JP2008218951A - Piezoelectric device with convex vibration piece - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、パッケージにコンベックス状の圧電振動片が片持ち式に接合された圧電デバイスに関する。 The present invention relates to a piezoelectric device in which a convex-shaped piezoelectric vibrating piece is joined to a package in a cantilever manner.
HDD(ハード・ディスク・ドライブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器やジャイロセンサなどの計測機器において、従来より圧電デバイスが広く使用されている。 Conventionally, piezoelectric devices have been used in small information devices such as HDDs (hard disk drives), mobile computers, and IC cards, mobile communication devices such as mobile phones, car phones, and paging systems, and measuring devices such as gyro sensors. The device is widely used.
図6は従来の圧電デバイス1の概略縦断面図である(例えば、特許文献1参照)。
この図の圧電デバイス1は、圧電振動片2と、圧電振動片2が接合固定されたパッケージ3とを有している。
圧電振動片2は、中央部分に励振電極4,4が設けられており、この中央部分に主振動の振動エネルギーを集中させて、高いQ値と良好な温度特性が得られるように、厚み方向の断面が中央部から両端部に向かって薄くなるコンベックス状とされている。
そして、このような圧電振動片2は、その一端部2aが接着剤5を介してパッケージ3と接合され、パッケージ3に対して片持ち式に接合されている。
FIG. 6 is a schematic longitudinal sectional view of a conventional piezoelectric device 1 (see, for example, Patent Document 1).
The
The piezoelectric vibrating
Such a piezoelectric vibrating
図7は、従来の他の例を示す圧電デバイス10の概略縦断面図である(例えば、特許文献2参照)。
この図の圧電デバイス10が図6の圧電デバイス1と異なるのは、圧電振動片12が両持ち式にパッケージ13に接合固定されている点である。すなわち、圧電デバイス10は、圧電振動片12の周縁部12aが、中央部分より上下方向に突出するようになっており、この周縁部12aがパッケージ13に接合固定されている。
FIG. 7 is a schematic longitudinal sectional view of a
The
ところで、図6における圧電デバイス1は、圧電振動片2がパッケージ3に対して片持ち式に接合固定されているため、例えば圧電デバイス1の落下による衝撃で自由端側2bが振れて、圧電振動片2がパッケージ3の内底3aに接触してしまい、振動特性に影響を及ぼす恐れがある。特に、この圧電振動片2はコンベックス状であるため、膨らんだ中央部分の励振電極4が、自由端側2bよりも先にパッケージ3の内底3aに接触して、振動特性が変化する可能性は高まってしまう。なお、このような事態を招かないように、圧電振動片2をパッケージ3に接合する際は、接着剤5の硬化時の収縮を利用しながら、自由端側2bを上に持ち上げるようにしているが、コンベックス型以外の圧電デバイスに比べて作業処理が難しく、その工程数も増加してしまう。
Incidentally, in the
この点、図7の圧電デバイス10は、圧電振動片12が両持ち式にパッケージ13に接合固定されているため、圧電振動片12の中央部分がパッケージ13に接触する恐れは格段に軽減される。しかしながら、圧電振動片12とパッケージ13との接合領域等が大きく、圧電振動片12をパッケージ13に接合する際などに、パッケージ13の歪みが圧電振動片12に伝達し易く、圧電デバイス10では振動特性が安定しないといった不具合が生じ易い。
In this regard, in the
本発明は、圧電振動片が片持ち式に支持された場合であっても、優れた振動特性を有する圧電デバイスを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a piezoelectric device having excellent vibration characteristics even when the piezoelectric vibrating piece is supported in a cantilever manner.
上述の目的は、第1の発明によれば、中央部から両端部に向かって厚みが薄くなるコンベックス状の圧電振動片と、前記圧電振動片の前記両端部のうち一端部が接着剤で接合された内底を有するパッケージとを備えた圧電デバイスであって、前記圧電振動片は、その自由端部の下面に、前記パッケージの内底側に突出した突起部が設けられている圧電デバイスにより達成される。 According to the first aspect of the present invention, the convex piezoelectric vibrating piece having a thickness that decreases from the center toward both ends, and one end of the piezoelectric vibrating piece are bonded with an adhesive. A piezoelectric device including a package having an inner bottom, wherein the piezoelectric vibrating reed is a piezoelectric device in which a protrusion projecting toward the inner bottom side of the package is provided on a lower surface of a free end portion of the piezoelectric vibration piece. Achieved.
