JP2008244137A - 回路モジュールの製造方法 - Google Patents

回路モジュールの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2008244137A
JP2008244137A JP2007082449A JP2007082449A JP2008244137A JP 2008244137 A JP2008244137 A JP 2008244137A JP 2007082449 A JP2007082449 A JP 2007082449A JP 2007082449 A JP2007082449 A JP 2007082449A JP 2008244137 A JP2008244137 A JP 2008244137A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit board
mounting portion
board mounting
radiating member
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007082449A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomoo Nishino
智雄 西野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2007082449A priority Critical patent/JP2008244137A/ja
Publication of JP2008244137A publication Critical patent/JP2008244137A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Abstract

【課題】 回路基板を放熱部材に貼り付けることによる反りを小さくした回路モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】 回路基板1が貼り付けられる回路基板搭載部2aおよび回路基板搭載部2aの2倍以上の厚みで回路基板搭載部2aの外周側に沿って設けられた補強部2bを有する放熱部材2を準備する工程1と、回路基板搭載部2aの上面に回路基板1をロウ材3を介して載置する工程2と、ロウ材3を加熱して溶融させた後に冷却して固化させ、回路基板1を放熱部材2の回路基板搭載部2aにロウ材3で貼り付ける工程3と、放熱部材2の補強部2bを回路基板搭載部2aから分離する工程4とを含む回路モジュール10の製造方法である。放熱部材2側が凹むように反らせようとする応力と、回路基板搭載部2aの外周側に沿った方向に回路基板1側が凹むように反らせようとする応力とが相殺するので、回路モジュール10の反りを小さくすることができる。
【選択図】 図3

Description

本発明は、回路基板に放熱部材を取り付けた回路モジュールの製造方法に関するものである。
従来より、回路基板に放熱部材が取り付けられた回路モジュールが、車載装置等の高い信頼性が求められる装置に用いられている。
図5は従来の回路モジュールの一例を示す断面図である。図5に示す従来の回路モジュール40は、上面を部品実装面とする回路基板41が、放熱部材42の上面にロウ材43で貼り付けられたものである(例えば、特許文献1を参照。)。回路基板41の材料としては、例えば、窒化珪素基板やアルミナ基板等の、信頼性が高く放熱性が高いセラミック基板が用いられる。放熱部材42の材料としては、例えば、銅製ヒートシンク板やアルミニウム製ヒートシンク板等の、セラミック基板よりもさらに熱伝導率が高い金属板が用いられる。ロウ材43としてはハンダが用いられる。
図5に示すような従来の回路モジュール40の製造方法の一例として、例えば、以下の工程1〜3を含むものが知られている。先ず、上面を部品実装面とする回路基板41を準備するとともに、この回路基板41の下面が貼り付けられる放熱部材42を準備する(工程1)。次に、放熱部材42の上面に回路基板41をロウ材43を介して載置する(工程2)。次に、ロウ材43を加熱して溶融させ、しかる後に冷却して固化させ、回路基板41の下面を放熱部材42の上面にロウ材43で貼り付ける(工程3)。
特開平2−30374号公報
しかしながら、前述の従来の回路モジュールの製造方法であれば、ロウ材43を冷却して固化させたときに、回路基板41と比較して収縮量の大きな放熱部材42によって、一体化した回路基板41および放熱部材42を放熱部材42側が凹むように反らせようとする応力が発生し、回路モジュール40の反りが大きくなるという問題点があった。
