JP2008193051A - 施設連結位置決めテンプレート - Google Patents

Abstract

【課題】ウェハ製造施設において複数の施設管を設置し、次にウェハ処理ツールへ連結するための、施設の集積に用いられる平坦なプレート型テンプレートを提供する。
【解決手段】施設統合に適応された平坦なプレート型のテンプレート１００は、所定のパターンの位置で配列された複数の開口１０２を画定しており、各テンプレート開口１０２は、所定の位置において各テンプレート開口１０２を通る施設管を位置決めすることで、位置決めされた施設管をウェハ処理ツールへ後に連結するのを容易にしている。
【選択図】図１

Description

背景

集積回路は、１つのチップ上に、トランジスタ、コンデンサ、及びレジスタをはじめとする何百万ものデバイスを含む複雑なデバイスに進化している。チップ設計の進化により、より高速の回路構成及びより大きい回路密度が提供されている。集積回路に対する要求が増すにつれて、チップ製造者は、ウェハ処理量を増大させ、製品収率を上げる半導体処理ツールを必要としてきた。この処理量の増大に対応するために、より大きな直径のウェハ、例えば、３００ミリメートル（ｍｍ）の直径を有するウェハを処理するようなツールが開発されている。

チップ製造者は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）社等の半導体処理ツール製造者に半導体ウェハ処理ツールを注文している。チップ製造者は、通常、半導体ウェハ処理ツールの納品に先だって、ツールを収容し据え付けるための施設を準備する。準備には、室内でツールが設置される場所の確保、施設の電源・ガス源・液体源と処理ツールの間で、電気、処理・排気ガスを含む流体、水・冷却剤・処理薬品を含む液体を流すのに必要な施設管（おおよその配管）の提供が含まれる。施設管のレイアウトのために、ツールのフットプリントがチップ製造者に提供される。

ウェハ処理施設の床測定は、壁や構造物等からの距離を含むＸ−Ｙ座標を用いてなされる。さらに、ツールの測定を行ってもよいし、或いは、ツールフットプリントの薄膜マイラーテンプレートのようなテンプレートを提供して、施設床のカットアウトと共に、施設の室内でのウェハ処理ツールの位置決めを行ってもよい。他の方法を利用して、施設の室内でのウェハ処理ツールの位置決めを行ってもよい。

施設管のおおよその配管が設置されるか、又は少なくともレイアウトされたら、その配管ラインを、次の処理ツールへの接続のために、床を通して延ばすことができる。しかし、チップ製造者の施設への処理ツールの納品の際、施設管が処理ツールの最後の位置決めの障害となり得ることが報告されている。このように、処理ツールの位置決めは煩わしいことであり、処理管が損傷することもある。さらに、ウェハ処理ツールが位置決めされてしまうと、ウェハ処理ツールへの処理管の接続を完了するのに余計な時間がかかる。これは、比較的柔軟性のない、固い配管の施設管であることが多いガス配管の設置に関してよく起きることである。

図示される実施形態の概要

実施形態は、半導体基板製造設備に半導体基板処理ツールを設置するための方法及び装置を対象とする。一実施形態は半導体基板処理ツール設置テンプレートを含む。図示される実施形態において、装置は施設の集積に用いられる平坦なプレート型テンプレートを有する。テンプレートは所定パターンの配置で配列された複数の開口を形成し、各テンプレート開口が、所定の位置において該各テンプレート開口を貫通する施設管を位置決めし、次に位置決めされた施設管を前記ウェハ処理ツールへ連結するのを容易にするように用いられる。

他の実施形態において、ウェハ製造施設において複数の施設管を設置し、次にウェハ処理ツールに連結する方法は、ウェハ処理ツールがウェハ製造施設において配置される位置を決定し、この位置に対応する製造施設の床にカットアウトを形成し、床のカットアウトを通して複数の施設管を提供し、所定パターンの配置に配列された複数の開口を形成する平坦なプレート型のテンプレートを床及び床のカットアウト上に配置し、施設管を各テンプレート開口に貫通させ、所定の位置において各テンプレート開口を貫通する施設管を位置決めし、施設管にウェハ処理ツールを連結することを含む。
他の実施形態が説明され、特許請求の範囲に記載されている。