第1の発明の構成によれば、圧電デバイスは、コンベックス状の圧電振動片の一端部が内底に接着剤で接合されて、所謂片持ち式にパッケージに接合されているため、コンベックス状の圧電振動片の膨らんだ中央部がパッケージに接触する恐れが高くなる。ところが、圧電振動片は、その自由端部の下面に、パッケージの内底側に突出した突起部が設けられている。このため、例えば落下衝撃により、圧電振動片がその厚み方向に振れた場合であっても、圧電振動片の中央部よりも先に、自由端部の突起部をパッケージの内底に接触させて、圧電振動片の中央部、即ち主振動領域がパッケージの内底に接触することを有効に防止できる。
かくして、本発明によれば、圧電振動片が片持ち式に支持された場合であっても、優れた振動特性を有する圧電デバイスを提供することができる。
According to the configuration of the first invention, the piezoelectric device has a convex-shaped piezoelectric vibrating piece having one end portion bonded to the inner bottom with an adhesive and bonded to the package in a so-called cantilever manner. There is a high possibility that the swelled central portion of the piezoelectric vibrating piece contacts the package. However, the piezoelectric vibrating reed is provided with a protrusion protruding on the inner bottom side of the package on the lower surface of the free end. For this reason, for example, even when the piezoelectric vibrating piece is shaken in the thickness direction due to a drop impact, the protruding portion of the free end is brought into contact with the inner bottom of the package before the central portion of the piezoelectric vibrating piece. Thus, it is possible to effectively prevent the central portion of the piezoelectric vibrating piece, that is, the main vibration region from coming into contact with the inner bottom of the package.
Thus, according to the present invention, it is possible to provide a piezoelectric device having excellent vibration characteristics even when the piezoelectric vibrating piece is supported in a cantilever manner.
第2の発明は、第1の発明の構成において、前記突起部は略球状であることを特徴とする。
第2の発明の構成によれば、突起部は略球状であるため、突起部と圧電振動片とが接触する領域が小さくなり、突起部の振動特性に与える悪影響を有効に防止できる。また、突起部が略球状であると、突起部とパッケージとが接触する領域は小さく且つ曲面となるため、突起部とパッケージとの摩擦で屑或いは塵が発生し難く、振動特性を安定させることができる。
A second invention is characterized in that, in the configuration of the first invention, the protrusion is substantially spherical.
According to the configuration of the second invention, since the protrusion is substantially spherical, the area where the protrusion and the piezoelectric vibrating piece are in contact with each other is reduced, and the adverse effect on the vibration characteristics of the protrusion can be effectively prevented. Also, if the protrusion is substantially spherical, the area where the protrusion and the package come into contact is small and curved, so that dust or dust is less likely to be generated due to friction between the protrusion and the package, and the vibration characteristics are stabilized. Can do.
第3の発明は、第1または第2の発明の構成において、前記突起部は、非導電性であることを特徴とする。
第3の発明の構成によれば、突起部は非導電性であるため、パッケージ内における浮遊容量の増加を防止できる。特に、パッケージの内底に導電パターンが引き回されている場合、突起部のパッケージに対する接触により与える影響を抑制することができる。
A third invention is characterized in that, in the configuration of the first or second invention, the protrusion is non-conductive.
According to the configuration of the third aspect of the invention, since the protrusion is nonconductive, an increase in stray capacitance in the package can be prevented. In particular, when a conductive pattern is routed around the inner bottom of the package, it is possible to suppress the influence exerted by the contact of the protruding portion with the package.
