JP2008198339A - 深穴領域の形成方法及びそれを用いた光記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理的状態が可変の材料から形成される少なくとも1つの第1の層3及び前記第1の層3を形成する材料と同じ材料だが違う物理的状態でできている第2の層4を有する積層体2からピット1が形成される。第1の層3の一領域は、この領域を当初の物理的状態から第2の層4の物理的状態に対応する物理的状態へ変化させるために処理される。そして前記第1の層3の前記領域と、前記第1の層3の前記領域に当初覆われていた第2の層4の領域とを除去するための選択エッチング工程が行われる。前記材料は相転移材料が有利である。
【選択図】図4
Description
本発明は、以下の連続する工程を含む少なくとも1つの穴(ピット)を形成する方法に関し、
物理的状態が可変の材料で形成された第1の層の少なくとも1つの領域を、第1の物理的状態から第2の物理的状態に変化させるための局所的処理と、
前記第1の層の自由表面を介した前記領域の選択的エッチングと、を含む。
一般に、光記録媒体又はディスクは、“ランド(land)”及び“ピット(pit)”としても知られている、情報データに対応した隆起部及び陥凹部を有する少なくとも1つのポリカーボネート基質を備える。そのため、基質は所定のパターンに応じてパターン形成された自由表面を有する。
本発明の目的は、特に光記録媒体の製造時に深いピットを容易かつ経済的に形成し、同時に従来技術の欠点を改善することを目的とする。
少なくとも1つのピットは、
物理的状態が可変の材料から形成される第1の層と、
前記第1の層を形成する材料と同じ材料で形成されるが、前記第1の層とは異なる物理的状態であり、前記第1の層よりエッチングに対して高感度であることが有利である第2の層と、
からなる積層体から形成される。
例えば準安定熱力学的状態である第1の物理的状態にあり、加熱作用により例えば安定熱力学的状態である第2の物理的状態に変化可能な材料でできている第1の層3と、
第2の物理的状態にある前記材料でできている第2の層4と、
からなる積層体2における少なくとも1つのピット1の形成の特定の実施例を示す。
Claims (9)
- 物理的状態が可変の材料により形成された第1の層(3)の少なくとも1つの領域(3a)を第1の物理的状態から第2の物理的状態へ変化させる局所的処理と、
前記第1の層(3)の自由表面を介した前記領域(3a)の選択エッチングと、
の連続する工程を有する少なくとも1つのピット(1)を形成する方法であって、
前記局所的処理工程の前に、前記第1の層及びその第2の物理的状態での前記材料により形成された第2の層(4)から成る積層体(2)を形成する工程を有し、前記選択エッチング工程は前記第1の層(3)の前記処理された領域(3a)により当初覆われていた前記第2の層(4)の領域(4b)が除去されるまで続けられることを特徴とする少なくとも1つのピットを形成する方法。 - 前記積層体(2)は基板(5)上への前記第2の層(4)の形成、及びその後の前記第1の層(3)の堆積によって得られることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2の層(4)は、前記基板(5)へのその第1の物理的状態での前記材料の堆積、及びその後の第2の物理的状態へ変化させるための前記材料の処理によって形成されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記積層体(2)は、第1の物理的状態にある前記材料でできている予備層(7’)の基板(5)上への堆積、及びその後の、前記予備層(7’)の一部を前記第2の層(4)を形成する前記第2の物理的状態に変化させるための前記基板(5)の自由表面を介した制御された処理により形成されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記積層体が形成される前に、前記材料の状態の変化を促進する中間層(9)が前記基板(5)上に形成されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の方法。
- 前記材料は加熱作用により準安定熱力学的状態から安定熱力学的状態へ変化できる材料であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の方法。
- 前記材料は相転移材料であることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記相転移材料は、ゲルマニウム、アンチモン、テルリウム、インジウム、セレニウム、ビスマス、銀、ガリウム、スズ、鉛、及びヒ素からなる群より選択される少なくとも2つの要素の合金であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 請求項1乃至8のいずれかを用いた光記録媒体の製造方法。
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