組成物を、支持体11上にスピンナーを用いて塗布することにより形成される。さらに、このような有機膜12は、支持体11上に塗布された後、紫外線、エキシマレーザー、X線、電子線等の活性光線又は放射線を、マスクを介して照射して画像露光し、次いで、必要に応じて加熱処理を行い、さらにアルカリ現像液で現像処理を施して未照射部を溶解除去し、必要に応じて加熱処理を行い、パターン化有機膜とされる。
本発明に係る負極基材10における金属膜13は、メッキ処理により形成されるものが好ましいが、特に限定されるものではない。メッキ処理は従来公知のものが用いられ、上述の有機膜12上に金属膜13を形成できるものであれば特に限定されない。また、金属膜13は、多段階メッキ処理により複数の層から構成されていてもよい。このような金属膜を形成する工程、即ちメッキ処理工程は、好ましくは、洗浄工程、触媒化処理工程に続いて、無電解ニッケルメッキ、又は無電解銅メッキ工程を行い、さらに無電解錫メッキ工程、又は電解錫メッキ工程を含む。
先ず、有機膜12を備えた支持体11を、リン酸系溶液中に浸漬させて洗浄を行う。リン酸系溶液としては、リン酸ナトリウム等が用いられる。浸漬時間は、30〜180秒とすることが好ましく、45〜90秒とすることがより好ましい。
上記洗浄工程を経た支持体11を、所定濃度の塩化錫(SnCl2)水溶液中に所定時間浸漬させる。塩化錫の濃度は、0.01g/dm3〜0.10g/dm3が好ましく、0.03g/dm3〜0.07g/dm3がより好ましい。また、浸漬時間は15〜180秒とすることが好ましく、30〜60秒とすることがより好ましい。
上記触媒化工程を経た支持体11を、ニッケルメッキ浴中に浸漬させてニッケルメッキを行う。ニッケルメッキ浴としては、従来公知のものが用いられる。例えば、硫酸ニッケルを0.05M〜0.20M、次亜リン酸ナトリウムを0.10M〜0.30M、鉛イオンを0.05ppm〜0.30ppm、錯化剤を0.05M〜0.30M含有するニッケルメッキ浴が一例として挙げられる。錯化剤としては、カルボン酸類の錯化剤が好ましく用いられる。ニッケルメッキ浴の温度は、50℃〜70℃が好ましく、pHは4.0〜5.5が好ましい。pHの調整には水酸化ナトリウム、硫酸が用いられる。
上記触媒化工程を経た支持体11を、銅メッキ浴中に浸漬させて銅メッキを行う。銅メッキ浴としては、従来公知のものが用いられる。例えば、硫酸銅を0.02M〜0.10M、ホルマリンを0.10M〜0.40M、2,2’−ビピリジルを1.0ppm〜20.0ppm、界面活性剤(ポリエチレングリコール等)を50.0ppm〜500ppm、錯化剤を0.20M〜0.40M含有する銅メッキ浴が一例として挙げられる。錯化剤としては、エチレン−アミン系の錯化剤が好ましく用いられる。銅メッキ浴の温度は、50℃〜70℃が好ましく、pHは11.5〜12.5が好ましい。また、空気通気による攪拌を行うのが好ましい。pHの調整には水酸化カリウム、硫酸が用いられる。
上記無電解ニッケルメッキ、又は無電解銅メッキ工程を経た支持体11を、錫メッキ浴中に浸漬させて錫メッキを行うことにより、有機膜12上に金属膜13が形成される。錫メッキ浴としては、従来公知のものが用いられる。例えば、塩化錫を0.02M〜0.20M、三塩化チタン等の還元剤を0.02M〜0.08M、クエン酸3ナトリウム、エチレンジアミン四酢酸2ナトリウム(EDTA−2Na)、ニトリロ三酢酸(NTA)等の錯化剤を0.10M〜0.50M含有する錫メッキ浴が一例として挙げられる。錫メッキ浴の温度は、45℃〜70℃が好ましく、pHは6.5〜8.5が好ましい。pHの調整には炭酸ナトリウム又はアンモニアと塩酸が用いられる。なお、錫メッキ処理は、窒素雰囲気下で行われるのが好ましい。
なお、上記無電解錫メッキの代わりに、電解錫メッキを行ってもよい。このような錫メッキ工程としては、上記無電解ニッケルメッキ、又は無電解銅メッキ工程を経た支持体11を、錫メッキ浴中に浸漬、通電させて電解錫メッキを行うことにより、有機膜12上に金属膜13が形成される。電解錫メッキ浴としては、従来公知のものが用いられる。例えば、レイボルド株式会社の市販メッキ液、スタータークルモ錫メッキ浴が一例として挙げられる。錫メッキ浴の温度は、10℃〜28℃が好ましく、pHは1.0〜1.5とすることが好ましい。また、適用電流密度は0.5A/dm2〜6.0A/dm2が好ましい。
上記負極基材10は、二次電池用負極基材、特にリチウム二次電池用負極基材として好適に用いられる。リチウム二次電池は、電解液として有機溶媒及びリチウム塩を用い、負極と正極との間で行われるリチウムイオン(Li+)の移動による電荷の授受により、充放電がなされる二次電池であり、出力電圧が高く、エネルギー密度が高いという利点を有する。従来のリチウム二次電池では、通常、負極として炭素、正極として遷移金属酸化物リチウム化合物が用いられていたが、近年ではさらなる高出力、高エネルギー密度を求めて負極材料の検討が進められている。負極材料は、薄膜を形成することができ、且つリチウムを可逆的に吸蔵/放出できるものであることが必要であるところ、上記負極基材10はこれらの要求を満たすため、好適に用いられる。ここで、「吸蔵」とは、リチウムを可逆的に内包したり、リチウムと可逆的に合金、固溶体等を形成したり、リチウムと可逆的に化学結合したりすることである。
