JP2008192613A - 有機el半導体素子のパターニング方法、有機el半導体素子、および、有機層のパターニング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の電極、第2の電極、および、該2つの電極間に配置され電荷担体の再結合によって発光する有機層を備えた有機EL半導体素子を準備し、少なくとも有機層の一部を有機層への熱作用により選択的に破壊して半導体素子にパターンを形成する。
【選択図】図1
Description
Claims (28)
- 第1の電極、第2の電極、および、該2つの電極間に配置され電荷担体の再結合によって発光する有機層を備えた有機EL半導体素子を準備するステップ、および、
少なくとも有機層の一部を有機層への熱作用により選択的に破壊して半導体素子にパターンを形成するステップ
を含む
ことを特徴とする有機EL半導体素子のパターニング方法。 - 電荷担体の再結合によって発光する有機層は少なくとも1つの第1の部分層(11,12)および第2の部分層(10,13)を含み、パターニングのために少なくとも1つの部分層の一部を選択的に破壊する、請求項1記載の方法。
- 有機層の第1の有機化合物を発光しない少なくとも1つの第2の化合物へ熱作用によって変換することにより有機層を選択的に破壊する、請求項1または2記載の方法。
- 熱作用による選択的破壊を有機層へフォーカシングされる光ビームによって行う、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 光ビームの波長は可視波長のスペクトル内にある、請求項4記載の方法。
- 光ビームの波長は赤外波長または紫外波長のスペクトル内にある、請求項4記載の方法。
- 有機EL半導体素子の少なくとも1つの電極は透光性である、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- 有機層の一部の領域を選択的に破壊しているあいだ光ビームを連続的に形成する、請求項3から7までのいずれか1項記載の方法。
- 有機層の一部の領域を選択的に破壊しているあいだ光ビームをパルス状に形成する、請求項3から7までのいずれか1項記載の方法。
- 光ビームをレーザーによって形成する、請求項3から9までのいずれか1項記載の方法。
- 有機層の一部の領域を選択的に破壊しているあいだ有機層にパターンを形成するために光ビームを運動させる、請求項3から10までのいずれか1項記載の方法。
- 有機層の一部の領域を選択的に破壊しているあいだ有機層にパターンを形成するために有機EL半導体素子を運動させる、請求項1から11までのいずれか1項記載の方法。
- 熱作用による選択的破壊の焦点の径は10μm〜300μmの範囲にある、請求項1から12までのいずれか1項記載の方法。
- 有機EL半導体素子の少なくとも一方の電極はパターニングされないまま製造される、請求項1から13までのいずれか1項記載の方法。
- 光ビームを少なくとも部分的に電極を通してフォーカシングする、請求項1から14までのいずれか1項記載の方法。
- 少なくとも一方の電極の一部の領域を熱作用により選択的に破壊する、請求項1から15までのいずれか1項記載の方法。
- 電荷担体を注入するための第1の電極(2)および第2の電極(3)と該2つの電極間に配置され電荷担体の再結合によって発光する少なくとも1つの有機層(1)とを含む
有機EL半導体素子において、
有機層(1)の少なくとも一部の領域が熱作用により選択的に破壊されている
ことを特徴とする有機EL半導体素子。 - 有機層(1)は発光する少なくとも1つの第1の部分層(11,12)および少なくとも1つの第2の部分層(10,13,14)を含み、少なくとも1つの部分層またはその一部が選択的に破壊されている、請求項17記載の素子。
- 熱作用によって破壊された部分領域はルミネセンスを生じない有機化合物を有する、請求項17または18記載の素子。
- 付加的に少なくとも1つの電極またはその一部を熱作用により選択的に破壊する、請求項17から19までのいずれか1項記載の素子。
- 少なくとも1つの有機EL半導体素子(10)に対する収容装置を備えた位置決め装置(100)、配向可能な光ビームを出力する照明手段(400)を備えた支持装置(300)、および、照明手段(400)と位置決め装置(100)とのあいだに配置され光ビームを少なくとも1つの有機EL半導体素子(10)へ偏向する偏向装置(500)を有しており、
配向される光ビームの焦点は有機EL半導体素子のいずれかの層内で層の一部の領域が熱作用により選択的に破壊される位置に合わせられる
ことを特徴とする有機EL半導体素子のパターニング装置。 - 照明手段(400)がレーザー装置を有する、請求項21記載の装置。
- 赤外スペクトルまたは緑色スペクトルの光を有するネオジム:YAGレーザーが設けられている、請求項22記載の装置。
- 位置決め装置は光ビームに対してほぼ垂直に少なくとも1つの方向に沿って運動可能に配置されている、請求項21から23までのいずれか1項記載の装置。
- 偏向装置は配向された光ビームを有機EL半導体素子の層へフォーカシングするフォーカシング装置を含む、請求項21から24までのいずれか1項記載の装置。
- 偏向装置は配向される光ビームの焦点を偏向する少なくとも1つの運動可能なミラー装置を含む、請求項21から25までのいずれか1項記載の装置。
- 配向される光ビームの焦点は有機層の発光部に位置する、請求項21から26までのいずれか1項記載の装置。
- 有機層は少なくとも一方の電極を含む、請求項21から27までのいずれか1項記載の装置。
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