図示される実施形態の説明

図１に、本発明の一実施形態によるテンプレート１００を示す。この実施形態のテンプレート１００は、平坦なプレート型であり、所定のパターンの位置で配列された複数の開口１０２を画定している。詳細は後述するが、各テンプレート開口１０２は、所定の位置において関連するテンプレート開口を通る施設管を位置決めすることで、位置決めされた施設管をウェハ処理ツールに、後に連結するのを容易にしている。

図２に、本発明の他の実施形態のテンプレート２００を示す。この実施形態のテンプレート２００は、図１のテンプレート１００のように、平坦なプレート型であり、所定のパターンの位置で配列された複数の開口２０２を画定している。テンプレート１００と同様に、各テンプレート開口２０２は、所定の位置において関連するテンプレート開口を通る施設管を位置決めすることで、位置決めされた施設管をウェハ処理ツールへ後に連結するのを容易にしている。

図３は、本発明によるテンプレート１００、２００等のテンプレートを用いて設置されるウェハ処理ツール３００の例を示す。この例では、ウェハ処理ツール３００は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社により製造販売されているＰＲＯＤＵＣＥＲ ＧＴ（商標名）誘電体フィルム成膜システムである。ただし、本発明によるテンプレートは、他の化学蒸着チャンバ、物理蒸着チャンバ、エッチングチャンバ、イオン注入チャンバ、及び他の半導体処理チャンバ等の他のチャンバ構成を設置するためにも用いることができるものと考えられる。

図示した実施形態のウェハ処理ツール３００は、メインフレーム搬送チャンバ３０２を含み、これに、３つのウェハ処理チャンバ３０４ａ、３０４ｂ、及び３０４ｃが連結されている。この例では、（図３の仮想線に示した）テンプレート１００は、ツール３００のメインフレーム搬送チャンバ３０２及び３つのウェハ処理チャンバ３０４ａ、３０４ｂ、及び３０４ｃの設置に利用される。加えて、（図３の仮想線に示した）３つのテンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃは、それぞれが図１のテンプレート２００と同じであるが、それぞれ、３つのウェハ処理チャンバ３０４ａ、３０４ｂ、及び３０４ｃの設置に利用される。詳細は後述するが、テンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃは、ツール３００の実際の設置に先だって取り除いてもよい。

処理されるウェハは、工場インターフェイス３１２であるロボット３１０によってカセット３０８ａ、３０８ｂの一対のポッドの一方又は両方からアンロードされる。ロボット３１０は、処理されるウェハを、シールされメインフレーム搬送チャンバ３０２の操作圧力まで又は近くに減圧された一対のロードロックチャンバ３１４ａ、３１４ｂの一方又は両方にロードする。多くのウェハ搬送チャンバは、一般に、非常に低圧、略真空レベルで作動することが多い。

ロードロックチャンバの圧力が十分低くなったら、ロードロックチャンバ３１４ａ、３１４ｂが、メインフレーム搬送チャンバ３０２に向かって開き、メインフレーム搬送チャンバ３０２のロボット３２０は、処理チャンバ３０４ａ、３０４ｂ、３０４ｃの１つにウェハを搬送する。処理が完了したら、ウェハがロードロックチャンバ３１４ａ、３１４ｂに戻される。ロードロックチャンバの圧力が大気圧に戻ると、ロードロックチャンバ３１４ａ、３１４ｂが、工場インターフェイス３１２に向かって開く。ロボット３１０は、処理されたウェハをポッド３０８ａ、３０８ｂの一方又は両方へ搬送する。以上の説明は、当然のことながら、本発明によるテンプレートを利用して設置されるウェハ処理ツールの構造及び操作の一例に過ぎない。ツールの構造及び操作は、行われる個別の処理操作、処理されるウェハの数、及び当業者であれば分かるであろう他の要因に応じて異なる。

