JP2008243543A - 有機el装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1電極111と第2電極との間に有機機能層を有した有機EL素子を、複数備えてなる有機EL装置の製造方法である。溶質あるいは分散質と、溶質あるいは分散質を溶解あるいは分散させる溶剤とを含有するインク材料を用いて、異なる有機EL素子の形成領域に、互いに異なる機能材料からなる有機機能層を形成する際に、有機機能層を形成するためのインク材料として、溶剤中の少なくとも沸点が最も高い溶剤が共通である複数種のインク材料を用い、これらインク材料をそれぞれ有機EL素子の形成領域に配し、その後、インク材料を一括乾燥処理することにより、互いに異なる機能材料からなる有機機能層を形成する。
【選択図】図7
Description
・基板の大面積化が容易
・高解像度化が可能
・マスク無しで直接描画可能
・材料のロスが少なく廃棄物の回収も容易
・少ない設備投資とわずかな設置設置スペースで生産が可能
また、このように液滴吐出法で有機機能膜を形成する場合、インク材料吐出後の乾燥処理については、生産性を高めるため、一括して乾燥処理することが求められている。
液滴吐出法は微小な液滴を安定に吐出し、基板上にパターニングすることから、特に形成する膜の厚さを均一化するためには、吐出したインク材料の乾燥制御が重要となる。具体的には、乾燥を遅延させるため、例えば沸点が200℃以上の高沸点溶媒を使用することが必要となる。
J∝C・(V3/d2) (ただし、Cは定数)
すなわち、電流密度(J)は、電圧(V)の三乗に比例し、膜厚(d)の二乗に反比例する。そのため、有機機能膜のわずかな膜厚ムラは、膜中を流れる電流量のムラを生じさせ、輝度ムラに繋がる。そして、この輝度ムラは、寿命のムラなど、発光特性のバラツキへと繋がる。
すると、特にこれらRGBの各インク材料を配した後、一括して乾燥処理を施すと、RGBの各機能膜毎に膜厚ムラが生じてしまい、その結果、前記したように発光特性のバラツキを生じてしまう。
有機発光層の膜厚ムラは特に発光特性に与える影響が大きいことから、この有機発光層の膜厚ムラを低減することにより、発光特性が向上する。
このようにすれば、各インク材料毎の、一括乾燥時の乾燥過程がほぼ同じになり、したがって他の領域の溶剤蒸気の影響を受けることがほとんどなく、これにより膜内においてその乾燥過程がより均一になり、膜厚ムラがより小さくなる。
このようにすれば、一括乾燥時、各インク材料毎に最後に残る溶剤(沸点が最も高い溶剤)が急速に蒸発除去されることがなく、したがって、急速な蒸発除去に起因する膜厚ムラが防止される。
このようにすれば、より良好な有機機能膜が形成される。
インク材料を液滴吐出法によって形成領域に選択的に配することにより、材料のロスを最小限に抑えることができるなど、種々の利点が得られる。
まず、本発明の有機EL装置の製造方法の説明に先立ち、この方法で製造される有機EL装置の概略構成について説明する。なお、本実施形態では、参照する各図面における各層や各部材については、図面上で認識可能な程度の大きさとするため、それぞれ縮尺を異ならせて記載している。
図1は、本発明の製造方法により製造された有機EL装置の、配線構造を示す等価回路図、図2は、該有機EL装置を模式的に示す平面図、図3は、該有機EL装置の表示領域を模式的に示す要部側断面図である。
画素領域Pの各々には、走査線101を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ122と、このスイッチング用の薄膜トランジスタ122を介して信号線102から供給される画素信号を保持する保持容量capと、該保持容量capによって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用の薄膜トランジスタ123と、この駆動用薄膜トランジスタ123を介して電源線103に電気的に接続したときに該電源線103から駆動電流が流れ込む画素電極(陽極;第1電極)111と、この画素電極111と対向電極(陰極;第2電極)12との間に位置する有機機能層110とが設けられている。そして、画素電極111および対向電極12と、これらの間に挟持された有機機能層110とにより、有機EL素子が構成されている。
基板2は、図2に示すようにその中央に位置する表示領域2aと、周縁に位置して表示領域2aを囲む非表示領域2cとに区画されている。なお、表示領域2aは、マトリックス状に配置された有機EL素子によって形成された領域であり。
正孔注入層110aは、有機発光層110bに正孔を注入する機能を有するとともに、正孔注入層110a内部において正孔を輸送する機能を有している。また、有機発光層110bでは、正孔注入層110aから注入された正孔と、陰極12から注入される電子とが再結合し、発光するようになっている。したがって、正孔注入層110aを画素電極111と有機発光層110bとの間に設けることにより、有機発光層110bに正孔がより良好に注入されるようになり、有機発光層110bの発光特性が向上する。
