JP2008243687A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクを用いたフォトリソグラフィ法で、二層構造の電極パターンを形成するに際し、電極パターンを形成する電極材料のペースト膜の部分の表面の一部を、遮光しながら、光を照射して露光することで、現像後の電極表面に凹部を形成し、当該凹部によって、電極巾方向中央部の熱収縮と、端部の熱収縮を、分離して抑制する。
【選択図】図6
Description
電極を形成する部分に、前記電極を形成する部分の表面の一部を遮光して光を照射することにより露光し、現像して電極を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記電極を形成する部分の表面の一部を遮光する遮光部材は、電極の巾方向と平行な方向の寸法(以下、「巾」と呼ぶことがある)Tが2μm≦T≦10μmであり、
露光後に形成される電極の巾方向端部と前記遮光部材の巾方向の端部との間隔Lが1μm≦L≦10μmである
PDPの製造方法を提供する。
放電空間を挟む、1対の前面板および背面板を有し、
前面板の基板の内面上に互いに平行な、走査電極と維持電極とから成る複数の表示電極を有し、
背面板の基板の内面上に、前記表示電極と交差する方向に配置された複数のアドレス電極と、前記放電空間を単位発光領域ごとに区画する隔壁と、放電により発光する蛍光体とを有する
プラズマディスプレイパネルであって、
前記表示電極は、透明電極、および当該透明電極上に形成したバス電極で構成されており、当該バス電極が、下側に位置する黒層と上側に位置する白層の二層を有し、
当該バス電極の巾方向端部の突き出しの高さ(両端部の高さが異なるときは、高い方の端部の高さ)Teと、当該バス電極の白層の巾を三等分して三つの領域に分けたときの、真ん中の領域におけるバス電極の平均高さTcとの差を突き出し量Ecとしたときに、Ecが2.0μm未満である、
プラズマディスプレイパネルである。
まず、本発明の実施の形態のPDPの製造方法により製造されるPDPの構造を図1および図2を用いて説明する。図1は本発明の製造方法により製造されるPDPの構造を示す斜視図であり、図2は本発明の製造方法により製造されるPDPの前面板の構造を示す断面図である。なお、図1および図2はともに、PDPの一部を示していることに留意されたい。
まず、前面ガラス基板13上に、走査電極14および維持電極15を構成する透明電極14a、15aが形成される。透明電極14a、15aは、フォトリソグラフィ法等を用いて、所定のパターンを有するように形成される。次いで、ブラックストライプ17を、所定のパターンを有するように、フォトリソグラフィ法を用いて形成する。ブラックストライプの材料は、黒色顔料を含むペーストである。
図7(a)は、前面ガラス基板13の表面に形成された透明電極14a(もしくは15a)上に、それぞれ白層14c(もしくは15d)および黒層14d(もしくは15d)となる、電極材料ペーストを塗布し、100℃で乾燥させた状態の電極ペーストの膜を示す。電極ペーストはいずれも、感光性ペーストである。白層14c(もしくは15d)を構成する電極ペーストは、焼成後に、3〜50μmの厚さを有するように形成することが好ましく、黒層14d(もしくは15d)を構成する電極ペーストは、焼成後に、0.5から5μmの厚さを有するように形成することが好ましい。
電極材料ペーストを塗布する方法としては、ロールコート法、ダイコート、スピンコート、およびブレードコートなどを用いることができる。
1)バス電極14b、15bの形状を、図7(c)に示すようなものとし、焼成後の高さHを10μmとし、黒層の厚さを2μmとした。
導電性粒子:100質量部、
ガラスフリット:導電性微粒子100質量部に対して5質量部
感光性樹脂および有機バインダを含む樹脂成分:ペースト全体の質量を100質量部としたときに、これに対して15質量部
重合開始剤:樹脂成分の質量を100質量部としたときに、これに対して2質量部
モノマー:樹脂成分の質量を100質量部としたときに、これに対して35質量部 溶剤:ペースト全体の質量を100質量部としたときに、これに対して10質量部
組成は以下のとおりとした。
黒色無機微粒子:100質量部、
ガラスフリット:黒色無機微粒子100質量部に対して50質量部
感光性樹脂および有機バインダを含む樹脂成分:ペースト全体の質量を100質量部としたときに、これに対して30質量部
重合開始剤:樹脂成分の質量を100質量部としたときに、これに対して2質量部
モノマー:樹脂成分の質量を100質量部としたときに、これに対して35質量部 溶剤:ペースト全体の質量を100質量部としたときに、これに対して10質量部
5)感光性樹脂として、エチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂(不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体にエチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボキシル基含有感光性樹脂)を使用した。
6)有機バインダとして、ポリビニルアルコールを使用した。
7)重合開始剤として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オンを使用した。
