JP2008190866A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一面が測定流体に接する金属製測定ダイアフラム1と、前記測定ダイアフラムの他面に順次積層蒸着された絶縁薄膜2、薄膜歪ゲージ3および電極パッド薄膜4と、前記電極パッド薄膜に接続され、前記薄膜歪ゲージの電気信号を取り出す中継リード線5とを備えた圧力センサにおいて、前記電極薄膜の膜厚を2.0〜6.0μmに選定し、前記中継リード線を前記電極パッド薄膜に直接溶接する。
【選択図】図2
Description
すなわち、本発明は、一面が測定流体に接する金属製測定ダイアフラムと、前記測定ダイアフラムの他面に順次積層蒸着された絶縁薄膜、薄膜歪ゲージおよび電極パッド薄膜と、前記電極パッド薄膜に接続され、前記薄膜歪ゲージの電気信号を取り出す中継リード線とを備えた圧力センサにおいて、前記電極パッド薄膜の膜厚を2.0〜6.0μmに選定し、前記中継リード線を前記電極パッド薄膜に直接溶接したことを特徴とするものである。
また、測定ダイアフラムと受圧支持部とを溶接するとき、溶接熱によってはんだ付け部6が再溶融するという問題もなく、作業が容易であり、品質が安定する。そして、はんだ付けにともなうフラックス残渣を洗浄する必要もなく、工程が短縮化され、環境問題に貢献することができる。
さらに、金細線7、中継端子台8および電極パッド薄膜9は使用しないため、コストは低く、実用的である。
図1は本発明に係る圧力センサを示す。この圧力センサはサニタリ用オイルレス圧力センサであり、一面が測定流体FLに接する金属製測定ダイアフラム1を有する。測定ダイアフラム1はオーステナイト系ステンレスまたはコバルト−ニッケル合金などの金属製であり、感圧部10に形成される。
測定ダイアフラムの他面側に、絶縁薄膜2を厚さ5.0μmとなるように酸化ケイ素を蒸着し、次に薄膜歪みゲージ3を線幅40μm、厚さ0.1μmとなるように酸化クロムを蒸着し、さらにニッケルを蒸着して電極パッド薄膜4とした。電極パッド薄膜厚さは1.0μm、2.0μm、6.0μm、10.0μmの4種類を作製した。
電極パッド薄膜4に溶接する中継リード線5は、銀メッキした銅線であり、0.1mmφと0.16mmφの2種類使用し、銅線の表面に厚さ1.0μmの銀メッキを施したものである。
銀メッキ厚さは、1.0μm未満になると、溶接時にメッキの銀が溶融して、リード線に残らず溶接強度が低下し、また強度のバラツキが大きくなる。
銀メッキ厚さが2.0μmを超えると、溶接電流が低抵抗の銀に流れ、電流を大きくしないと、ニッケル電極パッドに溶接できない。
よって、銀メッキ厚さは1.0〜2.0μmが好適である。
偏平厚さが60%未満になると、断線するトラブルが発生しやすく、溶接後の引張り強度が著しく低下する。
また、偏平厚さが70%を超えると、溶接面積が小さくなり溶接強度が低下する。よって扁平厚さは60〜70%が好適である。
偏平面は、鏡面加工面を持つバイスで、フラットになるように加工した。
中継リード線径と電極パッド厚さの組合せ毎に各300個の試料を作製し、以下の各試験でそれぞれ100個使用した。測定データは平均値と測定範囲を示した。
ニッケル電極厚さ1.0μmの場合、中継リード線の引張破壊強度は著しく低下し、バラツキも大きくなる傾向が認められた。引っ張り破壊箇所はニッケル電極と歪ゲージ薄膜の界面での剥離が主で、溶接時の熱影響で、ニッケル層が破壊され、下地歪ゲージとの接着強度を低下させたものと思われる。2.0μm以上では比較的溶接強度が高く、バラツキも少ない。これは2.0μm以上になれば、ニッケル層が破壊されず、良好な接着強度を保持していることを示している。
これはニッケル電極が厚くなることにより、下地絶縁薄膜や歪ゲージとの熱膨張係数の違いにより冷熱サイクル時、剥離ストレスが上記界面で発生し、1万回の冷熱サイクルにより、電極剥れが一部発生したものと思われる。したがってニッケル電極厚みは総合的に判断すれば、2.0〜6.0μmが安定溶接および製品の熱ショック対策またコスト面においても、有効な範囲であることがわかった。
2 絶縁薄膜
3 薄膜歪ゲージ
4 電極パッド薄膜
5 中継リード線
6 はんだ付け部
7 金細線
8 中継端子台
9 電極パッド薄膜
10 感圧部
11 支持部
12 基準圧力室
13 増幅回路基板
Claims (5)
- 一面が測定流体に接する金属製測定ダイアフラムと、前記測定ダイアフラムの他面に順次積層蒸着された絶縁薄膜、薄膜歪ゲージおよび電極パッド薄膜と、前記電極パッド薄膜に接続され、前記薄膜歪ゲージの電気信号を取り出す中継リード線とを備えた圧力センサにおいて、前記電極パッド薄膜の膜厚を2.0〜6.0μmに選定し、前記中継リード線を前記電極パッド薄膜に直接溶接したことを特徴とする圧力センサ。
- 前記電極パッド薄膜にニッケル、クロムまたは銀薄膜を使用したことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記中継リード線は銀メッキした銅単線であり、その直径は0.10〜0.16mmであり、銀メッキ厚さは1.0〜2.0μmであることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記中継リード線を押圧して偏平形状となし、その偏平厚さが、リード線径の60〜70%とし、偏平面をフラットとしたことを特徴とする請求項1および3に記載の圧力センサ。
- 前記電極パッド薄膜と中継リード線の引っ張り剥離強度が100g以上であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013117422A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Asahi Denshi Kenkyusho:Kk | 歪抵抗素子およびそれを用いた歪検出装置 |
JP2014081355A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-05-08 | Bando Chem Ind Ltd | 静電容量型センサシート及び静電容量型センサシートの製造方法 |
EP2851448A2 (en) | 2013-09-19 | 2015-03-25 | Seiko Instruments Inc. | Two-phase stainless steel, thin sheet material and diaphragm using two-phase stainless steel |
CN114606545A (zh) * | 2022-02-24 | 2022-06-10 | 东南数字经济发展研究院 | 一种应变计焊盘表面处理的电化学方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60124876A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 歪センサ |
JPH03238865A (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-24 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体素子 |
WO2003021246A1 (fr) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Kurabe Industrial Co., Ltd. | Capteur d'humidite capacitif et son procede de fabrication |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60124876A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 歪センサ |
JPH03238865A (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-24 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体素子 |
WO2003021246A1 (fr) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Kurabe Industrial Co., Ltd. | Capteur d'humidite capacitif et son procede de fabrication |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013117422A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Asahi Denshi Kenkyusho:Kk | 歪抵抗素子およびそれを用いた歪検出装置 |
JP2014081355A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-05-08 | Bando Chem Ind Ltd | 静電容量型センサシート及び静電容量型センサシートの製造方法 |
EP2851448A2 (en) | 2013-09-19 | 2015-03-25 | Seiko Instruments Inc. | Two-phase stainless steel, thin sheet material and diaphragm using two-phase stainless steel |
CN114606545A (zh) * | 2022-02-24 | 2022-06-10 | 东南数字经济发展研究院 | 一种应变计焊盘表面处理的电化学方法 |
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