JP2008241584A - 超純水中の微粒子数の測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超純水は、膜分離装置1に導入され、分離膜1aによって濃縮水と希釈水とに分離される。濃縮水は、濃縮水取出用の配管2によって、流量調節弁3、流量計4を経て微粒子計数装置5に導入され、微粒子数が測定される。微粒子計数装置5と流量計4,8の測定値がそれぞれ演算装置9に入力される。この演算装置9では微粒子計数装置5の測定値aを濃縮倍率で除算することにより、超純水単位体積中の微粒子数が演算される。
【選択図】図1
Description
また、フィルタを用いる場合も、本発明のように予め超純水を濃縮した後に、微粒子数を測定することにより、高圧又は長時間かけて、超純水を濾過することが不要であり、測定時間を短縮することが可能である。
分離膜1aとして、中空糸の両端が開口した形状の限外濾過膜(分画分子量10000)を有する膜モジュールを4本直列に接続して膜分離装置1を構成した。超純水に、粒径0.2μmのポリスチレン標準粒子懸濁液を定量ポンプで一定量注入して、ポリスチレン粒子濃度25個/Lの試料水とし、これを膜分離装置1に供給した。濃縮水量を流量調節弁3,7の開度調節によって調整して、透過水量と濃縮水量の比率を変えることで水量の濃縮倍率(試料水流量/濃縮水流量)を変更した。
参考例1と同じ装置を使用して、これに超純水を供給した。供給した超純水中の微粒子数は、パーティクルカウンターではほとんど検出できない低濃度であった。
第2図に示した濃縮装置10として、50mm角のガラス板にCr(クロム)を用いて線幅30μm、間隔10μmの櫛形電極を形成し、厚さ30μmのスペーサを同サイズのガラス板で挟み、第3図に示すような誘電泳動濃縮デバイスを作成した。この第3図でAはガラス板、Bは櫛形電極、Cはスペーサ、D、Eは櫛形電極に電圧を印加するための導体、Fは供給口、Gは処理液の出口、Hは電極間の間隙である。
3,7 流量調節弁
4,8,23,26 流量計
5 微粒子計数装置
9 演算装置
Claims (12)
- 微粒子を含む超純水を、微粒子濃度の高い濃縮水と、微粒子濃度の低い希釈水とに分離する濃縮工程と、
濃縮水中の微粒子数を測定する微粒子数測定工程と、
濃縮倍率と微粒子数測定値とに基づいて前記超純水に含まれる微粒子数を算出する演算工程と、
を有することを特徴とする超純水中の微粒子数の測定方法。 - 請求項1において、前記濃縮倍率は濃縮工程における濃縮水及び希釈水の流量により特定されることを特徴とする超純水中の微粒子数の測定方法。
- 請求項1において、濃縮倍率を予め設定しておくことを特徴とする超純水中の微粒子数の測定方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、濃縮工程において、超純水を中空糸限外濾過膜によって濃縮することを特徴とする超純水中の微粒子数の測定方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、濃縮工程において、超純水を誘電泳動によって濃縮することを特徴とする超純水中の微粒子数の測定方法。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、超純水の微粒子濃度が100個/mL以下であることを特徴とする超純水中の微粒子数の測定方法。
- 微粒子を含む超純水を、微粒子濃度の高い濃縮水と、微粒子濃度の低い希釈水とに分離する濃縮手段と、
濃縮水中の微粒子数を測定する微粒子数測定手段と、
濃縮倍率と微粒子数測定値とに基づいて前記超純水に含まれる微粒子数を算出する演算手段と、
を有することを特徴とする超純水中の微粒子数の測定装置。 - 請求項7において、前記演算手段は、前記濃縮倍率を濃縮工程における濃縮水及び希釈水の流量により特定する濃縮倍率算出手段を有することを特徴とする超純水中の微粒子数の測定装置。
- 請求項7において、前記演算手段に濃縮倍率が予め設定されていることを特徴とする超純水中の微粒子数の測定装置。
- 請求項7ないし9のいずれか1項において、前記濃縮手段は、中空糸限外濾過膜であることを特徴とする超純水中の微粒子数の測定装置。
- 請求項7ないし9のいずれか1項において、前記濃縮手段は、誘電泳動による濃縮手段であることを特徴とする超純水中の微粒子数の測定装置。
- 請求項7ないし12のいずれか1項において、前記微粒子数測定手段は光散乱による微粒子数測定装置であることを特徴とする超純水中の微粒子数の測定装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015064628A1 (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 栗田工業株式会社 | 超純水中の微粒子数の測定方法及び装置 |
CN106565042A (zh) * | 2015-10-13 | 2017-04-19 | 内蒙古天环境技术有限公司 | 一种车载一体化净水设备 |
JP2017216395A (ja) * | 2016-06-01 | 2017-12-07 | 新日鐵住金株式会社 | レーザー照射設備の異常検出装置 |
WO2023058395A1 (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法、微粒子成分の推定方法、及び純水製造装置の状態の推定方法 |
WO2023058394A1 (ja) * | 2021-10-06 | 2023-04-13 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5750642A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-25 | Kurita Water Ind Ltd | Method and device for monitoring of ultrapure water |