(A)成分として、m−クレゾール/p−クレゾール/2,3,5−トリメチルフェノール=40/35/25(モル比)の混合フェノール類、サリチルアルデヒド/ホルムアルデヒド=1/5(モル比)の混合アルデヒド類とを用いて常法により合成した、Mw=5,200のノボラック樹脂13g、(B)成分として、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)−3,4−ジヒドロキシフェニルメタン(B1)1モルと1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホニルクロライド[以下、(5−NQD)と略記する。]2モルとのエステル化反応生成物、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン(B2)1モルと5−NQD2モルとのエステル化反応生成物、及びビス(4−ヒドロキシ−2,3,5−トリメチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン(B3)1モルと5−NQD2モルとのエステル化反応生成物の混合物7.5g(質量混合比=B1:B2:B3=4:1:1)、(C)成分として、ビス(2−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−フェニルメタン5.5g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶剤74gを混合し、ポジ型ホトレジスト組成物を調製した。
11 支持体
12 有機膜
13 金属膜
Claims (12)
- (A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含有するポジ型ホトレジスト組成物により形成された有機膜を備えた支持体に、金属膜を形成してなることを特徴とする負極基材。
- 前記有機膜が、パターン露光により所定形状にパターン化されたパターン化有機膜であることを特徴とする請求項1に記載の負極基材。
- 前記パターン化有機膜が、アスペクト比0.1以上のパターン化有機膜であることを特徴とする請求項2に記載の負極基材。
- 前記(A)成分が、ノボラック樹脂、ヒドロキシスチレン系樹脂、及びアクリル系樹脂の中から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の負極基材。
- 前記(B)成分が、下記一般式(b1)
で表される残基を表し、Q1がRb9の末端と結合する場合、Q1はRb9及び、Q1とRb9との間の炭素原子とともに、炭素原子鎖3〜6のシクロアルキレン鎖を構成し、a及びbは1〜3の整数を示し、dは0〜3の整数を示し、nは0〜3の整数を示す。]
で表される化合物と、1,2−ナフトキノンジアジドスルホニル化合物とのエステル化反応生成物であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の負極基材。 - 前記金属膜が、メッキ処理により形成された金属膜であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の負極基材。
- 前記メッキ処理が、無電解銅メッキ処理、無電解ニッケルメッキ処理、無電解錫メッキ処理、及び電解錫メッキ処理よりなる群から選ばれた少なくとも1種のメッキ処理であることを特徴とする請求項6に記載の負極基材。
- 前記メッキ処理が、無電解銅メッキ処理及び無電解ニッケルメッキ処理のうち少なくとも1種のメッキ処理と、無電解錫メッキ処理及び電解錫メッキ処理のうち少なくとも1種のメッキ処理とを含む多段階メッキ処理であることを特徴とする請求項6又は7に記載の負極基材。
- 前記負極基材が、二次電池用負極基材であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の負極基材。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の負極基材と、電解質溶液と、この電解質溶液を吸蔵及び放出できる正極基材とを含むことを特徴とする二次電池。
- 請求項1から10のいずれか1項に記載の有機膜の形成に用いられるポジ型ホトレジスト組成物であって、(A)アルカリ可溶性樹脂、及び(B)キノンジアジド基含有化合物を含有することを特徴とするポジ型ホトレジスト組成物。
- 負極基材の製造方法であって、
(i)支持体上に、請求項1から10のいずれか1項に記載の有機膜を形成する工程と、
(ii)前記有機膜上にメッキ処理により金属膜を形成するメッキ処理工程と、
を含むことを特徴とする負極基材の製造方法。
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