図４は、本説明による１つ又はそれ以上のテンプレートを利用して、ウェハ処理ツールを設置する操作の一例である。第１の操作で、テンプレート１００のようなテンプレートが、測定されたフットプリント位置のカットアウトの上の床に据付けられる（ブロック４００）。図５は、図６に概略が示された通り、この実施形態において上げ床である施設床５００の一例である。施設床５００は、複数のカットアウト５０２を画定しており、そこを施設管が、床５００の下から、床５００上の空間まで通って、ウェハ処理ツール３００に連結している。施設管は、ガス供給管、ガス排気管、ガス通気管、液体供給管、液体戻し管、ガス戻し管、及び、出力管を含む。図６は、カットアウト５０２ａの一例を示しており、そこを施設管６００が、施設管６０２から、施設の上げ床５００の下、床カットアウト５０２ａを通って、床５００の上表面６０６上の接続・切断連結器６０４で終わっている。接続・切断連結器６０４は、ＶＣＲコネクタ、Ｎ２５フランジ、ＳＷＡＧＥＬＯＣＫ（商標名）、接続金具、圧力接続金具等の適切な切断可能な連結器である。

図３、５で最も良く分かるように、ウェハ処理ツール３００は、施設床５００上のフットプリント６１０を画定している。フットプリント６１０は、ツール３００の外側周囲の長さ及び幅、ならびに、施設管がツールに連結されるツール接続ポイントと関連する様々な位置を含む。ツール３００の設置を見越して、フットプリント６１０の様々な連結ポイント位置を、床５００上にレイアウトしてよい。そのような施設では、管がフットプリント６１０のこれらの連結ポイント位置又はその近くで施設床５００を通ることが多く、カットアウト５０２が床５００に形成され、ツール３００が床５００に設置されると、後のツール３００への連結のために、床５００を通過する設備管が収容される。

フットプリント６１０の様々な位置は、施設床５００に取り付けられたデータポイント６２０に対して測定されてよい。このような各フットプリント位置は、データポイント６２０からの２次元（ｘ、ｙ）変位として決めることができる。本発明の他の態様によれば、テンプレート１００は、施設床５００の上表面６０６にテンプレートを締結する締結具を受ける一対の締結具開口６２６ａ、６２６ｂを有する。締結具を締結具開口６２６ａ、６２６ｂ及び床５００に通して、テンプレート１００を施設床５００に締結する、締結具開口６２６ａ、６２６ｂ、及び床５００の締結点を位置合せポイントとして用いて、設置されるツール３００のフットポイント内でテンプレート１００を正確に位置決めする。

図６は、テンプレート１００の締結具開口６２６ａを通る締結具６２８及び施設床５００のテンプレート締結ポイント６２９の一例を示す。このように、床データポイント６２０に対応するテンプレート締結具開口６２６ａ、６２６ｂ及び床５００のテンプレート締結ポイント６２９のｘ、ｙ変位を測定して、テンプレート１００がフットプリント６１０内及び関連する床のカットアウト上に適切に配置されることを確実なものとする。適切に配置されたら、テンプレート１００を、その位置の適所に締結してよい。図示した実施形態において、ネジボルト、機械ネジ等のような取り外し可能な締結具を用いて、ツール３００自体の実際の設置に先立ってテンプレート１００を取り外しできるよう、テンプレート１００を適所に締結する。

同様に、各テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃは、施設床５００の上面６０６にテンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃを締結する締結具を受ける一対の締結具開口６３０ａ、６３０ｂを有する。締結具開口６３０ａ、６３０ｂ及び、床５００の関連するテンプレート締結ポイントは、ここでも、設置されるツール３００のフットプリント内においてテンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃの位置決めを正確に行うための位置合せ又は基準ポイントとして用いることができる。このように、床データポイント６２０に対応する締結具開口６３０ａ、６３０ｂ及び床５００の関連するテンプレート締結ポイントのｘ、ｙ変位を測定して、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃがフットプリント６１０内及び関連する床のカットアウト上に適切に配置されることを確実なものとする。適切に配置されたら、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃを、その位置の適所に締結してよい。図示した実施形態において、ネジボルト、機械ネジ等のような取り外し可能な締結具を用いて、ツール３００自体の実際の設置に先立って、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃを取り外しできるよう、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃを適所に締結する。

