JP2008224673A - 液体処理装置用の光学センサシステムおよび検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】空間内の少なくとも1つの照明位置に光を投光する装置と、受光された光に応じて測定信号を出力するために、少なくとも1つの受光素子で少なくとも1つの照明位置を結像する少なくとも1つの装置と、投光装置が、複数個の照明位置に光を同時に投光する装置であり、および/または投光装置が同じ照明位置に異なる角度で光を同時に投光する装置であり、および/または複数個の受光素子が実在し、少なくとも1つの測定信号を分析するために少なくとも1つの受光素子に接続される分析装置とを備える液体処理装置における光学センサシステム。
【選択図】図8
Description
空間内の少なくとも1つの照明位置に投光する投光装置と、
受光に応じて測定信号を出力する少なくとも1つの受光素子の少なくとも1つの照明位置を撮像する少なくとも1つの撮像装置と、
前記投光装置は、複数個の照明位置に光を同時に投光する装置であり、および/または前記投光装置は、異なる角度で同じ照明位置に光を同時に投光する装置であり、および/または複数個の受光素子が実在しており、
少なくとも1つの測定信号を分析する少なくとも1つの受光素子に接続される分析装置とを備えている。
光を少なくとも1つの照明位置に投光し、
少なくとも1つの照明位置を、少なくとも1つの受光素子で撮像し、
光を複数個の照明位置に同時に投光し、および/または光を複数個の照明位置に同時に投光し、および/または光を同じ照明位置に異なる角度で投光し、および/または少なくとも1つの照明位置を複数個の位置検出器で撮像し、
少なくとも1つの照明位置と界面との間の垂直距離を変化させ、
少なくとも1つの受光素子の測定信号の最大値を、垂直距離を変化させるときに取得し、
測定信号の最大値での照明位置の位置を界面の位置として決定される。
界面の方向の光を少なくとも1つの照明位置に投光し、
・反射される光の量の分散を複数個の受光素子によって検出し、
界面上の最適反射位置の有望な位置、および/または界面の有望な位置、および/または同一性を、光量の検出された分布に基づいて決定する。
光を複数個の照明位置に投光し、
照明位置を界面全体で移動させ、
各照明位置を、割り当てられる受光素子にて撮像し、
複数個の受光素子によって出力される測定信号を比較して、測定誤差を偏差として明示する。
Claims (46)
- 液体を処理する装置における光学センサシステムであって、
空間内の少なくとも1つの照明位置(12)に光を投光する投光装置(9、10、11)と、
受光に応じて測定信号を出力する、少なくとも1つの受光素子(13)で少なくとも1つの照明位置を撮像する少なくとも1つの撮像装置(11)と、
前記投光装置(9、10、11)が、複数個の照明位置に光を同時に投光装置であり、および/または前記投光装置は、異なる角度で同じ照明位置(12)に光を同時に投光する装置であり、および/または複数個の受光素子(13)が実在し、
少なくとも1つの測定信号を分析する少なくとも1つの受光素子(13)に接続される分析装置(21)と
を備えることを特徴とする光学センサシステム。 - 前記投光装置(9、10、11)は、少なくとも1つの光源(9)を有することを特徴とする請求項1に記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの光源(9)は、少なくとも1つのレーザ、LEDまたは電球のいずれかであることを特徴とする請求項2に記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの光源(9)は、検出されるべき界面(6)での反射率の高い波長を有する光を発することを特徴とする請求項2または3に記載の光学センサシステム。
- 当該投光装置(9、10、11)は、異なる波長に切り替え可能な光源(9)を有し、および/または波長を調整可能な光源(9)を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)は、少なくとも1つの点形状、線形状、または二次元の照明位置(12)に光を投光する装置であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの光源(9)は、点形状であることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)は、少なくとも1つの光源(9)の光路内に少なくとも1つの絞りおよび/または少なくとも1つの光導波路(14)を有することを特徴とする請求項7に記載の光学センサシステム。
- 前記照明位置(12)は、三次元配置または平面配置となるよう設定されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記照明位置(12)は、平面内に配置されることを特徴とする請求項9に記載の光学センサシステム。