また、前述の従来の回路モジュール40においては、例えば、窒化珪素基板を用いたときの回路基板41の熱膨張係数が3ppm/℃であるのに対し、銅製ヒートシンク板を用いたときの放熱部材42の熱膨張係数は17ppm/℃であり、放熱部材42の熱膨張量がはるかに大きいので、回路モジュール40の反りを小さくすることは困難である。また、放熱部材42として用いる熱伝導率が高い材料には、熱膨張係数が大きい金属材料を用いることが多く、回路モジュール40の反りを小さくするような材料の最適化を図ることも困難であった。
回路モジュール40がこのような大きな反りを有している場合は、例えば、この回路モジュール40の下面を、接着剤を用いてさらに別の支持部材に貼り付けるときに、回路モジュール40の下面と支持部材との間に大きな隙間ができてしまうので、良好な接着ができないという問題点がある。
本発明は以上のような従来の電子部品の実装構造における問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、反りを小さくした回路モジュールの製造方法を提供することにある。
本発明の回路モジュールの製造方法は、上面を部品実装面とする回路基板を準備するとともに、該回路基板の下面が貼り付けられる回路基板搭載部および該回路基板搭載部の2倍以上の厚みで前記回路基板搭載部の外周側に沿って設けられた補強部を有する放熱部材を準備する工程1と、前記放熱部材の前記回路基板搭載部の上面に前記回路基板をロウ材を介して載置する工程2と、前記ロウ材を加熱して溶融させ、しかる後に冷却して固化させ、前記回路基板の下面を前記放熱部材の前記回路基板搭載部の上面に前記ロウ材で貼り付ける工程3と、前記放熱部材の前記補強部を前記回路基板搭載部から分離する工程4とを含むものである。
また、本発明の回路モジュールの製造方法は、上記構成における前記工程1において、長方形状の前記回路基板を準備するとともに、前記補強部が長方形状の前記回路基板搭載部の長手側の両方の辺に沿って設けられた前記放熱部材を準備することを特徴とするものである。
また、本発明の回路モジュールの製造方法は、上記構成における前記工程1において、前記補強部が前記回路基板搭載部の外周を囲むように設けられた前記放熱部材を準備することを特徴とするものである。
本発明の回路モジュールの製造方法によれば、回路基板の下面に貼り付ける放熱部材に、回路基板の下面が貼り付けられる回路基板搭載部に加え、回路基板搭載部の2倍以上の厚みで回路基板搭載部の外周側に沿って設けられた補強部を有していることから、ロウ材を冷却して固化させたときに、放熱部材の収縮量が回路基板と比較して大きいことによって一体化した回路基板および放熱部材を放熱部材側が凹むように反らせようとする応力が発生するが、これに対して、回路基板搭載部の外周側に沿った方向については補強部によって回路基板側が凹むように反らせようとする応力が発生し、この2つの応力が互いに相殺するように働くので、一体化した回路基板および放熱部材の反りを小さくすることが可能になり、この補強部を回路基板搭載部から分離することにより、上方から見た面積を回路基板の面積にほぼ等しくして大型化を防ぎつつ反りを小さくした回路モジュールを製造することができる。
また本発明の回路モジュールの製造方法によれば、工程1において、長方形状の回路基板を準備するとともに、補強部が長方形状の回路基板搭載部の長手側の両方の辺に沿って設けられた放熱部材を準備するときには、補強部による回路基板側が凹むように反らせようとする応力が、放熱部材側が凹むような反りが大きくなりやすい長手側の両方の辺に沿った方向の全域に発生するので、回路モジュールの反りを効率的に小さくすることができる。
また本発明の回路モジュールの製造方法によれば、工程1において、補強部が回路基板搭載部の外周を囲むように設けられた放熱部材を準備するときには、補強部による回路基板側が凹むように反らせようとする応力が接合面に平行な無数の方向に発生するので、回路モジュールの反りを全体的に小さくすることができる。
以下に、本発明の回路モジュールの製造方法について添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1は本発明の回路モジュールの製造方法で作製した回路モジュールの実施の形態の一例を示す外観斜視図であり、図2は図1のA−A’線断面図である。これらの図に示す回路モジュール10は、基本的な構成として、上面を部品実装面とする回路基板1が、放熱部材2の上面にロウ材3で貼り付けられた構成となっている。
回路基板1は、例えば、複数の絶縁体層を積層して成り、絶縁体層間に配線導体(図示せず)が形成された長方形状の多層回路基板である。回路基板1を多層回路基板としたとき、絶縁体層の材料としては、窒化珪素,アルミナ,ムライト,ガラスセラミックス等のセラミックス材料が用いられる。配線導体の材料としては、絶縁体層の材料がアルミナである場合にはタングステンもしくはモリブデン等の融点の高い金属材料を主成分とする導体材料が用いられ、絶縁体層の材料がガラスセラミックスである場合には銀もしくは銅等の融点の低い金属材料を主成分とする導体材料が用いられる。
この回路基板1には複数の電子部品4,5が搭載され、回路基板1の配線導体と所定の機能を有する電気回路を構成する。