特定の用途に応じて、他の型の締結具を用いて、施設の床にテンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃを締結してもよいものと考えられる。さらに、締結具開口及び締結ポイント以外の位置合せ又は基準ポイントを、床上のツールフットプリント内にテンプレートを配置するのに用いてもよいものと考えられる。例えば、基準ポイントは、テンプレートに、シルクスクリーン印刷、インプリント、エンボス加工、又は切り込みを入れるものであってもよい。さらに、テンプレート上の他の位置及び他の多数の位置を、位置合せ又は基準ポイントとして用いてよいものと考えられる。

図５において最も良く分かるように、施設床５００は、床５００の上面６０６に取り付けられた複数の固定具６４０を有する。これらの固定具は、例えば、ツール３００が床５００上に設置されたら、ツール３００を平らにするためのレベリングフィートを含んでいてもよい。本発明の他の態様によれば、テンプレート１００は、テンプレートの周囲に配置され、かつレベリングフィート６４０のような突出している施設床固定具を受けるように適合された複数のリセス６５０ａ、６５０ｂ、６５０ｃ、６５０ｄを画定している。このように、例えば、テンプレートリセス６５０ｄは、レベリングフィート６４０ａ、６４０ｂを受ける。結果として、図６に示すように、これらのレベリングフィートは、テンプレート１００を妨害することはなく、テンプレート１００を床上表面に平行に締結することができる。

図７において、図示した実施形態のテンプレート１００は、略長方形の中心部７００、及び２つの略直角の角度をなすリセス７０４ａ、７０４ｂを画定している３つの略長方形の延在部７０２ａ、７０２ｂ、７０２ｃを有する。テンプレート１００は、さらに、２つの長方形の延在部７０２ａ、７０２ｃと２つの略鈍角のリセス７０８ａ、７０８ｂを画定している略台型の延在部７０６を有する。このような構成だと、床上表面６０６上に平坦かつ平行にテンプレート１００を締結するのが容易になると考えられる。

同様に、各テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃは、テンプレートの周囲に配置され、かつレベリングフィート６４０のような突出している施設床固定具を受けるように適合されたリセス７２０を画定している。このように、例えば、テンプレート２００ａのテンプレートリセス７２０は、図５に示したようなレベリングフィート６４０ｃを受ける。結果として、これらのレベリングフィートは、テンプレート１００に対し図６に示したようなものと同様に、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃを妨害することはなく、これらのテンプレートを床上表面６０６に平行に締結することができる。

図２に図示した実施形態（テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃと同様である）のテンプレート２００は、角を成し又は面取りされた角のリセス７２０を画定している略長方形の中心部７３０を有する。このような構成だと、床上表面６０６上に平坦かつ平行にテンプレート２００、又は２００ａ、２００ｂ、２００ｃを締結するのが容易になると考えられる。

テンプレート１００、２００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃの具体的な形状を、リセスの関連する構成及び形状と共に例示し説明してきたが、特定の用途に応じて、様々な形及び構成を利用してよいものと考えられる。それでも、本明細書で説明し、例示した特定の実施形態は、例示した用途及び他の用途にも特に好適であるものと考えられる。

各テンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃが、フットプリント６１０の測定された位置において、適切なカットオフ上での床上に据付けられるため（図４のブロック４００）、関連する施設管は、そのテンプレートの適切な開口に配置されて（ブロック７５０）、源６０２のような施設源と連結される（図６）。例えば、図６は、フットプリント６１０の測定位置におけるカットオフ５０２ａ上の上げ床５００に据付けられたテンプレート１００の開口１０２を通して延在している施設管６００の直立部７５２ａを示している。この例においては、開口１０２は、施設管６００の直立部７５２ａを外接し、かつ、直立部７５２ａ及びその接続・切断連結器６０４がテンプレート１００の開口１０２を通ることができるような大きさにされている。

