JP2008227497A - オプティカルインテグレータ系、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
オプティカルインテグレータ系、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明のオプティカルインテグレータ系は、二次元的に並列配置された複数の第1波面分割要素(111)を有する第1オプティカルインテグレータ(110)と、二次元的に並列配置された複数の第2波面分割要素(121)を有する第2オプティカルインテグレータ(120)とを備えている。第1波面分割要素は、入射面の光軸中心に斜め入射した光線群は光軸と平行に射出されるように構成されている。第2波面分割要素も、入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が光軸と平行に射出されるように構成されている。P2/(2×tanθ)<L12の条件を満足する。
【選択図】 図5
Description
前記第1波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記第1波面分割要素から射出されるように、前記第1波面分割要素は構成され、
前記第2波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記第2波面分割要素から射出されるように、前記第2波面分割要素は構成され、
前記第1オプティカルインテグレータの射出面と前記第2オプティカルインテグレータの入射面との間隔L12は、前記第2波面分割要素の所定方向に沿ったピッチをP2とし、前記第1波面分割要素からの光の前記所定方向に沿った最大射出角度(半角)をθとするとき、
P2/(2×tanθ)<L12
の条件を満足することを特徴とするオプティカルインテグレータ系を提供する。
前記光学要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記光学要素から射出されるように、前記光学要素は構成され、
前記波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記波面分割要素から射出されるように、前記波面分割要素は構成され、
前記光学部材の1つの光学要素は、前記オプティカルインテグレータを構成する1つの波面分割要素の入射面よりも大きい領域を照明すると共に、前記オプティカルインテグレータの入射面よりも小さい領域を照明することを特徴とするオプティカルインテグレータ系を提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置された第1形態または第2形態のオプティカルインテグレータ系を備えていることを特徴とする照明光学装置を提供する。
P2/(2×tanθ)<L12 (1)
L12<D2/(2×tanθ) (2)
θ=d・ρ (a)
3 偏光状態切換部
4 回折光学素子
5 アフォーカルレンズ
6 偏光変換素子
7 円錐アキシコン系
8 ズームレンズ
9 補助フライアイ素子
10 シリンドリカルマイクロフライアイレンズ(メインフライアイ素子)
11 コンデンサー光学系
12 マスクブラインド
13 結像光学系
110 補助フライアイ素子(第1オプティカルインテグレータ)
120 メインフライアイ素子(第2オプティカルインテグレータ)
OP オプティカルインテグレータ系
M マスク
PL 投影光学系
W ウェハ
Claims (14)
- 光の入射側から順に、二次元的に並列配置された複数の第1波面分割要素を有する第1オプティカルインテグレータと、二次元的に並列配置された複数の第2波面分割要素を有する第2オプティカルインテグレータとを備え、
前記第1波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記第1波面分割要素から射出されるように、前記第1波面分割要素は構成され、
前記第2波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記第2波面分割要素から射出されるように、前記第2波面分割要素は構成され、
前記第1オプティカルインテグレータの射出面と前記第2オプティカルインテグレータの入射面との間隔L12は、前記第2波面分割要素の所定方向に沿ったピッチをP2とし、前記第1波面分割要素からの光の前記所定方向に沿った最大射出角度(半角)をθとするとき、
P2/(2×tanθ)<L12
の条件を満足することを特徴とするオプティカルインテグレータ系。 - 前記間隔L12は、前記第2オプティカルインテグレータの入射面の前記所定方向に沿った寸法をDとするとき、
L12<D2/(2×tanθ)
の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載のオプティカルインテグレータ系。 - 前記第2波面分割要素の前記所定方向に沿ったピッチP2は、前記第1波面分割要素の前記所定方向に沿ったピッチP1の整数倍とは実質的に異なることを特徴とする請求項1または2に記載のオプティカルインテグレータ系。
- 前記第1波面分割要素の入射面に前記光軸の方向から入射した光により形成される前記第1波面分割要素からの光の最大射出角度(半角)と、前記第1波面分割要素の入射面に前記光軸に対して斜め方向から入射した光により形成される前記第1波面分割要素からの光の最大射出角度(半角)とが等しくなるように、前記第1波面分割要素は構成され、
前記第2波面分割要素の入射面に前記光軸の方向から入射した光により形成される前記第2波面分割要素からの光の最大射出角度(半角)と、前記第2波面分割要素の入射面に前記光軸に対して斜め方向から入射した光により形成される前記第2波面分割要素からの光の最大射出角度(半角)とが等しくなるように、前記第2波面分割要素は構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ系。 - 前記第2オプティカルインテグレータは、単一の光学部材を備え、
前記単一の光学部材は、二次元的に並列配置された複数の曲面状の入射屈折面と、二次元的に並列配置された複数の曲面状の射出屈折面とを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ系。 - 前記第2オプティカルインテグレータは、光の入射側から順に、第1光学部材と第2光学部材とを備え、
前記第1光学部材および前記第2光学部材は、一方向に並んで配置された複数の円筒面状の入射屈折面と、一方向に並んで配置された複数の円筒面状の射出屈折面とをそれぞれ有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ系。 - 光の入射側から順に、二次元的に並列配置された複数の光学要素を有し一様な射出角を形成する光学部材と、二次元的に並列配置された複数の波面分割要素を有するオプティカルインテグレータとを備え、
前記光学要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記光学要素から射出されるように、前記光学要素は構成され、
前記波面分割要素の入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が、前記光軸と平行に前記波面分割要素から射出されるように、前記波面分割要素は構成され、
前記光学部材の1つの光学要素は、前記オプティカルインテグレータを構成する1つの波面分割要素の入射面よりも大きい領域を照明すると共に、前記オプティカルインテグレータの入射面よりも小さい領域を照明することを特徴とするオプティカルインテグレータ系。 - 前記光学要素の入射面に前記光軸の方向から入射した光により形成される前記光学要素からの光の最大射出角度(半角)と、前記光学要素の入射面に前記光軸に対して斜め方向から入射した光により形成される前記光学要素からの光の最大射出角度(半角)とが等しくなるように、前記光学要素は構成され、
前記波面分割要素の入射面に前記光軸の方向から入射した光により形成される前記波面分割要素からの光の最大射出角度(半角)と、前記波面分割要素の入射面に前記光軸に対して斜め方向から入射した光により形成される前記波面分割要素からの光の最大射出角度(半角)とが等しくなるように、前記波面分割要素は構成されていることを特徴とする請求項7に記載のオプティカルインテグレータ系。 - 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置された請求項1乃至8のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ系を備えていることを特徴とする照明光学装置。 - 前記光源と前記オプティカルインテグレータ系との間の光路中において移動可能に配置された可動光学部材を備えていることを特徴とする請求項9に記載の照明光学装置。
- 所定のパターンを照明するための請求項9または10に記載の照明光学装置を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。
- 前記所定のパターンの像を前記感光性基板上に形成する投影光学系を備え、該投影光学系に対して前記所定のパターンおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させて、前記所定のパターンを前記感光性基板へ投影露光することを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
- 前記オプティカルインテグレータ系における前記所定方向は、前記感光性基板上において前記走査方向と直交する方向に対応していることを特徴とする請求項12に記載の露光装置。
- 請求項11乃至13のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、該露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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