電子部品4は、例えば、シリコン半導体基板の表面に増幅回路等の半導体回路配線が形成されている電子部品素子が封止用基板上に搭載され、保護樹脂に覆われた構成の部品であり、増幅回路が動作することにより比較的大きな熱を発生するものである。この電子部品4で発生した熱は、一時的には回路基板1に伝わることになる。電子部品5は、例えば、チタン酸バリウムを主成分とする複数の誘電体層を積層してなるチップコンデンサ等のチップ電子部品である。
放熱部材2は、例えば、回路基板1の主面の形状に合わせて切り出されたヒートシンク板である。材料としては、銅,アルミニウム等の熱伝導率が高く軽量な金属が用いられる。
回路基板1を放熱部材2の上面に貼り付けるロウ材3は、材料としては、例えばハンダが用いられ、回路基板1と放熱部材2とを高い接合力で接合する役目に加え、電子部品4から回路基板1に伝えられた熱を放熱部材2に伝える役目を有している。
本発明の回路モジュール10は、回路基板1の材料として窒化珪素を用いたときには、その熱伝導率は70W/m・Kと高くすることができ、放熱部材2の材料として銅を用いたときには、その熱伝導率は回路基板1よりも高い393W/m・Kとすることができる。回路基板1よりも放熱部材2の方が熱伝導率が高いので、回路基板1の温度上昇を効率よく抑えることができる。
このように、本発明の回路モジュール10は、電子部品4で発生した熱が、回路基板1を経由して放熱部材2に伝わるような構成となっており、電子部品4の温度上昇を少なくして電子部品4にかかる負荷を少なくすることができるので、高い信頼性が求められている車載装置などに好適に用いられる。
本発明の回路モジュール10は、以下に示す製造方法によって作製される。図3(a),(b)および(c)は本発明の回路モジュールの製造方法を説明するための工程毎の斜視図である。
(工程1)
先ず、図3(a)に示すような回路基板1と放熱部材2とを準備する。
回路基板1は、上面を部品実装面としており、下面を放熱部材2に貼り付ける面としている。回路基板1の上面には電子部品4,5を搭載するための導体パターン(図示せず)を形成しており、下面にはハンダと接合するための導体パターン(図示せず)を形成している。
本発明の回路モジュール10の製造方法に用いる回路基板1は、例えば、長方形状の窒化珪素基板である。回路基板1として用いる窒化珪素基板は、窒化珪素のセラミックグリーンシートを作製しておいて、所定の寸法に切断して焼成することにより作製することができる。上面および下面の導体パターンは、銅箔をそれぞれの面に貼り付けておいて、余分な領域をエッチングによって除去することにより所定のパターンに形成することができる。
本発明の回路モジュール10の製造方法において、放熱部材2は、回路基板搭載部2aおよび補強部2bを有したものである。回路基板搭載部2aは、上面に、回路基板1の下面が貼り付けられる板状の部分であり、回路基板1の外周よりも若干大きくなるように形成する。補強部2bは、回路基板搭載部2aの2倍以上の厚みで回路基板搭載部2aの外周側に沿って設ける。このような本例の回路モジュール10の製造方法に用いる放熱部材2は、軽量で熱伝導率の高い銅部材であり、鋳物として作製する。
なお、放熱部材2の放熱性を高めるなどの理由により、回路基板搭載部2aの下側に凹凸を大きく設ける場合には、凹みの部分を、本例の回路モジュール10の製造方法における回路基板搭載部2aの厚みとする。
また、補強部2bは、具体的には、回路基板搭載部2aの上面から補強部2bの上部までの高さが、回路基板搭載部2aの厚み以上となるように設定することにより、回路基板搭載部2aの2倍以上の厚みにする。
(工程2)
次に、図3(b)に示すように、回路基板1を、放熱部材2の回路基板搭載部2aの上面にロウ材3を介して載置する。本例の回路モジュール10の製造方法においては、ロウ材3として、ハンダを用いることとし、ハンダを粉末状にしたものを溶剤およびフラックスと混合してハンダペーストにしておき、このハンダペーストをスクリーン印刷することにより回路基板搭載部2aの上面のほぼ全面に同じ厚みで塗布する。また、本例の回路モジュール10の製造方法においては、この工程2の前後のどちらでも構わないが、前述のロウ材3のハンダと同じハンダを介して回路基板1の上面に電子部品4,5を載置しておく。
電子部品4としては、増幅回路等の半導体回路配線が形成されている電子部品素子を封止用基板上に搭載し、さらに、電子部品素子を覆うように保護樹脂を形成することにより作製した、動作時に発熱する半導体部品を用いる。電子部品5としては、チタン酸バリウムを主成分とするセラミック粉末をスラリー状にしてから、セラミックグリーンシートを形成し、この複数のセラミックグリーンシートを積層して焼成することにより作製したチップコンデンサを用いる。
(工程3)
次に、ロウ材3を加熱して溶融させ、しかる後に冷却して固化させることにより、回路基板1の下面を放熱部材2の回路基板搭載部2aの上面にロウ材3で貼り付ける。