さらに、この例では、施設管６００は、要素７５２ａ、７５２ｂ．．．７５２ｎの溶接集合物である溶接物であってよい。要素７５２ａ、７５２ｂ．．．７５２ｎの数及び長さは、テンプレート開口１０２と施設源６０２との間の経路の長さ及び方向に応じて異なる。ガス管等の多くの用途において、例えば、接続・切断連結器のような非永続的連結器は、施設源からウェハ処理ツールの上げ床まで敷設される導管では避けるべきである。従って、図６の例の施設管６００は、要素７５２ａ、７５２ｂ．．．７５２ｎを一緒にシールする溶接ジョイントのような永続的ジョイントのみを有する。施設管６００は、ツール３００につながるツール管との後の連結のために、上げ床５００上の一端に接続・切断連結器６０４を有する。さらに、施設管６００は、施設源６０２との後の連結のためにその他端に接続・切断連結器７６０を有する。しかしながら、接続・切断連結器６０４，７６０の間には、図６の例の施設管６００は、要素７５２ａ、７５２ｂ．．．７５２ｎを一緒にシールする溶接ジョイント７６２ａ、７６２ｂ．．．７６２ｎのような永続的ジョイントのみを有する。他の用途においては、施設管は、ツールの上げ床と施設源との間の中間位置において、接続・切断連結器のような非永続的連結器を含んでいてもよいものと考えられる。

すべてのジョイント７６２ａ、７６２ｂ．．．７６２ｎが溶接された場合、施設管６００の柔軟性は実質的に制限される。従って、多くの用途において、施設管６００のすべてのジョイント７６２ａ、７６２ｂ．．．７６２ｎの溶接を完成させる前に、テンプレート開口１０２を通じて施設管６００の直立部７５２ａを挿入するのが適切なことがある。測定されたフットプリント位置に、テンプレート１００が配置されて、据付けられ（ブロック４００）、図６の開口１０２は、テンプレート１００の他の開口１０２とともに、所定パターンの位置で配列されるため、施設管６００の直立部７５２ａも同様に、テンプレート１００の適切な開口１０２に挿入されるときに、ツールフットプリント６１０の所定位置に配置される。

直立部７５２ａの接続・切断連結器６０４は、留め具７７０又は直立部７５２ａに一時的に取り付けられた他の好適なデバイスを用いて、床表面６０６と同じ高さ又は床上表面６０６上の適切な高さに、一時的に固定してもよい。直立部７５２ａが適切なテンプレート開口１０２に挿入され、適切な高さに固定されたら、施設管６００は完成である。ジョイントが溶接され、施設管が源６０２に連結される順序は、特定の用途によって異なってよい。また、施設管によっては、自由端を適切なテンプレート開口に挿入する前に、施設源から上げ床まで施設管を完成させることが適切である。また、施設管によっては、フレキシブルホースや交流（ＡＣ）電源管のように十分に可撓性なものとしてよく、その設置はどの順序で完成されてもよい。

前に説明したように、テンプレート１００の開口１０２は、所定パターンの位置で配列されている。図７は、テンプレート開口の別個の群８００ａ、８００ｂ、８００ｃ、８００ｄを画定している所定パターンの一例を示す。開口の群８００ａは、メインフレーム３０２に施設管を配置するためのものである。群８００ｂ、８００ｃ、８００ｄは、処理管をウェハ処理チャンバ３０４ａ、３０４ｂ、３０４ｃにそれぞれ配置するためのものである。図示した実施形態では、群８００ａ、８００ｂ、８００ｃ、８００ｄは重なっていない。群８００ａは、主としてテンプレート１００の長方形の長辺の延在部７０２ｂに存在する。群８００ｂ及び８００ｄは、それぞれ長方形の短辺の延在部７０２ｃ及び７０２ａに延在している。群８００ｃは、台形型の延在部７０６に延在している。特定の用途に応じて、他のパターンの開口配置が用いられてもよいものと考えられる。しかしながら、図７に示されたパターンは、例示した用途及び他の用途にも特に好適なものと考えられる。

他の態様では、各群の開口は、適切なラベルインディシア８０２でラベル付与されて、関連の開口によって配置される施設管の機能が識別される。下記の表１に、群８００ａの開口により配置される各施設管の機能を示す。

