JP2008221368A - 積層研磨パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨層8とクッション層9とが両面テープを介して積層されている積層研磨パッドにおいて、前記研磨層は、周端から最大で内部方向50mmまでの範囲のみに、該研磨層の厚さに対して80%以上の深さの歪防止溝12が複数設けられている積層研磨パッド。
【選択図】図3
Description
1)イソシアネート末端プレポリマーの気泡分散液を作製する発泡工程
イソシアネート末端プレポリマー(第1成分)にシリコン系界面活性剤を添加し、非反応性気体の存在下で撹拌し、非反応性気体を微細気泡として分散させて気泡分散液とする。前記プレポリマーが常温で固体の場合には適宜の温度に予熱し、溶融して使用する。
2)硬化剤(鎖延長剤)混合工程
上記の気泡分散液に鎖延長剤(第2成分)を添加、混合、撹拌して発泡反応液とする。
3)注型工程
上記の発泡反応液を金型に流し込む。
4)硬化工程
金型に流し込まれた発泡反応液を加熱し、反応硬化させる。
(過研磨の有無の測定)
研磨装置としてSPP600S(岡本工作機械社製)を用い、作製した積層研磨パッドを用いて、ウエハ周端から内部方向に10mmの位置における過研磨の有無を測定した。過研磨の有無は過研磨度により評価した。8インチ(200mm)シリコンウエハに熱酸化膜が1μm堆積したものを用いて下記研磨条件にて熱酸化膜が0.5μmになるまで研磨を行い、図4に示すようにウエハ上の特定位置77点(5mm間隔)の研磨前後の膜厚測定値から平均研磨速度を算出した。また、ウエハ周端から内部方向に10mmの位置における研磨速度Xを測定した。酸化膜の膜厚測定には、干渉式膜厚測定装置(大塚電子社製)を用いた。研磨条件としては、スラリーとして、シリカスラリー(SS12 キャボット社製)を研磨中に流量150ml/min添加した。研磨荷重としては300g/cm2、研磨定盤回転数50rpm、ウエハ回転数30rpmとした。
過研磨度は下記式にて算出される。なお、過研磨度の値が1に近いほど過研磨が生じていないことを表す。
過研磨度=研磨速度X/平均研磨速度
8インチシリコンウエハに熱酸化膜を0.5μm堆積させた後、所定のパターニングを行った後、p−TEOSにて酸化膜を1μm堆積させ、初期段差0.5μmのパターン付きウエハを作製し、このウエハを前述条件にて研磨を行った。
平坦化特性としては削れ量を測定した。幅270μmのラインが30μmのスペースで並んだパターンと幅30μmのラインが270μmのスペースで並んだパターンにおいて、上記の2種のパターンのライン上部の段差が2000Å以下になるときの270μmのスペースの削れ量を測定した。スペースの削れ量が少ないと削れて欲しくない部分の削れ量が少なく平坦性が高いことを示す。ウエハ300枚目における削れ量を表1に示す。
容器にトルエンジイソシアネート(2,4−体/2,6−体=80/20の混合物)1229重量部、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート272重量部、数平均分子量1018のポリテトラメチレンエーテルグリコール1901重量部、ジエチレングリコール198重量部を入れ、70℃で4時間反応させてイソシアネート末端プレポリマーを得た。
実施例1において、前記同心円状の溝を溝深さ1.3mm、溝幅1mm、溝ピッチ5mmのXY格子状の溝に変更した以外は実施例1と同様の方法で積層研磨パッドを作製した。
実施例1において、前記同心円状の溝に加え、さらに溝深さ1.5mm、溝幅1mmの放射状の溝を等間隔で50本形成した以外は実施例1と同様の方法で積層研磨パッドを作製した。
実施例1において、前記同心円状の溝を設けなかった以外は実施例1と同様の方法で積層研磨パッドを作製した。
実施例1において、前記同心円状の溝を溝深さ0.6mm(研磨層の厚さの47%)、溝幅0.5mm、溝ピッチ2mmの同心円状の溝に変更した以外は実施例1と同様の方法で積層研磨パッドを作製した。
実施例1において、前記同心円状の溝を溝深さ0.6mm(研磨層の厚さの47%)、溝幅1mm、溝ピッチ5mmのXY格子状の溝に変更した以外は実施例1と同様の方法で積層研磨パッドを作製した。
2:研磨定盤
3:研磨剤(スラリー)
4:被研磨材(半導体ウエハ)
5:支持台(ポリシングヘッド)
6、7:回転軸
8:研磨層
9:クッション層
10:リテーナリング
11:突出部分
12:歪防止溝
Claims (6)
- 研磨層とクッション層とが両面テープを介して積層されている積層研磨パッドにおいて、前記研磨層は、周端から最大で内部方向50mmまでの範囲のみに、該研磨層の厚さに対して80%以上の深さの歪防止溝が複数設けられていることを特徴とする積層研磨パッド。
- 前記歪防止溝は、クッション層内部まで達している請求項1記載の積層研磨パッド。
- 前記歪防止溝は、同心円状溝、XY格子状溝、又は同心円状溝と放射状溝との複合溝である請求項1又は2記載の積層研磨パッド。
- 前記歪防止溝は、溝幅が0.2〜2mmである請求項1〜3のいずれかに記載の積層研磨パッド。
- 前記歪防止溝は、溝ピッチが5mm以下である請求項1〜4のいずれかに記載の積層研磨パッド。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の積層研磨パッドを用いて半導体ウエハの表面を研磨する工程を含む半導体デバイスの製造方法。
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- 2007-03-09 JP JP2007060450A patent/JP2008221368A/ja active Pending
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