本発明の回路モジュール10の製造方法によれば、回路基板1を貼り付ける放熱部材2に、回路基板1の下面が貼り付けられる回路基板搭載部2aに加え、回路基板搭載部2aの2倍以上の厚みで回路基板搭載部2aの外周側に沿って設けられた補強部2bを有していることから、ロウ材3を冷却して固化させたときに、放熱部材2の収縮量が回路基板1と比較して大きいことによって一体化した回路基板1および放熱部材2を放熱部材2側が凹むように反らせようとする応力が発生するが、これに対して、回路基板搭載部2aの外周側に沿った方向については補強部2bによって回路基板1側が凹むように反らせようとする応力が発生し、この2つの応力が互いに相殺するように働くので、一体化した回路基板1および放熱部材2の反りを小さくすることが可能になる。
補強部2bの回路基板搭載部2aの外周側に沿った方向に垂直な長さは、回路基板搭載部2aの厚み以上にしておくことが好ましい。
本発明の回路モジュール10の製造方法によれば、図3(a)に示すように、工程1において、長方形状の回路基板1を準備するとともに、補強部2bが長方形状の回路基板搭載部2aの長手側の両方の辺に沿って設けられた放熱部材2を準備するときには、補強部2bによる回路基板1側が凹むように反らせようとする応力が放熱部材2側が凹むような反りが大きくなりやすい長手側の両方の辺に沿った方向の全域に発生するので、回路モジュール10の反りを効率的に小さくすることができる。
また、回路基板搭載部2aは、回路モジュール10としてはこの部分に回路基板1の熱が伝わることになるのでその厚みは厚いほど放熱の効果が得られるというものであるが、一方では、回路基板搭載部2aを厚くした分だけ補強部2bについても厚みを厚くする必要が出てくる。このようなことから、本発明の回路モジュール10の製造方法において、回路基板搭載部2aの厚みは、回路基板1の厚みの2〜5倍であることが好ましい。
(工程4)
そして、図3(c)に示すように、放熱部材2の補強部2bを、グラインダーやダイシングソー等を用いて、回路基板1の外側であって回路基板1に近い位置で放熱部材2を切断し、回路基板搭載部2aから分離することにより、上方から見た面積を回路基板1の面積にほぼ等しくして大型化を防ぎつつ反りを小さくした回路モジュール10を作製することができる。
なお、回路モジュール10としては、放熱部材2に切断面が残るようになる。工程4において、ワイヤーソー等を用いることにより、切断面の凹凸が大きくなるように切断した場合には、放熱部材2の放熱効果を高くすることができる。
かくして、本発明の回路モジュールの製造方法を用いて作製した回路モジュール10は、反りを小さくすることができることから、より放熱性を高めるため、別に準備した支持部材に接着剤を用いて貼り付けてさらに信頼性を高くすることが可能であり、車載装置などに特に好適に用いられる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更や改良等が可能である。
例えば、前述の本発明の回路モジュールの製造方法においては、回路基板1としてセラミック基板を用いているが、これ以外に、例えば樹脂基板を用いても構わない。回路基板1として樹脂基板を用いたときには、放熱部材2を切断する際に回路基板1を同時に切断することも容易であり、このような方法を用いたときには、放熱部材2の側面が回路基板1の側面と同一面となって放熱部材2に余分な部分が残らなくなるので、回路基板1と同じ面積の小型の回路モジュール10とすることができる。
また前述の本発明の回路モジュールの製造方法によれば、工程1において、放熱部材2は、補強部2bを回路基板搭載部2aの2倍以上の厚みで回路基板搭載部2aの外周側に沿って設けたものとしているが、このような形状に限定するものではない。図4は、本発明の回路モジュールの製造方法における放熱部材2の他の例を示す外観斜視図である。図4に示すように、工程1において、補強部2bが回路基板搭載部2aの外周を囲むように設けられた放熱部材2を準備するときには、補強部2bによる回路基板1側が凹むように反らせようとする応力が接合面に平行な無数の方向に発生するので、回路モジュール10の反りを全体的に小さくすることができる。
以下のようにして、本発明の回路モジュール10のサンプルを作製して反りの量を評価した。
回路基板1は、外形寸法が縦100mm×横80mm×厚み1mmの長方形状の窒化珪素基板とした。回路基板1の上面および下面の導体パターンには銅を用いた。放熱部材2は、材料として銅を用いて、上方から見た外形寸法を縦100mm×横105mmに形成し、回路基板搭載部2aの厚みを3mmとした。
また放熱部材2については、長方形状の回路基板搭載部2aの長手側の両方の辺に沿って、回路基板搭載部2aの厚みに対してそれぞれ1倍,1.5倍,2倍,3倍となる厚みの補強部2bを設けた4種類の放熱部材2を準備した。具体的には、これら4種類の放熱部材2は、回路基板搭載部2aの上面から補強部2bの上部までの高さが、それぞれ0mm,1mm,2mm,3mmとなるように設定したものである。