また、これらの高分子系材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもでき、これらドープ材料を適宜に選択することで、所望の色の発光を得ることができる。
また、発光層110bと陰極12との間にLiF等の電子注入・輸送層を設け、発光効率をより高めるようにしてもよい。
次に、前記有機EL装置を製造方法に基づいて、本発明の有機EL装置を製造方法の一実施形態を説明する。
本実施形態の製造方法は、(1)隔壁部形成工程、(2)隔壁部表面処理工程(撥液化工程)、(3)正孔注入層形成工程、(4)有機発光層形成工程、(5)陰極形成工程及び(6)封止工程等を有する。
まず、従来と同様にして画素電極111までを形成した基板2を用意し、この基板2の所定位置、すなわち画素電極11を区画する位置に、図4に示すように隔壁部112を形成する。ここで、この隔壁部112によって区画された領域が、本発明における有機EL素子の形成領域となる。なお、この隔壁部112の形成については、従来と同様に無機隔壁112aを形成し、続いて有機隔壁112bを形成することで行う。
次に、形成した隔壁部112及び画素電極111を表面処理する。具体的には、酸素ガスを用いたO2プラズマ処理によって画素電極111表面を親液化し、その後、テトラフルオロメタンを用いたCF4プラズマ処理によって隔壁部112表面を撥液化する。
次に、前記隔壁部112内の前記画素電極111上に、正孔注入層110aを形成する。
この正孔注入層形成工程では、正孔注入層形成材料として前記PEDOT/PSSを水とN−メチルピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンで分散させたインク材料を用い、これをインクジェット法(液滴吐出法)で前記隔壁部112内に選択的に吐出し、その後乾燥することで正孔注入層110aを形成する。
次に、前記隔壁部112内の前記正孔注入層110a上に、有機発光層110bを形成する。この有機発光層形成工程では、前記のインク材料として、ポリフルオレン系の発光材料を溶媒に溶解したものを用いる。具体的には、RGBの各発光材料を、それぞれキシレン(沸点140℃)とシクロヘキシルベンゼン(沸点237.5℃)とが重量比で20:80となるように配合した混合溶媒に溶解したものを用いる。すなわち、各インク材料は、発光材料のみ異なり、これを溶解する溶媒については、その種類および配合比が全て共通(同一)に形成されている。
次いで、各領域のインク材料を一括乾燥処理する。具体的には、各インク材料を一括真空乾燥処理し、続いて、大気圧下での窒素雰囲気(不活性雰囲気)にて90℃で30分程度の一括加熱による乾燥処理を行う。これにより、図8に示すように各インク材料から溶媒が蒸発除去され、各発光材料からなる有機発光層110bが得られる。そして、これによって正孔注入層110aと有機発光層110bとからなる有機機能層110が得られる。
すなわち、各インク材料毎に例えば最後に残る溶剤(沸点が最も高い溶剤)が異なるなど、溶剤の構成が異なっていると、各領域のインク材料は、他の領域の異なる溶剤蒸気の影響を受け、膜内においてその乾燥過程が不均一になり、結果として膜厚ムラが大きくなってしまう。これに対し、本実施形態では、前記したように各インク材料の溶剤が全て同じであることから、乾燥初期はもちろん、膜厚に最も影響がある乾燥後期においても、他の領域の溶剤蒸気の影響を受けることがなく、したがって膜内においてその乾燥過程が均一になり、膜厚ムラが低減されて膜厚ムラが小さくなる。
次に、前記有機発光層110bおよび隔壁部112の全面を覆って電子注入層として機能するLiF層を厚さ2nm程度に形成し、さらにその上にCa層を厚さ20nm程度、Al層を厚さ200nm程度に順次積層し、これによって図9に示すように陰極12を形成する。
その後、エポキシ樹脂系の接着剤、よびガラス基板を用いて封止を行い、有機EL装置を得る。
前記実施形態で用いたRGBの各インク材料を用い、前記実施形態による成膜と同じ条件でRGBの各有機発光層110bを形成し、実施例1とした。なお、形成する有機発光層110bについては、隔壁部112で区画されてなる領域(有機EL素子の形成領域)の中心において、膜厚が80nmとなるようにして形成した。このようにして形成したRGBの各有機発光層110bについて、それぞれ前記の領域内にて7箇所で膜厚を測定し、領域(画素)内での成膜性(膜の平坦性)、すなわち膜厚ムラを調べた。なお、膜厚ムラ(膜の平坦性)については、標準偏差の3倍(3σ)を算出することで評価した。得られた結果を下記の表に示す。
なお、下記表において、溶剤(溶媒)の配合比については、全て重量%とする。