- 前記照明位置は、凹面または凸面内、あるいは互いに向かって傾斜する平面内に配置されることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの照明位置(12)を照らす光ビーム(7)は、8°以下の開口角となるように構成されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの照明位置(12)から投光装置(9、10、11)までの距離が100mm以上となるように構成されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)は、単一光源(9)と、少なくとも1つの照明位置(12)で光源を結像する少なくとも1つの装置(11)とを有することを特徴とする請求項2〜13のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)は、光源を複数個の仮想光源に分割する装置(14)と、
複数個の仮想光源を少なくとも1つの照明位置(12)を結像する少なくとも1つの装置(11)とを有することを特徴とする請求項14に記載の光学センサシステム。 - 前記光源(9)を分割する装置(14)は、扇形状に広がる光導波路、および/または多孔絞りを有することを特徴とする請求項15に記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)は、複数個の光源(9)であり、
少なくとも1つの照明位置(12)で複数個の反射光を結像する少なくとも1つの装置(11)とを有することを特徴とする請求項2〜13のいずれかに記載の光学センサシステム。 - 前記投光装置(9、10、11)は、複数個の仮想光源または複数個の光源であり、
少なくとも1つの照明位置(12)で結像する装置(11)を有することを特徴とする請求項14〜17のいずれかに記載の光学センサシステム。 - 少なくとも1つの受光素子(13)は、点形状、線形状または二次元であることを特徴とする請求項1〜18のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの絞りおよび/または少なくとも1つの光導波路(15)は、撮像する少なくとも1つの装置と少なくとも1つの受光素子との間の光路に配置されることを特徴とする請求項19に記載の光学センサシステム。
- 単一受光素子(13)と、当該受光素子(13)に対して少なくとも1つの照明位置(12)を結像する少なくとも1つの装置(11)とを備えることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 撮像する少なくとも1つの装置(11)と受光素子(13)との間の光路に配置される光結合装置(15)を備えたことを特徴とする請求項21に記載の光学センサシステム。
- 光結合装置(15)は、互いと結合する光導波路を有することを特徴とする請求項22に記載の光学センサシステム。
- 複数個の受光素子(13)と、複数個の受光素子(13)に少なくとも1つの照明位置(12)を結像する少なくとも1つの装置(11)とを備えることを特徴とする請求項1〜23のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)と、撮像する少なくとも1つの装置(11)とが同じ光軸上に配置されていることを特徴とする請求項1〜24のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの光源(9)の光がビームスプリッタ(10)を介して少なくとも1つの照明位置(12)に少なくとも1つの反射光を結像する装置(11)に出力され、結像する同じ装置(11)が、ビームスプリッタ(10)を介して少なくとも1つの受光素子(13)により少なくとも1つの照明位置(12)を撮像することを特徴とする請求項1〜25のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの光源(9)を結像する少なくとも1つの装置(11)および/または少なくとも1つの照明位置(12)を撮像する少なくとも1つの装置が、1枚のレンズおよび/または整列配置される複数個のレンズ、および/またはレンズアレイ、および/またはフレネルレンズを有することを特徴とする請求項1〜26のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの受光素子(13)によって出力される測定信号をフィルタにかける手段(20)を有する分析装置(21)を備えたことを特徴とする請求項1〜27のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 少なくとも1つの結像システム(11)の光軸の方向で、および/または当該光軸と直交する方向で、少なくとも1つの照明位置(12)と、界面(6)との相対位置を調整するための調整装置(22)を備えたことを特徴とする請求項1〜28のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記投光装置(9、10、11)、結像システム(11)、および少なくとも1つの受光素子(13)によって形成される光学部品、並びに界面(6)の相対位置が、調整装置(22)によって調整可能に構成されていることを特徴とする請求項29に記載の光学センサシステム。