第4の発明は、第1ないし第3の発明のいずれかの構成において、前記突起部は、前記圧電振動片の自由端部をエピタキシャル成長させて形成されていることを特徴とする。
第4の発明の構成によれば、突起部は、前記圧電振動片の自由端部をエピタキシャル成長させて形成されているため、突起部を金属バンプで形成した場合に比べて浮遊容量の増加を抑えることができ、また、突起部を樹脂で形成した場合に比べてガスの発生も抑制することができる。さらに、エピタキシャル成長であるとバッチ処理も容易となる。
According to a fourth aspect of the invention, in any one of the first to third aspects, the protrusion is formed by epitaxially growing a free end of the piezoelectric vibrating piece.
According to the configuration of the fourth aspect of the invention, since the protrusion is formed by epitaxially growing the free end of the piezoelectric vibrating piece, an increase in stray capacitance is suppressed as compared with the case where the protrusion is formed of a metal bump. In addition, the generation of gas can be suppressed as compared with the case where the protrusion is formed of resin. Furthermore, batch processing is facilitated by epitaxial growth.
第5の発明は、第1ないし第4の発明のいずれかの構成において、平面視において、前記圧電振動片の外形は四角形状に形成されると共に、前記中央部に設けられた励振電極の角部が面取り又は丸められており、前記突起部は前記自由端部の角部に設けられていることを特徴とする。
第5の発明の構成によれば、平面視において、圧電振動片の外形は四角形状に形成されると共に、中央部に設けられた励振電極の角部が面取り又は丸められているため、自由端部の領域のうち、その角部が励振電極から最も離れた位置となる。そして、突起部は、この励振電極から最も離れた位置に設けられるため、主振動の影響を受け難く、振動特性に与える悪影響を有効に防止できる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the first to fourth aspects, the outer shape of the piezoelectric vibrating piece is formed in a quadrangular shape in plan view, and the corners of the excitation electrode provided in the central portion. The portion is chamfered or rounded, and the protrusion is provided at a corner of the free end.
According to the configuration of the fifth invention, in the plan view, the outer shape of the piezoelectric vibrating piece is formed in a square shape, and the corner portion of the excitation electrode provided in the central portion is chamfered or rounded, so that the free end In the region of the part, the corner is the position farthest from the excitation electrode. Since the protrusion is provided at a position farthest from the excitation electrode, it is difficult to be affected by the main vibration and can effectively prevent an adverse effect on the vibration characteristics.
第6の発明は、第1ないし第5の発明のいずれかの構成において、前記突起部は第1の突起部であり、前記圧電振動片は、その自由端部の上面に、上側に突出した第2の突起部が設けられていることを特徴とすることを特徴とする。
第6の発明の構成によれば、圧電振動片は、その自由端部の上面に、上側に突出した第2の突起部が設けられているため、圧電振動片は上面側と下面側の双方に突起部が設けられることとなる。したがって、圧電振動片は、上面と下面とを択一的に選択する必要なく、パッケージに接合できる。さらに、パッケージを封止する蓋体側についても圧電振動片の中央部と蓋体との接触を防止することができる。
According to a sixth invention, in any one of the first to fifth inventions, the protrusion is the first protrusion, and the piezoelectric vibrating piece protrudes upward on the upper surface of the free end portion thereof. A feature is that a second protrusion is provided.
According to the configuration of the sixth invention, since the piezoelectric vibrating piece is provided with the second protrusion protruding upward on the upper surface of the free end portion thereof, the piezoelectric vibrating piece has both the upper surface side and the lower surface side. Protrusions will be provided on. Therefore, the piezoelectric vibrating piece can be bonded to the package without having to select the upper surface and the lower surface alternatively. Furthermore, contact between the central portion of the piezoelectric vibrating piece and the lid can also be prevented on the lid side that seals the package.
第7の発明は、第1ないし第6の発明のいずれかの構成において、前記パッケージの内底は平面であることを特徴とする。
第7の発明の構成によれば、パッケージの内底は平面であるため、パッケージを安価に形成できる。すなわち、圧電デバイスは、第1の発明のように突起部が設けられているため、パッケージ側に圧電振動片の中央部との接触を避けるための特別な工夫を設ける必要がなく、パッケージの内底を平面にして、パッケージの価格を下げることができる。
According to a seventh invention, in any one of the first to sixth inventions, the inner bottom of the package is a flat surface.