次に、放熱部材2の回路基板搭載部2aの上面に、ロウ材3として錫96%−銀3%−銅0.5%のハンダペーストをスクリーン印刷により均一に塗布し、このハンダペーストを介して回路基板1を載置した。しかる後に、この回路基板1の上面にも所定のパターンにハンダペーストを塗布して、発熱する電子部品4としての半導体部品、およびその他の電子部品5としてのチップコンデンサを載置した。
次に、これらを、ピーク温度を210〜230℃に設定したリフロー炉に入れ、ロウ材3を加熱して溶融させ、しかる後に冷却して固化させることにより、回路基板1の下面を放熱部材2の回路基板搭載部2aの上面にロウ材3で貼り付けた。
そして、放熱部材2の補強部2bを、ダイシングソーを用いて回路基板1の外側であって回路基板1に近い位置で切断して回路基板搭載部2aから分離することにより、回路モジュール10のサンプルを作製した。
作製した4種類の回路モジュール10のサンプルについて反りの量を測定した。放熱部材2の補強部2bの厚みを回路基板搭載部2aの厚みに対して同じにしたサンプル、および1.5倍にしたサンプルは、反りの量がそれぞれ0.8mmおよび0.3mmであり、回路モジュール10の反りを十分に小さくすることはできなかった。一方、放熱部材2の補強部2bの厚みを回路基板搭載部2aの厚みに対して2倍にしたサンプル、および3倍にしたサンプルは、反りの量がそれぞれ0.09mmおよび0.08mmであり、回路モジュール10の反りを十分に小さくすることができた。
すなわち、本発明の回路モジュールの製造方法によれば、回路基板1を貼り付ける放熱部材2に、回路基板1の下面が貼り付けられる回路基板搭載部2aに加え、回路基板搭載部2aの2倍以上の厚みで回路基板搭載部2aの外周側に沿って設けられた補強部2bを有しているものを用いることから、ロウ材3を冷却して固化させたときに、一体化した回路基板1および放熱部材2を放熱部材2側が凹むように反らせようとする応力に対して、回路基板搭載部2aの外周側に沿った方向に補強部2bによって回路基板1側が凹むように反らせようとする応力が発生し、この2つの応力が互いに相殺するように働くので、回路モジュール10の反りを小さくできることが確認できた。
本発明の回路モジュールの製造方法で作製した回路モジュールの実施の形態の一例を示す外観斜視図である。 図1のA−A’線断面図である。 (a)〜(c)は、それぞれ本発明の回路モジュールの製造方法を説明するための工程毎の斜視図である。 本発明の回路モジュールの製造方法における放熱部材の他の例を示す外観斜視図である。 従来の回路モジュールの例を示す断面図である。
符号の説明
1・・・回路基板
2・・・放熱部材
2a・・・回路基板搭載部
2b・・・補強部
3・・・ロウ材
4,5・・・電子部品
10・・・回路モジュール

Claims (3)

  1. 上面を部品実装面とする回路基板を準備するとともに、該回路基板の下面が貼り付けられる回路基板搭載部および該回路基板搭載部の2倍以上の厚みで前記回路基板搭載部の外周側に沿って設けられた補強部を有する放熱部材を準備する工程1と、
    前記放熱部材の前記回路基板搭載部の上面に前記回路基板をロウ材を介して載置する工程2と、
    前記ロウ材を加熱して溶融させ、しかる後に冷却して固化させ、前記回路基板の下面を前記放熱部材の前記回路基板搭載部の上面に前記ロウ材で貼り付ける工程3と、
    前記放熱部材の前記補強部を前記回路基板搭載部から分離する工程4と
    を含む回路モジュールの製造方法。
  2. 前記工程1において、長方形状の前記回路基板を準備するとともに、前記補強部が長方形状の前記回路基板搭載部の長手側の両方の辺に沿って設けられた前記放熱部材を準備することを特徴とする請求項1に記載の回路モジュールの製造方法。
  3. 前記工程1において、前記補強部が前記回路基板搭載部の外周を囲むように設けられた前記放熱部材を準備することを特徴とする請求項1に記載の回路モジュールの製造方法。
JP2007082449A 2007-03-27 2007-03-27 回路モジュールの製造方法 Pending JP2008244137A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007082449A JP2008244137A (ja) 2007-03-27 2007-03-27 回路モジュールの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007082449A JP2008244137A (ja) 2007-03-27 2007-03-27 回路モジュールの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008244137A true JP2008244137A (ja) 2008-10-09

Family