また、溶剤の種類を共通にし、配合比については異ならせた実施例2にあっては、実施例1よりは(3σ)が大きくなっているものの、比較例1に比べると、RGBのいずれも(3σ)が格段に小さくなっており、したがって膜厚ムラが十分に低減していることが確認された。
さらに、沸点が最も高い溶剤を共通にした実施例3にあっては、実施例1、2よりは(3σ)が大きくなっているものの、やはり比較例1に比べると、RGBのいずれも(3σ)が格段に小さくなっており、したがって膜厚ムラが十分に低減していることが確認された。
隔壁部112内の画素電極111上(正孔注入層についてはその記載を省略する)にインク材料Aを配した後、これを乾燥すると、隔壁部112の近傍部(領域周辺部)と領域中心部とでは乾燥の挙動が異なるため、得られる膜Bは、M字形状(U字形状)になりやすい。乾燥過程は、発光材料の濃度、蒸発速度で異なり複雑である。特に、隔壁部112への液滴の付着の仕方でその形状は大きく変化する。
なお、領域の中心部において膜Bが凹む現象は、液滴(インク材料A)の表面がその厚み方向に比べて格段に大きいため、その自重で凹むものと考えられる。
また、領域の周辺部が盛り上がる現象は、コーヒーステイン現象で見られるように、液滴(インク材料A)の表面と周辺部での溶質濃度が高くなって溶媒の蒸発が進行するためであると考えられる。
例えば、前記実施形態では、有機機能層のうち、有機発光層の形成の際に用いるインク材料について、本発明を適用したが、例えば正孔注入層について、その機能材料をRGB毎に変えて形成する場合などにも、本発明を適用することができる。さらに、有機機能層の一つとして電子注入・輸送層を設ける場合にも、やはり本発明を適用することができる。
図11は、本発明の方法により製造された有機EL装置を用いた電子機器の一例を示す図である。本例の電子機器は、前述した方法によって製造された図3に示す有機EL装置を表示手段として備えている。ここでは、携帯電話の一例を斜視図で示しており、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は前記の有機EL装置を用いた表示部を示している。このように有機EL装置を表示手段として備える電子機器では、良好な表示特性を得ることができる。
Claims (7)
- 第1電極と第2電極との間に有機機能層を有した有機EL素子を、複数備えてなる有機EL装置の製造方法であって、
溶質あるいは分散質と、該溶質あるいは分散質を溶解あるいは分散させる溶剤とを含有するインク材料を用いて、異なる有機EL素子の形成領域に、互いに異なる機能材料からなる有機機能層を形成する際に、該有機機能層を形成するための前記インク材料として、前記溶剤中の少なくとも沸点が最も高い溶剤が共通である複数種のインク材料を用い、これらインク材料をそれぞれ有機EL素子の形成領域に配し、
その後、前記インク材料を一括乾燥処理することにより、前記の互いに異なる機能材料からなる有機機能層を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記有機機能層が有機発光層であることを特徴とする請求項1記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記の互いに異なる機能材料からなる有機機能層を形成する際の、該有機機能層を形成するための複数種のインク材料は、その溶剤の種類が全て共通であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記の互いに異なる機能材料からなる有機機能層を形成する際の、該有機機能層を形成するための複数種のインク材料は、その溶剤の配合比が全て共通であることを特徴とする請求項3記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記の一括乾燥処理は大気圧下での加熱処理工程を有し、該加熱処理工程では、前記インク材料の溶剤中の沸点が最も高い溶剤の沸点より低い温度で行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記の一括乾燥処理は大気圧下での加熱処理工程を有し、該加熱処理工程では、不活性ガス雰囲気下にて加熱処理を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記複数種のインク材料をそれぞれ有機EL素子の形成領域に配する際、液滴吐出法によって該形成領域に選択的に配することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008243543A true JP2008243543A (ja) | 2008-10-09 |
JP4957318B2 JP4957318B2 (ja) | 2012-06-20 |