According to the configuration of the seventh invention, since the inner bottom of the package is a flat surface, the package can be formed at low cost. That is, since the piezoelectric device is provided with the projection as in the first invention, it is not necessary to provide a special device for avoiding contact with the central portion of the piezoelectric vibrating piece on the package side. The bottom can be flat and the price of the package can be reduced.
図1および図2は、本発明の第1の実施形態に係る圧電デバイス30であって、図1は圧電デバイス30の概略平面図、図2は図1のA−A線概略切断断面図である。
尚、圧電デバイスとは、圧電振動子や圧電発振器等の名称にかかわらず、パッケージ内に圧電振動片を収容した全ての製品を意味する。
これらの図の圧電デバイス30は、圧電振動子を構成した例を示しており、パッケージ36の内底37に、圧電振動片20が片持ち式に接合固定されている。
1 and 2 show a
Note that the piezoelectric device means all products in which a piezoelectric vibrating piece is accommodated in a package regardless of the name of a piezoelectric vibrator or a piezoelectric oscillator.
The
パッケージ36は、本実施形態では、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される第1及び第2の基板36a,36bを下から順に積層した後、焼結して形成されている。
第2の基板36bは、圧電振動片20を囲む空間を形成するための基板である。すなわち、その内側に所定の孔を形成することで、第1の基板36aに積層した場合に、パッケージ36の内側に所定の内部空間S1を形成するようにされている。この内部空間S1が、圧電振動片20を収容するためのキャビティとなる。
In the present embodiment, for example, the
The
また、第2の基板36bの図2において上部に開口した側の開口端面には、低融点ガラス等のロウ材44が適用されて蓋体39が接合されており、これにより、内部空間S1は封止されている。この蓋体39は、蓋封止した後であっても、圧電振動片20に設けられた励振電極等の金属被膜部にレーザ光LBを照射して、質量削減方式で周波数調整できるように、光を透過する材料、例えばガラスから形成されている。
Further, a
第1の基板36aはパッケージ36の底部を形成するための基板であり、内部空間S1に露出した内側底面(即ち、内底)37は平面となっている。すなわち、後述する突起部50を設けたことで、圧電振動片20の主振動領域とパッケージ36との接触が格段に減少したため、パッケージ36の内底37を平滑な平面とすることができる。この突起部50については後で詳細に説明する。
The
そして、この内部空間S1に露出した内底37には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成したマウント用電極31,31が設けられている。マウント用電極31,31の各々は、パッケージ36内を引き回されて、実装端子部38,38と接続されており、これにより互いに異極となって、圧電振動片20に駆動電圧を供給する電極となる。
The inner bottom 37 exposed in the internal space S1 is provided with mounting
そして、マウント用電極31,31の上面に、接着剤43,43として、シリコーン系またはエポキシ系あるいはポリイミド系等の導電性接着剤が塗布され、この接着剤43,43の上に圧電振動片20の長手方向の一端部20aのみが載置されて、接着剤43,43が硬化することで、マウント用電極31,31と圧電振動片20とが電気的機械的に接続されている。本実施形態の接着剤43には、圧電振動片20とパッケージ36との相互における振動漏れ等の関与を防止するため、エポキシ系等と比べて柔軟性のあるシリコーン系の導電性接着剤が用いられている。そして、接着剤43は、定常時(即ち、落下衝撃時等の異常な状態時以外)において、圧電振動片20の一端部20a以外の箇所がパッケージ36に接触しないような高さを有して塗布されている。
なお、図1および図2では、接着剤43に導電性接着剤を用いているが、本発明はこれに限られず、例えば、電気的な接続はワイヤボンディングで行い、接着剤には機械的にのみ接合される接着剤を用いるようにしてもよい。
Then, a conductive adhesive such as silicone, epoxy, or polyimide is applied to the upper surfaces of the mounting
1 and 2, a conductive adhesive is used as the adhesive 43, but the present invention is not limited to this. For example, electrical connection is performed by wire bonding, and the adhesive is mechanically used. Only an adhesive that is bonded may be used.
