JP2008223110A - 薄膜処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークを自公転させる歯車機構を1つの搬送できるモジュールとすることにより、モジュールをロードロック室からスパッタ室へ搬送する機構及び、スパッタ室にてモジュール内の固定ステージを固定する外串と、回転ステージに回転駆動を伝達する回転部を設置することにより、ワークを高速自公転することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1について、図1〜3を参照して説明する。
2 ロードロック室
3 真空仕切りバルブ
4 搬送機構
5 自公転モジュール
9 外串
10 ワーク
11 回転駆動部
12 キャップ
14 外輪ギヤ
15 内輪ギヤ
18 天板
19 絶縁ブッシュ
Claims (6)
- スパッタ室と、ターゲットを保持するカソードと、前記カソードに接続された電源と、前記スパッタ室と隣接しかつ気密的に仕切るバルブ機構を介して設けられたロードロック室と、前記スパッタ室内に配置されかつ複数のワークを保持可能な機構を有すると共に着脱可能なモジュールと、前記モジュールを前記スパッタ室とロードロック室との間で搬送する搬送機構とで構成される薄膜処理装置であって、
前記モジュールは前記カソードと対向して配置されかつ複数のワークをそれぞれ自公転させる回転ギヤ機構を具備し、前記スパッタ室は前記モジュールを保持する保持機構を有すると共に前記ワークを自公転させる回転駆動を伝達可能な回転機構を具備すること
を特徴とする薄膜処理装置。 - モジュールの幅長は、カソードのうちターゲットを保持する面の幅長と略同一であること
を特徴とする請求項1記載の薄膜処理装置。 - モジュールは固定ステージ側に外輪ギヤ、ワーク搭載側に内輪ギヤを具備すること
を特徴とする請求項1又は2に記載の薄膜処理装置。 - モジュールのワークホルダ部に絶縁部材が用いられること
を特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の薄膜処理装置。 - モジュールのワークを保持する表面はアルマイト処理が施されていること
を特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の薄膜処理装置。 - モジュールはワークの公転半径または自公転比をワークの自公転回転機構のみ交換可能であること
を特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の薄膜処理装置。
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