- 前記調整装置(22)は、結像システムの中にズームレンズおよび/またはオートフォーカスシステムを有することを特徴とする請求項29または30に記載の光学センサシステム。
- 前記調整装置(22)は、モータ駆動式であることを特徴とする請求項29〜31のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記分析装置(21)は、調整装置(22)によって、少なくとも1つの照明位置(12)と界面(6)との相対位置の調整を可能にすることを特徴とする請求項29〜32のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 界面の位置および/または測定対象物の同一性を分析装置(21)によって検出するよう構成したことを特徴とする請求項1〜33のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記分析装置(21)は、容器内の界面、および/または実験機器、および/または工具の位置および/または測定対象物の同一性を検出するよう構成したことを特徴とする請求項34に記載の光学センサシステム。
- 前記光学センサシステムを組込み液体を処理する自動装置(25)を構成したことを特徴とする請求項1〜35のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 前記分析装置(21)は、対象物を光学的に走査可能な印を取得する分析装置であることを特徴とする請求項1〜36のいずれかに記載の光学センサシステム。
- 請求項1〜37のいずれかの光学センサシステムを操作する方法であって、
光を少なくとも1つの照明位置に投光し、
少なくとも1つの照明位置を、少なくとも1つの受光素子にて撮像し、
光を複数個の照明位置に同時に投光し、および/または光を同じ照明位置に異なる角度で投光し、および/または少なくとも1つの照明位置を複数個の受光素子で撮像し、
少なくとも1つの照明位置と界面との間の垂直距離を変化させ、
垂直距離を変化させるときに、少なくとも1つの受光素子の測定信号の最大値を取得し、
前記測定信号の最大値での照明位置の位置を界面の位置として決定する
ことを特徴とする。 - 照明位置と界面との間の垂直位置を変化させるときに、少なくとも1つの受光素子の測定信号の最大値が検出されず、その後少なくとも1つの照明位置と界面との垂直距離の変動により測定信号の最大値がないか新たに検出される場合には、少なくとも1つの照明位置の位置を垂直線の横断方向で変化させることを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記界面の方向の光を、少なくとも1つの照明位置に投光し、
反射した光量の分散を複数個の受光素子によって検出し、
界面における最適反射位置および/または界面位置および/または同一性を、光量の検出された分散に基づいて決定する
ことを特徴とする請求項1〜37のいずれかに記載の光学センサシステムを利用した検査方法。 - 少なくとも1つの照明位置を、最適反射位置、および界面の位置に調整し、次いで測定を繰り返すことを特徴とする請求項39に記載の検査方法。
- 光を複数個の照明位置に投光し、
照明位置を界面全体に対して移動し、
各照明位置を、割り当てられる受光素子にて撮像し、
複数個の受光素子によって出力される測定信号を比較し、測定誤差を偏差として明示する
ことを特徴とする請求項1〜37のいずれかに記載の検査方法。 - 界面および/または対象物の決定された位置および/または同一性を記憶し、液体を処理するプロセスを制御および/または検査たするめに使用する、
ことを特徴とする請求項38〜42のいずれかに記載の検査方法。 - 界面および/もしくは対象物の位置および/または同一性を、液体を処理するプロセスの初めに検出し、および/もしくは液体を処理するプロセスの過程で新規に検出し、並びに/または液体を処理するプロセスを通じて検出された状態の変化を、検出された位置および/もしくは同一性に基づいて算出することを特徴とする請求項38〜43のいずれかに記載の検査方法。
- 算出された前記値を新しい検出によって確認することを特徴とする請求項44に記載の検査方法。
- 検出および/または算出された位置および/または同一性をファイリングするおよび/または表示することを特徴とする請求項44また45に記載の検査方法。
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