圧電振動片20は、例えば水晶等で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。
本実施形態の場合、圧電振動片20は、厚み方向の断面について、中央部20bから両端部(図2の場合、長手方向の両端部)20a,20cに向かって薄くなるコンベックス状とされており、これにより、主振動の振動エネルギーを中央部分に集中させ、輪郭系振動を減衰して主振動との結合を少なくして、Q値を高くすると共に良好な温度特性を得るようにしている。
The piezoelectric vibrating
In the case of the present embodiment, the piezoelectric vibrating
このような圧電振動片20の主面である上下面の夫々であって中央部20bには、励振電極24,25が形成されている。励振電極24,25は、主振動を励起するための電極であり、図1に示すように、周縁部を除くほとんどの面積を占めている。
また、圧電振動片20は、励振電極24,25の夫々が、両端部20a,20cのうち一端部20a(中央部20bに比べて厚みの薄い領域)に引き出されるようにして、引出電極34,35が形成されている。この一端部20aに形成された引出電極34,35が、上述したマウント用電極31,31と、接着剤43,43を介して電気的機械的に接続される部分であり、このようにして、圧電振動片20は、その主面が内底37及び蓋体39と対向するように略水平になって、片持ち式にパッケージ36に対して電気的機械的に接続されている。
なお、これら励振電極24,25及び引出電極34,35は、例えばクロムメッキによる下地層(図示せず)の上に、金メッキをして形成され、励振電極24と引出電極34、及び励振電極25と引出電極35とが、それぞれ一体に形成されている。
In addition, the piezoelectric vibrating
The
ここで、圧電振動片20は、その自由端部20cの下面に、パッケージ36の内底37側に突出した突起部50が設けられている。突起部50は、圧電振動片20の主振動領域がパッケージ36に接触しないように設けられた凸部である。
具体的には、突起部50は、圧電振動片20の励振電極24,25が設けられていない周縁部であって、パッケージ36に接合された一端部20aと反対側の他端部に配置されている。そして、突起部50は、その他端部(即ち、自由端部)20cから内底側(図2の下側)に向かって突出しており、突出度合いについては、その下端50aが圧電振動片20の中央部20bの最も膨らんだ位置に比べて、同等、或いは、より内底37側となるように突出している。
Here, the piezoelectric vibrating
Specifically, the
このような突起部50は、金属バンプ、又は非導電性の樹脂、或いはエピタキシャル成長等を利用して形成することができる。突起部50を金属バンプにする場合は、圧電振動片20の突起部50を設ける領域に励振電極25と同様の材料からなるパッドを設け、例えばAuバンプを用いることができる。なお、この金属バンプを利用する場合は、パッケージ36内の浮遊容量を大きくしてしまう恐れがあり、特に、パッケージ36の内底37に導電パターンが引き回されている場合、その導電パターンに接触して短絡する恐れが高まってしまう。
この点、突起部50を樹脂で形成した場合、樹脂は非導電性であるため、金属バンプで形成した際の浮遊容量や短絡の問題はない。また、突起部50を樹脂で形成した場合、面積の狭い自由端部20cに任意の形状で形成できるように、粘度の高い樹脂を用いることが好ましく、エポキシ系の樹脂等を好適に用いることができる。なお、この樹脂の場合は、溶剤からガスが発生するため、このガスが圧電振動片20に付着して、振動特性を変化させてしまう恐れがある。
そこで、突起部50は、圧電振動片20の自由端部20cをエピタキシャル成長させて形成することがより好ましい。具体的には、圧電振動片20の自由端部20cの突起部50を形成しようとする部分に貫通孔が設けられたメタルマスクを配置し、特に量産性に向く気相エピタキシャルにより結晶を成長させるとよい。
In this regard, when the
Therefore, the
また、突起部50が設けられる領域は、所謂輪郭系振動の領域であり、主振動と輪郭系振動の結合さえ回避するように形成すれば問題はない。
但し、突起部50が設けられる位置によっては、圧電振動片20が振動する際のバランスを崩すことになり、その点で悪影響がある。このため、図1では、圧電振動片20の自由端部20cの幅方向の中央付近に一箇所のみ配置して、圧電振動片20の幅方向のバランスをとっている。
The region where the
However, depending on the position where the