以下の表２に、群８００ｂの開口により配置される各施設管の機能を示す。

群８００ｃ及び８００ｄは群８００ｂと同様にラベル付与され、対応する施設管の機能は関連するウェハ処理チャンバと同様である。テンプレート１００に対応する施設管の機能の構成は、特定の用途に応じて異なっていてもよいものと考えられる。しかしながら、図７に示した施設管機能の構成は、例示した用途及び他の用途にも特に好適なものと考えられる。

識別のインディシア８０２は、テンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃにシルクスクリーン印刷されていてもよい。しかしながら、ラベル、彫刻等の他の識別マークを利用してもよい。

本発明の他の態様において、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃの開口２０２は、所定のパターンの位置で構成されている。図２は、所定のパターンの一例を示すものであり、テンプレート２００用の開口２０２が、テンプレート２００の長さに沿って延在する１つの直線軸に沿って並んで構成されている。他のパターンの配置開口２０２を、特定の用途によっては用いられてよいと理解される。しかしながら、図２に示すパターンが、例示した用途及び他の用途にも特に好適なものと考えられる。

さらに他の態様において、テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃの開口は、適切なラベルインディシア８０８でラベル付与されて、各開口を特定して識別する。図示した実施形態において、各開口２０２は、テンプレートの開口の数によって、「１」、「２」、「３」．．．ｎのような特定の数ラベルを有する。各数字をつけられた開口は、特定の用途について、適切な特定の施設管を配置するために割り当ててもよい。

テンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃに関連する施設管のすべてが関連するテンプレートの適切な開口に配置され（ブロック７５０、図４）、かつ源６０２のような施設源に連結されたら、テンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃは任意で取り除いてもよい（ブロック８４０）。多くの用途において、テンプレートが除去されるのにもかかわらず、フットプリント６１０内の施設管の位置は十分に保たれ得る。例えば、ガス配管のような比較的固い施設管については、床５００から関連する施設源まで戻って延在しているこのような施設管の相対的な固さにより、施設管を十分に定位置に保ち得るものと考えられる。より可撓性の施設管については、テンプレートが取り除かれた後の管の動きは、ツールを適所とした後に、管を後ろに動かすことによって対処できる。

ツール３００の設置にツール部位を準備するのに、施設床の上表面６０６上に延在する１つ又はそれ以上の施設管によって、床５００上のツールの装着を妨げられる恐れがある。従って、本発明の他の態様において、このような施設管を下方向に簡単に押すと（ブロック８５０）、ツール３００をフットプリント６１０内の適所に動かすことができる。にもかかわらず、ガス配管溶接管のような比較的固い施設管でも、施設源（又は他の中間の施設支持ポイント）への設置後、適切なフットプリント６１０内にツール３００が設置されるよう動かすことを可能とする、十分な可撓性を保っているものと考えられる。

ウェハ処理ツール３００がフットプリント６１０内で適切な位置に設置されると、施設管を、必要に応じて上向きに変位してよく（ブロック８６０）、図６に示すようにツール３００に連結してよい。適切な管８６２を、床５００から出る各施設管の端において接続・切断連結器６０４の一端に接続してよい。管８６２は、その他端で、図６に示したようなツール３００の本体上の目的とする接続・切断連結器８６４に接続されてよい。

他の操作で、施設管は、床５００と施設源６０２の中間にある付加的な施設構造に任意で固定されてもよい（ブロック８７０）。このような方法で施設管を固定することは、地震への備えとして、或いはその他の懸念事項にとって適切である。

施設管の全長にわたって、リークがないか、適切な電気接続がなされているかチェックする。結果が良好であれば、後の使用のために、ウェハ処理ツール２０２外部のそれぞれの源及び供給源に、施設管を連結する。

図示した実施形態において、テンプレート１００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃは、丈夫で壊れにくいポリカーボネートのような透明プラスチック製であってよい。好適なプラスチックとしては、Ｌｅｘａｎ（商標名）という商品名で市販されているものがある。金属、木材又は他の種類のプラスチックをはじめとする他の材料を利用してもよいものと考えられる。