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Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110168764A (zh) * | 2017-01-30 | 2019-08-23 | 默克专利有限公司 | 形成电子器件的有机元件的方法 |
JP2020009757A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-16 | 住友化学株式会社 | 膜の製造方法、有機el素子の製造方法、及び膜製造用のインク組成物セット |
CN112930606A (zh) * | 2018-11-06 | 2021-06-08 | 默克专利有限公司 | 用于形成电子器件的有机元件的方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003282248A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法及び製造装置、有機el装置及び電子機器 |
JP2004355913A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 |
JP2006012762A (ja) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 |
JP2006068598A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Sharp Corp | 機能膜の製造方法、機能膜形成用塗液、機能素子、電子デバイス及び表示装置 |
WO2008105472A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 有機el材料含有溶液、有機el薄膜形成方法、有機el薄膜を含む有機el素子および有機elディスプレイパネル製造方法 |
-
2007
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003282248A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法及び製造装置、有機el装置及び電子機器 |
JP2004355913A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 |
JP2006012762A (ja) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 |
JP2006068598A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Sharp Corp | 機能膜の製造方法、機能膜形成用塗液、機能素子、電子デバイス及び表示装置 |
WO2008105472A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 有機el材料含有溶液、有機el薄膜形成方法、有機el薄膜を含む有機el素子および有機elディスプレイパネル製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110168764A (zh) * | 2017-01-30 | 2019-08-23 | 默克专利有限公司 | 形成电子器件的有机元件的方法 |
JP2020505743A (ja) * | 2017-01-30 | 2020-02-20 | メルク パテント ゲーエムベーハー | 電子デバイスの有機素子を形成する方法 |
JP7114607B2 (ja) | 2017-01-30 | 2022-08-08 | メルク パテント ゲーエムベーハー | 電子デバイスの有機素子を形成する方法 |
CN110168764B (zh) * | 2017-01-30 | 2023-04-04 | 默克专利有限公司 | 形成电子器件的有机元件的方法 |
JP2020009757A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-16 | 住友化学株式会社 | 膜の製造方法、有機el素子の製造方法、及び膜製造用のインク組成物セット |
CN112930606A (zh) * | 2018-11-06 | 2021-06-08 | 默克专利有限公司 | 用于形成电子器件的有机元件的方法 |
JP2022506510A (ja) * | 2018-11-06 | 2022-01-17 | メルク パテント ゲーエムベーハー | 電子デバイスの有機素子を形成する方法 |
Also Published As
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