また、突起部50が設けられる領域について言えば、圧電振動片20の主振動の領域、即ち励振電極24,25に近づくと、主振動と輪郭系振動が結合される恐れが高まってくる。そこで、図1の圧電デバイス30の変形例に係る圧電デバイス60の概略平面図である図3に示すように、平面視の外形が四角形状に形成されている圧電振動片20に対して、その主面(上下面)の中央部20bに形成する励振電極24,25の角部R2,R2を面取り又は丸め、或いは、励振電極24,25の全体を円状又は長円状にし、自由端部20cの領域に励振電極24,25から最も離れた角部20dを形成し、その角部20dに突起部50を設けるとよい。この角部20dに設けられる場合も、突起部50は、圧電振動片20の幅方向のバランスを考慮して、自由端部20cの両角部20d,20dに設けることが好ましい。なお、図3において、図1及び図2の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成である。
Speaking of the region where the
また、突起部50の形状については、図1及び図2に示すように、円筒体状に形成してもよいが、本発明はこれに限られず、三角柱状、矩形状、錐台状等であってもよい。より好ましくは、上述した変形例に係る圧電デバイス60の概略平面図である図3、及びこの図3のB−B線切断断面図である図4に示されるように、突起部50を略球状にするとよい。すなわち、突起部50が略球状であると、突起部50自体の強度を確保しながらも、突起部50と圧電振動片20とが接触する領域が小さくなり、突起部の振動特性に与える悪影響を有効に防止できる。また、突起部50が略球状であると、突起部50とパッケージ36とが接触する領域は小さく且つ曲面となるため、突起部50とパッケージ36との摩擦で屑或いは塵が発生し難く、振動特性を安定させることができる。
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the shape of the
なお、本実施形態の場合、突起部50は、落下等の衝撃を受けない定常時において、図2に示すように、パッケージ36の内底37と接触しないようになっているが、定常時において突起部50とパッケージ36とが接触していてもよい。この場合であっても、突起部50とパッケージ36とは接合されておらず、互いに可動可能な状態となっているため、圧電振動片20からパッケージ36側への振動漏れや、パッケージ36の振動や歪みなどが突起部50に伝達することを有効に抑制できる。
In the case of the present embodiment, the
本発明の第1の実施形態は以上のように構成されており、圧電デバイス30は、コンベックス状の圧電振動片20が片持ち式にパッケージ36に接合されて、主振動領域である中央部20bがパッケージ36に接触する恐れが高くなっていても、圧電振動片20の自由端部20cには、厚み方向について、中央部20bの位置と比べて同等以上となるように内底37側に突出した突起部50が設けられている。このため、例えば落下衝撃により、圧電振動片20がその厚み方向に振れた場合であっても、圧電振動片20の中央部20bよりも先に、自由端部20cの突起部50がパッケージ36の内底37に接触することになる。したがって、圧電振動片20の中央部20bがパッケージ36の内底37に接触することを防止できる。
The first embodiment of the present invention is configured as described above. The
なお、本実施形態の場合、圧電振動片20は略水平に配置されている(即ち、主面が内底37及び蓋体39と対向している)ため、突起部50を、厚み方向について、中央部20bの位置と比べて同等以上となるように内底37側に突出させて、励振電極25が内底37に接触しないようにしている。しかし、本発明の突起部50の突出度合いはこれに限られるものではなく、例えば、圧電振動片20は、定常時において、一端部20a側が高く自由端部20c側が低くなるように傾斜してマウントされている場合、突起部50が中央部20bの最も膨らんだ位置より上側(蓋体側)であっても構わない。
In the case of the present embodiment, since the piezoelectric vibrating
図5は、本発明の第2の実施形態に係る圧電デバイス62の概略縦断面図であって、図2に対応した図である。
この図において、図1ないし図4の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この圧電デバイス62が図1ないし図4の圧電デバイス30と異なるのは、突起部50の部分のみである。
FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view of the
In this figure, the portions denoted by the same reference numerals as those used in the description of FIGS. 1 to 4 have the same configuration, and therefore, a duplicate description will be omitted, and hereinafter, differences will be mainly described.