他の態様において、プレート型のテンプレート１００の厚さは、例えば１／８インチであってよい。このような厚さだと、テンプレートが、比較的広いカットアウトを横切って延在するときに、その自重を支持し、テンプレートによって配置された施設源を十分に固定することができる。これ以外の厚さとしてもよいものと考えられる。

図示した実施形態では、テンプレート１００の全体の寸法は、およそ幅３５インチ長さ３３インチである。直角の角度をなすリセス７０４ａ、７０４ｂは、およそ幅５インチ長さ７インチで延在している。鈍角の角（１３５°）のリセス７０８ａ、７０８ｂは、およそ幅８インチ長さ１３インチで延在している。前列の開口は直径が４．７５インチであり、テンプレート１００の残りの開口のほとんどは、直径が２インチである。これ以外の寸法を用いてもよいものと考えられる。ただし、説明した寸法が図示した実施形態に特に好適と考えられる。

図示した実施形態では、各テンプレート２００ａ、２００ｂ、２００ｃの全体の寸法は、およそ幅４インチ長さ３３インチ厚さ約１／１０インチである。面取りリセス７２０は、４５°の角度をなしており、約２．７５インチの幅を有している。各開口２０２は、１．２５インチの直径を有する。これ以外の寸法を用いてもよいものと考えられる。ただし、説明した寸法が図示した実施形態に特に好適と考えられる。

以上の様々な実施形態の説明は、例示及び説明のために示されてきた。これは、網羅的なものではなく、開示された正確な形態に、本実施形態を限定することを意図するものではない。多くの変更及び変形が上記教示により可能である。例えば、テンプレートの形状及び大きさは、その用途に応じて変えてもよい。さらに、図４に示された操作は、示されたものと異なった操作の順序で行われてもよい。さらに、操作を追加してもよく、示されたものから操作を削除してもよい。本発明の範囲は、詳細な説明により限定されるものではない。

以下の図面を参照して、本発明の実施形態の例を説明する。

本説明の一実施形態による施設統合テンプレートの斜視図である。 本説明の施設統合テンプレートの他の例の上面図である。 半導体ウェハ処理ツールの上面図であって、図１及び図２のテンプレートがかかるツールの設置に利用され得る位置の例を示している。 図１及び図２の施設統合テンプレートを利用して、複数の施設管に半導体ウェハ処理ツールを設置する操作の一例を示したフローチャートである。 半導体ウェハ処理ツールを支持する床の斜視図であり、床は、図３に示されたようなウェハ処理ツールの設置に図１及び２の施設統合テンプレートを使用している。 施設管が中に延びている、床に据付けられた、図１の施設統合テンプレートの側面図である。 図１の施設統合テンプレートの上面図である。

理解しやすいように、図面で共通の同一の要素を示すために、可能であれば、同一の参照番号を用いている。

Claims (21)