8)モノマーとして、ペンタエリスリトールトリアクリレートを使用した。
9)有機溶剤として、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルを使用した。
10)遮光部材32は、図8に示されるような、電極長手方向と平行な方向に連続して延びている部材とした。図8において、符号31で示される要素は、露光マスクである。
11)露光光源として、メタルハライドランプを使用し、露光量は、200mJ/cm2とした。
実施例1では、図7(c)に示す電極の巾Wを120μmとした。遮光部材の電極パターン巾方向端部からの距離Lと遮光部材の電極巾方向の巾Tを、Lについては0.5μm〜18μm、Tについて1μm〜14μmの範囲で変化させて露光し、現像した後、600℃で焼成し、バス電極14b、15bを形成した。サンプルは、TおよびLの1つの組み合わせごとに、100枚ずつ作成した。
ガラスフリット:60質量部
エチルセルロース:10質量部
有機溶剤:30質量部
図7(c)に示す電極の巾Wを40μmとして、実施例1と同様にして作製した。
電極パターンを構成する電極材料ペーストの表面を部分的に遮光することなく光を照射して露光し、実施例1、2と同様にして作製した。
5 現像時に黒層が削られている領域
6 相殺される白層−黒層間の力
7 ガラス基板向きの合力
8 白層内部に向かって収縮する力
9 白層表面部を白層巾方向中央部へ引っ張る力
12 前面板
13 前面ガラス基板
14 走査電極
14a、15a 透明電極
14b、15b バス電極
14c、15c 白層
14d、15d 黒層
15 維持電極
16 表示電極
17 ブラックストライプ(遮光層)
18 誘電体層
19 保護層
20 背面板
21 背面ガラス基板
22 アドレス電極
23 下地誘電体層
24 隔壁
25 蛍光体層
26 放電空間
31 露光マスク
32 遮光部材
33 凹部が埋められた部分
100 プラズマディスプレイパネル
Claims (7)
- ガラス基板上に、下層の電極となる第一の材料を塗布して第一の層を形成し、前記第一の層の表面に上層の電極となる第二の材料を塗布して第二の層を形成し、
電極を形成する部分に、前記電極を形成する部分の表面の一部を遮光して光を照射することにより露光し、現像して電極を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記電極を形成する部分の表面の一部を遮光する遮光部材は、電極の巾方向と平行な方向の寸法Tが2μm≦T≦10μmであり、
露光後に形成される電極の巾方向端部と前記遮光部材の巾方向の端部との間隔Lが1μm≦L≦10μmである
プラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 前記遮光部材は、電極長手方向と平行な方向に延びるものである、請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記電極は、下側に位置する黒層と上側に位置する白層の二層を有する、前面板を構成する表示電極に含まれるバス電極である、請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 電極の一方の層を、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、金(Au)、白金(Pt)、クロム(Cr)、銅(Cu)、およびパラジウム(Pd)から選ばれる金属またはこれらの合金から成る粒子を、導電性微粒子として少なくとも1種含む、電極材料で形成する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 電極の一方の層を、四三酸化コバルト(Co3O4)微粒子を、黒色成分として含む電極材料で形成する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 電極の一方の層を、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、およびルテニウム(Ru)から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物を、黒色成分として含む電極材料で形成する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 放電空間を挟む、1対の前面板および背面板を有し、
前面板の基板の内面上に互いに平行な、走査電極と維持電極とから成る複数の表示電極を有し、
背面板の基板の内面上に、前記表示電極と交差する方向に配置された複数のアドレス電極と、前記放電空間を単位発光領域ごとに区画する隔壁と、放電により発光する蛍光体とを有する
プラズマディスプレイパネルであって、
前記表示電極は、透明電極、および前記透明電極上に形成したバス電極で構成されており、前記バス電極が、下側に位置する黒層と上側に位置する白層の二層を有し、
前記バス電極の巾方向端部の突き出しの高さ(両端部の高さが異なるときは、高い方の端部の高さ)Teと、前記バス電極の白層の巾を三等分して三つの領域に分けたときの、真ん中の領域におけるバス電極の平均高さTcとの差を突き出し量Ecとしたときに、Ecが2.0μm未満である、
プラズマディスプレイパネル。
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