The
すなわち、圧電デバイス62の突起部50は、圧電振動片20の上面と下面の双方に設けられている。
具体的には、図1ないし図4と同様に圧電振動片20の下面(即ち、内底37側の主面)に突起部50が設けられており、この下面の突起部が第1の突起部50aとなる。
一方、圧電振動片20の上面(即ち、蓋体39側の主面)には、第2の突起部50bが設けられており、この第2の突起部50bは、圧電振動片20の自由端部20cであって、厚み方向について、中央部20bの位置と比べて同等以上となるように上側(即ち、蓋体39側)に突出している。
That is, the
Specifically, as in FIGS. 1 to 4, a
On the other hand, a
本実施形態の場合の第2の突起部50bと第1の突起部50aとは同様の構成である。そして、第1の突起部50aと第2の突起部50bとは、圧電振動片20の厚み方向の中心線CLを挟んで略対称となるように、略同じ形状であって、自由端部20cの平面視における略同じ位置に設けられている。
なお、第1および第2の突起部50a,50bは、定常時において(即ち、落下衝撃時等の異常な状態時以外)、パッケージ36や蓋体39に接触していても構わないが、少なくとも、いずれか一方の突起部50が接触しないようにしている。これにより、第1及び第2の突起部50a,50bを介して、圧電振動片20をパッケージ36及び蓋体39で挟み込んで、圧電振動片20の自由端部20cを固定するような状態を回避することができる。
In the present embodiment, the
Note that the first and
本発明の第2の実施形態に係る圧電デバイス62は以上のように構成されており、圧電振動片20の自由端部20cには、厚み方向について、中央部20bよりも上側に突出した第2の突起部50bが設けられているため、圧電振動片20は上面側と下面側の双方に突起部50が設けられることとなる。したがって、圧電振動片20は、上面側と下面側とを択一的に選択する必要なく、パッケージ36に接合できる。さらに、パッケージ36を封止する蓋体39側についても、圧電振動片20の中央部20bと蓋体39との接触を防止することができる。
The
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment. Each configuration of the embodiment and each modified example can be appropriately combined or omitted, and can be combined with other configurations not shown.
30,60,62・・・圧電デバイス、20・・・圧電振動片、20a・・・一端部、20b・・・中央部、20c・・・他端部、31・・・マウント電極、36・・・パッケージ、37・・・内底、39・・・蓋体、50・・・突起部 30, 60, 62 ... Piezoelectric device, 20 ... Piezoelectric vibrating piece, 20a ... One end, 20b ... Center, 20c ... Other end, 31 ... Mount electrode, 36. ..Package, 37 ... inner bottom, 39 ... lid, 50 ... projection
Claims (7)
前記圧電振動片は、その自由端部の下面に、前記パッケージの内底側に突出した突起部が設けられている
ことを特徴とする圧電デバイス。 A piezoelectric device comprising a convex-shaped piezoelectric vibrating piece having a thickness that decreases from the center toward both ends, and a package having an inner bottom in which one end of the both ends of the piezoelectric vibrating piece is joined with an adhesive. Because
The piezoelectric device is characterized in that the piezoelectric vibrating reed is provided with a protrusion protruding on the inner bottom side of the package on the lower surface of the free end thereof.
前記突起部は前記自由端部の角部に設けられている
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電デバイス。 In plan view, the outer shape of the piezoelectric vibrating piece is formed in a square shape, and the corners of the excitation electrode provided in the central portion are chamfered or rounded,
The piezoelectric device according to claim 1, wherein the protrusion is provided at a corner of the free end.
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