1. ウェハ製造施設において複数の施設管を設置し、次にウェハ処理ツールへ連結するための装置であって、施設の集積に用いられる平坦なプレート型テンプレートを有し、該テンプレートは所定パターンの配置で配列された複数の開口を形成し、各テンプレート開口が、所定の位置において該各テンプレート開口を貫通する施設管を位置決めし、次に位置決めされた施設管を前記ウェハ処理ツールへ連結するのを容易にするように用いられる装置。
2. 前記ウェハ製造施設が、上表面の上に伸びる複数の突出構造物を有する床を備え、前記テンプレートは前記床の前記上表面に取り外し可能に固定されるように用いられ、前記テンプレートは、該テンプレート周辺に配置され、突出施設床構造物を受領するように用いられ、これによってテンプレートが、前記床上表面に固定され、平行となるのを容易にする複数のリセスを形成する請求項１記載の装置。
3. 前記テンプレートが、略長方形の中心部分と、前記複数のリセスの２つの略長方形のリセスを形成する３つの略長方形の伸長部を有し、前記テンプレートは、前記複数のリセスの２つの略三角形のリセスを２つの隣り合う長方形の延長部によって形成する略台形の延長部を有する請求項２記載の装置。
4. 前記テンプレートが透明なポリカーボネートプラスチックで形成されている請求項１記載の装置。
5. 前記複数のテンプレート開口の各々が、対応する施設管を外接する大きさを有し、前記複数の施設管は液体管を含む請求項１記載の装置。
6. 前記複数のテンプレート開口の各々が、対応する施設管と外接する大きさを有し、前記複数の施設管は、少なくとも１つのガス供給管、少なくとも１つのガス排気管、少なくとも１つのガス通気管、少なくとも１つの液体供給管、少なくとも１つのガス返還管、及び少なくとも１つのパワー管を備えた請求項１記載の装置。
7. 前記ガス管が溶接物である請求項６記載の装置。
8. 前記ウェハ処理ツールが、メインフレーム及び該メインフレームに連結された３つの処理チャンバを有し、該テンプレートパターンの配置は、テンプレート開口の４つの離間した異なるクラスタと、前記処理チャンバ及びメインフレームのの各々のためのテンプレート開口の１つのクラスタを形成し、前記クラスタは重複しない請求項１記載の装置。
9. 前記ウェハ製造施設が、施設管が貫通するカットアウトを形成する床を有し、前記テンプレートは、前記ウェハ製造施設の前記床の前記カットアウトの上に固定されるように用いられる請求項１記載の装置。
10. 前記テンプレートが、前記床の上表面に位置決めされ、平行であり、固定されるように用いられる請求項１記載の装置。
11. 少なくとも１つの留め具を有し、前記テンプレートは、前記少なくとも１つの留め具を利用して前記床上表面に固定されるように用いられる請求項１０記載の装置。
12. 前記ウェハ製造施設が、上表面の上に伸びる複数の突出構造物を有する床を備え、前記テンプレートが、前記床の前記上表面に取り外し可能に固定されるように用いられ、前記テンプレートは略長方形であり、前記テンプレートの周辺の角部に位置決めされ、突出施設床固定具を受領するように用いられるリセスを有し、前記テンプレートが前記床表面に固定されかつ平行となることを容易にする請求項１記載の装置。
13. 前記複数のテンプレート開口の各々が対応する施設管を外接する大きさを有し、前記複数の施設管はガス及び液体供給管を含む請求項１２記載の装置。
14. ウェハ製造施設において複数の施設管を設置し、次にウェハ処理ツールに連結する方法であって、前記ウェハ処理ツールが前記ウェハ製造施設において配置される位置を決定し、該位置に対応する前記製造施設の床にカットアウトを形成し、前記床の前記カットアウトを通して前記複数の施設管を提供し、所定パターンの配置に配列された複数の開口を形成する平坦なプレート型のテンプレートを前記床及び前記床の前記カットアウト上に配置し、所定の位置において各テンプレート開口を貫通する施設管を位置決めするように該施設管を各テンプレート開口に貫通させ、前記施設管に前記ウェハ処理ツールを連結することを含む方法。
15. 前記施設管の各々を施設源に連結し、前記施設管に前記処理具を連結する前に、前記テンプレートを前記床から取り外して除く請求項１４記載の方法。
16. 施設管を押し下げ、前記ウェハ処理ツールをフットプリント上に位置決めし、前記引き上げられる施設管に前記処理具を連結する前に前記施設管を引き上げる請求項１５記載の方法。
17. 前記ウェハ処理ツールを前記施設管に連結した後、関連する施設源と前記ウェハ処理ツールとの間の施設構造に施設管をロックする請求項１６記載の方法。
18. 前記決定する工程が、施設データポイントに対するＸ−Ｙ座標を利用して前記製造施設を測定する工程と、前記ウェハ処理ツールのフットプリントを測定する工程を含む請求項１４記載の方法。
19. 前記フットプリントが、前記テンプレートが前記床に取り付けられる少なくとも１つのテンプレート固定ポイントを含む請求項１８記載の方法。
20. 前記床が上昇した床であり、前記提供は前記製造施設の前記上昇した床の下に前記複数の施設管を配置する請求項１４記載の方法。
21. 前記複数の管が、前記カットアウトを通って延び、前記上昇した床に垂直である請求項２０記載の方法。

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