ID=39915112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007082449A Pending JP2008244137A (ja) 2007-03-27 2007-03-27 回路モジュールの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008244137A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020013908A (ja) * 2018-07-18 2020-01-23 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 電子部品の実装構造
WO2023218999A1 (ja) * 2022-05-13 2023-11-16 株式会社デンソー 放熱部付き電子部品およびその製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020013908A (ja) * 2018-07-18 2020-01-23 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 電子部品の実装構造
CN110740572A (zh) * 2018-07-18 2020-01-31 住友电工光电子器件创新株式会社 电子模块
US11589455B2 (en) 2018-07-18 2023-02-21 Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. Electronic module
WO2023218999A1 (ja) * 2022-05-13 2023-11-16 株式会社デンソー 放熱部付き電子部品およびその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101720921B1 (ko) 파워 모듈용 기판 유닛 및 파워 모듈
EP3306655B1 (en) Substrate for power modules, substrate assembly for power modules, and method for producing substrate for power modules
US9153519B2 (en) Semiconductor device for preventing a progression of a crack in a solder layer and method of manufacturing the same
JP5125241B2 (ja) パワーモジュール用基板の製造方法
JP5957862B2 (ja) パワーモジュール用基板
JP2006303400A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置ならびに電子装置の実装構造
JP2009043851A (ja) 半導体パッケージ
JP2010010561A (ja) パワーモジュール用基板及びその製造方法
KR102496716B1 (ko) 세라믹 기판 제조 방법
JP2006318980A (ja) 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP6702800B2 (ja) 回路基板集合体、電子装置集合体、回路基板集合体の製造方法および電子装置の製造方法
JP2008244137A (ja) 回路モジュールの製造方法
JP6183166B2 (ja) ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びその製造方法
JP4498966B2 (ja) 金属−セラミックス接合基板
JP6124521B2 (ja) パワーモジュール用基板の製造方法
JP4667154B2 (ja) 配線基板、電気素子装置並びに複合基板
JP2000269392A (ja) 半導体モジュール及び放熱用絶縁板
JP2004327711A (ja) 半導体モジュール
JP5061740B2 (ja) パワーモジュール用基板
WO2020090882A1 (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP6760788B2 (ja) 半導体パッケージ、および半導体装置
JP2006310806A (ja) 放熱部材、電子部品搭載用基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP4459031B2 (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP6127852B2 (ja) ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びその製造方法
JP2012009787A (ja) パワーモジュール用基板及びその製造方法