JPH07120454A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Japan Organo Co Ltd | 超純水中の微粒子数の測定方法および測定用のろ過装置 |
JPH07301586A (ja) * | 1994-05-09 | 1995-11-14 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 試料処理装置 |
JPH0921738A (ja) * | 1995-07-04 | 1997-01-21 | Hitachi Ltd | 微生物濃度の計測方法および計測装置 |
JPH1063810A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-06 | Kurita Water Ind Ltd | 液中の微粒子含有量評価方法 |
JPH10111226A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Nippon Steel Corp | 超微量不純物成分分析のための溶液試料の溶媒除去・濃縮方法および不純物定量方法 |
JP2000224980A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 細菌濃縮装置 |
JP2007003417A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Shimadzu Corp | 光学的計測装置 |
-
2007
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5750642A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-25 | Kurita Water Ind Ltd | Method and device for monitoring of ultrapure water |
JPH07120454A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Japan Organo Co Ltd | 超純水中の微粒子数の測定方法および測定用のろ過装置 |
JPH07301586A (ja) * | 1994-05-09 | 1995-11-14 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 試料処理装置 |
JPH0921738A (ja) * | 1995-07-04 | 1997-01-21 | Hitachi Ltd | 微生物濃度の計測方法および計測装置 |
JPH1063810A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-06 | Kurita Water Ind Ltd | 液中の微粒子含有量評価方法 |
JPH10111226A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Nippon Steel Corp | 超微量不純物成分分析のための溶液試料の溶媒除去・濃縮方法および不純物定量方法 |
JP2000224980A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 細菌濃縮装置 |
JP2007003417A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Shimadzu Corp | 光学的計測装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015064628A1 (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 栗田工業株式会社 | 超純水中の微粒子数の測定方法及び装置 |
JPWO2015064628A1 (ja) * | 2013-10-31 | 2017-03-09 | 栗田工業株式会社 | 超純水中の微粒子数の測定方法及び装置 |
CN106565042A (zh) * | 2015-10-13 | 2017-04-19 | 内蒙古天环境技术有限公司 | 一种车载一体化净水设备 |
JP2017216395A (ja) * | 2016-06-01 | 2017-12-07 | 新日鐵住金株式会社 | レーザー照射設備の異常検出装置 |
WO2023058394A1 (ja) * | 2021-10-06 | 2023-04-13 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法 |
JP2023055462A (ja) * | 2021-10-06 | 2023-04-18 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法 |
JP7268710B2 (ja) | 2021-10-06 | 2023-05-08 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法 |
WO2023058395A1 (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法、微粒子成分の推定方法、及び純水製造装置の状態の推定方法 |
JP2023056297A (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-19 | 栗田工業株式会社 | 微粒子測定方法、微粒子成分の推定方法、及び純水製造装置の状態の推定方法 |
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