JP2008218832A - 半導体装置の製造方法、及び、半導体装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法、及び、半導体装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 ダイシング領域122を含むウエハ120上の領域に短絡配線125を形成し、半導体装置形成領域121内に配設される複数のデバイスの入出力信号用の各電極パッド103を短絡配線125を介して互いに電気的に短絡することにより、ウエハ120に対して各種プラズマ処理を行った場合にも、プラズマダメージの発生を抑制する。そして、プラズマ処理を行った後のウエハ120をダイシング領域122で切断して個々の半導体装置100に個片化する際に、短絡配線125による各電極パッド103を電気的に解放することにより、各デバイス等の機能上不要な短絡を的確に解放する。
【選択図】 図3
Description
IEEE Transactions on Electron Devices, vol.45, No.4,1998
ウエハ120が投入されて半導体装置100の製造工程がスタートすると、先ず、ステップS110の酸化・拡散・イオン注入等の工程を経てデバイスが形成された後、ステップS120の配線工程において、ウエハ120上に設定された各半導体装置形成領域121内に、複数の電極パッド103の形成が行われる。なお、上述のように、各電極パッド103のうち、少なくとも何れか1つの電極パッド103は、当該電極パッド103の下層の層間絶縁膜等を貫通するコンタクト孔等を介して、ウエハ120(半導体基板101)と電気的に接続されている。
101 … 半導体基板
102 … デバイス群
103 … 電極パッド
120 … 半導体ウエハ
121 … 半導体装置形成領域
122 … ダイシング領域
125 … 短絡配線
125a … 主配線
125b … 中継線
200 … 支持基盤
213 … 接着層
214 … 貫通孔
215 … 絶縁膜
216 … コンタクト孔
217 … 貫通配線
218 … 裏面保護膜
219 … バンプ
220 … ガラス基板(基板)
221 … 支持基板形成領域
222 … ダイシング領域
223 … 凹部
224 … 電極パッド接点
225 … 短絡配線
225a … 主配線
225b … 中継線
Claims (5)
- 半導体装置形成領域を区画するダイシング領域を含むウエハ上の領域に短絡配線を形成し、前記半導体装置形成領域内に配設される複数のデバイスの入出力信号用の電極パッドを前記短絡配線を介して互いに電気的に短絡する短絡配線形成工程と、
前記ウエハに対してプラズマプロセスを行うプラズマ工程と、
前記ウエハを前記ダイシング領域で切断して個々の半導体装置に個片化するとともに、前記各電極パッドの電気的な短絡を解放するダイシング工程と、を具備したことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記短絡配線は、前記デバイスの内部配線の形成工程と同一の工程で形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電極パッドの電気的な短絡は、前記短絡配線を形成した基板を前記ウエハに貼り合わせることにより行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダイシング工程で個片化された半導体装置の端面から露出する前記短絡配線を絶縁膜で被覆する絶縁工程を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法を用いて製造したことを特徴とする半導体装置。
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